JPH0679272A - 純水製造装置 - Google Patents
純水製造装置Info
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- JPH0679272A JPH0679272A JP4234720A JP23472092A JPH0679272A JP H0679272 A JPH0679272 A JP H0679272A JP 4234720 A JP4234720 A JP 4234720A JP 23472092 A JP23472092 A JP 23472092A JP H0679272 A JPH0679272 A JP H0679272A
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- Japan
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- water
- pure water
- membrane
- membrane separation
- separation device
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-
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02W—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
- Y02W10/00—Technologies for wastewater treatment
- Y02W10/10—Biological treatment of water, waste water, or sewage
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- Biological Treatment Of Waste Water (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 ＲＯ膜分離装置により純水を製造するにあた
り、ＲＯ膜分離装置の溶存有機物負荷を低減し、高純度
の純水を容易かつ効率的に製造する。 【構成】 用水が導入される生物処理槽２と、該生物処
理槽２の処理水が導入される逆浸透膜分離装置５とを備
える純水製造装置。逆浸透膜分離装置５は、集水管の外
周に波板形のスペーサを介して逆浸透膜を巻回したスパ
イラル型膜モジュールを備える。
り、ＲＯ膜分離装置の溶存有機物負荷を低減し、高純度
の純水を容易かつ効率的に製造する。 【構成】 用水が導入される生物処理槽２と、該生物処
理槽２の処理水が導入される逆浸透膜分離装置５とを備
える純水製造装置。逆浸透膜分離装置５は、集水管の外
周に波板形のスペーサを介して逆浸透膜を巻回したスパ
イラル型膜モジュールを備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は純水製造装置に係り、特
に、カン水や淡水或いはそれらを浄水処理した工業用水
や水道水などの用水を原水として、純度の高い純水を効
率的に製造する純水製造装置に関する。
に、カン水や淡水或いはそれらを浄水処理した工業用水
や水道水などの用水を原水として、純度の高い純水を効
率的に製造する純水製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、カン水や淡水或いはそれらを浄水
処理した工業用水や水道水などの用水を原水として、逆
浸透（ＲＯ）膜分離処理により塩や溶存有機物を除去し
て純水を製造する方法が知られており、この方法は、半
導体の製造に使用する洗浄用超純水の製造プロセスの基
本的操作として多用されている。しかして、工業的なＲ
Ｏ膜分離処理に用いる膜モジュールとしては、スパイラ
ル形や中空糸形のものが使われている。
処理した工業用水や水道水などの用水を原水として、逆
浸透（ＲＯ）膜分離処理により塩や溶存有機物を除去し
て純水を製造する方法が知られており、この方法は、半
導体の製造に使用する洗浄用超純水の製造プロセスの基
本的操作として多用されている。しかして、工業的なＲ
Ｏ膜分離処理に用いる膜モジュールとしては、スパイラ
ル形や中空糸形のものが使われている。
【０００３】ところで、これらの膜モジュールを長期
間、安定して使用するためには、膜モジュールの原水流
路を詰まらせないように、原水中の夾雑物や濁質を予め
取り除く必要がある。このため、ＲＯ膜分離装置の前処
理として、従来、凝集・沈殿（或いは加圧浮上）・濾過
処理が採用されている。
間、安定して使用するためには、膜モジュールの原水流
路を詰まらせないように、原水中の夾雑物や濁質を予め
取り除く必要がある。このため、ＲＯ膜分離装置の前処
理として、従来、凝集・沈殿（或いは加圧浮上）・濾過
処理が採用されている。
【０００４】このうち、濾過は除濁という重要な役割を
果たしており、スパイラル型や中空糸型膜モジュールの
前処理として必須のものであった。この濾過装置は、濾
過砂を充填した砂濾過が一般的であるが、この場合、濾
過砂の団塊（マッドボール）化による濾過性能の低下を
防止するために、塩素系殺菌剤の添加が実施されてい
る。
果たしており、スパイラル型や中空糸型膜モジュールの
前処理として必須のものであった。この濾過装置は、濾
過砂を充填した砂濾過が一般的であるが、この場合、濾
過砂の団塊（マッドボール）化による濾過性能の低下を
防止するために、塩素系殺菌剤の添加が実施されてい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この塩素系殺菌剤の添
加により、濾過槽での生物の成育も抑制されるが、同時
に、生物易分解性の溶存有機物の生物分解も抑制され、
結果として、後段のＲＯ膜分離装置の溶存有機物の負荷
を高めることとなっていた。
加により、濾過槽での生物の成育も抑制されるが、同時
に、生物易分解性の溶存有機物の生物分解も抑制され、
結果として、後段のＲＯ膜分離装置の溶存有機物の負荷
を高めることとなっていた。
【０００６】本発明は上記従来の問題点を解決し、カン
水や淡水或いはそれらを浄水処理した工業用水や水道水
を原水として、ＲＯ膜分離装置により純水を製造するに
あたり、ＲＯ膜分離装置の溶存有機物負荷を低減し、高
純度の純水を容易かつ効率的に製造する純水製造装置を
提供することを目的とする。
水や淡水或いはそれらを浄水処理した工業用水や水道水
を原水として、ＲＯ膜分離装置により純水を製造するに
あたり、ＲＯ膜分離装置の溶存有機物負荷を低減し、高
純度の純水を容易かつ効率的に製造する純水製造装置を
提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の純水製造装置
は、用水が導入される生物処理槽と、該生物処理槽の処
理水が導入されるＲＯ膜分離装置とを備えてなる純水製
造装置であって、該ＲＯ膜分離装置は、集水管の外周に
波板形のスペーサを介してＲＯ膜を巻回したスパイラル
型膜モジュールを備えることを特徴とする。
は、用水が導入される生物処理槽と、該生物処理槽の処
理水が導入されるＲＯ膜分離装置とを備えてなる純水製
造装置であって、該ＲＯ膜分離装置は、集水管の外周に
波板形のスペーサを介してＲＯ膜を巻回したスパイラル
型膜モジュールを備えることを特徴とする。
【０００８】本発明の純水製造装置において、生物処理
槽は、原水中の生物易分解性の溶存有機物を生物分解す
るためのものであり、固定層、流動層など担体表面に微
生物を保持するものでも良いし、また、担体を用いずに
微生物を懸濁させて処理する方式のものでも良く、これ
らを組み合わせたものであっても良い。
槽は、原水中の生物易分解性の溶存有機物を生物分解す
るためのものであり、固定層、流動層など担体表面に微
生物を保持するものでも良いし、また、担体を用いずに
微生物を懸濁させて処理する方式のものでも良く、これ
らを組み合わせたものであっても良い。
【０００９】このうち、固定層では、粒子径１ｍｍ以上
の濾材を用いるのが望ましい。また、繊維状の濾材を用
いるものでも良い。更に、濾過機能を有さず空隙率の高
い充填材を用いるものでも良い。
の濾材を用いるのが望ましい。また、繊維状の濾材を用
いるものでも良い。更に、濾過機能を有さず空隙率の高
い充填材を用いるものでも良い。
【００１０】また、流動層は、上記の濾材を懸濁、浮遊
させるために、原水供給ポンプないし、循環ポンプから
の出口配管を水槽の下部に導入し、上向流の流れを与え
るか、空気などのガスを水槽に導入して循環流を与える
ことにより形成することができる。
させるために、原水供給ポンプないし、循環ポンプから
の出口配管を水槽の下部に導入し、上向流の流れを与え
るか、空気などのガスを水槽に導入して循環流を与える
ことにより形成することができる。
【００１１】具体的には、原水中の溶存酸素量を補うた
めに、濾過塔の内部に空気導入手段を設けた高速生物濾
過塔、上向流式生物濾過塔、或いは、固定層式生物反応
槽、回転円板式生物反応槽等の固定層式生物反応槽、空
気の導入で撹拌する浮遊式生物反応槽或いは流動層式生
物反応槽等を採用することができる。
めに、濾過塔の内部に空気導入手段を設けた高速生物濾
過塔、上向流式生物濾過塔、或いは、固定層式生物反応
槽、回転円板式生物反応槽等の固定層式生物反応槽、空
気の導入で撹拌する浮遊式生物反応槽或いは流動層式生
物反応槽等を採用することができる。
【００１２】一方、ＲＯ膜分離装置としては、特開昭６
４−４７４０４、同６４−５１１０５等に開示される集
水管の外周に波板形のスペーサ（以下「波板状スペー
サ」と称する。）を介してＲＯ膜を巻回したスパイラル
型膜モジュールを備えるものが用いられる。
４−４７４０４、同６４−５１１０５等に開示される集
水管の外周に波板形のスペーサ（以下「波板状スペー
サ」と称する。）を介してＲＯ膜を巻回したスパイラル
型膜モジュールを備えるものが用いられる。
【００１３】このような波板状スペーサを有するスパイ
ラル型膜モジュールを備えるＲＯ膜分離装置であれば、
膜間流路が閉塞し難いため、生物処理槽の流出水を簡単
なスクリーン等の夾雑物除去手段を経るのみで通水する
ことができる。
ラル型膜モジュールを備えるＲＯ膜分離装置であれば、
膜間流路が閉塞し難いため、生物処理槽の流出水を簡単
なスクリーン等の夾雑物除去手段を経るのみで通水する
ことができる。
【００１４】なお、ＲＯ膜分離装置への給水系統には、
用いるＲＯ膜素材に応じて、酸化性又は還元性の滅菌剤
等の薬品注入設備を設けても良い。
用いるＲＯ膜素材に応じて、酸化性又は還元性の滅菌剤
等の薬品注入設備を設けても良い。
【００１５】また、ＲＯ膜分離装置では、一定量の濃縮
水を系外に排出させる必要があるが、本発明において
は、ＲＯ膜分離装置の濃縮水を前段の生物処理槽に返送
する循環配管を設けて処理することもできる。この場
合、生物処理槽が固定層式のものにあっては、ＲＯ膜分
離装置の濃縮水を固定層の逆洗に使用することができ、
処理系の水回収率を高めることができる。
水を系外に排出させる必要があるが、本発明において
は、ＲＯ膜分離装置の濃縮水を前段の生物処理槽に返送
する循環配管を設けて処理することもできる。この場
合、生物処理槽が固定層式のものにあっては、ＲＯ膜分
離装置の濃縮水を固定層の逆洗に使用することができ、
処理系の水回収率を高めることができる。
【００１６】
【作用】本発明の純水製造装置においては、生物処理槽
では原水中の生物易分解性の溶存有機物の生物分解が促
進され、残存した生物難分解性の溶存有機物と微生物粒
子がＲＯ膜装置で除去される。即ち、ＲＯ膜では除去し
難い低分子の溶存有機物が生物処理槽で分解されて水と
微生物に置き変えられ、その後にこの微生物と高分子の
溶存有機物をＲＯ膜分離処理することができるので、同
じ性能のＲＯ膜を用いても溶存有機物の除去効果を高め
ることができる。
では原水中の生物易分解性の溶存有機物の生物分解が促
進され、残存した生物難分解性の溶存有機物と微生物粒
子がＲＯ膜装置で除去される。即ち、ＲＯ膜では除去し
難い低分子の溶存有機物が生物処理槽で分解されて水と
微生物に置き変えられ、その後にこの微生物と高分子の
溶存有機物をＲＯ膜分離処理することができるので、同
じ性能のＲＯ膜を用いても溶存有機物の除去効果を高め
ることができる。
【００１７】特に、本発明の純水製造装置においては、
ＲＯ膜分離装置として、波板状スペーサを有するスパイ
ラル型膜モジュールを用いるため、生物処理槽からの流
出水を濾過器などの除濁設備なしに簡単なスクリーン等
の夾雑物除去手段を経て直接供給することができる。
ＲＯ膜分離装置として、波板状スペーサを有するスパイ
ラル型膜モジュールを用いるため、生物処理槽からの流
出水を濾過器などの除濁設備なしに簡単なスクリーン等
の夾雑物除去手段を経て直接供給することができる。
【００１８】即ち、固定層式の生物処理槽を採用した場
合でも、生物処理槽からの流出水中には多量の微生物
（１０4 〜１０7 個／ｍＬ）が含まれており、このよう
な生物処理槽からの流出水を、通常のＲＯ膜分離装置に
通水すると、原水流路が微生物により詰まって短期間の
うちに使用に耐えられなくなる。また、薬品洗浄を実施
しても、微生物の詰まりを完全に取り去ることができ
ず、ＲＯ膜モジュールの交換を余儀なくされる。
合でも、生物処理槽からの流出水中には多量の微生物
（１０4 〜１０7 個／ｍＬ）が含まれており、このよう
な生物処理槽からの流出水を、通常のＲＯ膜分離装置に
通水すると、原水流路が微生物により詰まって短期間の
うちに使用に耐えられなくなる。また、薬品洗浄を実施
しても、微生物の詰まりを完全に取り去ることができ
ず、ＲＯ膜モジュールの交換を余儀なくされる。
【００１９】しかしながら、本発明で使用する波板状ス
ペーサを有するスパイラル型膜モジュールでは、流路の
閉塞が起こり難く、しかも、流出水中の微生物により汚
染された膜面を洗浄により容易に性能回復させることが
できる。また、通常のＲＯ膜モジュールでは採用するこ
とができないＲＯ膜の性能の回復効果を高めるための物
理洗浄を実施することもできる。なお、物理洗浄として
は、例えば、微細な繊維を懸濁させた洗浄液にて膜面の
付着物を擦り取る操作が有効である。
ペーサを有するスパイラル型膜モジュールでは、流路の
閉塞が起こり難く、しかも、流出水中の微生物により汚
染された膜面を洗浄により容易に性能回復させることが
できる。また、通常のＲＯ膜モジュールでは採用するこ
とができないＲＯ膜の性能の回復効果を高めるための物
理洗浄を実施することもできる。なお、物理洗浄として
は、例えば、微細な繊維を懸濁させた洗浄液にて膜面の
付着物を擦り取る操作が有効である。
【００２０】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００２１】図１，２は本発明の純水製造装置の一実施
例を示す系統図である。図中、１は原水槽、２は高速生
物濾過塔、３は調整槽、３Ａは貯留槽、４は凝集撹拌
槽、５はＲＯ膜分離装置、Ｐ1 ，Ｐ2 はポンプ、２Ａは
空気導入管、４Ａは撹拌機、１１〜２０は配管である。
図２に示す純水製造装置は図１に示す純水製造装置にお
いて、生物処理槽である高速生物濾過塔２とＲＯ膜分離
装置５との間に凝集処理手段としての凝集撹拌槽４を設
けた点が異なり、その他の同一機能を奏する部材には同
一符号を付してある。
例を示す系統図である。図中、１は原水槽、２は高速生
物濾過塔、３は調整槽、３Ａは貯留槽、４は凝集撹拌
槽、５はＲＯ膜分離装置、Ｐ1 ，Ｐ2 はポンプ、２Ａは
空気導入管、４Ａは撹拌機、１１〜２０は配管である。
図２に示す純水製造装置は図１に示す純水製造装置にお
いて、生物処理槽である高速生物濾過塔２とＲＯ膜分離
装置５との間に凝集処理手段としての凝集撹拌槽４を設
けた点が異なり、その他の同一機能を奏する部材には同
一符号を付してある。
【００２２】図１に示す純水製造装置においては、カン
水や淡水或いはそれらを浄水処理した工業用水や水道水
の原水は配管１１、原水槽１及びポンプＰ1 を有する配
管１２を経て高速生物濾過塔２に供給され、生物処理さ
れる。この生物処理により、原水中の生物易分解性の溶
存有機物が生物分解されて除去される。
水や淡水或いはそれらを浄水処理した工業用水や水道水
の原水は配管１１、原水槽１及びポンプＰ1 を有する配
管１２を経て高速生物濾過塔２に供給され、生物処理さ
れる。この生物処理により、原水中の生物易分解性の溶
存有機物が生物分解されて除去される。
【００２３】高速生物濾過塔２の流出水は、配管１３よ
り調整槽３に送給され、この調整槽３にて配管１４より
Ｈ2 ＳＯ4 及び配管１５よりＮａＣｌＯが添加され、殺
菌処理された後、ポンプＰ2 を有する配管１６よりＲＯ
膜分離装置５に供給されて膜分離処理される。この膜分
離処理により、高速生物濾過塔２から流出した微生物や
水中に含有される高分子の溶存有機物が分離除去された
透過水は、処理水として配管１８より系外へ排出され、
次工程に設けられたイオン交換装置等を有する一次、二
次純水系へと導かれる。
り調整槽３に送給され、この調整槽３にて配管１４より
Ｈ2 ＳＯ4 及び配管１５よりＮａＣｌＯが添加され、殺
菌処理された後、ポンプＰ2 を有する配管１６よりＲＯ
膜分離装置５に供給されて膜分離処理される。この膜分
離処理により、高速生物濾過塔２から流出した微生物や
水中に含有される高分子の溶存有機物が分離除去された
透過水は、処理水として配管１８より系外へ排出され、
次工程に設けられたイオン交換装置等を有する一次、二
次純水系へと導かれる。
【００２４】一方、濃縮水は配管１７より抜き出される
が、この濃縮水は、前述の如く、高速生物濾過塔２に返
送して、濾過層の逆洗水として使用することができる。
が、この濃縮水は、前述の如く、高速生物濾過塔２に返
送して、濾過層の逆洗水として使用することができる。
【００２５】図２に示す純水製造装置においては、高速
生物濾過塔２の流出水を配管１３、貯留槽３Ａ、配管１
９を経て凝集撹拌槽４に導入し、配管２０より、ＰＡＣ
（ポリ塩化アルミニウム）、Ｈ2 ＳＯ4 及びＮａＣｌＯ
を添加して、殺菌及び凝集処理した後ポンプＰ2 を有す
る配管１６よりＲＯ膜分離装置５に供給して膜分離処理
する。このように、膜分離処理に先立ち、凝集処理を行
なうことにより、膜分離効率をより一層高めることがで
きる。
生物濾過塔２の流出水を配管１３、貯留槽３Ａ、配管１
９を経て凝集撹拌槽４に導入し、配管２０より、ＰＡＣ
（ポリ塩化アルミニウム）、Ｈ2 ＳＯ4 及びＮａＣｌＯ
を添加して、殺菌及び凝集処理した後ポンプＰ2 を有す
る配管１６よりＲＯ膜分離装置５に供給して膜分離処理
する。このように、膜分離処理に先立ち、凝集処理を行
なうことにより、膜分離効率をより一層高めることがで
きる。
【００２６】以下に実験例を挙げて、本発明をより具体
的に説明する。
的に説明する。
【００２７】実験例１ 下記水質の水道水を原水として、図１に示す純水製造装
置により、純水の製造を行なった。
置により、純水の製造を行なった。
【００２８】原水水質 ｐＨ：７．８ 濁度：０．１以下 ＴＯＣ：６７０μｇ／ｌ 導電率：１７０μｓ／ｃｍ ＴＤＳ：１２０ｍｇ／ｌ なお、高速生物濾過塔及びＲＯ膜分離装置の仕様並びに
処理条件は次の通りとした。
処理条件は次の通りとした。
【００２９】高速生物濾過塔 充填材：平均径＝１．１３の珪砂（均等係数＝１．４
５） 充填高さ：２ｍＲＯ膜分離装置 直径：φ４インチのスパイラル型膜モジュール（波板状
スペーサー） 膜材質：酢酸セルロース処理条件 高速生物濾過塔通水速度：１９２ｍ／日 ＲＯの平均操作圧：１０ｋｇｆ／ｃｍ2 ＲＯの回収率：７５％ 得られた処理水（純水）の水質を表２に示す。
５） 充填高さ：２ｍＲＯ膜分離装置 直径：φ４インチのスパイラル型膜モジュール（波板状
スペーサー） 膜材質：酢酸セルロース処理条件 高速生物濾過塔通水速度：１９２ｍ／日 ＲＯの平均操作圧：１０ｋｇｆ／ｃｍ2 ＲＯの回収率：７５％ 得られた処理水（純水）の水質を表２に示す。
【００３０】実験例２ 実験例１で用いたと同様の原水を図２に示す純水製造装
置により処理して純水の製造を行なった。
置により処理して純水の製造を行なった。
【００３１】なお、高速生物濾過塔及びＲＯ膜分離装置
の仕様は実験例１と同様とし、また、凝集撹拌槽の仕様
及び処理条件は次の通りとした。
の仕様は実験例１と同様とし、また、凝集撹拌槽の仕様
及び処理条件は次の通りとした。
【００３２】凝集撹拌槽 タービン羽根付き撹拌槽（薬注設備付き）処理条件 滞留時間：５分 ポリ塩化アルミニウム添加量：１．５ｍｇ／ｌ（Ａｌ2
Ｏ3 として） 得られた処理水（純水）の水質を表２に示す。
Ｏ3 として） 得られた処理水（純水）の水質を表２に示す。
【００３３】実験例３（比較例） 実験例１で用いたと同様の原水を、二層濾過器で濾過た
後ＲＯ膜分離装置で処理した。
後ＲＯ膜分離装置で処理した。
【００３４】なお、各部の仕様及び処理条件は次の通り
とした。
とした。
【００３５】二層濾過器 充填濾材：下記表１の通り
【００３６】
【表１】
【００３７】通水速度：１４４ｍ／日ＲＯ膜分離装置 直径：φ４インチのスパイラル型膜モジュール（波板状
スペーサー） 膜材質：酢酸セルロース 得られた処理水（純水）の水質を表２に示す。
スペーサー） 膜材質：酢酸セルロース 得られた処理水（純水）の水質を表２に示す。
【００３８】
【表２】
【００３９】表２より、本発明の純水製造装置によれ
ば、高純度の純水が得られることが明らかである。
ば、高純度の純水が得られることが明らかである。
【００４０】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の純水製造装
置によれば、ＲＯ膜では除去し難い低分子の溶存有機物
が生物処理槽で分解されて水と微生物に置き変えられ、
その後、この微生物と高分子の溶存有機物をＲＯ膜分離
処理することができるので、著しく高い溶存有機物の除
去効率にて、高純度の純水を得ることが可能とされる。
置によれば、ＲＯ膜では除去し難い低分子の溶存有機物
が生物処理槽で分解されて水と微生物に置き変えられ、
その後、この微生物と高分子の溶存有機物をＲＯ膜分離
処理することができるので、著しく高い溶存有機物の除
去効率にて、高純度の純水を得ることが可能とされる。
【００４１】しかも、ＲＯ膜分離装置の流路の閉塞が起
こり難く、生物処理槽の流出水は、濾過器などの除濁設
備なしに簡単なスクリーン等の夾雑物除去手段を経て直
接ＲＯ膜分離装置に供給することができるため、装置構
成の小型化、簡易化が達成され、その上、ＲＯ膜分離装
置の洗浄も容易かつ効率的に行なうことができる。
こり難く、生物処理槽の流出水は、濾過器などの除濁設
備なしに簡単なスクリーン等の夾雑物除去手段を経て直
接ＲＯ膜分離装置に供給することができるため、装置構
成の小型化、簡易化が達成され、その上、ＲＯ膜分離装
置の洗浄も容易かつ効率的に行なうことができる。
【００４２】このようなことから、本発明の純水製造装
置によれば、カン水や淡水或いはそれらを浄水処理した
工業用水や水道水を原水として、純度の高い純水を、容
易かつ効率的に、低コストにて製造することが可能とさ
れる。
置によれば、カン水や淡水或いはそれらを浄水処理した
工業用水や水道水を原水として、純度の高い純水を、容
易かつ効率的に、低コストにて製造することが可能とさ
れる。
【図１】本発明の純水製造装置の一実施例を示す系統図
である。
である。
【図２】本発明の純水製造装置の他の実施例を示す系統
図である。
図である。
１ 原水槽 ２ 高速生物濾過塔 ３ 調整槽 ４ 凝集撹拌槽 ５ ＲＯ膜分離装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 河内 透 東京都新宿区西新宿３丁目４番７号 栗田 工業株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 用水が導入される生物処理槽と、該生物
処理槽の処理水が導入される逆浸透膜分離装置とを備え
てなる純水製造装置であって、該逆浸透膜分離装置は、
集水管の外周に波板形のスペーサを介して逆浸透膜を巻
回したスパイラル型膜モジュールを備えることを特徴と
する純水製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4234720A JPH0679272A (ja) | 1992-09-02 | 1992-09-02 | 純水製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4234720A JPH0679272A (ja) | 1992-09-02 | 1992-09-02 | 純水製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0679272A true JPH0679272A (ja) | 1994-03-22 |
Family
ID=16975322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4234720A Pending JPH0679272A (ja) | 1992-09-02 | 1992-09-02 | 純水製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0679272A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09187785A (ja) * | 1996-01-09 | 1997-07-22 | Kurita Water Ind Ltd | 排水の回収、浄化装置 |
| JP2000202481A (ja) * | 1999-01-12 | 2000-07-25 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水製造装置におけるｔｏｃ成分除去装置 |
| JP2002159984A (ja) * | 2000-11-27 | 2002-06-04 | Kurita Water Ind Ltd | Ｔｏｃ成分の生物分解方法 |
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