JPH0679245A - 超音波洗浄装置及びその洗浄方法 - Google Patents
超音波洗浄装置及びその洗浄方法Info
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- JPH0679245A JPH0679245A JP25542692A JP25542692A JPH0679245A JP H0679245 A JPH0679245 A JP H0679245A JP 25542692 A JP25542692 A JP 25542692A JP 25542692 A JP25542692 A JP 25542692A JP H0679245 A JPH0679245 A JP H0679245A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 ワークの表面へ付着した汚れの除去、剥離と
共に、付着している水滴を撥水させる超音波洗浄装置と
その洗浄方法の提供。 【構成】 ワークセット治具１と、ワーク１ａと、超音
波発生装置３と、ワークの上面に液面を形成するための
機構と、ワークの近傍の大気をバキューム吸引する吸引
口９とから成り、ワークセット治具を一定速度で水平移
動させながら、ワークの上面へ液面を介して超音波を付
与させて洗浄及び剥離すると同時に吸引口へバキューム
吸引させ、次いで、ワークの上面に付着する水滴を撥水
させるものであり、超音波発生装置よる高速洗浄と剥
離、又、一定速度でワークを移動させることによってむ
らの無い洗浄を可能とし、更に、大気中へ放出された汚
れはバキューム吸着され、再汚染の怖れは無く、加え
て、残留する水滴は瞬時に撥水させるものである。
共に、付着している水滴を撥水させる超音波洗浄装置と
その洗浄方法の提供。 【構成】 ワークセット治具１と、ワーク１ａと、超音
波発生装置３と、ワークの上面に液面を形成するための
機構と、ワークの近傍の大気をバキューム吸引する吸引
口９とから成り、ワークセット治具を一定速度で水平移
動させながら、ワークの上面へ液面を介して超音波を付
与させて洗浄及び剥離すると同時に吸引口へバキューム
吸引させ、次いで、ワークの上面に付着する水滴を撥水
させるものであり、超音波発生装置よる高速洗浄と剥
離、又、一定速度でワークを移動させることによってむ
らの無い洗浄を可能とし、更に、大気中へ放出された汚
れはバキューム吸着され、再汚染の怖れは無く、加え
て、残留する水滴は瞬時に撥水させるものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハ、プリン
ト基板、リードフレーム、硝子、フィルム、金属、宝石
等の生産工程等において、これ等のワークの表面へ付着
したレジスト、研磨剤等の汚れの除去、及び、不要部分
の剥離をすると共に、その後に付着している水滴を撥水
させる超音波洗浄装置とその洗浄方法に関するものであ
る。
ト基板、リードフレーム、硝子、フィルム、金属、宝石
等の生産工程等において、これ等のワークの表面へ付着
したレジスト、研磨剤等の汚れの除去、及び、不要部分
の剥離をすると共に、その後に付着している水滴を撥水
させる超音波洗浄装置とその洗浄方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来技術とその問題点】従来の超音波洗浄装置での、
ワークの表面への生産工程で付着する汚れの除去は、液
体を貯溜させた容体の底部又は側壁部に超音波発生装置
を設けて、該超音波発生装置より発生する超音波のキャ
ビテーションの力によって行なわれているが、超音波の
発生が液体中で行なわれるため、洗浄終、液体中から引
き上げる場合に再汚染を引き起こすことが屡々有り高度
な洗浄を求められるワークには不具合であり、又、超音
波振動の付与に一様性が無く洗浄にむらを起こしてお
り、加えて、乾燥工程においてもヒーターによる熱風、
温風、或いは、有機溶剤の蒸発によって主に行なわれて
おり、乾燥工程で時間がかかる上、乾燥装置の小型化が
困難であり、加えて、環境汚染等の規制も有り諸問題点
を有するものであった。
ワークの表面への生産工程で付着する汚れの除去は、液
体を貯溜させた容体の底部又は側壁部に超音波発生装置
を設けて、該超音波発生装置より発生する超音波のキャ
ビテーションの力によって行なわれているが、超音波の
発生が液体中で行なわれるため、洗浄終、液体中から引
き上げる場合に再汚染を引き起こすことが屡々有り高度
な洗浄を求められるワークには不具合であり、又、超音
波振動の付与に一様性が無く洗浄にむらを起こしてお
り、加えて、乾燥工程においてもヒーターによる熱風、
温風、或いは、有機溶剤の蒸発によって主に行なわれて
おり、乾燥工程で時間がかかる上、乾燥装置の小型化が
困難であり、加えて、環境汚染等の規制も有り諸問題点
を有するものであった。
【０００３】
【発明の目的】本発明は上記の事由に着目し鋭意研鑚の
結果、前述の諸問題点を解消するもので、超音波発生装
置の先端へホーンを設け、該ホーンを介して超音波を大
気中より液体の表面及び液体中に付与するために高エネ
ルギーが発生しワークに付着した汚れ及び不要部分が高
速で除去されるものであり、又、除去された汚れ及び不
要部分はバキューム吸引によって吸引口から除去される
ために再汚染の発生は皆無となり、更には、ワークを一
定スピードで水平移動させるために洗浄等のむらを無く
すると共に長尺物の洗浄等を可能とし、残留する水滴は
超音波を直接付与するために瞬間的に撥水させるため乾
燥装置も排除して小型化を図ることを目的とするもので
ある。
結果、前述の諸問題点を解消するもので、超音波発生装
置の先端へホーンを設け、該ホーンを介して超音波を大
気中より液体の表面及び液体中に付与するために高エネ
ルギーが発生しワークに付着した汚れ及び不要部分が高
速で除去されるものであり、又、除去された汚れ及び不
要部分はバキューム吸引によって吸引口から除去される
ために再汚染の発生は皆無となり、更には、ワークを一
定スピードで水平移動させるために洗浄等のむらを無く
すると共に長尺物の洗浄等を可能とし、残留する水滴は
超音波を直接付与するために瞬間的に撥水させるため乾
燥装置も排除して小型化を図ることを目的とするもので
ある。
【０００４】
【発明の構成】本発明の請求項１の構成は、ワークセッ
ト治具と、ワークと、ホーンを先端に設け且つ昇降自在
に配設した超音波発生装置と、ワークの上面に液面を形
成するために液体を貯溜させたストーレッジタンクと、
ストーレッジタンクを水平方向に回動させる移動機構
と、回収タンクと、回収タンクとストーレッジタンクと
を連絡する循環系と、ワークの近傍の大気をバキューム
吸引する吸引口とを具備した構成であり、請求項２の構
成は、ワークセット治具と、ワークと、ホーンを先端に
設け且つ昇降自在に配設した超音波発生装置と、ワーク
の上面に液面を形成するために液体を放出する液体放出
部と、ワークセット治具を水平方向に摺動させる移動機
構と、ワークの近傍の大気をバキューム吸引する吸引口
とを具備した構成である。
ト治具と、ワークと、ホーンを先端に設け且つ昇降自在
に配設した超音波発生装置と、ワークの上面に液面を形
成するために液体を貯溜させたストーレッジタンクと、
ストーレッジタンクを水平方向に回動させる移動機構
と、回収タンクと、回収タンクとストーレッジタンクと
を連絡する循環系と、ワークの近傍の大気をバキューム
吸引する吸引口とを具備した構成であり、請求項２の構
成は、ワークセット治具と、ワークと、ホーンを先端に
設け且つ昇降自在に配設した超音波発生装置と、ワーク
の上面に液面を形成するために液体を放出する液体放出
部と、ワークセット治具を水平方向に摺動させる移動機
構と、ワークの近傍の大気をバキューム吸引する吸引口
とを具備した構成である。
【０００５】
【発明の作用】そして、本発明の作用は、ワークセット
治具を一定速度で水平移動させながら、ワークへ超音波
発生装置で発生させた超音波振動をホーンの先端からワ
ークの上面へ液面を介して付与させて洗浄及び剥離する
と同時に吸引口へバキューム吸引させ、次いで、ワーク
を液面から露出又は液体の放出を止めてワークの上面に
付着する水滴を撥水させるものである。
治具を一定速度で水平移動させながら、ワークへ超音波
発生装置で発生させた超音波振動をホーンの先端からワ
ークの上面へ液面を介して付与させて洗浄及び剥離する
と同時に吸引口へバキューム吸引させ、次いで、ワーク
を液面から露出又は液体の放出を止めてワークの上面に
付着する水滴を撥水させるものである。
【０００６】
【発明の実施例】斯る目的を達成した本発明の超音波洗
浄装置及びその洗浄方法を実施例の図面によって説明す
る。
浄装置及びその洗浄方法を実施例の図面によって説明す
る。
【０００７】図１は本発明の第１実施例の超音波洗浄装
置を説明するための概要説明図であり、図２は次実施例
の正面概要説明図であり、図３はその側面概要説明図で
ある。
置を説明するための概要説明図であり、図２は次実施例
の正面概要説明図であり、図３はその側面概要説明図で
ある。
【０００８】本発明は、半導体ウエハ、プリント基板、
リードフレーム、硝子、フィルム、金属、宝石等の生産
工程等において、これ等のワークの表面へ付着したレジ
スト、研磨剤等の汚れの除去、及び、不要部分の剥離を
すると共に、その後に付着する水滴を撥水させる超音波
洗浄装置とその洗浄方法に関するものであり、請求項１
の発明は、ワークセット治具１と、該ワークセット治具
１にセットされたワーク１ａと、該ワーク１ａの上方へ
ホーン２を先端に設け且つ昇降自在に配設したスラスト
方向へ一定波長の超音波振動を与える超音波発生装置３
と、前記ワークセット治具１を水没させ前記ワーク１ａ
の上面に液面Ｗａを形成するために液体を貯溜させたス
トーレッジタンク５と、該ストーレッジタンク５を水平
方向に一定速度で回動させる移動機構６と、前記ストー
レッジタンク５の溢水を回収する回収タンク７と、該回
収タンク７とストーレッジタンク５とを連絡する循環系
８と、前記ワークＷの近傍の大気をバキューム吸引する
吸引口９とを具備したものである。
リードフレーム、硝子、フィルム、金属、宝石等の生産
工程等において、これ等のワークの表面へ付着したレジ
スト、研磨剤等の汚れの除去、及び、不要部分の剥離を
すると共に、その後に付着する水滴を撥水させる超音波
洗浄装置とその洗浄方法に関するものであり、請求項１
の発明は、ワークセット治具１と、該ワークセット治具
１にセットされたワーク１ａと、該ワーク１ａの上方へ
ホーン２を先端に設け且つ昇降自在に配設したスラスト
方向へ一定波長の超音波振動を与える超音波発生装置３
と、前記ワークセット治具１を水没させ前記ワーク１ａ
の上面に液面Ｗａを形成するために液体を貯溜させたス
トーレッジタンク５と、該ストーレッジタンク５を水平
方向に一定速度で回動させる移動機構６と、前記ストー
レッジタンク５の溢水を回収する回収タンク７と、該回
収タンク７とストーレッジタンク５とを連絡する循環系
８と、前記ワークＷの近傍の大気をバキューム吸引する
吸引口９とを具備したものである。
【０００９】そして、請求項２の発明は、ワークセット
治具１と、該ワークセット治具１にセットされたワーク
１ａと、該ワーク１ａの上方へホーン２を先端に設け且
つ昇降自在に配設したスラスト方向へ一定波長の超音波
振動を与える超音波発生装置３と、前記ワーク１ａの上
面に液面Ｗａを形成するために液体Ｗを放出する液体放
出部４と、前記ワークセット治具１を水平方向に一定速
度で摺動させる移動機構６と、前記ワークＷの近傍の大
気をバキューム吸引する吸引口９とを具備したものであ
る。
治具１と、該ワークセット治具１にセットされたワーク
１ａと、該ワーク１ａの上方へホーン２を先端に設け且
つ昇降自在に配設したスラスト方向へ一定波長の超音波
振動を与える超音波発生装置３と、前記ワーク１ａの上
面に液面Ｗａを形成するために液体Ｗを放出する液体放
出部４と、前記ワークセット治具１を水平方向に一定速
度で摺動させる移動機構６と、前記ワークＷの近傍の大
気をバキューム吸引する吸引口９とを具備したものであ
る。
【００１０】更には、請求項３の発明は、ワークセット
治具１と、該ワークセット治具１にセットされたワーク
１ａと、該ワーク１ａの上方へホーン２を先端に設け且
つ昇降自在に配設したスラスト方向へ一定波長の超音波
振動を与える超音波発生装置３と、前記ワーク１ａの上
面に液面Ｗａを形成するために液体Ｗを貯溜させたスト
ーレッジタンク５又は液体Ｗを放出する液体放出部４
と、前記ワークセット治具１を水平方向に一定速度で回
動又は摺動させる移動機構６と、前記ワーク１ａの近傍
の大気をバキューム吸引する吸引口９とを具備した超音
波洗浄装置を用いて、前記ワークセット治具１を水平移
動させながらワーク１ａへ超音波発生装置３で発生させ
た超音波振動をホーン２の先端からワーク１ａの上面へ
液面Ｗａを介して付与させて洗浄及び剥離すると同時に
吸引口９へバキューム吸引させ、次いで、ワーク１ａを
液面Ｗａから露出又は液体Ｗの放出を止めてワーク１ａ
の上面に付着する水滴を撥水させるものである。
治具１と、該ワークセット治具１にセットされたワーク
１ａと、該ワーク１ａの上方へホーン２を先端に設け且
つ昇降自在に配設したスラスト方向へ一定波長の超音波
振動を与える超音波発生装置３と、前記ワーク１ａの上
面に液面Ｗａを形成するために液体Ｗを貯溜させたスト
ーレッジタンク５又は液体Ｗを放出する液体放出部４
と、前記ワークセット治具１を水平方向に一定速度で回
動又は摺動させる移動機構６と、前記ワーク１ａの近傍
の大気をバキューム吸引する吸引口９とを具備した超音
波洗浄装置を用いて、前記ワークセット治具１を水平移
動させながらワーク１ａへ超音波発生装置３で発生させ
た超音波振動をホーン２の先端からワーク１ａの上面へ
液面Ｗａを介して付与させて洗浄及び剥離すると同時に
吸引口９へバキューム吸引させ、次いで、ワーク１ａを
液面Ｗａから露出又は液体Ｗの放出を止めてワーク１ａ
の上面に付着する水滴を撥水させるものである。
【００１１】周知の如く、本発明に用いる超音波とは、
広義には人間の感覚に感じる以上の周波数の音波のこと
であり、又、超音波を発生させる超音波発生装置３へ
は、ジルコン酸チタン酸鉛等の例えば３０乃至４０キロ
ヘルツを発生する圧電振動子、磁気歪振動子を用いたコ
ンバーターを内装することによって発生する超音波振動
を利する洗浄装置及び洗浄方法である。
広義には人間の感覚に感じる以上の周波数の音波のこと
であり、又、超音波を発生させる超音波発生装置３へ
は、ジルコン酸チタン酸鉛等の例えば３０乃至４０キロ
ヘルツを発生する圧電振動子、磁気歪振動子を用いたコ
ンバーターを内装することによって発生する超音波振動
を利する洗浄装置及び洗浄方法である。
【００１２】即ち、本発明の第１実施例の超音波洗浄装
置は図１に図示の如く、電源部Ａと超音波発生装置３を
ケーブルＢで電気的に接続し、該超音波発生装置３へ内
装したコンバーターによってスラスト方向へ一定波形の
超音波を発生させ、超音波発生装置３の下方へ接続した
ホーン２によって伝達させるものであるが、超音波振動
のノーダルポイントの調整、及び、ワーク１ａとの距
離、ワーク１ａのサイズ等によって上下位置を調整する
ために昇降自在に調整可能としているものであり、図示
しない螺棒等によって担持されているものである。
置は図１に図示の如く、電源部Ａと超音波発生装置３を
ケーブルＢで電気的に接続し、該超音波発生装置３へ内
装したコンバーターによってスラスト方向へ一定波形の
超音波を発生させ、超音波発生装置３の下方へ接続した
ホーン２によって伝達させるものであるが、超音波振動
のノーダルポイントの調整、及び、ワーク１ａとの距
離、ワーク１ａのサイズ等によって上下位置を調整する
ために昇降自在に調整可能としているものであり、図示
しない螺棒等によって担持されているものである。
【００１３】次いで、被洗浄物となるワーク１ａはワー
クセット治具１の上面へ適宜な手段によって載置セット
されるものであり、ワークセット治具１ａの下面はスト
ーレッジタンク５の底面へ固定されているものであり、
ストーレッジタンク５へはワーク１ａが略水没状態とな
るまで市水又は純粋等の液体Ｗを絶えず注水し、ストー
レッジタンク５の外周縁からは溢水をオーバーフローさ
せるものであり、つまり、セットされたワーク１ａとホ
ーン２の先端との間へ液体Ｗの液面Ｗａを介設させるも
のである。
クセット治具１の上面へ適宜な手段によって載置セット
されるものであり、ワークセット治具１ａの下面はスト
ーレッジタンク５の底面へ固定されているものであり、
ストーレッジタンク５へはワーク１ａが略水没状態とな
るまで市水又は純粋等の液体Ｗを絶えず注水し、ストー
レッジタンク５の外周縁からは溢水をオーバーフローさ
せるものであり、つまり、セットされたワーク１ａとホ
ーン２の先端との間へ液体Ｗの液面Ｗａを介設させるも
のである。
【００１４】前記ストーレッジタンク５の下方へはスト
ーレッジタンク５を水平に保持すると共に、ワーク１ａ
をワークセット治具１と共に水平方向に一定速度で移動
させるために回転可能な移動機構６を備えたもので、該
移動機構６は基台６ａへ立設させた回転軸６ｂとモータ
ー６ｃとをギア、ベルト等によって機械的に接続したも
のである。
ーレッジタンク５を水平に保持すると共に、ワーク１ａ
をワークセット治具１と共に水平方向に一定速度で移動
させるために回転可能な移動機構６を備えたもので、該
移動機構６は基台６ａへ立設させた回転軸６ｂとモータ
ー６ｃとをギア、ベルト等によって機械的に接続したも
のである。
【００１５】更に、前記ストーレッジタンク５の下方及
び外周を内抱するように液体Ｗの溢水を回収するために
回収タンク７を配設するものであり、該回収タンク７と
ストーレッジタンク５とへは溢水を再びストーレッジタ
ンク５へ循環させ及び給水させるための循環系８を備え
たものであり、該循環系８は接続管８ａにポンプ８ｂ及
びフィルター８ｃを介設して接続したものであり、回収
タンク７のドレンを排出するためのバルブＶも備えたも
のである。
び外周を内抱するように液体Ｗの溢水を回収するために
回収タンク７を配設するものであり、該回収タンク７と
ストーレッジタンク５とへは溢水を再びストーレッジタ
ンク５へ循環させ及び給水させるための循環系８を備え
たものであり、該循環系８は接続管８ａにポンプ８ｂ及
びフィルター８ｃを介設して接続したものであり、回収
タンク７のドレンを排出するためのバルブＶも備えたも
のである。
【００１６】前記吸引口９は図示しない真空ポンプ等と
中空管で接続されており、超音波洗浄の際超音波によっ
て、ワーク１ａに付着していた汚れ、及び、液体Ｗが噴
霧状に飛ばされるのを周辺大気と共に強力に吸引するも
のであり、つまり、一旦落された汚れは略全てがバキュ
ーム吸引されるものである。
中空管で接続されており、超音波洗浄の際超音波によっ
て、ワーク１ａに付着していた汚れ、及び、液体Ｗが噴
霧状に飛ばされるのを周辺大気と共に強力に吸引するも
のであり、つまり、一旦落された汚れは略全てがバキュ
ーム吸引されるものである。
【００１７】次いで、次実施例は図２に図示の如く、電
源部Ａと超音波発生装置３をケーブルＢで電気的に接続
し、該超音波発生装置３へ内装したコンバーター３ａに
よってスラスト方向へ一定波形の超音波を発生させ、超
音波発生装置３の下方へ接続したホーン２によって伝達
させるものであるが、超音波振動のノーダルポイントの
調整、及び、ワーク１ａとの距離、ワーク１ａのサイズ
等によって上下位置を調整するために昇降自在に調整可
能としているものであり、図示しない螺棒等によって担
持されているのは第１実施例と同様である。
源部Ａと超音波発生装置３をケーブルＢで電気的に接続
し、該超音波発生装置３へ内装したコンバーター３ａに
よってスラスト方向へ一定波形の超音波を発生させ、超
音波発生装置３の下方へ接続したホーン２によって伝達
させるものであるが、超音波振動のノーダルポイントの
調整、及び、ワーク１ａとの距離、ワーク１ａのサイズ
等によって上下位置を調整するために昇降自在に調整可
能としているものであり、図示しない螺棒等によって担
持されているのは第１実施例と同様である。
【００１８】被洗浄物となるワーク１ａはワークセット
治具１へ適宜な手段によってセットされるものであり、
前記ワークセット治具１をワーク１ａと共に水平方向に
一定速度で摺動させる移動機構６は例えばレール部材と
レール受部材等とから成るものであり、ワークセット治
具１をワーク１ａの大きさに合わせて形成することによ
って、長尺物及び大型ワークにも適応できものである。
治具１へ適宜な手段によってセットされるものであり、
前記ワークセット治具１をワーク１ａと共に水平方向に
一定速度で摺動させる移動機構６は例えばレール部材と
レール受部材等とから成るものであり、ワークセット治
具１をワーク１ａの大きさに合わせて形成することによ
って、長尺物及び大型ワークにも適応できものである。
【００１９】そして、液体放出部４はワーク１ａとホー
ン２の先端との間に例えば市水又は純水等の液体Ｗを放
出して、超音波振動の媒体となる液体層を形成してワー
ク１ａへ液面Ｗａを形成するものであり、前記吸引口９
は第１実施例と同様である。
ン２の先端との間に例えば市水又は純水等の液体Ｗを放
出して、超音波振動の媒体となる液体層を形成してワー
ク１ａへ液面Ｗａを形成するものであり、前記吸引口９
は第１実施例と同様である。
【００２０】本発明の超音波洗浄装置の洗浄方法は、ワ
ーク１ａをワークセット治具１と共に移動機構６によっ
て一定速度で回転又は摺動させることによって水平移動
させながら、該ワーク１ａの上面へ超音波発生装置３で
発生させた超音波振動をホーン２の先端から付与するも
のであり、この時、第１実施例では液体Ｗの液面Ｗａが
介設されており、超音波発生装置３のホーン２を液面Ｗ
ａへ密着させて超音波振動を付与すると空気は液中へ注
入されそれと同じ体積の液体Ｗが噴霧状と成り大気中に
追い出されるものであり、その際、高エネルギーが発生
しワーク１ａへ付着した汚れが高速で除去されるもので
ある。
ーク１ａをワークセット治具１と共に移動機構６によっ
て一定速度で回転又は摺動させることによって水平移動
させながら、該ワーク１ａの上面へ超音波発生装置３で
発生させた超音波振動をホーン２の先端から付与するも
のであり、この時、第１実施例では液体Ｗの液面Ｗａが
介設されており、超音波発生装置３のホーン２を液面Ｗ
ａへ密着させて超音波振動を付与すると空気は液中へ注
入されそれと同じ体積の液体Ｗが噴霧状と成り大気中に
追い出されるものであり、その際、高エネルギーが発生
しワーク１ａへ付着した汚れが高速で除去されるもので
ある。
【００２１】本発明ではバキューム吸引させる吸引口９
を備えており、該吸引口９へは大気中に放出された汚
れ、噴霧状の液体、周辺大気等が吸引されるものであ
る。
を備えており、該吸引口９へは大気中に放出された汚
れ、噴霧状の液体、周辺大気等が吸引されるものであ
る。
【００２２】そして、ワーク１ａの上面を液面Ｗａから
露出させ、超音波を付与することによって、付着する水
滴は瞬間的に霧状となり撥水しワーク１ａより離れるも
のである。
露出させ、超音波を付与することによって、付着する水
滴は瞬間的に霧状となり撥水しワーク１ａより離れるも
のである。
【００２３】更に、次実施例では、液体Ｗを放出させて
液体層を形成して洗浄するものであり、液体Ｗの放出を
停止させると、残留する水滴は一瞬のうちに撥水するも
のであり、効果、作用ともに第１実施例と同様なもので
ある。
液体層を形成して洗浄するものであり、液体Ｗの放出を
停止させると、残留する水滴は一瞬のうちに撥水するも
のであり、効果、作用ともに第１実施例と同様なもので
ある。
【００２４】又、ワーク１ａの製造工程で不要部分が除
去できないワーク１ａについては、洗浄と同様な手段に
よって脆弱部から剥離が可能となるものであり、加え
て、ワーク１ａを一定速度で移動させるため従来の超音
波洗浄装置の概念を越えた長尺物及び大型ワークの洗
浄、剥離も可能とするものである。
去できないワーク１ａについては、洗浄と同様な手段に
よって脆弱部から剥離が可能となるものであり、加え
て、ワーク１ａを一定速度で移動させるため従来の超音
波洗浄装置の概念を越えた長尺物及び大型ワークの洗
浄、剥離も可能とするものである。
【００２５】
【発明の効果】前述の如く、本発明は従来型の問題点を
解消したものであって、超音波発生装置よって発生した
超音波振動をホーンを介して液面に付与することで高速
洗浄できると共に、一定速度でワークを移動させること
によってむらの無い洗浄を可能とし、更に、大気中へ放
出された液体、汚れはバキューム吸着され、再汚染の怖
れは無く、加えて、残留する水滴に関しては超音波振動
で瞬時に撥水させるため乾燥装置の必要もの無く小型化
が図れるものであり、本発明は極めて貢献性の高い著明
な効果を奏するものである。
解消したものであって、超音波発生装置よって発生した
超音波振動をホーンを介して液面に付与することで高速
洗浄できると共に、一定速度でワークを移動させること
によってむらの無い洗浄を可能とし、更に、大気中へ放
出された液体、汚れはバキューム吸着され、再汚染の怖
れは無く、加えて、残留する水滴に関しては超音波振動
で瞬時に撥水させるため乾燥装置の必要もの無く小型化
が図れるものであり、本発明は極めて貢献性の高い著明
な効果を奏するものである。
【図１】図１は本発明の第１実施例超音波洗浄装置を説
明するための概要説明図である。
明するための概要説明図である。
【図２】図２は次実施例の正面概要説明図である。
【図３】図３はその側面概要説明図である。
１ ワークセット治具 １ａ ワーク ２ ホーン ３ 超音波発生装置 ４ 放出部 ５ ストーレッジタンク ６ 移動機構 ６ａ 基台 ６ｂ 回転軸 ６ｃ モーター ７ 回収タンク ８ 循環系 ８ａ 接続管 ８ｂ ポンプ ８ｃ フィルター ９ 吸引口 Ｗ 液体 Ｗａ 液面
Claims (3)
- 【請求項１】ワークセット治具と、該ワークセット治具
にセットされたワークと、該ワークの上方へホーンを先
端に設け且つ昇降自在に配設したスラスト方向へ一定波
長の超音波振動を与える超音波発生装置と、前記ワーク
セット治具を水没させ前記ワークの上面に液面を形成す
るために液体を貯溜させたストーレッジタンクと、該ス
トーレッジタンクを水平方向に一定速度で回動させる移
動機構と、前記ストーレッジタンクの溢水を回収する回
収タンクと、該回収タンクとストーレッジタンクとを連
絡する循環系と、前記ワークの近傍の大気をバキューム
吸引する吸引口とを具備したことを特徴とする超音波洗
浄装置。 - 【請求項２】ワークセット治具と、該ワークセット治具
にセットされたワークと、該ワークの上方へホーンを先
端に設け且つ昇降自在に配設したスラスト方向へ一定波
長の超音波振動を与える超音波発生装置と、前記ワーク
の上面に液面を形成するために液体を放出する液体放出
部と、前記ワークセット治具を水平方向に一定速度で摺
動させる移動機構と、前記ワークの近傍の大気をバキュ
ーム吸引する吸引口とを具備したことを特徴と超音波洗
浄装置。 - 【請求項３】ワークセット治具と、該ワークセット治具
にセットされたワークと、該ワークの上方へホーンを先
端に設け且つ昇降自在に配設したスラスト方向へ一定波
長の超音波振動を与える超音波発生装置と、前記ワーク
の上面に液面を形成するために液体を貯溜させたストー
レッジタンク又は液体を放出する液体放出部と、前記ワ
ークセット治具を水平方向に一定速度で回動又は摺動さ
せる移動機構と、前記ワークの近傍の大気をバキューム
吸引する吸引口とを具備した超音波洗浄装置を用いて、
前記ワークセット治具を一定速度で水平移動させながら
ワークへ超音波発生装置で発生させた超音波振動をホー
ンの先端からワークの上面へ液面を介して付与させて洗
浄すると同時に吸引口へバキューム吸引させ、次いで、
ワークを液面から露出又は液体の放出を止めてワークの
上面に付着する水滴を撥水させることを特徴とする超音
波洗浄装置の洗浄方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25542692A JPH0679245A (ja) | 1992-09-01 | 1992-09-01 | 超音波洗浄装置及びその洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25542692A JPH0679245A (ja) | 1992-09-01 | 1992-09-01 | 超音波洗浄装置及びその洗浄方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0679245A true JPH0679245A (ja) | 1994-03-22 |
Family
ID=17278605
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25542692A Pending JPH0679245A (ja) | 1992-09-01 | 1992-09-01 | 超音波洗浄装置及びその洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0679245A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100432876C (zh) * | 2003-08-28 | 2008-11-12 | 三菱电机株式会社 | 检查装置及编程工具 |
| KR20160009340A (ko) * | 2014-07-16 | 2016-01-26 | 주식회사 현대케피코 | 연속가변밸브 제어시스템의 시험장치 |
| JP2017506157A (ja) * | 2014-02-24 | 2017-03-02 | ザ・ボーイング・カンパニーＴｈｅ Ｂｏｅｉｎｇ Ｃｏｍｐａｎｙ | 表面洗浄のためのシステム及び方法 |
| US11351579B2 (en) * | 2014-02-24 | 2022-06-07 | The Boeing Company | System and method for surface cleaning |
-
1992
- 1992-09-01 JP JP25542692A patent/JPH0679245A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100432876C (zh) * | 2003-08-28 | 2008-11-12 | 三菱电机株式会社 | 检查装置及编程工具 |
| JP2017506157A (ja) * | 2014-02-24 | 2017-03-02 | ザ・ボーイング・カンパニーＴｈｅ Ｂｏｅｉｎｇ Ｃｏｍｐａｎｙ | 表面洗浄のためのシステム及び方法 |
| US11167325B2 (en) * | 2014-02-24 | 2021-11-09 | The Boeing Company | Method for surface cleaning |
| US11351579B2 (en) * | 2014-02-24 | 2022-06-07 | The Boeing Company | System and method for surface cleaning |
| KR20160009340A (ko) * | 2014-07-16 | 2016-01-26 | 주식회사 현대케피코 | 연속가변밸브 제어시스템의 시험장치 |
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