JPH0680691B2

JPH0680691B2 - リ−ドフレ−ムの移送装置

Info

Publication number: JPH0680691B2
Application number: JP13774784A
Authority: JP
Inventors: 一夫杉浦; 稔鳥畑; 慎一熊沢
Original assignee: Shinkawa Ltd
Current assignee: Shinkawa Ltd
Priority date: 1984-07-03
Filing date: 1984-07-03
Publication date: 1994-10-12
Anticipated expiration: 2009-10-12
Also published as: JPS6116533A

Description

【発明の詳細な説明】［発明の利用分野］本発明は半導体集積回路等の製造に用いられる半導体組
立機におけるリードフレームの移送装置に関する。

［発明の背景］従来のリードフレーム移送装置として、例えば特公昭55
−7944号公報に示すものが知られている。しかしなが
ら、この構造は、リードフレームの送り用穴にフレーム
送り爪を挿入し、この爪をリードフレームの移送方向に
移動させてリードフレームを移送するので、リードフレ
ームの送り用穴の位置及び形状が異なる品種について
は、その度に送りピンの位置及び形状を変更しなければ
ならなく、品質交換の対応が困難であつた。また送り爪
とリードフレームの送り用穴のがたによつてリードフレ
ームが位置ずれする。また前記送り爪の移動はカムによ
るため、リードフレームの送り量が異なる品質について
は、その度にカムを交換しなければならなく、この点か
らも品種交換の対応が困難であつた。

更に前記構造はリードフレームをガイドフレームの下方
にフレーム送り爪の移動機構が設けられているので、例
えばかかるリードフレーム移送装置をダイボンダに用い
る場合には、縦横等分割された多数のダイを有するウエ
ハはウエハ取付台に取付け、ウエハ取付台上よりダイを
１個づつピツクアツプして前記リードフレーム移送装置
上のリードフレームにダイボンデイングするような場合
には、ウエハ取付台の外周がリードフレーム移送装置の
側方に位置するようにしなければならないので、ダイホ
ンダの場合には装置全体が大型化する。

［発明の目的］本発明の目的は、リードフレームの送り用穴の位置及び
形状が異なる品種にも容易に対処でき、またリードフレ
ームを正確に移送できると共に、リードフレームの位置
ずれが生じた場合もその位置ずれを補正することがで
き、更にダイボンダに使用した場合は装置全体が小型化
できるリードフレームの移送装置を提供することにあ
る。

［発明の実施例］以下、本発明の一実施例を図により説明する。第１図は
一部断面平面図、第２図は正面図、第３図は背面図、第
４図は左側面図、第５図は第１図の５−５線断面図、第
６図は第１図の６−６線断面図、第７図は第２図の７−
７線断面図である。主構成は、ガイドレール幅調整機構
と、リードフレーム押え蓋上下動機構と、爪移動機構
と、爪開閉機構とからなる。

ガイドレール幅調整機構（第１図、第３図、第５図、第
６図参照）基板10の正面側及び背面側には立上り部10a、10bが形成
されており、立上り部10a、10bの左右にはそれぞれリー
ドフレーム11の送り方向と直角にねじ部材12A、12Bが回
転自在に支承されている。前記立上り部10aの正面側に
はリードフレーム11の送り方向と平行にリードフレーム
載置板13とリードフレーム側面規制板14とが固定されて
おり、リードフレーム載置板13とリードフレーム側面規
制板14でリードフレーム11の一方側面をガイドするガイ
ドレール15を形成している。またリードフレーム載置板
13とリードフレーム側面規制板14間には中央及び左右
（左右は図示せず）にそれぞれスペーサ16が配設され、
このスペーサ16によつて形成された隙間に後記する上爪
及び下爪が配設される。また前記ねじ部材12A、12Bには
前記ガイドレール15に平行に配設されたガイドレール17
が螺合されており、ガイドレール17にはリードフレーム
11の他方側面をガイドするガイド溝17aが形成されたい
る。また前記立上り部10bの上面には支持板18を介して
ガイドレール駆動用モータ19が固定されている。そし
て、モータ19の出力軸に固定されたプーリ20と前記ねじ
部材12A、12Bの一端に固定されたプーリ21A、21Bとにア
イドルローラ22、23を介してタイミングベルト24が掛け
渡されている。

従って、モータ19を回転させると、タイミングベルト24
を介してねじ部材12A、12Bが回転させられ、ガイドレー
ル17は矢印Ａ方向に駆動させられる。即ち、モータ19の
回転方向によつてガイドレール17はガイドレール15に接
近又は離反するので、ガイドレール15と17の幅が自由に
調整される。

このように、リードフレーム11の幅の変更に対して、モ
ータ19の回転量を制御するのみでガイドレール15と17の
幅が自由に調整できるので、品質交換が容易に行える。
またリードフレーム11を後記する爪移動機構及び爪開閉
機構の作用によつて移送する時はモータ19の制御によつ
てガイドレール15、17間をリードフレーム11の幅より0.
1〜0.3mm程度広くし、移送終了後にモータ19を制御して
ガイドレール15、17間を狭くすることにより、リードフ
レーム11の幅方向の正確な位置決めができる。

なお、本実施例においては、一つのガイドレール17のみ
を駆動させる場合について説明したが、ねじ部材12A、1
2Bを左右ねじに形成し、例えば左ねじ部に一方のガイド
レール15を螺合させ、右ねじ部に他方のガイドレール17
を螺合させるようにしてもよい。このように構成する
と、ねじ部材12A、12Bの回転によつてガイドレール15、
17は共に接近又は離反する方向に駆動され、両者15、17
間の幅が変えられる。また本実施例は２本のねじ部材12
A、12Bを使用してガイドレール17が平行に移動するよう
にしたが、ガイドレール17が平行に移動するようにガイ
ド部材を設け、一本のねじ部材で平行に動くようにして
もよい。

爪移動機構（第１図、第２図、第４図、第６図、第７図
参照）基板10の立上り部10aの上面には、左右両側に側板30A、
30Bが、中央側に側板30A、30Bに対向して支持板31A、31
Bが、それぞれガイドレール15、17の上方に伸びて固定
されている。前記側板30Aと支持板31Aにはローダ側の爪
移動機構が取付けられ、前記側板30Bと支持板31Bにはア
ンローダ側の爪移動機構が取付けられている。ここで、
ローダ側とアンローダ側の爪移動機構はほぼ対称に構成
されているので、同じ部材には同じ数字を付し、ローダ
側には数字に符号Ａを付して説明し、アンローダ側には
数字に符号Ｂを付して図示するのみで、説明は省略す
る。

側板30Aと支持板31Aには前記ガイドレール15、17と平行
に爪送り用ねじ部材32Aが回転自在に支承されている。
側板30Aには爪送り用モータ33Aが固定されており、この
モータ33Aの出力軸に固定されたプーリ34Aと前記ねじ部
材32Aの一端に固定されたプーリ35Aとにはタイミングベ
ルト36Aが掛け渡されている。なお、37Aはテンシヨンロ
ーラを示す。

前記ねじ部材32Aにはめねじ部材38Aが螺合しており、こ
のめねじ部材38Aを爪ホルダー39Aの４本の保持部39a、3
9b39c、39dが挟持し、かつ爪ホルダー39Aは、後記する
偏心軸52Aを中心として揺動可能に保持部39a、39b39c、
39dがめねじ部材38Aに嵌挿されている。爪ホルダー39A
は、前記ねじ部材32Aと平行に配設された後記するガイ
ド軸40Aに摺動自在に嵌挿されている。

前記爪ホルダー39Aには上爪レバー41Aがピン42Aを中心
に回転自在に支承されており、上爪レバー41Aの一端に
は上爪43Aが固定されており、前記爪ホルダー39Aには下
爪44Aが固定されている。前記上爪43Aの爪先端は前記リ
ードフレーム載置板13とリードフレーム側面規制板14間
に上方から伸び、前記下爪44Aの爪先端は前記リードフ
レーム載置板13とリードフレーム側面規制板14間に下方
から伸びており、両爪43A、44Bの先端は相対向して配設
されている。

従つて、モータ33Aが正回転すると、プーリ34A、ベルト
36A、プーリ35Aを介してねじ部材32Aが回転する。これ
により、めねじ部材38Aは第１図において右方向に移動
する。前記めねじ部材38Aには爪ホルダー39Aが挟持する
形でかつ揺動可能に嵌合されており、この爪ホルダー39
Aに上爪43Aを有する上爪レバー41Aが回動自在に設けら
れ、爪ホルダー39Aに下爪44Aが固定されているので、前
記のようにめねじ部材38Aが右方向に移動すると、上爪4
3A及び下爪44Aも共に移動する。また前記と逆に、モー
タ33Aが逆回転すると、めねじ部材38Aが左方向に移動
し、上爪43A及び下爪44Aも共に左方向移動する。

爪開閉機構（第１図、第２図、第４図、第６図、第７図
参照）この爪開閉機構も前記爪移動機構と同様に、ローダ側と
アンローダ側はほぼ対称に構成されているので、同じ部
材には同じ数字を付し、ローダ側には数字に符号Ａを付
して説明し、アンローダ側には数字に符号Ｂを付して図
示するのみで、説明は省略する。

前記ガイド軸40Aの両端は爪開閉作動板50A、51Aに固定
されており、爪開閉作動板50A、51Aは側板30Aと支持板3
1Aに取付けられた偏心軸52Aに回転自在に支承されてい
る。開閉作動板50A、51Aには、一方側に連結板53Aが固
定され、他方側に作動軸54Aが固定されている。前記上
爪レバー41Aの他端には前記作動軸54Aに対応してベアリ
ング55Aが回転自在に取付けられたピン56Aが固定されて
いる。そして、前記爪ホルダー39Aと上爪レバー41Aには
それぞればね掛け57A、58Aが固定され、このばね掛け57
A、58Aにばね59Aが掛けられ、前記ベアリング55Aは前記
作動軸54Aに当接するように付勢されている。

前記連結板53Aにはカムフオロア60Aが回転自在に支承さ
れたカムフオロア支持板61Aが固定されており、カムフ
オロア60Aが後記するカム62Aに当接するように連結板53
Aに固定されたばね掛け63Aと前記支持板31Aに掛けられ
たばね掛け64Aとに掛けられたばね65Aで付勢されてい
る。前記側板30Aにはカム軸66Aが回転自在に支承されて
おり、このカム軸66Aの内側の一端には前記カム62Aが固
定され、更に外側の他端にはプーリ67Aが固定されてい
る。また側板30Aにはモータ68Aが固定されており、この
モータ68Aの出力軸に固定されたプーリ69Aと前記プーリ
67Aとにはタイミングベルト70Aが掛け渡されている。な
お、71Aはテンシヨンローラを示す。

ここで、カム62Aのプロフイルは、第６図に示すように
上爪43Aと下爪44Aが閉じた状態より、カム62Aが180度回
転すると、カムフオロア60Aがばね65Aの付勢力で上昇
し、更にカム62Aが180度回転すると、今度は前記と逆
に、カムフオロア60Aが下方に押し下げられるように形
成されている。

従つて、第６図の状態よりモータ68Aが回転してカム62A
が180度回転し、カムフオロア60Aが上昇すると、カムフ
オロア支持板61A、支持板53Aを介して爪開閉作動板50
A、51Aが偏心軸52Aを支点として第６図において反時計
方向に回動させられる。これにより、爪ホルダー39Aも
偏心軸52Aを中心として反時計方向に回動し、下爪44Aが
下方に移動して開く。また爪開閉作動板50A、51Aによつ
て作動軸54Aが下降し、上爪レバー41Aがピン42Aを中心
として押し下げられて反時計方向に回動し、上爪43Aが
上昇して開く。この状態より更にモータ68Aが回転して
カム62Aが180度回転すると、前記と逆の作動して上爪43
A、下爪44Aが閉る。

リードフレーム押え蓋上下動機構（第１図、第２図、第
３図、第５図参照）前記基板10のほぼ中央にはリードフレーム11のボンデイ
ング部を支持するリードフレーム載置台80が固定されて
いる。このリードフレーム載置台80の上方にはボンデイ
ング用窓81aが形成されたリードフレーム押え蓋81が配
設されており、このリードフレーム押え蓋81は上下動板
82に固定されている。上下動板82には縦溝が形成された
コ字状の可動ガイド板83が固定されており、この可動ガ
イド板83の縦溝は前記支持板31Aに固定された垂直側面
を有する固定ガイド板84に上下動に嵌挿されている。ま
た前記上下動板82の側面には、前記支持板31Aに回転自
在に支承された回転軸85の一端に固定されたカム86の上
方に伸びた突出部82aが設けられている。そして、上下
動板82の突出部82aはカム86に圧接するように、支持板3
0A及び上下動板82にそれぞれ設けられたばね掛け87、88
にばね89が掛けられている。また前記回転軸85の他端に
はプーリ90が固定され、このプーリ90と前記支持板31A
に固定されたモータ91の出力軸に固定されたプーリ92と
にタイミングベルト93が掛け渡されている。

第５図はリードフレーム押え蓋81が下降しリードフレー
ム11をリードフレーム載置台80に押付けた状態を示す。
この状態よりモータ91が回転し、タイミングベルト93を
介して回転軸85が180度回転すると、カム86によつて上
下動板82が固定ガイド板84に沿つて上昇させられ、リー
ドフレーム押え蓋81が上昇させられる。更に回転軸85が
180度回転すると、前記と逆にリードフレーム押え蓋81
は下降し、第５図に示す状態となる。

次に作用について説明する。まず、始動に先立ち、ガイ
ドレール15、17間の幅を調整する。この調整は前記ガイ
ドレール幅調整機構の項目で説明したように、モータ19
を回転させて行なう。また始動前は、上爪43A及び下爪4
4Aは閉じた状態に、上爪43B及び下爪44Bは開いた状態
に、またリードフレーム押え蓋81は上昇した状態にあ
る。この状態より始動させると、図示しないローダより
リードフレーム11が供給され、リードフレーム11の先端
は閉じた状態の上爪43A及び下爪44Aに当接して位置決め
される。

次にローダ側の爪開閉機構が作動する。即ち、モータ68
Aが回転し、カム62Aが180度回転すると、爪開閉機構の
項で説明したように上爪43A及び下爪44Aが開く。その
後、爪移動機構が作動する。即ち、モータ33Aが正回転
すると、爪移動機構の項で説明したように上爪43A及び
下爪44Aが左方向（ローダ側）にリードフレーム11の１
デバイス分移動する。次に再び爪開閉機構が作動し、モ
ータ68Aによつてカム62Aが更に180度回転させられる
と、上爪43A及び下爪44Aは閉じ、上爪43Aと下爪44Aによ
つてリードフレーム11は挟持される。次に再び爪移動機
構のモータ33Aが逆回転すると、上爪43A及び下爪44Aが
右方向、即ちアンローダ側にリードフレーム11の１デバ
イス分移動する。これにより、リードフレーム11はリー
ドフレーム載置台80の方向に送られる。

この動作を順次繰返し、リードフレーム11の初めのデバ
イス部分がリードフレーム押え蓋81のボンデイング用窓
81aの上方に配設された図示しないテレビカメラによつ
てリードフレーム11のボンデイングパターンが検出され
る。検出の結果、リードフレーム11の送り方向に位置ず
れしている場合は、その補正量が演算装置で算出され、
爪開閉機構及び爪移動機構が作動し、上爪43Aと下爪44A
でリードフレーム11を挟持した状態でモータ33Aが回転
し、リードフレーム11は補正量だけ移動させられる。こ
こで、リードフレーム11が位置ずれしている場合は、モ
ータ33Aを回転させなく、ボンデイング時に補正量に応
じて図示しないボンデイング装置を制御して行うように
してもよい。

次に、ガイドレール幅調整機構が作動し、ガイドレール
幅調整機構の項で説明したようにガイドレール15、17と
リードフレーム11との隙間が除去され、リードフレーム
11の幅方向が位置決めされる。続いてリードフレーム押
え蓋上下動機構が作動し、リードフレーム押え蓋上下動
機構の項で説明したようにモータ91が180度回転する
と、リードフレーム押え蓋81が下降し、リードフレーム
11はリードフレーム載置台80に押付けられる。この状態
で、リードフレーム押え蓋81の窓81aを通して図示しな
いボンデイング装置によりリードフレーム11にペレツト
ボンデイング又はリードフレーム11とこのリードフレー
ム11にボンデイングされたペレツトにワイヤボンデイン
グがなされる。

ボンデイング終了後、リードフレーム押え蓋上下動機構
のモータ91が再び180度回転し、リードフレーム押え蓋8
1が上昇する。そして、爪開閉動機及び爪移動機構が作
動し、上爪43Aと下爪44Aとでリードフレーム11を挟持し
てリードフレーム11の次のボンデイング部分がボンデイ
ング用窓81aの下方に送られると、前記した動作を行つ
た後にボンデイングされる。このようにして順次ボンデ
イングが行われ、リードフレーム11がアンローダ側に送
られると第１図、第２図において右側に示す爪開閉機構
及び爪移動機構の上爪43Bと下爪44Bが前記説明した上爪
43Aと下爪44Aの動作と同様の動作を行ない、ボンデイン
グが終了したリードフレーム11を図示しないアンローダ
に収納する。このような動作を繰返し、順次リードフレ
ーム11の移送が行われる。

なお、上記実施例においては、上爪43A、43B及び下爪44
A、44Bが共に開閉する場合について説明したが、上爪43
A、43B及び下爪44A、44Bの一方のみが開閉し、他方は固
定、例えば上爪43A、43Bのみが開閉し、下爪44A、44Bは
固定でもよい。また上爪43A、43B及び下爪44A、44Bの開
閉はモータ68Aによつて行つたが、ソレノイド、エアー
シリンダ等で行つてもよい。

［発明の効果］以上の説明から明らかな如く、本発明によれば、リード
フレームを上爪と下爪で挟持して送るので、リードフレ
ームの送り用穴の位置及び形状に関係なくリードフレー
ムを送ることができる。またリードフレームの送りはモ
ータの回転量で制御できるため、送り量を任意に設定で
きると共に、リードフレームの位置ずれも容易に補正す
ることができる。爪開閉駆動手段、爪保持部材及び爪移
動機構はガイドレールより上方に設けられているので、
ダイボンダに用いる場合には、ウエハを取付けるウエハ
取付台のほぼ半分をリードフレーム移送装置下方に位置
させることができ、ダイボンダの場合には装置全体が小
型化する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す一部断面平面図、第２
図は正面図、第３図は背面図、第４図は左側面図、第５
図は第１図の５−５線断面図、第６図は第１図の６−６
線断面図、第７図は第２図の７−７線断面図である。 11……リードフレーム、 15、17……ガイドレール、 32A、32B……ねじ部材、 33A、33B……モータ、 34A、34B35A、35B……プーリ、 36A、36B……タイミングベルト、 38A、38B……めねじ部材、 39A、39B……爪ホルダー、 40A、40B……ガイド軸、 41A、41B……上爪レバー、 42A、42B……ピン、 43A、43B……上爪、 44A、44B……下爪、 50A、50B、51A、51B……爪開閉作動板、 52A、52B……偏心軸、 54A、54B……作動軸、 62A、62B……カム、 66A、66B……カム軸、 67A、67B……プーリ、 68A、68B……モータ、 69A、69B……プーリ、 70A、70B……タイミングプーリ。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】相対向して平行に配設されリードフレーム
をガイドする２個のガイドレールと、このガイドレール
の上方よりガイドレール間に伸びた上爪部材と、この上
爪部材に対向して配設され前記ガイドレールの下方より
ガイドレール間に伸びた下爪部材と、前記上爪部材が固
定された上爪レバーと、この上爪レバーを回転自在に支
承すると共に前記下爪部材が固定された爪ホルダーと、
回転自在に支承され前記上爪部材及び前記下爪部材を開
閉させるように前記上爪レバーを回動させ、かつ前記爪
ホルダーと一体に回動させられる爪開閉作動板と、この
爪開閉作動板を回動させる爪開閉駆動手段と、前記爪ホ
ルダーを前記ガイドレールに沿つて移動させる爪移動機
構とを有し、前記爪開閉駆動手段、爪ホルダー及び爪移
動機構は前記ガイドレールより上方に設けられているこ
とを特徴とするリードフレームの移送装置。
【請求項２】前記爪移動機構は、前記爪ホルダーを保持
するめねじ部材と、このめねじ部材に螺合したねじ部材
と、このねじ部材を回転させるモータとからなる特許請
求の範囲第１項記載のリードフレームの移送装置。