JPH0677416A - 入力保護回路 - Google Patents

入力保護回路

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JPH0677416A
JPH0677416A JP23004692A JP23004692A JPH0677416A JP H0677416 A JPH0677416 A JP H0677416A JP 23004692 A JP23004692 A JP 23004692A JP 23004692 A JP23004692 A JP 23004692A JP H0677416 A JPH0677416 A JP H0677416A
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JP
Japan
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ground
circuit
power supply
transistor
protection circuit
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Application number
JP23004692A
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English (en)
Inventor
Hisaya Keida
久彌 慶田
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JFE Steel Corp
Original Assignee
Kawasaki Steel Corp
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Publication date
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  • Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は、MOS構造の半導体集積回路におけ
る入力保護回路に関し、静電気など外部からの高電圧に
対し従来より高い電圧まで半導体素子を保護する。 【構成】電源系,グラウンド系がウェルや基板抵抗で分
離されている場合に、入力保護回路を構成するPMOS
型トランジスタ、NMOS型トランジスタの各ゲート
を、内部回路側の電源、グラウンドにそれぞれ接続し
た。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、MOS構造の半導体集
積回路における入力保護回路に関する。
【0002】
【従来の技術】MOS型半導体素子は入力に高い電圧が
かかると、非常に薄い酸化膜により形成されたゲートが
破壊され機能しなくなる場合がある。このため、MOS
型半導体の場合、外部とのインターフェースをとる入出
力回路には外部からの高い電圧に対し素子を保護するた
めの保護回路が設けられている。
【0003】一方、近年半導体素子の微細化が進むにつ
れ、電源系、グラウンド系のノイズが大きな問題になっ
てきた。図5に、グラウンドが1系統の場合の出力バッ
ファのノイズが入力バッファのスイッチング電圧(しき
い値)Vthを変化させる例を示す。出力バッファ10は
外部の巨大な容量を駆動する際に、外部の電荷を図に示
す電流のInoiseとして瞬時にグラウンドgnd1
に流し込む。そのためにグラウンドgnd1は瞬間的に
出力雑音ΔVだけ電位が上がり、その電位上昇が入力バ
ッファ20のグラウンドをも上昇させるため、入力バッ
ファのスイッチング電圧(しきい値)Vthがシフトし誤
動作を引き起こす。そこで高速な素子、または外部の大
負荷を駆動するように設計された素子では、出力バッフ
ァのノイズが入力バッファもしくは内部回路に回り込ま
ぬよう、電源またはグラウンド系を分離することが行わ
れる。
【0004】図6は、CMOS半導体素子の断面構造の
一例を示した図、図7は、図6に示す断面構造を備えた
CMOS半導体素子の電源系、グラウンド系の等価回路
図である。図6に示すようにP基板上にCMOS半導体
回路を形成すると、図7に示すように電源はウェルによ
り完全に分離され、グラウンド系は基礎抵抗を介してつ
ながっている。しかし、基板抵抗は比較的高いため、一
般に系統を分離した効果は充分にある。
【0005】図8,図9は、図6,図7に示すように電
源、グラウンド系が分離された場合の入力保護回路の例
である(「微細化にともなう半導体デバイスの静電破壊
現象」前田志 他 電子情報通信学会技術研究報告 R
90−65 CPM90−127参照)。図8に示す入
力保護回路と図9に示す入力保護回路は、回路図上では
トランジスタ群30と抵抗40の配列順序が相違するの
みである。
【0006】内部回路は、第1の電源vdd1および第
1のグラウンドgnd1を用いて形成されており、入力
保護回路は、第1の電源vdd1とは、例えばウェルで
分離された第2の電源vdd2、および第1のグラウン
ドgnd1とは、例えば基板抵抗で分離された第2のグ
ラウンドgnd2を用いて形成されている。ここで、こ
の入力保護回路のトランジスタ群30はPMOS型トラ
ンジスタ31とNMOS型トランジスタ32とからな
り、PMOSトランジスタ31のソースおよびゲートは
第2の電源vdd2と接続され、PMOS型トランジス
タのドレインはNMOS型トランジスタ32のドレイン
と接続され、NMOS型トランジスタ32のソースおよ
びゲートは第2のグラウンドgnd2と接続されてい
る。またこれらPMOS型トランジスタ31およびNM
OS型トランジスタ32のドレインは直接に(図8の場
合)もしくは抵抗40を介して(図9の場合)入力端子
と接続されるとともに、直接に(図9の場合)もしくは
抵抗40を介して(図8の場合)内部回路初段のトラン
ジスタ群50の各ゲートに接続されている。またPMO
Sトランジスタ31およびNMOSトランジスタ32の
各ソース・ドレイン間には寄生ダイオードが存在し、こ
こではこの寄生ダイオードも明示されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】このような入力保護回
路の性能の評価には、図10に示すような、EIAJの
規格に則った試験法が採用される(「CMOS超LSI
の設計」培風館 菅野卓雄監修、および前述した文献
参照)。ここでは試験下にある素子DUTの基準ピン
(電源ピンないしグラウンドピン)を接地しておき、先
ず電圧源により所定の電圧で容量を充電し、その後スイ
ッチを切り替え、試験下にある素子DUTに電圧を印加
する。この試験法には、電圧源にかける電圧の相違、容
量の相違、抵抗素子の有無等により人体モデル(HB
M)とマシンモデル(MM)とがある。
【0008】図11は、図10に示す試験法を図8に示
す従来の入力保護回路に適用した場合の回路の挙動を示
した図である。ここではグラウンドが基準ピンとして接
地されているものとする。電源、vdd1,vdd2が
オープンの状態において入力端子に高電圧が印加される
と、この高電圧に起因するパルス状の電流Ipulse
は、図示のように初段の保護回路を経てグラウンドに流
れるが、その際電流がNMOS型トランジスタ32以外
に流れるところがないため、集中しNMOS型トランジ
スタ32の抵抗による電圧の上昇dVが大きくなる。す
ると、それにつながる内部回路初段のトランジスタ群5
0のNMOS型トランジスタ側のゲート酸化膜がその電
圧上昇に耐えられず破壊してしまうという問題点があっ
た。
【0009】本発明は、上記問題点に鑑み、複数の電源
またはグラウンドの系統を持つMOS型半導体素子にお
いて、静電気など外部からの高電圧に対し従来より高い
電圧まで半導体素子を守ることのできる入力保護回路を
提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の入力保護回路は、各ソースが、それぞれ、内部回路
側の第1の電源もしくは内部回路側の第1のグラウンド
とはウェル又は基板抵抗のうちの一方もしくは他方で分
離された第2の電源もしくは第2のグラウンドに接続さ
れるとともに各ドレインが互いに接続され、該ドレイン
が直接にあるいは回路素子を介して入力端子と接続され
るとともに該ドレインが直接にあるいは回路素子を介し
て内部回路と接続されてなるPMOS型トランジスタお
よびNMOS型トランジスタを備えた入力保護回路にお
いて、上記PMOS型トランジスタおよび上記NMOS
型トランジスタの各ゲートが、それぞれ、第1の電源も
しくは第1のグラウンドに接続されてなることを特徴と
するものである。
【0011】
【作用】図8,図9に示す従来例の場合、入力保護回路
を構成するPMOS型トランジスタ31、NMOS型ト
ランジスタ32の各ゲートは、それぞれ各ソースと同一
の第2の電源vdd2、第2のグラウンドgnd2に接
続されているため、各トランジスタのゲートとソースは
確実に同一電位に保護され、したがって図11に示すよ
うな電流パルスはトランジスタのパンチスルーに頼って
流れる以外に途がなく高電圧dVが発生しゲート酸化膜
の破壊につながっていたものである。本発明は、この点
を考慮し完成されたものである。即ち、入力保護回路を
構成するPMOS型トランジスタ,NMOS型トランジ
スタの各ゲートを内部回路側の第1の電源、第1のグラ
ウンドにそれぞれ接続し、これにより通常動作時は入力
保護回路を構成するPMOS型トランジスタ,NMOS
型トランジスタの各ゲートは各ソースと同電位に保持さ
れ、したがってカットオフ状態にあって回路動作に何ら
の作用をおよぼさず、一方、高電圧パルスが入力された
場合には、ゲートがソースと分離された状態となり電流
パルスが流れやすくなり、従って内部回路の初段のトラ
ンジスタのゲートに印加される電圧の上昇が抑制され、
従来と比べゲート酸化膜の破壊が防止される。
【0012】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。図
1は、本発明の入力保護回路の一実施例の回路図であ
る。ここでは、図8に示した従来例に対応する実施例が
示されており、したがって図8に示した従来例の回路要
素と同一の回路要素には、図8に付した番号,記号と同
一の番号,記号を付して示し、相違点についてのみ説明
する。
【0013】図1に示す実施例は、図8に示す従来例と
比べ、入力保護回路を構成するPMOS型トランジスタ
31,NMOS型トランジスタ32の各ゲートが、それ
ぞれ、第1の電源vdd1、第1のグラウンドgnd
1、即ち内部回路側の電源,グラウンドと接続されてい
る点が異なっている。通常の回路動作時においては第1
の電源vdd1と第2の電源vdd2、第1のグラウン
ドgnd1と第2のグラウンドgnd2はそれぞれほぼ
同電位に保たれており、したがって入力保護回路を構成
するPMOS型トランジスタ31,NMOS型トランジ
スタ32はいずれもカットオフ状態にあり、回路動作に
は作用を及ぼさない。
【0014】図2は、図1に示す回路において、入力に
高電圧が印加された場合の電流経路を示した図、図3
は、入力に高電圧が印加された場合の回路動作説明図で
ある。図3に示すように、第1のグラウンドgnd1と
第2のグラウンドgnd2は寄生的な抵抗61,寄生的
なインダクタンス62,及び基板抵抗Rsub 63を経由
して接続されているため、NMOS型トランジスタ32
のゲートとソースはある程度分離された状態にある。ま
たゲートとドレインとの間にはカップリング容量が存在
する。
【0015】そこで、図2に示す入力端子に高電圧パル
スが印加されることにより、NMOS型トランジスタ3
2のドレインに、例えば図3に示すような高電圧パルス
es d が印加されると、ゲートとドレインとの間のカッ
プリング容量によりゲート電位がソース電位に対し一時
的に上昇して電位Vcoupleとなり、これによりこのNM
OS型トランジスタ32が軽い導通状態となる。
【0016】このNMOS型トランジスタ32が導通状
態になって抵抗が下がると、引込電流による電位上昇を
抑えることができ、従来より高い電圧まで次段のゲート
酸化膜を守る効果が得られる。従来方式の場合、前述し
たようにソースとゲートが同一系統の電源及びグラウン
ドに接続されていたため、高電圧印加時にも入力保護回
路を構成するPMOS型トランジスタ31およびNMO
S型トランジスタ32は強いオフ状態を維持してしまう
こととなる。そのため、引込電流による電位上昇が過大
になり比較的低い電圧で酸化膜が破壊される。
【0017】図4は、図1に示す回路構成を採用したM
OSデバイスと図8に示す従来の回路構成を採用したM
OSデバイスについて、図10における容量の容量値と
して200pF、抵抗素子の抵抗値として0Ωを採用し
たマシンモデルについて試験を行った結果を示したグラ
フである。基準ピンはグラウンドピンである。横軸は印
加した電圧、縦軸はその印加電圧で破壊が生じたサンプ
ルの数を示している。
【0018】このグラフに示すように、本発明を採用し
た回路構成の場合、従来と比べ電圧が約50ボルト上昇
している。尚、ここではグラウンドピンを基準ピンとし
て接地した場合の例を示したが、電源ピンを基準ピンと
した場合、図1に示すPMOS型トランジスタ31が上
記のNMOS型トランジスタ32と同様の作用をなし、
この場合も同様に耐圧が上昇する。
【0019】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の入力保護
回路は、電源系、グラウンド系が分離されている場合
に、入力保護回路を構成するPMOS型トランジスタ、
NMOS型トランジスタの各ゲートを、それぞれ内部回
路側の電源、グラウンドに接続したため、静電気等の高
電圧が印加されるとソースに対するゲートの電位が変化
して導通状態なって抵抗が下がり、引込電流による電位
上昇が押えられ、したがって従来より高い電圧まで半導
体素子を破壊から守ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の入力保護回路の一実施例の回路図であ
る。
【図2】図1に示す回路において、入力に高電圧が印加
された場合の電流経路を示した図である。
【図3】図1に示す回路において、入力に高電圧が印加
された場合の回路動作説明図である。
【図4】マシンモデルについて試験を行った結果を示し
たグラフである。
【図5】グラウンド系が1系統の場合の回路の挙動を示
した図である。
【図6】CMOS半導体素子の断面構造の一例を示した
図である。
【図7】図6に示す断面構造を備えたCMOS半導体素
子の電源系、グラウンド系の等価回路図である。
【図8】電源、グラウンド系が分離された場合の入力保
護回路の例である。
【図9】電源、グラウンド系が分離された場合の入力保
護回路の例である。
【図10】入力保護回路の試験法を示した図である。
【図11】図10に示す試験法を図8に示す従来の入力
保護回路に適用した場合の回路の挙動を示した図であ
る。
【符号の説明】
30 トランジスタ群 31 PMOS型トランジスタ 32 NMOS型トランジスタ 40 抵抗 50 内部回路初段のトランジスタ群

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 各ソースが、それぞれ、内部回路側の第
    1の電源もしくは内部回路側の第1のグラウンドとはウ
    ェル又は基板抵抗のうちの一方もしくは他方で分離され
    た第2の電源もしくは第2のグラウンドに接続されると
    ともに各ドレインが互いに接続され、該ドレインが直接
    にあるいは回路素子を介して入力端子と接続されるとと
    もに該ドレインが直接にあるいは回路素子を介して内部
    回路と接続されてなるPMOS型トランジスタおよびN
    MOS型トランジスタを備えた入力保護回路において、 前記PMOS型トランジスタおよび前記NMOS型トラ
    ンジスタの各ゲートが、それぞれ、前記第1の電源もし
    くは前記第1のグラウンドに接続されてなることを特徴
    とする入力保護回路。
JP23004692A 1992-08-28 1992-08-28 入力保護回路 Pending JPH0677416A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6515337B1 (en) * 1999-02-18 2003-02-04 Oki Electric Industry Co., Ltd. Input protection circuit connected to projection circuit power source potential line
JP2020046225A (ja) * 2018-09-14 2020-03-26 横河電機株式会社 電流入力回路及び電力測定器

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6515337B1 (en) * 1999-02-18 2003-02-04 Oki Electric Industry Co., Ltd. Input protection circuit connected to projection circuit power source potential line
US7061052B2 (en) 1999-02-18 2006-06-13 Oki Electric Industry Co., Ltd. Input protection circuit connected to protection circuit power source potential line
JP2020046225A (ja) * 2018-09-14 2020-03-26 横河電機株式会社 電流入力回路及び電力測定器

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Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19991102