JPH067785Y2 - 流体フイルタの▲ろ▼過素子 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この考案は各種の薬液や溶剤などの液体またはガス体を
処理するための流体フィルタの過素子に関する。

（従来の技術） 例えば電子機器部品（ＩＣやＬＳＩなどの半導体基板）
の生産や種々の医薬品の生産に用いられる薬液や溶剤ま
たはガス体を処理するためのフィルタとして、容器の内
径に制限を受けることなく大きな過面積を確保できる
ようにしたものが特開昭６０−２２９０４号によって提
案されている。

その概略を示せば第５図ないし第７図のとおりであり、
第５図イのように弗素系樹脂製の多孔質の薄膜１の両面
または内側となる片面に、弗素系の樹脂やポリプロピレ
ンなどの樹脂を溶融押出し成形した網体２（同図ロ）ま
たは平織りした網体２′（同図ハ）を重ね、その中央に
取付け用の孔を明けて材となし、その二つの材を第
６図のように同じ樹脂で中央の筒状ボス部３ａと横つば
３ｂからなる間隔子３の上下に配設し、各材の孔部周
縁を横つば３ｂの上下面に融着すると同時に外周縁相互
を融着して柔軟な単一の過素子ｅを形成し（この場
合、上下の薄膜の内側になる網体は流路形成の機能を持
つ一方、外側の網体は膜保護のためのものであって、こ
れはないときもある）、その後、第７図イのように間隔
子３をセンターパイプ４に嵌挿して単一の過素子ｅを
数段積み重ね、センターパイプ４の上端を同図ロのよう
にカバー６の出口パイプ６ａに螺着すると共に間隔子３
同志を結合し、その状態で各過素子ｅを上方に曲げな
がら細長な容器５に収容するようにしている。

そして、使用時には、下側入口パイプから処理流体が容
器５中に取入れられ、各素子ｅの上下の薄膜１を透過し
て内部に入り、流路形成用の網体２に沿って中心部に流
れ、間隔子３の通孔を経てセンターパイプ４内に出るよ
うになされている。

（考案が解決しようとする問題点） ところで、上記フィルタの過素子ｅにおける流路形成
用の網体すなわち上下二つの薄膜１の内側に配置される
網体２は、第５図ハのように縦材２ａ′と横材２ｂ′が
交互に上下する平織りの網体２′よりは、第５図ロのよ
うに縦材２ａに対しこれに直交する横材２ｂがすべて同
じ側に位置するようにした押出し成形の網体２の方が流
体の流動抵抗が小さいところ広く用いられているが、
過素子ｅの作製に当たり、二つの薄膜の内側に重ねて配
置される上下の網体２の縦材２ａと横材２ｂが第８図イ
にように重なるように配置されれば問題はないが、その
配置に当たって何も基準がないため、下の網体に対し上
の網体に対し９０度ずれた状態に配置されることがあ
り、このように配置されると、使用時にセンターパイプ
４を介して過素子ｅにポンプの吸入負圧が作用した
際、同図ロのように上の網体の横材２ｂが下の網体の縦
材２ａの間に入り込んでしまい、流体の流路面積が小さ
くなると同時に流動抵抗が大きくなって過機能を著し
く低下させてしまう。

そこで、この考案は上下の薄膜内に配置される二つの網
体の向きがずれたにしても、一定の流路面積を確保して
過機能を低下させないようにした過素子を提供する
ものである。

（問題点を解決するための手段） 上記目的のもとにこの考案は、合成樹脂からなり、多孔
質の薄膜の両面または片面に縦材と横材からなる押出し
成形の網体を添設した材を、筒状ボス部と通孔を有す
る横つばからなる間隔子の上下に網体を内側にして配設
し、各材の中央孔の周縁を間隔子の横つばの上下面に
融着すると共に外周縁相互を融着する流体フィルタの
過素子として、少なくとも上下の薄膜の内側に位置する
二つの網体の横材を縦材に対し、鋭角の角度で斜交させ
たことを特徴としている。

（実施例） 第１図ないし第４図はこの考案の実施例を示すものであ
り、第１図イ、ロにおいて１１は所要大きさで中央に取
付け用の孔１１ａを備えた弗素系の樹脂（例えば、四弗
化エチレン）からなる上下一対の多孔質の薄膜でその対
向内面および外側面には中央に同じ大きさの取付け用の
孔１２ｃを有する流路形成用または膜保護用の次のよう
な網体１２がそれぞれ添設されている。

網体１２は弗素系の樹脂またはポリエチレンなどの樹脂
から溶融押出し成形されたもので、第１図ロのように縦
材１２ａに対し、横材１２ｂは鋭角の角度（図では３０
度）で斜交してすべてが同じ側に配置され、各交差部は
一体に結合されている。

そして、図示の例では、各網体２は原反ロールからの切
出し時における前後方向の一辺を揃えるようにして添設
されている。

すなわち、第２図のように原反ロール１２Ｒから上記の
ような網材を繰出し、中央の孔明け加工を行うと同時に
一定大きさの網体１２を切出す際に、前後方向（進行方
向）の一辺に適宜のマークｍを施しておき、その切出し
た網体１２を上下の薄膜１１の内外に重ねるに当たり、
マークｍを合せるようにしてある。

この場合、一致させるのは前後方向でなく幅方向の一辺
でもよい。

このようにして、上下の薄膜１１の両面にそれぞれ網体
１２を重ね合せた各材を、中央孔１１ａ，１２ｃを介
して第３図イのように筒状ボス部１３ａと通孔を備えた
横つば１３ｂからなる同材質の間隔子１３の筒状ボス部
１３ａの上下端に嵌め込み、各材の孔部周縁をそれぞ
れ間隔子１３の横つば１３ｂの上下の面に融着すると同
時にそれらの外周縁同志を融着して同図ロのように単一
の過素子ｅを形成する。

そして、この単一の過素子ｅは容器の内径が左程大き
くない場合には、前記のように間隔子１３をセンターパ
イプに嵌挿し、そのセンターパイプを介して上方に湾曲
して使用されるが容器の内径が大きな場合には、センタ
ーパイプを用いることなく、間隔子１３同志を重ねて結
合すると共に最上段の間隔子１３を直接、カバーの出口
パイプに結合し、水平に積層された状態で使用される。

そこで、使用時に、各過素子ｅにポンプによる吸入負
圧が作用し、上下の材特に上下の薄膜の内側にある網
体２が接近したにしても、各網体１２は切出し時におけ
る前後方向または、幅方向の一辺が一致させられている
ので、第３図のようにそれぞれの縦材１２ａまたは斜め
の横材１２ｂ同志が上下に整列する状態になり、下の網
体の横材１２ｂの間に上の網体の縦材１２ａまたは横材
１２ｂが入り込むことがなく、上下の薄膜１１の間に一
定広さの流路面積が確保される。

上述の例では、上下の網体１２の縦材１２ａおよび横材
１２ｂ同志を整列させて膜１１内に一定の流体通路を形
成するようにした典型について説明したが、縦材１２ａ
に対し横材１２ｂを鋭角に斜交させた網体１２では、一
定の流体通路を確保するに当たり、上下の網体１２の縦
材１２ａおよび横材１２ｂ同志を必ずしも整列させる必
要はない。

何となれば、第４図イのような配置の下の網体１２に対
し、上の網体１２を９０度ずらせて配置したとすれば同
図ロの斜線のようになり、また、裏返しの状態に配置し
たとすれば同図ハの点線のようになり、いずれにしても
下の網体１２の横材１２ｂに対し、上の網体１２の縦材
１２ａは鋭角に斜交しかつ横材１２ｂは反対方向に傾く
ので、これらが下の網体１２の横材１２ｂの間に入り込
むことはない。

また、上述の例では薄膜１１と網体１２として角形のも
のを示したが、これらは円形としてもよく、更に、薄膜
１１の内外に網体１２を添設したものを示したが、外側
のものはなくてもよい。

（考案の効果） 以上のようにこの考案では、多孔質の薄膜の両面または
片面に縦材と横材からなる押出し成形した網体を添設し
た材を間隔子の上下に網体を内側にして配設し、各
材の中央孔の周縁を間隔子の横つばの上下面に融着する
と共に外周縁相互を融着する合成樹脂製柔軟な過素子
として、少くとも上下の薄膜の内側に位置する二つの網
体の横材を縦材に対し、鋭角の角度で斜交させたので、
使用時に上下の薄膜の内側に位置する一方の網体の横材
の間に他方の網体の縦材または横材が入り込むことがな
く、薄膜の間に常に一定の流路面積を確保することがで
き、処理流体を円滑に流すことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図イはこの考案に係る上下一対の材を分離した状
態の斜視図。 同 図ロは網体の一部の斜視図。 第２図は網体の切出し状態の斜視図。 第３図イは材を間隔子の上下に配設した状態の片半部
の断面図。 同 図ロはこの考案の過素子の片半部の断面図。 第４図イ、ロ、ハは網体の配置状態の説明図。 第５図イは従来の材の斜視図。 同 図ロは従来の押出し成形網体の一部の斜視図。 同 図ハは平織り網体の一部の斜視図。 第６図は従来の過素子の断面図。 第７図イはその積層状態の正面図。 同 図ロは流体フィルタの断面図。 第８図イ、ロはそれぞれ上下の網体の重なり状態を示す
説明図。 図中、 １，１１…薄膜、1a,11a…中央孔 ２，１２…網体、2a,12a…縦材 2b,12b…横材、2c,12c…中央孔 ３，１３…間隔子、3a,13a…筒状ボス部 3b,13b…横つば

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】合成樹脂からなり、多孔質の薄膜１１の両
   面または片面に縦材１２ａと横材１２ｂからなる網体１
   ２を添設した材を、筒状ボス部１３ａと通孔を有する
   横つば１３ｂからなる間隔子１３の上下に網体を内側に
   して配設し、各材の中央孔の周縁を間隔子１３の横つ
   ば１３ｂの上下面に融着すると共に外周縁相互を融する
   過素子において、少なくとも上下の薄膜１１の内側に
   位置する二つの網体１２の横材１２ｂを縦材１２ａに対
   し鋭角の角度で斜交させたことを特徴とする流体フィル
   タの過素子。