JPH068031B2 - 薄膜の張付装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （１）発明の目的 〔産業上の利用分野〕 本発明は、薄膜の張付技術に関し、特に、連続した薄膜
を所定の寸法に切断して基板に張り付ける薄膜の張付装
置に適用して有効な技術に関するものである。

〔従来技術〕

コンピュータ等の電子機器に使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面又は
両面に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程により製造す
ることができる。

まず、絶縁性基板上に設けられた導電層上に、感光性樹
脂（フォトレジスト）層とそれを保護する透光性樹脂フ
ィルム（保護膜）とからなる積層体を熱圧着ラミネート
する。この熱圧着ラミネートは、薄膜張付装置所謂ラミ
ネータにより量産的に行われる。この後、前記積層体に
配線パターンフィルムを重ね、この配線パターンフィル
ム及び透光性樹脂フィルムを通して、感光性樹脂層を所
定時間露光する。そして、透光性樹脂フィルムを剥離装
置で剥離した後、露光された感光性樹脂層を現像してエ
ッチングマスクパターンを形成する。この後、前記導電
層の不必要部分をエッチングにより除去し、さらに残存
する感光性樹脂層を除去し、所定の配線パターンを有す
るプリント配線板形成する。

〔発明が解決しようとする問題点〕

前述のプリント配線板の製造工程においては、絶縁性基
板の導電層上に、薄膜張付装置で自動的（量産的）に積
層体を熱圧着ラミネートする工程が必要とされている。
前記積層体は、薄膜張付装置の供給ロールに連続的に巻
回されており、搬送装置で搬送されてくる絶縁性基板の
寸法に対応して所定の寸法に切断し、熱圧着ラミネート
されるようになっている。

ところが、絶縁性基板が順次搬送されている際に、供給
ローラの積層体がなくなり、これに作業者が気が付かな
い場合に、積層体が張り付けられていない絶縁性基板が
多量に薄膜張付装置から搬送されてしまう。このため、
プリント配線板の製造上の歩留りが低下するという問題
があった。

本発明の目的は、薄膜張付装置において、製造上の歩留
りを向上することが可能な技術を提供することにある。

本発明の他の目的は、薄膜の供給時における供給状態を
確実に検出することができ、前記目的を達成することが
可能な技術を提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろ
う。

（２）発明の構成 〔問題点を解決するための手段〕 前記目的を達成するために、本発明は、透光性樹脂フィ
ルム、感光性樹脂、透光性樹脂フィルムを順次重ねた積
層体からなる連続した薄膜から一方の透光性樹脂フィル
ムを薄膜分離ローラで分離した後、他方の透光性樹脂フ
ィルム及び感光性樹脂層を所定の寸法に切断し、この切
断された薄膜を基板に張り付ける薄膜の張付装置であっ
て、前記薄膜分離ローラの一端部に、該分離ローラの回
転により回転する回転板と、該回転板の円周部に設けら
れたスリット部と、該スリット部を検出する検出部とを
有するエンコーダからなる薄膜供給検出装置を設けたこ
とを特徴とする。

〔作用〕

上述した手段によれば、薄膜の供給が正確に行われてい
るか否かを確実に検出し、大なわれていない場合には作
業者に知らせたり、薄膜張付装置を停止させたりするこ
とができるので、製造上の歩留りを向上することができ
る。

〔発明の実施例〕

以下、プリント配線用基板に感光性樹脂層と透光性樹脂
フィルムとからなる積層体を熱圧着ラミネートする薄膜
張付装置に適用した本発明の一実施例について、図面を
用いて具体的に説明する。

なお、実施例を説明するための全図において、同一機能
を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は
省略する。

本発明の一実施例である薄膜張付装置を第１図（概略構
成図）で示す。

第１図に示すように、透光性樹脂フィルム、感光性樹脂
層及び透光性樹脂フィルムの３層構造からなる積層体１
は、供給ローラ２のに連続的に巻回されている。供給ロ
ーラ２積層体１は、薄膜分離ローラ３で、透光性樹脂フ
ィルム（保護膜）１Ａと、一面（接着面）が露出された
感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルムからなる積層体１
Ｂとに分離される。分離された透光性樹脂フィルム１Ａ
は、巻取ローラ４により巻き取られるように構成されて
いる。なお、薄膜分離ローラ３は前記供給ローラ２の位
置から連続的に供給されてくる積層体に摺接し積層体１
の走行に伴って回転する。

供給ローラ２は、第２図（要部斜視図）に示すように、
その軸部２Ａと円弧状凹部５Ａとを嵌合させ、ローラ支
持部材５に支持されている。ローラ支持部材５は、装置
本体７のカバーフレームの外側に、例えばネジ等の接続
部材（又は接着剤）によって取り付けられている。

巻取ローラ４は、その軸部４ＡとＵ字状凹部６Ａとを嵌
合させ、ローラ支持部材６に支持されている。ローラ支
持部材６は、装置本体７のカバーフレームの外側に、ロ
ーラ支持部材５と同様に取り付けられている。

ローラ支持部材５は、左側（作業者が近い側）に供給ロ
ーラ２の仮置場としての円弧状凹部５Ｂが設けられてい
る。一方、ローラ支持部材６は、右側（作業者に遠い
側）に巻取ローラ４の仮置場としての円弧状凹部６Ｂ，
６Ｃが設けられている。

ローラ支持部材５、６の夫々に設けられた仮置場として
の円弧状凹部５Ｂ，６Ｂ，６Ｃの夫々は、例えば、次の
ように使用される。積層体１がなくなり、供給ローラ２
を交換する場合、巻取ローラ４の軸部４ＡをＵ字状凹部
６Ａから仮置場としての円弧状凹部６Ｂ又は６Ｃに嵌合
させる。この状態において、供給ローラ２の軸部２Ａを
円弧状凹部５Ａから仮置場としての円弧状凹部５Ｂに一
旦嵌合させ、この後、ローラ支持部材５から取り外す。
次に、新しい供給ローラ２を一旦仮置場としての円弧状
凹部５Ｂに嵌合させ、この後、供給ローラ２の軸部２Ａ
と円弧状凹部５Ａとを嵌合させる。そして、ローラ支持
部材６の円弧状凹部６Ｂ又は６Ｃに嵌合させてあった巻
取ローラ４の軸部４ＡをＵ字状凹部６Ａに嵌合させる。

このように、ローラ支持部材５に設けられた仮置場とし
ての円弧状凹部５Ｂ、ローラ支持部材６に設けられた仮
置場としての円弧状凹部６Ｂ又は６Ｃの夫々は、かなり
の重量がある供給ローラ２や巻取ローラ４を完全に取り
外す必要がなく、少し移動するだけで夫々の取り付け，
取り外し作業を行うことができる。つまり、薄膜張付装
置において、作業能率を向上することができ、又、作業
上の安全性を向上することができる。

前記薄膜分離ローラ３の一端部には、第２図及び第３図
（要部拡大斜視図）に示すように、薄膜供給検出装置８
が設けられている。薄膜供給検出装置８は、薄膜分離ロ
ーラ３の回転で矢印Ａ方向に回転し、その円周部にスリ
ット部８Ａを有する回転板８Ｂと、前記スリット部８Ａ
を検出する検出部８Ｃとを有するエンコーダで構成され
ている。つまり、薄膜供給検出装置８は、薄膜分離ロー
ラ３の回転数に対応して所定の信号を出力するように構
成されている。

回転板８Ｂは、例えば、樹脂材料，軽金属材料，合金材
料等で構成されている。検出部８Ｃは、例えば光，超音
波等でスリット部８Ａが存在するか否かを検出できるよ
うに構成されている。薄膜供給研修装置８は、積層体１
及び１Ｂの供給に際し、邪魔にならないように、その供
給経路以外の装置本体７のカバーフレームの内部に取り
付けられている。

このように、供給ローラの位置から連続的に供給されて
くる積層体１に摺接し積層体１の走行に伴って回転する
薄膜分離ローラ３の一端部に前記のような特定構成の薄
膜供給検出装置８を設けることにより、積層体１が供給
され走行しているときは、前記回転板８Ｂが回転し、一
方、積層体１が供給されず走行していないときは、前記
回転板８Ｂが回転しないことになり、従って、積層体１
が透光性のものであっても非透光性のものであっても、
積層体１の供給時の供給状態を確実に検出することがで
きる。

積層体１の走行の有無を、従来では積層体走路を挟んで
光電管検知器や近接スイッチ設けることにより検出して
いるが、この手段では透光性のものであるときは検出を
確実には行えないという問題があるが、本発明ではその
ような問題がない。

前記の３層構造の積層体１から透光性樹脂フィルムを薄
膜分離ローラ３で分離した後、残余の透光性樹脂層から
なる積層体１Ｂは、薄膜張付装置における次の工程に送
られることになるので、薄膜供給検出装置８は、後述す
る仮熱圧着動作時、熱圧着ラミネート動作時、積層体１
Ｂの切断動作時等、積層体１又は１Ｂが供給される時
に、その供給が正確に行われているか否かを検出するこ
とができる。積層体１又は１Ｂの供給が正確に行われて
いない場合は、検出部８Ｃの出力信号でアラーム等の異
常警報装置（図示していない）を動作させ、作業者に知
らせることができる。また、自動的に、薄膜張付装置を
停止させることができる。すなわち、薄膜供給検出装置
８は、プリント配線板の製造上の歩留りを向上すること
ができる。

なお、薄膜供給検出装置８を、薄膜分離ローラ３に設け
ているのは、薄膜分離ローラ３は、複雑な構成を必要と
せず、また、回転以外の可動を必要としないので、簡単
に薄膜供給検出装置を設けることができるからである。

前記薄膜分離ローラ３で分離された積層体１Ｂの供給方
向の先端部は、第１図及び第２に示すテンションローラ
９を通してメインバキュームプレート10に吸着されるよ
うに構成されている。

テンションローラ９は、供給ローラ２とメインバキュー
ムプレート10との間の積層体１Ｂに適度なテンションを
与えるように構成されている。つまり、テンションロー
ラ９は、供給される積層体１Ｂにしわ等を生じないよう
に構成されている。

メインバキュームプレート（薄膜供給部材）10は、積層
体１Ｂを供給ローラ２から絶縁性基板11の導電層（例え
ば、Ｃｕ層）上に供給するように構成されている。メイ
ンバキュームプレート10は、第１図及び第４図（要部拡
大構成図）で示すように、絶縁性基板11に近接しかつ離
反する（矢印Ｂ方向に移動する）支持部材12に設けられ
ている。支持部材12は、ガイド部材７Ａを矢印Ｂ方向に
摺動可能なように、装置本体（薄膜張付装置の筺体）７
に設けられている。支持部材12は、絶縁性基板11の搬送
経路を中心に、上下、一対に設けられている。

上部の支持部材12と下部の支持部材12とは、ラックアン
ドピニオン機構により連動的に動作する（両者が同時に
近接又は離反する）ように構成されている。つまり、上
下、一対の支持部材12は、夫々に設けられたラック12Ａ
と、このラック12Ａと嵌合するピニオン12Ｂとで連動的
に動作する。この支持部材12の動作は、下部の支持部材
12に設けられた駆動源12Ｃで行われる。駆動源12Ｃは、
例えば、エアーシリンダで構成する。また、駆動源12Ｃ
は、油圧シリンダ又は電磁シリンダ、或はステップモー
タ及びその変位を支持部材12に伝達する伝達機構等で構
成することができる。

前記メインバキュームプレート10は、絶縁性基板11に近
接しかつ離反する（矢印Ｃ方向に移動する）ように、支
持部材12に設けられている。メインバキュームプレート
10は、支持部材12に設けられた駆動源12Ｄと、ラックア
ンドピニオン機構とで動作するように構成されている。
このラックアンドピニオン機構は、駆動源12Ｄに設けら
れたピニオン12Ｅ、支持部材12に設けられたラック12
Ｆ、メインバキュームプレート10に設けられたラック10
Ａで構成されている。駆動源12Ｄは、駆動源12Ｃと同様
のもので構成する。

メインバキュームプレート10には、第５図（部分断面斜
視図）で示すように、積層体１Ｂの供給方向と略直交す
る供給幅方向に延在する溝部10Ｂが搬送方向に複数設け
られている。溝部10Ｂの長さ（積層体１Ｂの供給幅方向
と同一方向の長さ）は、供給幅方向の積層体１Ｂの寸法
と略同一の寸法で構成され、溝部10Ｂを積層体１Ｂが覆
うように構成されている。溝部10Ｂの底部には、積層体
１Ｂを吸着させるための吸着孔10Ｃが複数設けられてい
る。図示していないが、吸着孔10Ｃは、排気管を通し
て、真空ポンプ等の真空源に接続されている。メインバ
キュームプレート10の吸着動作、後述する仮付部10Ｅの
吸着動作の夫々は、独立に制御されるように構成されて
いる。溝部10Ｂの端部10Ｄは、メインバキュームプレー
ト10の端部から中央部に掘り下げたテーパ形状に構成さ
れている。この端部10Ｄ（テーパ部）には、メインバキ
ュームプレート10に吸着される積層体１Ｂの端部が位置
するようになっている。

このテーパ形状に構成された端部10Ｄは、溝部10Ｂと積
層体１Ｂとの吸着面積を最大限に確保して吸着効果を高
めると共に、積層体１Ｂの吸着時に、溝部10Ｂと積層体
１Ｂとの吸着位置にずれが若干生じても、溝部10Ｂの端
部10Ｄで、積層体１Ｂの端部と端部10Ｄとの吸着性を向
上することができる。

積層体１Ｂの供給方向におけるメインバキュームプレー
ト10の先端部には、積層体１Ｂを吸着する面が円弧形状
に形成された仮付部10Ｅが設けられている。仮付部10Ｅ
は、メインバキュームプレート10と一体に構成されてい
る。仮付部10Ｅの内部には、第１図及び第４図に示すよ
うに、円弧形状部分を加熱するヒータ10Ｆが設けられて
いる。仮付部10Ｅは、メインバキュームプレート10で供
給される積層体１Ｂの先端部を、絶縁性基板11に仮り付
け（仮熱圧着）するように構成されている。

なお、本発明は、メインバキュームプレート10と仮付部
10Ｅとを、夫々、別部材で構成し、両者を支持部材12に
構成してもよい。

前記仮付部10Ｅに近接した位置、つまり、仮付部10Ｅと
絶縁性基板11との間の積層体１Ｂの供給経路の近傍に
は、サブバキュームプレート（薄膜保持部材）13が設け
られている。サブバキュームプレート13は、吸引孔を図
示していないが、第４図に示すように、上部吸着部13ａ
と下部吸着部13ｂとを有し、コの字形状に構成されてい
る（このコの字部分は積層体１Ｂの切断位置に相当す
る）。サブバキュームプレート13の上部吸着部13ａは、
主に、供給方向の積層体１Ｂの先端部を吸着し、仮付部
10Ｅに吸着（保持）させるように構成されている。サブ
バキュームプレート13は、積層体１Ｂの先端部を仮付部
10Ｅに吸着可能なように、積層体１Ｂの供給経路に対し
て近接及び離反（矢印Ｄ方向に移動）する例えばエアー
シリンダからなる駆動源13Ａを介して、支持部材12に取
り付けられている。

また、サブバキュームプレート13の下部吸着部13ｂは、
連続した積層体１Ｂを切断装置14で切断し、この切断さ
れた積層体１Ｂの後端部を吸着し、積層体１Ｂの供給経
路内に保持するように構成されている。下部吸着部13ｂ
は、熱圧着ラミネート開始後、回転バキュームプレート
15との間において、第４図に示すように、積層体１Ｂに
たるみを形成する（たるみを持たせた積層体１Ｂ’を形
成する）ように構成されている。このたるみを持たせた
積層体１Ｂ’は、熱圧着ローラ16の周速度（熱圧着ラミ
ネート速度）に対して、メインバキュームプレート10の
積層体１Ｂの供給速度を速く制御することにより形成す
ることができる。両者の制御は、図示していないが、シ
ーケンス制御回路により行われるようになっている。

なお、サブバキュームプレート13の駆動源13Ａとして
は、エアーシリンダの他に前記駆動源12Ｃと同様に、油
圧シリンダ等で構成することができる。

前記仮付部10Ｅと絶縁性基板11との間（実際には、仮付
部10Ｅと回転バキュームプレート15との間）の積層体１
Ｂの供給経路の近接の装置本体７には、切断装置14が設
けられている。詳述すれば、切断装置14は、積層体１Ｂ
の後端部を切断位置まで供給した時のサブバキュームプ
レート13に対向した位置に構成されている。切断装置14
は、絶縁性基板11を搬送する前段搬送装置17側に構成さ
れている（又はこの前段搬送装置17に構成してもよ
い）。切断装置14は、メインバキュームプレート10で連
続的に供給される積層体１Ｂを絶縁性基板11の寸法に対
応して所定の長さに切断するように構成されている。

この切断装置14の具体的な構成を第６図（第４図の矢印
VI方向から見た概略平面図）及び第７図（第６図のVII
−VII線で切った断面図）で示す。

切断装置14は、第６図及び第７図に示すように、主に、
ガイド部材14Ａと、移動部材14Ｂと、円板状カッター14
Ｃとで構成されている。

ガイド部材14Ａは、積層体１Ｂの供給幅方向に延在し、
その両端部（又は一端部）が装置本体７に固定されてい
る。この固定は、ねじ、ボルト，ナット、ビス、接着剤
等の固定手段で行なわれる。ガイド部材14Ａには、積層
体１Ｂの供給幅方向（第６図に示す矢印Ｅ方向）におい
て、移動部材14Ｂを正確に移動できるように、移動部材
14Ｂの凸部（又は凹部）14ｂと嵌合する凹部（又は凸
部）14ａが設けられている。

移動部材14Ｂは、ガイド部材14Ａに沿って矢印Ｅ方向に
移動するように構成されている。移動部材14Ｂは、ガイ
ド部材14Ａに沿って延在しかつ両端部が装置本体７に支
持された中空管14Ｄ内を、矢印Ｅ’方向に移動する中空
管内移動部材14Ｅと接続されている。中空管内移動部材
14Ｅの移動は、中空管14Ｄの夫々の端部から空気(air)
等の流体を吹き込む（又は吸引する）ことにより行われ
る。つまり、中空管内移動部材14Ｅは、第６図におい
て、中空管14Ｄの左側から流体を吹き込むと左側から右
側に移動し、中空管14Ｄの右側から流体を吹き込むと右
側から左側に移動するように構成されている。中空管内
移動部材14Ｅは、移動部材14Ｂを移動させるように構成
されている。中空管14Ｄ内に吹き込む流体としては、空
気の他に、不活性ガス等の気体、水，油等の液体を用い
てもよい。また、移動部材14Ｂは、エアーシリンダ、油
圧シリンダ、モータ等で移動するように構成してもよ
い。

円板状カッター14Ｃは、移動部材14Ｂの移動に従って回
転し、少なくともその円周部に積層体１Ｂを切断する刃
部が設けられている。円板状カッター14Ｃの回転は、回
転軸14Ｆに設けられた歯車（ピニオン）14Ｇを介在し、
回転軸14Ｈに設けられた歯車14Ｉとラック14Ｊとの嵌合
により与えられる。ラック14Ｊは、両端部（又は一端
部）が装置本体７に固定されている。ラック14Ｊと歯車
14Ｉとの嵌合は、移動部材14Ｂに設けられた保持ローラ
14Ｌにより安定に保持される。

円板状カッター14Ｃは例えば高速度工具鋼等の金属材料
で構成されており、少なくとも刃部の表面にはポリテト
ラフルオロエチレンが塗布されている。ポリテトラフル
オロエチレンは、化学薬品に対する不活性、熱的安定性
に優れており、摩擦係数が小さく、又、他の材料へ付着
しづらい特徴がある。特に、薄膜張付装置においては、
積層体１Ｂの切断により生じる微小の種々の化学薬品を
含有する切り屑が刃部に付着し、円板状カッター14Ｃの
切れ味を劣化し易いので、ポリテトラフルオロエチレン
の塗布は有効である。

円板状カッター14Ｃの近傍の移動部材14Ｂには、主に、
作業者の安全を確保するために、円板状カッター14Ｃを
覆う保護カバー14Ｋが設けられている。

この切断装置14は、移動部材14Ｂがガイド部材14Ａを一
方向に移動することにより、この移動で与えられる円板
状カッター14Ｃの回転で、絶縁性基板11の長さに対応し
た寸法に積層体１Ｂを切断することができる。また、円
板状カッター14Ｃは、往復の移動により積層体１Ｂを２
個所切断することができるので、積層体１Ｂの切断時間
を短縮することができる。

このように構成される薄膜張付装置において、メインバ
キュームプレート10とサブバキュームプレート13とを支
持部材12に設け、この支持部材12を絶縁性基板11に近接
及び離反するように装置本体７に設け、積層体１Ｂを切
断する切断装置14を仮付部10Ｅと絶縁性基板11との間の
積層体１Ｂの供給経路の近傍の装置本体７に固定したこ
とにより、前記支持部材12で支持する部材の重量を軽く
したので、駆動能力（容量）の小さな駆動源12Ｃで支持
部材12を駆動することができる。

また、支持部材12に支持される部品点数を低減すること
ができるので、支持部材12及びその周辺の構成を簡単化
し、薄膜張付装置を小型化することができる。

また、駆動源12Ｃ等を小型化することができるので、薄
膜張付装置の製造上のコストを低減することができる。

また、切断装置14は、円板状カッター14Ｃを移動させる
構成に代えて、超音波，レーザービーム等を使用したビ
ームカッターで構成してもよい。さらに、切断装置14
は、積層体１Ｂの供給幅方向に、積層体１Ｂの供給幅寸
法と略同等又はそれよりも大きな寸法の刃部を有するカ
ッター、例えばギロチンカッター，帯状カッター，加熱
もしくは非加熱ワイヤー状カッター，ナイフ状カッター
等で構成してもよい。これらの切断装置14は、一度の動
作で、略瞬時に、積層体１Ｂの切断部分の全域を切断す
ることができる。

前記メインバキュームプレート10の仮付部10Ｅで絶縁性
基板11の導電層上に先端部が仮り付け（仮熱圧着）され
る積層体１Ｂは、熱圧着ローラ16でその全体が熱圧着ラ
ミネートされるように構成されている。熱圧着ローラ16
は、積層体１Ｂの先端部を仮付部10Ｅで仮り付けする仮
付動作時は、第１図に符号16’を符した点線で示す位置
に配置されかつ回転している。熱圧着ローラ16は、仮付
動作時に、仮付部10Ｅと接触しないように構成されてい
る。仮付動作後の熱圧着ローラ16は、符号16’を示す点
線で示した位置から実線で示す位置、つまり、積層体１
Ｂを介在して絶縁性基板11を挟持する位置に移動するよ
うに構成されている。積層体１Ｂを介在して絶縁性基板
11を挟持した熱圧着ローラ16は、第４図に示す矢印Ｆ方
向に回転し、積層体１Ｂを絶縁性基板11の導電層上に熱
圧着ラミネートすると共に、この絶縁性基板11を搬送す
るように構成されている。熱圧着ラミネート工程中にお
いては、メインバキュームプレート10及びサブバキュー
ムプレート13の積層体１Ｂの吸着動作は停止している。
すなわち、熱圧着ローラ16には、その回転力と、絶縁性
基板11との挟持力とで、積層体１Ｂが供給ローラ２から
自動的に供給されるように構成されている。

前記切断装置14で切断された積層体１Ｂの後端部は、三
角形状の回転バキュームプレート15でしわ等を生じない
ようにガイドされ、熱圧着ローラ16で熱圧着ラミネート
されるように構成されている。回転バキュームプレート
15は、熱圧着ローラ16と同一軸に支持されかつそれを中
心に回転するように構成されており、図示していない
が、積層体１Ｂと対向する吸着面には、複数の吸引孔15
Ａが設けられている。前記吸着孔15Ａが配設された吸着
面の構造は、第５図に示すメインバキュームプレート10
の吸着面と同様の構造になっている。図示しないが、回
転バキュームプレート15の上面にも吸引孔を設けてもよ
く、このように構成することにより、第４図に示すよう
に、たるみを持たせる積層体１Ｂ’をより形成し易くす
ることができる。

前記絶縁性基板11は、搬送ローラ（下段）17Ａと搬送ロ
ーラ（上段）17Ｂとで構成される前段搬送装置17によ
り、薄膜張付装置の積層体１Ｂの仮付位置まで搬送され
る。また、搬送ローラ（下段）18Ａと搬送ローラ（上
段）18Ｂとで構成される後段搬送装置18は、薄膜張付装
置の熱圧着ローラ16で積層体１Ｂが熱圧着ラミネートさ
れた絶縁性基板11を配線パターンを形成する露光装置ま
で搬送するように構成されている。

前記メインバキュームプレート10の仮付部10Ｅの移動経
路（薄膜供給経路）近傍の装置本体７（又は前段搬送装
置17、或は支持部材12）には、第１図及び第４図に示す
ように、薄膜矯正装置19が設けられている。薄膜矯正装
置19は、仮付部10Ｅに密着させる方向に積層体１Ｂの供
給方向の先端部を矯正するように構成されている。薄膜
矯正装置19は、積層体１Ｂの供給幅方向に延在して設け
られた流体搬送管19Ａと、この流体搬送管19Ａに複数設
けられた流体吹付孔19Ｂとで構成されている。

流体搬送管19Ａは、内部が中空に構成されており、常圧
よりも高圧力の流体を流すように構成されている。流体
搬送管19Ａの断面形状は、本実施例では略円形状に構成
されているが、これに限定されず、方形状又は楕円形状
に構成してもよい。

流体吹付孔19Ｂは、積層体１Ｂを矯正する方向（第４図
に示す矢印Ｇ方向）に流体を吹き付けるように設けられ
ている。

薄膜矯正装置19で使用する流体としては、空気を使用す
る。また、流体としては、不活性ガス等の気体、水，油
等の流体を用いてもよい。

このように、薄膜張付装置において、供給方向の積層体
１Ｂの先端部を仮付部10Ｅに密着させる方向に矯正する
薄膜矯正装置19を、前記仮付部10Ｅの移動経路の近傍の
装置本体７（又は支持部材12或は前段搬送装置17）に設
けたことにより、積層体１Ｂの先端部を確実に仮付部10
Ｅに密着させることができるので、絶縁性基板11の導電
層上に確実に積層体１Ｂの先端部を仮り付け（仮熱圧
着）することができる。

さらに、サブバキュームプレート13の下部吸着部13ｂと
回転バキュームプレート15との間に供給される積層体１
Ｂ（１Ｂ’）に近接した装置本体７（又は前段搬送装置
17、或は支持部材12）には、第１図及び第４図に示すよ
うに、薄膜突出装置20が設けられている。つまり、薄膜
突出装置20は、熱圧着ローラ16に密着させる方向に前記
たるみを持たせた積層体１Ｂ′を形成するように構成さ
れている。薄膜突出装置20は、積層体１Ｂの供給幅方向
に延在して設けられた流体搬送管20Ａと、この流体搬送
管20Ａに複数設けられた流体吹付孔20Ｂとで構成されて
いる。

流体搬送管20Ａは、内部が中空に構成されており、常圧
よりも高圧力の流体を流すように構成されている。流体
搬送管20Ａの断面形状は、本実施例では略円形状に構成
されているが、流体搬送管19Ａと同様に、これに限定さ
れず、方形状又は楕円形状に構成してもよい。

流体吹付孔20Ｂは、積層体１Ｂ’の前記たるみを前述の
ように突出させる方向（第４図に示す矢印Ｈ方向）に流
体を吹き付けるように設けられている。

薄膜突出装置20で使用する流体としては、薄膜矯正装置
19と同様に、空気を使用する。また、流体としては、不
活性ガス等の気体、水，油等の液体を用いてもよい。

このように、薄膜張付装置において、熱圧着ローラ16に
密着させる方向に前記たるみを持たせた積層体１Ｂ’を
矯正する薄膜突出装置20を、積層体１Ｂ’の近傍の装置
本体７（又は支持部材12或は前段搬送装置17）に設けた
ことにより、積層体１Ｂ’を確実に熱圧着ローラ16に密
着させる方向にたるみを持たせることができるので、特
に、回転バキュームプレート15に積層体１Ｂの後端部を
確実に吸着させることができる。従って、しわ等を生じ
ることなく、絶縁性基板11の導電層上に確実に積層体１
Ｂの後端部を熱圧着ラミネートすることができる。

なお、本発明は、薄膜矯正装置19又は薄膜突出装置20
を、積層体１Ｂの供給幅方向に複数設けられた、積層体
１Ｂを前述の如く適正な方向に矯正又は突出させるよう
に流体を吹き付ける流体吹付ノズルで構成してもよい。

また、本発明は、薄膜矯正装置19又は薄膜突出装置20
を、積層体１Ｂの供給幅方向に延在して設けられた吸引
管と、この吸引管に複数設けられた、積層体１Ｂを前述
の如く適正な方向に矯正又は突出させる方向に吸引する
吸引孔とで構成してもよい。

また、本発明は、薄膜矯正装置19又は薄膜突出装置20
を、積層体１Ｂを前述の如く適正な方向に矯正又は突出
させる突状部材で構成してもよい。

また、本発明は、薄膜矯正装置19を薄膜突出装置20で、
若しくは薄膜突出装置20を薄膜矯正装置19で兼用するこ
とも可能である。

前記熱圧着ローラ16と後段搬送装置18の搬送ローラ18Ａ
との間の装置本体７（又は後段搬送装置18）には、第１
図及び第４図に示すように、基板ガイド部材21が設けら
れている。基板ガイド部材21は、積層体１Ｂが熱圧着ラ
ミネートされた絶縁性基板11を、熱圧着ラミネート位置
から搬送ローラ18Ａ及び18Ｂの位置までガイドするよう
に構成されている。基板ガイド部材21は、例えば、絶縁
性基板11の搬送方向に延在する棒状部をその搬送幅方向
に複数配置したクシ型形状で構成する。クシ型形状に構
成された基板ガイド部材21は、絶縁性基板11の搬送に際
して、絶縁性基板11との接触面積を小さくし摩擦抵抗を
小さくできるので、スムーズに絶縁性基板11をガイドす
ることができる。

このように、前記熱圧着ローラ16と後段搬送装置18の搬
送ローラ18Ａとの間に基板ガイド部材21を設けることに
より、特に、薄い絶縁性基板11においては、熱圧着ラミ
ネート後の搬送方向の先端部の垂れ下りを防止し、搬送
ローラ18Ａ及び18Ｂに確実に導びき、搬送することがで
きるので、後段搬送装置18（絶縁性基板11の搬送経路）
におけるトラブルを防止することができる。特に、本実
施例の薄膜張付装置の搬送装置においては、仮付動作を
行うために、熱圧着オーラ16が符号16’を付けた点線で
示す位置から実線で示す位置まで移動する空間が必要と
なり、熱圧着ローラ16と搬送ローラ18Ａとの間にかなり
の空間（搬送距離）が形成されるので、基板ガイド部材
21は有効である。

なお、本発明は、基板ガイド部材21を網状構造で構成し
てもよい。

また、本発明は、基板ガイド部材21を板状構造で構成し
てもよい。

次に、本実施例の薄膜張付装置による積層体１Ｂの熱圧
着ラミネート方法について、前記第１図、第４図、第８
図乃至第１０図（各工程毎の要部拡大構成図）を用いて
簡単に説明する。

まず最初に、手作業により、薄膜分離ローラ３で分離さ
れた積層体１Ｂの供給方向の先端部を、サブバキューム
プレート13と切断装置14との間に配置する。

次に、前段搬送装置17の搬送ローラ17Ａ及び17Ｂで搬送
される絶縁性基板11の搬送方向の先端部が仮付位置に搬
送されると、サブバキュームプレート13で積層体１Ｂの
先端部を吸着する。積層体１Ｂの吸着後、駆動源13Ａで
積層体１Ｂの供給経路から離反する位置にサブバキュー
ムプレート13を移動させ、第８図に示すように、仮付部
10Ｅに積層体１Ｂの先端部を吸着させる。この時、メイ
ンバキュームプレート10及び仮付部10Ｅの吸着動作が行
われると共に、薄膜矯正装置19で積層体１Ｂを矯正でき
るので、仮付部10Ｅに積層体１Ｂの先端部を確実に吸着
させることができる。なお、連続動作が行われている時
は、切断装置14で切断された積層体１Ｂの先端部が仮付
部10Ｅに吸着される。

この後、駆動源12Ｃで支持部材12を移動させ、メインバ
キュームプレート10及びサブバキュームプレート13を絶
縁性基板11に近接する方向に移動させる。この移動と共
に、駆動源12Ｄで支持部材12に対してメインバキューム
プレート10をさらに移動させ、第９図に示すように、仮
付部10Ｅに吸着された積層体１Ｂの先端部を絶縁性基板
11の導電層上に仮り付け（仮熱圧着）する。

積層体１Ｂの仮り付け後、メインバキュームプレート10
及び仮付部10Ｅ吸着動作を停止し、第１０図に示すよう
に、駆動源12Ｃ及び12Ｄでメインバキュームプレート1
0、仮付部10Ｅ及びサブバキュームプレート13を仮付位
置から離反させる。この離反は、前記第８図に示す積層
体１Ｂを仮付部10Ｅへ吸着する工程における位置に比べ
てさらに離反する位置に、駆動源12Ｃでメインバキュー
ムプレート10及びサブバキュームプレート13を移動させ
る。この移動量は、積層体１Ｂ’に持たせるたるみ量に
比例する。このとき、支持部材12の駆動源12Ｃは、前述
したように、切断装置14を装置本体７に固定しているの
で、小型化或は駆動能力を高めて動作速度の高速化を図
ることができる。

この後、符号16’を付けて点線で示す位置から実線で示
す仮付位置に熱圧着ローラ16を近接させる。そして、こ
の熱圧着ローラ16で積層体１Ｂの先端部が仮り付けされ
た絶縁性基板11を挟持し回転することにより、絶縁性基
板11の導電層上に積層体１Ｂを熱圧着ラミネートする。
この時、メインバキュームプレート10、仮付部10Ｅ、サ
ブバキュームプレート13の夫々の吸着動作は停止してい
るので、熱圧着ローラ16には、その回転力と、絶縁性基
板11との挟持力とで、積層体１Ｂが供給ローラ２から自
動的に供給されるようになっている。

積層体１Ｂが、一定量、熱圧着ラミネートされると、メ
インバキュームプレート10、サブバキュームプレート1
3、回転バキュームプレート15の夫々の吸着動作が実質
的に同時に開始される。そして、第１０図に示す状態か
ら、駆動源12Ｃで支持部材12を移動させ、メインバキュ
ームプレート10で積層体１Ｂを絶縁性基板11に供給する
と共に、前記第４図に示すように、サブバキュームプレ
ート13の下部吸着部13ｂで積層体１Ｂの後端部（切断位
置）を切断装置14の切断位置に一致させる。積層体１Ｂ
の供給速度（支持部材12の移動速度）は、熱圧着ローラ
16により熱圧着ラミネート速度（熱圧着ローラ16の周速
度）よりも速く設定されている。

このように、メインバキュームプレート10とサブバキュ
ームプレート13とを支持部材12に設け、この支持部材12
を絶縁性基板11に近接及び離反するように装置本体７に
設けたことにより、メインバキュームプレート10の吸着
動作と実質的に同時に、積層体１Ｂの後端部（切断位
置）をサブバキュームプレート13で吸着し、メインバキ
ュームプレート10とサブバキュームプレート13とを支持
部材12で移動させて、切断装置14の切断位置に積層体１
Ｂの切断位置を一致させることができるので、メインバ
キュームプレート10とサブバキュームプレート13との間
の積層体１Ｂに不必要なたるみを生じることがなくな
る。つまり、第１０図に示す、メインバキュームプレー
ト10とサブバキュームプレート13の円板状カッター14Ｃ
が作用する位置（コの字形状部）との距離Ｉは、第４図
に示す積層体１Ｂの切断位置と切断装置14の切断位置と
を一致させた状態においても変化することがない。した
がって、積層体１Ｂの切断位置と切断装置14の切断位置
とを正確に一致させることができるので、絶縁性基板11
の寸法に対して正確な寸法に積層体１Ｂを切断し、熱圧
着ラミネートすることができ、製造上の歩留りを向上す
ることができる。しかも、前述のように、メインバキュ
ームプレート10及びサブバキュームプレート13を設けた
支持部材12は、切断装置14を装置本体７に固定している
ので、小さな駆動能力の駆動源12Ｃで駆動させることが
できる。

前記積層体１Ｂの供給後及び積層体１Ｂの切断位置を切
断装置14の切断位置に一致させると、サブバキュームプ
レート10と回転バキュームプレート15との間にたるみを
持たせた積層体１Ｂ’を形成することができる。このた
るみを持たせた積層体１Ｂ’の供給方向の両端部は、薄
膜矯正装置20の矯正により、サブバキュームプレート13
の下部吸着部13ｂ、回転バキュームプレート15の夫々に
確実に吸着させることができる。

この状態において、切断装置14により、積層体１Ｂの後
端部（切断位置）が絶縁性基板11の寸法に対応した所定
寸法に切断される。

この後、切断装置14で切断された積層体１Ｂの後端部が
回転バキュームプレート15に吸着されると、熱圧着ロー
ラ16の回転速度より若干遅い速度で回転バキュームプレ
ート15が回転し、絶縁性基板11の導電層上に積層体１Ｂ
の後端部を熱圧着ラミネートすることができる。回転バ
キュームプレート15は、熱圧着ローラ16の回転速度より
若干遅い速度で回転すると、熱圧着ローラ16との間の積
層体１Ｂに適度なテンションを与えることができるの
で、積層体１Ｂにしわ等を生じることがない。

積層体１Ｂが熱圧着ラミネートされた絶縁性基板11は、
熱圧着ローラ16の回転力により、基板ガイド部材21を通
して、トラブルを生じることなく、後段搬送装置18の搬
送ローラ18Ａ及び18Ｂに搬送される。後段搬送装置18に
搬送された絶縁性基板11は、露光装置に搬送される。

以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施例に
基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施例に限
定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲にお
いて、種々変形し得ることは勿論である。

例えば、本発明は、前記サブバキュームプレート13を、
仮付部10Ｅに積層体１Ｂの供給方向の先端部を吸着させ
るサブバキュームプレートと、前記切断装置14のホルダ
として使用されるサブバキュームプレートとで構成し、
夫々を独立に制御してもよい。

また、本発明は、前記実施例の絶縁性基板11を予熱した
後、この絶縁性基板11に積層体１Ｂを非加熱圧着ローラ
で熱圧着ラミネートする薄膜張付装置に適用することが
できる。

また、本発明は、建築材として使用される化粧板に保護
膜を張り付ける薄膜張付装置に適用することができる。

（３）発明の効果 本発明によれば、連続した薄膜を所定の寸法に切断し、
この切断された薄膜を基板に張り付ける薄膜の張付装置
において、前記薄膜の薄膜分離ローラの一端に、薄膜の
供給時の供給状態を検出する特定構成の薄膜供給検出装
置を設けたことにより、薄膜の供給が確実に行われてい
るか否かを確実に検出し、行なわれていない場合には作
業者に知らせたり、薄膜の張付装置を停止させたりする
ことができるので、製造上の歩留りを向上することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例である薄膜張付装置の概略
構成図、 第２図は、前記第１図の要部斜視図、 第３図は、前記第２図に示す薄膜供給検出装置の要部拡
大斜視図、 第４図は、前記第１図の要部拡大構成図、 第５図は、前記第１図及び第４図に示すメインバキュー
ムプレートの部分断面斜視図、 第６図は、前記第４図における矢印VI方向から見た概略
平面図、 第７図は、前記第６図のVII−VII線で切った要部断面
図、 第８図乃至第１０図は、熱圧着ラミネート方法を説明す
るために、各工程毎に示す前記第１図の要部拡大構成図
である。 図中、１Ｂ…積層体（薄膜）、２…供給ローラ、３…薄
膜分離ローラ、４…巻取ローラ、７…装置本体、８…薄
膜供給検出装置、10…メインバキュームプレート（薄膜
供給部材）、10Ｅ…仮付部、11…絶縁性基板、12…支持
部材、12Ｃ，12Ｄ，13Ａ…駆動源、13…サブバキューム
プレート（薄膜保持部材）、14…切断装置、14Ａ…ガイ
ド部材、14Ｂ…移動部材、14Ｃ…円板状カッター、15…
回転バキュームプレート（回転吸着部材）、16…熱圧着
ローラ、17，18…搬送装置、17Ａ，17Ｂ，18Ａ，18Ｂ…
搬送ローラ、19…薄膜矯正装置、20…薄膜突出装置、21
…基板ガイド部材である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】透光性樹脂フィルム、感光性樹脂、透光性
   樹脂フィルムを順次重ねた積層体からなる連続した薄膜
   から一方の透光性樹脂フィルムを薄膜分離ローラで分離
   した後、他方の透光性樹脂フィルム及び感光性樹脂層を
   所定の寸法に切断し、この切断された薄膜を基板に張り
   付ける薄膜の張付装置であって、前記薄膜分離ローラの
   一端部に、該分離ローラの回転により回転する回転板
   と、該回転板の円周部に設けられたスリット部と、該ス
   リット部を検出する検出部とを有するエンコーダからな
   る薄膜供給検出装置を設けたことを特徴とする薄膜の張
   付装置。