JPH0680721B2 - ウェハ位置決め機構 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 半導体装置のウェハプロセスにおけるウェハ検査装置の
ウェハ位置決め機構に関し、 サイズの異なるウェハを容易且つ効率的に検査すること
を目的とし、 所定点を中心とする円周上のほぼ均等位置に設けられた
少なくとも３個以上の軸受孔を有する固定された載置台
と、平面視が彎曲した板状で、一端には前記軸受孔と嵌
合する回転軸が他端にはガイドピンが互いに異なる面に
突出して固定され、且つ長さ方向ほぼ中間部近傍には前
記ガイドピンと同じ面に突出する摺動ピンが固定され
た、前記軸受孔と同数の回転レバーと、平面視が幅一様
なリング状で、上記載置台上に該回転レバーの厚さと対
応する隙間を保って配設されて上記所定点を中心として
所定角度範囲で回転し得ると共に、上記載置台と対向す
る面に外周部から内周部に向かい上記所定点を中心とす
る半径方向に対して所定の角度をもって設けられた前記
摺動ピン用のガイド溝を有するガイド板とを備え、該ガ
イド板の回転にともない前記摺動ピンが上記ガイド溝に
沿って摺動することによって、前記回転レバーは前記回
転軸を回動中心として回動し、前記ガイドピンによりウ
ェハの位置決めを行わせる。

〔産業上の利用分野〕

本発明は半導体装置のウェハプロセスにおけるウェハ検
査装置に係り、特にサイズの異なるウェハを容易且つ効
率的に検査するためのウェハ位置決め機構に関する。

〔従来の技術〕

第３図は従来の検査装置におけるウェハ位置決め機構の
例を示す図であり、（Ａ）は装置全体の構成図をまた
（Ｂ）はウェハ位置決め機構部を拡大した平面図であ
る。

図（Ａ）で、二点鎖線で示す装置架台１の上面には、複
数個の被検ウェハ２を整列して収納しているキャリア３
と、該キャリア３から被検ウェハ２を１個ずつ取り出し
て図示Ｒ方向に搬送する搬送アーム４と、該搬送アーム
４から被検ウェハ２を受け取ると共に該ウェハの位置を
正確に固定する位置決め機構部５および該位置決め機構
部５でセットされた上記ウェハ２を光学顕微鏡等よりな
る検査機構部６のステージ面に破線で示す２′の如く図
示Ｒ′方向に反転移送する反転アーム７が、それぞれ所
定の位置関係を保って配設されている。

また、上記の位置決め機構部５は図（Ｂ）の図に示す
如く、所定の間隔を保って表面に突出する複数個（図の
場合は２個）のガイドピン5aを備え且つ被検ウェハ２に
対応して前記装置架台１に一体化固定した固定ガイド5b
と、該固定ガイド5bと同様の２個のガイドピン5aを備え
且つ該固定ガイド5bとの間隔が変えられるように同一面
上で平行を保って図示Ｒ″方向に移動できる可動ガイド
5cとで構成されている。特に固定ガイド5bと可動ガイド
5cの対向面5b′と5c′部分には被検ウェハ２の外周とほ
ぼ等しい円弧状のへこみが形成されており、該可能ガイ
ド5cが被検ウェハを押して所定の位置に移動した時点で
破線を示す被検ウェハ２の周囲を該円弧状のへこみおよ
び４個の上記ガイドピン5aで挟持固定するようになって
いる。

ここで前述の搬送アーム４で被検ウェハ２を図の破線で
示す位置決め機構部５の所定位置にセットした後、可動
ガイド5cをＲ″方向に移動させて図に示す如く被検ウ
ェハ２をその周囲で挟んで固定し、以後前述の反転アー
ム７で該被検ウェハ２を検査機構部６のステージ部分に
移動して該ウェハ２を検査するようにしている。

かかる構成になるウェハ位置決め機構では、位置決めさ
れる被検ウェハ２の中心位置（図示のＣ点）が一定なる
ため同一サイズのウェハを連続して検査する場合は効率
がよいが、径の異なるウェハを検査する場合にはウェハ
の中心位置がずれることから固定ガイド5bおよび可動ガ
イド5cを共に交換しなければならない。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来のウェハ位置決め機構では、外径の異なるウェハを
連続して検査機構部に搬送することができないという問
題があった。

〔課題を解決するための手段〕

上記問題点は、所定点を中心とする円周上のほぼ均等位
置に設けられた少なくとも３個以上の軸受孔を有する固
定された載置台と、平面視が彎曲した板状で、一端には
前記軸受孔と嵌合する回転軸が他端にはガイドピンが互
いに異なる面に突出して固定され、且つ長さ方向ほぼ中
間部近傍には前記ガイドピンと同じ面に突出する摺動ピ
ンが固定された、前記軸受孔と同数の回転レバーと、平
面視が幅一様なリング状で、上記載置台上に該回転レバ
ーの厚さと対応する隙間を保って配設されて上記所定点
を中心として所定角度範囲で回転し得ると共に、上記載
置台と対向する面に外周部から内周部に向かい上記所定
点を中心とする半径方向に対して所定の角度をもって設
けられた前記摺動ピン用のガイド溝を有するガイド板と
を備え、該ガイド板の回転にともない前記摺動ピンが上
記ガイド溝に沿って摺動することによって、前記回転レ
バーは前記回転軸を回動中心として回動し、前記ガイド
ピンによりウェハの位置決めを行わせるウェハ位置決め
機構によって解決される。

〔作 用〕

送られてくるウェハを固定ガイドで位置決めする従来の
方法に代えて、ウェハの周囲から同一の押圧力で固定す
る機構部を装置の所定位置に配設すれば、いかなる外径
のウェハでも所定の位置に容易に固定することができ
る。

本発明では、装置架台の所定点を中心とする円周上に所
定間隔を持って配置し且つほぼ半径方向に同時に同距離
だけ移動できる少なくとも３個以上複数個のガイドピン
でウェハの周囲を固定するようにしている。

従って外径に関係なくいかなるウェハでも連続して容易
に且つ正確に所定位置への位置決めを実現している。

〔実施例〕

第１図は本発明になるウェハ位置決め機構を説明する図
であり、（Ａ）は動作原理を示した図を（Ｂ）は理解し
易くするために付した部品図である。

なお図（Ｂ）のは部品上面からまたは部品を下側か
らそれぞれ見た場合を示している。

また第２図は本発明になるウェハ位置決め機構でウェハ
を固定した図である。

第１図（Ａ），（Ｂ）で、10は第３図における所定点Ｃ
に中心を持つ円形状の載置台であり、該載置台２の上記
Ｃ点を中心とする円周上の所定位置（図の場合には六等
分してある）Ｐ点には軸受孔10aが設けられている。

また該載置台２の上面に組合わせる弯曲した板状の回転
レバー11は、斜視図に示す如くその一端に上記軸受孔
10aと嵌合して円滑に回転する回転軸11aをまた他端には
該回転軸11aと反対面に突出するガイドピン11bを備え、
且つ上記回転レバー11の長さ方向のほぼ中間部分には該
ガイドピン11bと同じ方向に突出する摺動ピン11cが固定
されている。

従って該回転レバー11の回転軸11aを上記載置台10のＰ
点に設けられている軸受孔10aに挿入した状態では、該
回転レバー11はＰ点を中心として自由に回転することが
できる。

また該回転レバー11を上記載置台10に挿着した後その上
部に配設する円板リング状のガイド板12は、その外周部
分が前記載置台10の周辺部所定位置に形成されているガ
イド10bの内面部10b′でガイドされて上記Ｃ点を中心と
して回転するように構成されている。

更に該ガイド板12は、下側から見た斜視図の如く上記
Ｃ点を中心とする同心のリング状に形成されており、そ
の下面には円周を六等分する位置に上記回転レバー11の
ガイドピン11bがその直径方向に円滑に摺動できるガイ
ド溝12が上記Ｃ点に対して所定の角度αをもって同じ方
向に傾いて形成されており、また外周上の一箇所には該
ガイド板12と一体化されているレバー12bが形成されて
いる。

そこで上述の如く複数の回転レバー11を載置台10にそれ
ぞれ挿着し、更に該ガイド板12をそのガイド溝12aが回
転レバー11の各対応する摺動ピン11cと嵌合するように
組合わせて配設する。

この状態で回転レバー11は、回転軸11aおよび摺動ピン1
1cによって位置が決定せられて動くことがない。

例えば図では、摺動ピン11cが●で示すP₁にある場合に
はガイドピン11bが固定するウェハサイズは一点鎖線で
示すＤである。

ここでレバー12bでガイド板12を図示矢印Ｒ方向に回転
させると、ガイド溝12aがＰ点を中心として回転する回
転レバー11の上記摺動ピン11cを溝に沿って移動させて
例えば●で示すP₂の位置に移動する。この結果該回転レ
バー11の他端にあるガイドピン11bは上記Ｐ点を中心と
して回転し破線で示す如く図示Ｒ′の方向に移動する。

この場合のガイドピン11bが固定できるウェハサイズは
二点鎖線で示すＤ′となる。

更に該回転レバー11上のガイドピン11bの径を摺動ピン1
1cの径に合わせた場合には、該ガイドピン11bをガイド
板12に形成したガイド溝12aに嵌合させることが可能と
なり、かかる構成にした場合には摺動ピン11cの突出部
が被検ウェハ２を保持することになるため径の大きい被
検ウェハ２を保持することができる。

なおいずれの場合でもウェハ中心位置はＣ点であってウ
ェハの径によって変わることがない。

従っていかなるサイズのウェハでも、レバー12bの回転
角度を変えることによって位置決めし固定することがで
きる。

第２図で載置台10の上にはガイド板12が配設されてお
り、この載置台10とガイド板12の間に回転レバー11が組
合わされていることは第１図で説明した通りであり、図
では回転レバー11の一部が表面に露出しているが、被検
ウェハ２はガイドピン11bで所定の位置すなわち第１図
のＣ点と中心が合致する位置に固定されている。

13はガイド板12を保護するためのカバーであり、その一
部にはガイド板12のレバー12b用の窓13aがあけられてい
る。

図では被検ウェハ２がガイドピン11bで固定されている
が、レバー12bを図のR₁方向に逆回転させると第１図に
おける説明と逆の動作によってガイドピン11bが外側す
なわち図示R₁′方向に開いて被検ウェハ２を取り出すこ
とができる。

〔発明の効果〕

上述の如く本発明により、いかなる径のウェハでもレバ
ーを動作することによって自由に且つ確実に装置架台上
の所定位置に固定することのできるウェハ位置決め機構
を提供することができる。

なお本発明の説明に当たっては、回転レバーを動作させ
るのに外部に突出しているレバーを使用しているが、外
部からの制御信号によって回転レバーを電気的に回転さ
せても同等の効果を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明になるウェハ位置決め機構を説明する
図、 第２図は本発明になるウェハ位置決め機構でウェハを固
定した図、 第３図は従来の検査装置におけるウェハ位置決め機構の
例を示す図、 である。図において、 ２は被検ウェハ、 10は載置台、10aは軸受孔、 10bはガイド、10b′は内面部、 11は回転レバー、11aは回転軸、 11bはガイドピン、11cは摺動ピン、 12はガイド板、12aはガイド溝、 12bはレバー、 13はカバー、13aは窓、 をそれぞれ表わす。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】所定点を中心とする円周上のほぼ均等位置
   に設けられた少なくとも３個以上の軸受孔（10a）を有
   する固定された載置台（10）と、 平面視が彎曲した板状で、一端には前記軸受孔（10a）
   と嵌合する回転軸（11a）が他端にはガイドピン（11b）
   が互いに異なる面に突出して固定され、且つ長さ方向ほ
   ぼ中間部近傍には前記ガイドピン（11b）と同じ面に突
   出する摺動ピン（11c）が固定された、前記軸受孔（10
   a）と同数の回転レバー（11）と、 平面視が幅一様なリング状で、上記載置台（10）上に該
   回転レバー（11）の厚さと対応する隙間を保って配設さ
   れて上記所定点を中心として所定角度範囲で回転し得る
   と共に、上記載置台（10）と対向する面に外周部から内
   周部に向かい上記所定点を中心とする半径方向に対して
   所定の角度をもって設けられた前記摺動ピン（11c）用
   のガイド溝（12a）を有するガイド板（12）とを備え、 該ガイド板（12）の回転にともない前記摺動ピン（11
   c）が上記ガイド溝（12a）に沿って摺動することによっ
   て、前記回転レバー（11）は前記回転軸（11a）を回動
   中心として回動し、前記ガイドピン（11b）によりウェ
   ハの位置決めを行わせることを特徴とするウェハ位置決
   め機構。