JPH0676802B2 - 流体回路のｓ／ｎ比を改良する装置 - Google Patents
流体回路のｓ／ｎ比を改良する装置Info
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- JPH0676802B2 JPH0676802B2 JP2502249A JP50224990A JPH0676802B2 JP H0676802 B2 JPH0676802 B2 JP H0676802B2 JP 2502249 A JP2502249 A JP 2502249A JP 50224990 A JP50224990 A JP 50224990A JP H0676802 B2 JPH0676802 B2 JP H0676802B2
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15C—FLUID-CIRCUIT ELEMENTS PREDOMINANTLY USED FOR COMPUTING OR CONTROL PURPOSES
- F15C4/00—Circuit elements characterised by their special functions
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Description
【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は流体回路、特に分離した流体路に沿つて流体入
力信号を入力する２個の流体発振器と夫々の流体発振器
から共通逃がし部へ延びる別個の逃がし路とを備える流
体回路に関する。更に詳述するに、本発明は流体発振器
の上流及び下流にローパスフイルタを有する流体回路に
関する。
力信号を入力する２個の流体発振器と夫々の流体発振器
から共通逃がし部へ延びる別個の逃がし路とを備える流
体回路に関する。更に詳述するに、本発明は流体発振器
の上流及び下流にローパスフイルタを有する流体回路に
関する。
（背景技術） 流体回路は流体回路からの出力データとある物理的属性
とに因り生じる圧力あるいは流速効果との間の相関関係
を利用して、その物理的属性を測定することが望まれる
各種分野において利用され得る。通常、流体回路は出力
源（即ちポンプのような圧縮流体供給源）と、属性の変
化に応動する少なくとも１個の検出素子（即ち流体回路
のデータ捕捉構成）と、検出素子の流体出力に集合的に
応動し（流体回路のデータ条件付け機能を行う）下流で
の処理に適した形態のデータを与える他の複数の素子と
を備える。流体回路の出力信号（即ち圧力または流速）
を用いて流体力の変化に応動する制御機構を直接作動さ
せることも出来るが、多くの場合変換器を駆動して高レ
ベル制御に適した電子的な基本データを得るよう構成さ
れた。後者の場合、流体回路は通常圧力／周波数コンバ
ータとしての２個の流体流体発振器を備え、各流体発振
器は１またそれ以上の流体増幅器と連通される検出素子
の２個の入力チヤネルの一方からの流体信号を導入し流
体波列信号を出力するように構成せしめられる。流体波
列信号の周波数は流体入力信号の大きさにより定まり、
問題の物理的属性と関連付けされるデータは流体波列信
号の差動周波数値になる。流体回路の性能は両流体発振
器と接続されるが逃がし路内及び流体入力信号を流体発
振器に連通させる流路内の圧力波干渉により悪影響を受
ける。両側の周波数差が零である場合、この圧力波干渉
により一方の波列が効果的に伸縮され他方の波列と整合
されるいわゆるロツクオン現象が生じる。従つて、問題
の物理的属性の値の分解能は上述した範囲の周波数差と
関連する範囲に亙り大きく損なわれる。更に、各流体発
振器からのノイズは最終段の増幅器の上流へ伝達され
る。このノイズにより増幅器からの流体出力信号及び増
幅器自体の性能が悪影響を受ける。従つて流体発振器に
対し入力される圧力信号の質及び精度が損なわれる。
とに因り生じる圧力あるいは流速効果との間の相関関係
を利用して、その物理的属性を測定することが望まれる
各種分野において利用され得る。通常、流体回路は出力
源（即ちポンプのような圧縮流体供給源）と、属性の変
化に応動する少なくとも１個の検出素子（即ち流体回路
のデータ捕捉構成）と、検出素子の流体出力に集合的に
応動し（流体回路のデータ条件付け機能を行う）下流で
の処理に適した形態のデータを与える他の複数の素子と
を備える。流体回路の出力信号（即ち圧力または流速）
を用いて流体力の変化に応動する制御機構を直接作動さ
せることも出来るが、多くの場合変換器を駆動して高レ
ベル制御に適した電子的な基本データを得るよう構成さ
れた。後者の場合、流体回路は通常圧力／周波数コンバ
ータとしての２個の流体流体発振器を備え、各流体発振
器は１またそれ以上の流体増幅器と連通される検出素子
の２個の入力チヤネルの一方からの流体信号を導入し流
体波列信号を出力するように構成せしめられる。流体波
列信号の周波数は流体入力信号の大きさにより定まり、
問題の物理的属性と関連付けされるデータは流体波列信
号の差動周波数値になる。流体回路の性能は両流体発振
器と接続されるが逃がし路内及び流体入力信号を流体発
振器に連通させる流路内の圧力波干渉により悪影響を受
ける。両側の周波数差が零である場合、この圧力波干渉
により一方の波列が効果的に伸縮され他方の波列と整合
されるいわゆるロツクオン現象が生じる。従つて、問題
の物理的属性の値の分解能は上述した範囲の周波数差と
関連する範囲に亙り大きく損なわれる。更に、各流体発
振器からのノイズは最終段の増幅器の上流へ伝達され
る。このノイズにより増幅器からの流体出力信号及び増
幅器自体の性能が悪影響を受ける。従つて流体発振器に
対し入力される圧力信号の質及び精度が損なわれる。
上述した問題は特に、流体回路の許容空間の制限が極め
て厳しく流体発振器ないしは他の回路素子を相互に極め
て近接して配置される場合（例えば米国特許第4,467,98
4号明細書の第５図に示されるように誘導ミサイルの流
体角速度検出システムに使用される場合）に重要にな
る。更に、ポンプが交流流速を与える種類のものである
場合、上述の用途では更に大きなノイズ源となる。
て厳しく流体発振器ないしは他の回路素子を相互に極め
て近接して配置される場合（例えば米国特許第4,467,98
4号明細書の第５図に示されるように誘導ミサイルの流
体角速度検出システムに使用される場合）に重要にな
る。更に、ポンプが交流流速を与える種類のものである
場合、上述の用途では更に大きなノイズ源となる。
“流体発振器流速計を用いた化学剤測定器”と題してHD
L-TM-88-2出版物には、クロモトグラフイ分野に使用さ
れる流体回路の流体発振器におけるノイズ問題が開示さ
れている。この著者によれば、複数段の流体発振器のフ
イードバツクチヤネル内に変換器の出力信号を電子的に
フイルタをかけることにより流体ローパスフイルタを配
設すると良好な結果が得られることが提案される。流体
フイルタだけでは流体回路に課せられる負荷制限に対し
不十分であることも言及されている（ページ11、第４章
参照）。流体発振器間の干渉と供給源の干渉については
述べられていない。
L-TM-88-2出版物には、クロモトグラフイ分野に使用さ
れる流体回路の流体発振器におけるノイズ問題が開示さ
れている。この著者によれば、複数段の流体発振器のフ
イードバツクチヤネル内に変換器の出力信号を電子的に
フイルタをかけることにより流体ローパスフイルタを配
設すると良好な結果が得られることが提案される。流体
フイルタだけでは流体回路に課せられる負荷制限に対し
不十分であることも言及されている（ページ11、第４章
参照）。流体発振器間の干渉と供給源の干渉については
述べられていない。
本発明によれば、上述した形式の流体回路において、流
体発振器の動作で生じるノイズの相当の部分（推定20〜
30％）が流体発振器の上流に現れることが利用される。
本発明によれば、流体回路全体の性能を犠牲にすること
なく流体発振器からのノイズが大幅に減衰され得る。
体発振器の動作で生じるノイズの相当の部分（推定20〜
30％）が流体発振器の上流に現れることが利用される。
本発明によれば、流体回路全体の性能を犠牲にすること
なく流体発振器からのノイズが大幅に減衰され得る。
本発明の１目的は概して流体測定システム特に角速度検
出システムの分解能を向上させることにある。
出システムの分解能を向上させることにある。
本発明の他の目的は流体発振器を使用する流体回路のS/
N比を大にすることにある。
N比を大にすることにある。
本発明の他の目的は添付の特許請求の範囲及び添付図面
に沿つて以下の説明を進めるに応じ明らかとなろう。
に沿つて以下の説明を進めるに応じ明らかとなろう。
（発明の開示） 本発明によれば、共通部と連通され別個の流路に沿つて
入力流体を入力する流体発振器を備えた流体回路のノイ
ズが大幅に減衰される。このためこのような流体回路を
採用する測定システムの分解能及び精度が大幅に向上さ
れる。広い意味では、各流体発振器の上流及び下流の両
方にフイルタを設けることにより、ノイズの減衰量が大
きくでき、フイルタは流体発振器からのノイズを有効的
に減衰し得る。
入力流体を入力する流体発振器を備えた流体回路のノイ
ズが大幅に減衰される。このためこのような流体回路を
採用する測定システムの分解能及び精度が大幅に向上さ
れる。広い意味では、各流体発振器の上流及び下流の両
方にフイルタを設けることにより、ノイズの減衰量が大
きくでき、フイルタは流体発振器からのノイズを有効的
に減衰し得る。
本発明の別の実施態様によれば、各フイルタは誘導素
子、容量素子及び誘導素子の直列回路として与えられ
る。このような回路素子で構成されるフイルタによれ
ば、従来使用された高周波数減衰器のような流体素子に
よる場合よりも大きな減衰量が与えられるものと考えら
れる。
子、容量素子及び誘導素子の直列回路として与えられ
る。このような回路素子で構成されるフイルタによれ
ば、従来使用された高周波数減衰器のような流体素子に
よる場合よりも大きな減衰量が与えられるものと考えら
れる。
本発明の他の実施態様によれば、フイルタの誘導素子は
フイルタにより流体発振器からのノイズが減衰され且つ
フイルタの共鳴にノイズが関与しないように選択された
長さの流路として構成される。
フイルタにより流体発振器からのノイズが減衰され且つ
フイルタの共鳴にノイズが関与しないように選択された
長さの流路として構成される。
図面の簡単な説明 第１図は本発明による流体回路の簡略図、第２図及び第
３図は本発明による好ましい実施例に使用される角速度
センサの複数の積層板の一連の積層作業を説明するため
の各積層板の平面図、第４及び第５図はローパスフイル
タのような異なる素子を使用する角速度検出回路の性能
を比較するためのグラフである。
３図は本発明による好ましい実施例に使用される角速度
センサの複数の積層板の一連の積層作業を説明するため
の各積層板の平面図、第４及び第５図はローパスフイル
タのような異なる素子を使用する角速度検出回路の性能
を比較するためのグラフである。
（発明を実施するため最良の形態） 第１図に簡略に示された流体回路10の圧縮流体源12は圧
縮流体を供給回路網14（太線で図示）を介して流体検出
素子16及び複数の流体増幅器18へ供給する。圧縮流体源
12にはチペツト等による米国特許第4,648,807号に開示
された圧電ポンプを用いることが好ましい。圧縮流体源
12は逃がし回路網20（点線で図示）を介し流体検出素子
16、流体増幅器18及び流体発振器22、24から流体が導入
される。通常流体回路10は流体を連続的に循環させる閉
システムとして動作する。圧縮流体源12はコントローラ
27によりコントローラ27からの電気信号（ライン25で図
示）に応答して作動される。この場合、圧縮流体源12の
流体は流体検出素子16の入口部26、及び流体増幅器18の
入口部28に（例えば供給回路網14の分岐路に設けられた
抵抗並列回路30を介して好適な圧力で）供給される。夫
々の流体は逃がし回路網20の各分岐路に配設された抵抗
器32により設定され得る圧力差をもつて流体検出素子16
及び流体増幅器18から放出される。
縮流体を供給回路網14（太線で図示）を介して流体検出
素子16及び複数の流体増幅器18へ供給する。圧縮流体源
12にはチペツト等による米国特許第4,648,807号に開示
された圧電ポンプを用いることが好ましい。圧縮流体源
12は逃がし回路網20（点線で図示）を介し流体検出素子
16、流体増幅器18及び流体発振器22、24から流体が導入
される。通常流体回路10は流体を連続的に循環させる閉
システムとして動作する。圧縮流体源12はコントローラ
27によりコントローラ27からの電気信号（ライン25で図
示）に応答して作動される。この場合、圧縮流体源12の
流体は流体検出素子16の入口部26、及び流体増幅器18の
入口部28に（例えば供給回路網14の分岐路に設けられた
抵抗並列回路30を介して好適な圧力で）供給される。夫
々の流体は逃がし回路網20の各分岐路に配設された抵抗
器32により設定され得る圧力差をもつて流体検出素子16
及び流体増幅器18から放出される。
流体検出素子16により測定される特定の物理的属性、流
体検出素子16自体の構成、及びセンサとしての流体回路
素子の存在の有無は大きな特徴ではなく、本発明の利点
はノイズ減衰に関し、出力が共通路に連通されると共に
流体発振器と連通される回路素子（例えば最終段の増幅
器）から別個の流路を経て流体を導入する少なくとも２
個の流体発振器を備えた流体回路に対し適用可能な点に
ある。現在考え得る最適の用途に使用される本発明を説
明するため流体検出素子16には'984特許にも示されるよ
うな積層タイプの主角速度検出センサを採用し、流体回
路10にはこの'984特許に示される電子流体角速度検出シ
ステムを集合的に構成する３個の同様な回路の１つを用
いるものとする。
体検出素子16自体の構成、及びセンサとしての流体回路
素子の存在の有無は大きな特徴ではなく、本発明の利点
はノイズ減衰に関し、出力が共通路に連通されると共に
流体発振器と連通される回路素子（例えば最終段の増幅
器）から別個の流路を経て流体を導入する少なくとも２
個の流体発振器を備えた流体回路に対し適用可能な点に
ある。現在考え得る最適の用途に使用される本発明を説
明するため流体検出素子16には'984特許にも示されるよ
うな積層タイプの主角速度検出センサを採用し、流体回
路10にはこの'984特許に示される電子流体角速度検出シ
ステムを集合的に構成する３個の同様な回路の１つを用
いるものとする。
流体検出素子16の入口部26に導入する流体はノズル34を
経て放出され、流体軸36を経て２個の導入チヤンネル4
0、42間に位置したスプリツタ38へ送られる。このとき
増幅が周知の方法で行われ、導入チヤンネル40、42内に
流れ込む流体は流体入力信号として初段の流体増幅器18
の制御部44、46に対し出力され、ここで順次増幅された
流体信号は流体路54、56を経て最終段の増幅器52の導入
チヤネル48、50から出力される。流体路54、56は個別に
圧力制御される流体発振器22、24の入口部58、60と接続
されている。各流体発振器はそれぞれの流体路54、56を
介し導入部に入力される流体圧に応じて定まる周波数の
圧力波列を出力する。出力信号は閉路62、64を介し変換
器66、68（通常ミニチユアマイクロホン）へ送られて、
電気周波数信号に変換され、この電気周波数信号は電線
70、72を経てコントローラ27へ送られる。変換器66、68
からの信号の周波数差は直角な軸を中心とする流体検出
素子16の回転速度に比例する。また流体は流体発振器2
2、24から別個の逃がし路74、76を経て圧縮流体源12と
連通している共通逃がし部78へ送られる。
経て放出され、流体軸36を経て２個の導入チヤンネル4
0、42間に位置したスプリツタ38へ送られる。このとき
増幅が周知の方法で行われ、導入チヤンネル40、42内に
流れ込む流体は流体入力信号として初段の流体増幅器18
の制御部44、46に対し出力され、ここで順次増幅された
流体信号は流体路54、56を経て最終段の増幅器52の導入
チヤネル48、50から出力される。流体路54、56は個別に
圧力制御される流体発振器22、24の入口部58、60と接続
されている。各流体発振器はそれぞれの流体路54、56を
介し導入部に入力される流体圧に応じて定まる周波数の
圧力波列を出力する。出力信号は閉路62、64を介し変換
器66、68（通常ミニチユアマイクロホン）へ送られて、
電気周波数信号に変換され、この電気周波数信号は電線
70、72を経てコントローラ27へ送られる。変換器66、68
からの信号の周波数差は直角な軸を中心とする流体検出
素子16の回転速度に比例する。また流体は流体発振器2
2、24から別個の逃がし路74、76を経て圧縮流体源12と
連通している共通逃がし部78へ送られる。
最終段の増幅器52と関連する流体発振器との間の各流体
路54、56には、流体発振器と共通逃がし部78との間で各
逃がし路74、76と連係するローパスフイルタ80が配設さ
れている。本発明の好ましい実施例によれば、ローパス
フイルタ80は誘導素子82、容量素子84及び誘導素子86の
直列回路として構成される。このように構成されたロー
パスフイルタを以下LCLフイルタと呼ぶ。本発明に使用
される“誘導素子”は（１）長さが単なるオリフイスに
寄与する長さより長く従つて慣性に左右される流路特性
を持ち、（２）断面積が流路の両側での断面積より小さ
く、（３）流速変化を阻止する圧力変化を誘導出来、こ
れらの動作特性（１）〜（３）を有する比較的狭い流路
である。容量素子84は固定容量であるが流体回路に容量
を与えるものであれば周知の任意の構成が採用され得
る。
路54、56には、流体発振器と共通逃がし部78との間で各
逃がし路74、76と連係するローパスフイルタ80が配設さ
れている。本発明の好ましい実施例によれば、ローパス
フイルタ80は誘導素子82、容量素子84及び誘導素子86の
直列回路として構成される。このように構成されたロー
パスフイルタを以下LCLフイルタと呼ぶ。本発明に使用
される“誘導素子”は（１）長さが単なるオリフイスに
寄与する長さより長く従つて慣性に左右される流路特性
を持ち、（２）断面積が流路の両側での断面積より小さ
く、（３）流速変化を阻止する圧力変化を誘導出来、こ
れらの動作特性（１）〜（３）を有する比較的狭い流路
である。容量素子84は固定容量であるが流体回路に容量
を与えるものであれば周知の任意の構成が採用され得
る。
本発明に使用される角速度センサの積層板の一部の積層
順序が第２図及び第３図に示されている。第２図の積層
板ｆには最終段の増幅器106の導入チヤネル102、104が
形成され得る。流体路54、56（第１図参照）に配設され
たローパスフイルタ80が積層板ｂ〜ｈ内に形成される。
積層板ａ及びｂにはポート部108、110が示される。一連
の積層板（第３図の積層板ｂ〜ｇも同様であるが、第２
図のａ及び第３図の積層板ｇは含まれない）内で整合さ
れる同様のポート部により誘導素子86と流体発振器22、
24との間に延びる流体路54、56の一部が形成される。第
３図の積層板ａ〜ｃにより流体発振器22、24が構成され
る。逃がし路74、逃がし路76（第１図参照）内に配置さ
れたローパスフイルタ80は第３図の積層板ｅ〜ｇにより
構成される。テストによれば、流体発振器22、24から直
接誘導素子への流体放出により流体発振器22、24の入力
圧力と出力周波数との間の関係が高度に非線形にされる
ことが判明した。この作用を補償するためコンデンサ11
2が各逃がし路内に設けられる。第３図に示すように、
流体発振器22、24と誘導素子82との間に更にコンデンサ
112が配置される。
順序が第２図及び第３図に示されている。第２図の積層
板ｆには最終段の増幅器106の導入チヤネル102、104が
形成され得る。流体路54、56（第１図参照）に配設され
たローパスフイルタ80が積層板ｂ〜ｈ内に形成される。
積層板ａ及びｂにはポート部108、110が示される。一連
の積層板（第３図の積層板ｂ〜ｇも同様であるが、第２
図のａ及び第３図の積層板ｇは含まれない）内で整合さ
れる同様のポート部により誘導素子86と流体発振器22、
24との間に延びる流体路54、56の一部が形成される。第
３図の積層板ａ〜ｃにより流体発振器22、24が構成され
る。逃がし路74、逃がし路76（第１図参照）内に配置さ
れたローパスフイルタ80は第３図の積層板ｅ〜ｇにより
構成される。テストによれば、流体発振器22、24から直
接誘導素子への流体放出により流体発振器22、24の入力
圧力と出力周波数との間の関係が高度に非線形にされる
ことが判明した。この作用を補償するためコンデンサ11
2が各逃がし路内に設けられる。第３図に示すように、
流体発振器22、24と誘導素子82との間に更にコンデンサ
112が配置される。
本発明の上述した実施例は1200〜3400ヘルツの流体発振
器の周波数範囲で動作するように設計された角速度検出
回路としてテストされた。流体は約3500ヘルツの周波数
で動作する圧電ポンプから供給した。第４図（角速度対
周波数差）には高周波数経衰器として使用される（逃が
し路74、76内の）破壊干渉フイルタ及び（流体路54、56
内の）渦巻きダイオードを有する回路の性能が示され
る。第５図には総て４個の流路内のLCLフイルタ80を備
えた同じ種類の回路の性能が示される。
器の周波数範囲で動作するように設計された角速度検出
回路としてテストされた。流体は約3500ヘルツの周波数
で動作する圧電ポンプから供給した。第４図（角速度対
周波数差）には高周波数経衰器として使用される（逃が
し路74、76内の）破壊干渉フイルタ及び（流体路54、56
内の）渦巻きダイオードを有する回路の性能が示され
る。第５図には総て４個の流路内のLCLフイルタ80を備
えた同じ種類の回路の性能が示される。
第４図及び第５図を比較することにより、角速度の分解
能が失われる有効範囲114が破壊干渉フイルタと渦巻き
ダイオードとの回路によつて形成され、この有効範囲は
LCLフイルタを使用することにより相対的に無効にされ
ることが理解されよう。更に第４図の比較的ノイズの多
い領域116も第５図では実質的に検出されなかつた。
能が失われる有効範囲114が破壊干渉フイルタと渦巻き
ダイオードとの回路によつて形成され、この有効範囲は
LCLフイルタを使用することにより相対的に無効にされ
ることが理解されよう。更に第４図の比較的ノイズの多
い領域116も第５図では実質的に検出されなかつた。
誘導素子82、86の長さは極めて重要な設計パラメータで
ある。一般に、流体発振器で誘導されるノイズの減衰量
を増加するには誘導素子の長さを長くする必要があるこ
とが分かつている。一方、LCLフイルタの共振周波数が
誘導素子の長さと関連付けられ、誘導素子の長さを長く
することにより得られる利点はフイルタの共振に寄与す
るノイズとある点で妥協することである。従つて誘導素
子82、86の長さは流体発振器により誘導されるノイズが
十分に減衰され且つLCLフイルタの共振に寄与するノイ
ズが実質的に除去されるよう設定される。この条件は流
体発振器の最大周波数と関連する波長に対し長さが十分
に短くされることにより得られる。流体回路の誘導素子
82、86の長さ（このテスト結果は第５図に示される）は
空気中での音速の約15％を流体発振器の最高周波数（34
00ヘルツ）で徐算したものになつた。
ある。一般に、流体発振器で誘導されるノイズの減衰量
を増加するには誘導素子の長さを長くする必要があるこ
とが分かつている。一方、LCLフイルタの共振周波数が
誘導素子の長さと関連付けられ、誘導素子の長さを長く
することにより得られる利点はフイルタの共振に寄与す
るノイズとある点で妥協することである。従つて誘導素
子82、86の長さは流体発振器により誘導されるノイズが
十分に減衰され且つLCLフイルタの共振に寄与するノイ
ズが実質的に除去されるよう設定される。この条件は流
体発振器の最大周波数と関連する波長に対し長さが十分
に短くされることにより得られる。流体回路の誘導素子
82、86の長さ（このテスト結果は第５図に示される）は
空気中での音速の約15％を流体発振器の最高周波数（34
00ヘルツ）で徐算したものになつた。
本発明の技術的範囲は、上述した好ましい実施例あるい
はその具体的説明により限定されるものではないことが
理解されよう。従つて本発明の技術的範囲は添付の特許
請求の範囲及びその均等物を含む広い意味で考えるべき
である。
はその具体的説明により限定されるものではないことが
理解されよう。従つて本発明の技術的範囲は添付の特許
請求の範囲及びその均等物を含む広い意味で考えるべき
である。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭57−108757（ＪＰ，Ａ) 米国特許4467984（ＵＳ，Ａ) 米国特許3261372（ＵＳ，Ａ) 英国特許1140191（ＧＢ，Ａ) 西独国特許公開200098（ＤＥ，Ａ)
Claims (3)
- 【請求項１】最終段の流体増幅器からの流体出力が２個
の別個の流体路（54、56）を経て２個の別個の流体発振
器（22、24）へ送られ、流体発振器からの流体が初段で
分離された２個の逃がし路（74、76）に沿って、この逃
がし路（74、76）と連通する共通逃がし部（78）へ送ら
れるように設けられ、且つ一方の流体発振器（22）と共
通逃がし部との間の一の逃がし路（74）内に配置された
第１のローパスフイルタ（80）と、他方の流体発振器
（24）と共通逃がし部との間の他方流体路（76）内に配
置された第２のローパスフイルタ（80）とを備えた流体
回路において、最終段の流体増幅器（52）と一方の流体
発振器（22）との間の一方の流体路（54）内に配置され
た第３のローパスフイルタ（80）と、最終段の流体増幅
器と他方の流体発振器（24）との間の他方の流体路（5
6）内に配置された第４のローパスフイルタ（80）とを
備えることを特徴とする流体回路。 - 【請求項２】ローパスフイルタ（80）により流体発振器
（22、24）の動作で生じる圧力波が減衰されてなる特許
請求の範囲第１項記載の流体回路。 - 【請求項３】各ローパスフイルタ（80）が誘導素子（8
2）と容量素子（84）と誘導素子（86）との直列回路と
して構成され、各誘導素子（82、86）は長さが一定で、
流体断面積が誘導素子の直ぐ上流、直下流にある他の流
路、回路素子の断面積より小さい流路として構成され、
且つフイルタ（80）は所定長の流路を具備することによ
り流体発振器（22、24）の動作に因るノイズが減衰され
且つフイルタの共振に寄与するノズルが実質的に除去さ
れるように設けられてなる特許請求の範囲第２項記載の
流体回路。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/318,094 US4874016A (en) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | Method for improving signal-to-noise ratios in fluidic circuits and apparatus adapted for use therewith |
| US318,094 | 1989-02-28 | ||
| PCT/US1989/005754 WO1990010158A1 (en) | 1989-02-28 | 1989-12-21 | Method for improving signal-to-noise ratios in fluidic circuits and apparatus adapted for use therewith |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04505045A JPH04505045A (ja) | 1992-09-03 |
| JPH0676802B2 true JPH0676802B2 (ja) | 1994-09-28 |
Family
ID=23236627
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2502249A Expired - Lifetime JPH0676802B2 (ja) | 1989-02-28 | 1989-12-21 | 流体回路のｓ／ｎ比を改良する装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4874016A (ja) |
| EP (1) | EP0461115A1 (ja) |
| JP (1) | JPH0676802B2 (ja) |
| AU (1) | AU4841390A (ja) |
| WO (1) | WO1990010158A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5325861A (en) * | 1989-04-12 | 1994-07-05 | Puritan-Bennett Corporation | Method and apparatus for measuring a parameter of a gas in isolation from gas pressure fluctuations |
| US5127622A (en) * | 1991-06-27 | 1992-07-07 | Allied-Signal Inc. | Fluidic vibration cancellation mount and method |
| US5374025A (en) * | 1993-06-28 | 1994-12-20 | Alliedsignal Inc. | Fluidic vibration cancellation actuator and method |
| US5392809A (en) * | 1993-11-05 | 1995-02-28 | Acme Steel Company | Hyper-reset pressure controller |
| EP1082182A4 (en) * | 1998-03-30 | 2005-04-27 | Univ California | Apparatus and method for providing pulsed fluids |
| US6085762A (en) * | 1998-03-30 | 2000-07-11 | The Regents Of The University Of California | Apparatus and method for providing pulsed fluids |
| ES2984885T3 (es) * | 2020-11-13 | 2024-10-31 | Micro Electrochemical Tech S L | Dispositivo y método de control de caudal microfluídico |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| GB1140191A (en) | 1965-02-16 | 1969-01-15 | Corning Glass Works | Fluid-operated systems |
| US4467984A (en) | 1980-11-12 | 1984-08-28 | The Garrett Corporation | Angular rate sensing apparatus and methods |
Family Cites Families (14)
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| US2936790A (en) * | 1955-12-27 | 1960-05-17 | Dole Valve Co | Noise reducing flow control device |
| US3061039A (en) * | 1957-11-14 | 1962-10-30 | Joseph J Mascuch | Fluid line sound-absorbing structures |
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| US3398758A (en) * | 1965-09-30 | 1968-08-27 | Mattel Inc | Pure fluid acoustic amplifier having broad band frequency capabilities |
| US3528445A (en) * | 1969-01-02 | 1970-09-15 | Gen Electric | Laminated filter for fluid amplifiers |
| US3780769A (en) * | 1971-12-17 | 1973-12-25 | Honeywell Inc | Fluidic variable capacitance network |
| US3857412A (en) * | 1973-07-12 | 1974-12-31 | Us Army | Notch tracking fluidic frequency filter |
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| US4258754A (en) * | 1979-01-15 | 1981-03-31 | Pickett Charles G | Method and apparatus for fluid sound amplification and detection of low frequency signals |
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| US4497388A (en) * | 1981-08-25 | 1985-02-05 | Gaulin Corporation | Pulsation dampener and acoustic attenuator |
| GB2172660B (en) * | 1985-03-15 | 1988-10-05 | Fawcett Eng Ltd | Hydraulic noise attenuators |
-
1989
- 1989-02-28 US US07/318,094 patent/US4874016A/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-12-21 WO PCT/US1989/005754 patent/WO1990010158A1/en not_active Ceased
- 1989-12-21 JP JP2502249A patent/JPH0676802B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1989-12-21 AU AU48413/90A patent/AU4841390A/en not_active Abandoned
- 1989-12-21 EP EP90901451A patent/EP0461115A1/en not_active Withdrawn
Patent Citations (3)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO1990010158A1 (en) | 1990-09-07 |
| US4874016A (en) | 1989-10-17 |
| EP0461115A1 (en) | 1991-12-18 |
| AU4841390A (en) | 1990-09-26 |
| JPH04505045A (ja) | 1992-09-03 |
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