JPH0681027A - Exhaust gas sampling device in vacuum refining furnace - Google Patents

Exhaust gas sampling device in vacuum refining furnace

Info

Publication number
JPH0681027A
JPH0681027A JP23485892A JP23485892A JPH0681027A JP H0681027 A JPH0681027 A JP H0681027A JP 23485892 A JP23485892 A JP 23485892A JP 23485892 A JP23485892 A JP 23485892A JP H0681027 A JPH0681027 A JP H0681027A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
exhaust gas
probe
filter
exhaust
vacuum refining
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP23485892A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hidefumi Tachibana
秀文 橘
Toshiyuki Yamamoto
俊行 山本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Steel Corp
Original Assignee
Sumitomo Metal Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Metal Industries Ltd filed Critical Sumitomo Metal Industries Ltd
Priority to JP23485892A priority Critical patent/JPH0681027A/en
Publication of JPH0681027A publication Critical patent/JPH0681027A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
  • Treatment Of Steel In Its Molten State (AREA)
  • Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 高真空下においても安定して排ガスを採取す
ることができる排ガス採取装置を提供すること。 【構成】 排気ダクト2内に突設したプローブ51,52 の
中間部511,511 にプレフィルタPF,PF を配置しシールを
施した後蓋510,510 を取付け、排ガス浄化装置6及びパ
ージ装置7と揉構造管81,81,82,82 を介して接続する。
排ガス浄化装置6にはフィルタF1 ,F2 を内蔵し真空
装置用継手9,9を介して濾過器66が配設されており、
この排ガス浄化装置6は濾過した排ガスの成分を分析す
る分析装置4と揉構造管83を介して接続されている。ま
た前記濾過器66の両端にはパージ装置7よりのライン70
3,704 が接続されている。
(57) [Summary] [Purpose] To provide an exhaust gas sampling apparatus capable of stably sampling exhaust gas even under high vacuum. [Structure] Prefilters PF, PF are arranged and sealed on the intermediate parts 511, 511 of the probes 51, 52 projecting in the exhaust duct 2, and the rear lids 510, 510 are attached, and the exhaust gas purifying device 6 and the purging device 7 and the massage structure pipe are attached. Connect via 81,81,82,82.
The exhaust gas purifying device 6 has filters F 1 and F 2 built-in, and a filter 66 is disposed via vacuum device joints 9 and 9.
The exhaust gas purification device 6 is connected to the analysis device 4 for analyzing the components of the filtered exhaust gas via a kneading structure pipe 83. A line 70 from the purging device 7 is provided at both ends of the filter 66.
3,704 are connected.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は真空精錬炉からその真空
精錬過程において排出される排ガスを採取する装置に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for collecting exhaust gas discharged from a vacuum refining furnace during the vacuum refining process.

【0002】[0002]

【従来の技術】鋼中の炭素量は鋼の品質及び機械的強度
に大きな影響を及ぼすので、真空精錬工程において炭素
含有量を目標値に合致させることが大切である。炭素含
有量を制御する方法として、真空精錬炉から排出される
排ガスの成分分析値に基づくダイナミック制御方法が広
く行われている。
2. Description of the Related Art Since the amount of carbon in steel has a great influence on the quality and mechanical strength of steel, it is important to match the carbon content with the target value in the vacuum refining process. As a method for controlling the carbon content, a dynamic control method based on the component analysis value of the exhaust gas discharged from the vacuum refining furnace is widely used.

【0003】真空精錬炉からの排ガスの成分を分析する
装置として、常圧(760Torr) の場所で排ガス成分を分析
する装置が公知である。この装置は、真空精錬炉から離
れた所に設置されている真空ポンプ (ブースタまたはエ
ジェクタポンプ) の出側において常圧の排ガスをサンプ
リングし、質量分析計又は赤外線方式分析計等にてその
成分を分析するようになされている。
As an apparatus for analyzing exhaust gas components from a vacuum refining furnace, an apparatus for analyzing exhaust gas components at a normal pressure (760 Torr) is known. This equipment samples atmospheric pressure exhaust gas on the outlet side of a vacuum pump (booster or ejector pump) installed away from the vacuum refining furnace, and analyzes its components with a mass spectrometer or infrared type analyzer. It is designed to be analyzed.

【0004】ところが、このような分析装置では、排ガ
スの移動に長時間を要するので、経時的にタイムリーな
分析結果を得ることができないという難点がある。
However, in such an analyzer, it takes a long time to move the exhaust gas, so that it is difficult to obtain a timely analysis result with time.

【0005】また、排ガスを質量分析計に導入する系に
そのコンダクタンスを可変としたバルブ機構を備えて、
連続的に排ガスの成分分析を行う装置が、特公昭60-110
85号公報に開示されている。以下、ここに開示された分
析装置について簡単に説明する。
Further, a system for introducing exhaust gas into the mass spectrometer is provided with a valve mechanism whose conductance is variable,
A device that continuously analyzes the components of exhaust gas is
It is disclosed in Japanese Patent Publication No. 85. The analyzer disclosed herein will be briefly described below.

【0006】図4はこの分析装置の構成を示す概略図で
あり、図中31は真空精錬炉 (図示せず) に連結され、真
空精錬炉からの排ガスを排気するための煙道たる排気ダ
クトである。排気ダクト31内には、排ガスの一部を採取
するためのガス採取管32が突設されており、ガス採取管
32の終端は、排ガスの成分を分析する質量分析計33に連
結している。ガス採取管32には、コンダクタンスが互い
に異なる3本のバルブ34a,34b,34c が並列的に介設され
ており、排気ダクト31に設置された真空計35からの計測
信号により、これらのうちから任意のバルブが選択され
て開けられるようになっている。また、バルブ34a,34b,
34c の介設位置より上流側のガス採取管32には、塵埃を
ろ過するダストトラップ36が介設されている。更に、ガ
ス採取管32には、その上流側から下流側にかけて、排気
ダクト31から排出された排ガスを質量分析計33に導入す
るための2個の真空ポンプ37,37 、質量分析計33を排気
するための排気ポンプ38が、この順に設けられている。
FIG. 4 is a schematic diagram showing the structure of this analyzer. In the figure, 31 is connected to a vacuum refining furnace (not shown) and is an exhaust duct which is a flue for exhausting exhaust gas from the vacuum refining furnace. Is. In the exhaust duct 31, a gas sampling pipe 32 for collecting a part of the exhaust gas is provided so as to project.
The end of 32 is connected to a mass spectrometer 33 which analyzes the components of the exhaust gas. In the gas sampling pipe 32, three valves 34a, 34b, 34c having different conductances are interposed in parallel, and one of them is measured by a measurement signal from a vacuum gauge 35 installed in the exhaust duct 31. Any valve can be selected and opened. In addition, the valves 34a, 34b,
A dust trap 36 for filtering dust is interposed in the gas sampling pipe 32 on the upstream side of the interposed position of 34c. Further, in the gas sampling pipe 32, from the upstream side to the downstream side thereof, two vacuum pumps 37, 37 for introducing the exhaust gas discharged from the exhaust duct 31 into the mass spectrometer 33 and the mass spectrometer 33 are exhausted. An exhaust pump 38 for performing the operation is provided in this order.

【0007】このような構成の装置では、排気ダクト31
からガス採取管32を介して質量分析計33へ排ガスを導入
して、排ガスの成分を連続的に分析する。この際、排気
ダクト31内の圧力を真空計35にて計測し、その計測値に
基づいて、3本のバルブ34a,34b,34c から最適なコンダ
クタンスを有するバルブを選択するので、質量分析計33
へ導入される排ガスの圧力を略一定に保つことができ、
排ガスの成分を分析することは可能である。
In the apparatus having such a structure, the exhaust duct 31
The exhaust gas is introduced into the mass spectrometer 33 through the gas sampling pipe 32 and the components of the exhaust gas are continuously analyzed. At this time, the pressure in the exhaust duct 31 is measured by the vacuum gauge 35, and the valve having the optimum conductance is selected from the three valves 34a, 34b, 34c based on the measured value.
The pressure of the exhaust gas introduced into the
It is possible to analyze the components of the exhaust gas.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】ところでこのような従
来の装置を実際に排気ダクトに配設し、その排ガスの一
部を採取するためには、開始の際は常圧で、その後高真
空となる真空精錬の環境下において、非常に高温で塵埃
を多量に含み高湿度である排ガスを採取し得るように、
前記装置が構成されている必要がある。
By the way, in order to actually dispose such a conventional device in the exhaust duct and to collect a part of the exhaust gas, it is necessary to use a normal pressure at the start and a high vacuum thereafter. In the environment of vacuum refining, it becomes possible to collect exhaust gas that is very hot and contains a large amount of dust and that has high humidity.
The device must be configured.

【0009】即ち、高真空下での排気ガスの採取におい
ては、排気ダクト31から質量分析計33へ連通するガス採
取管32からの外気の吸込みが生じると質量分析計33で正
確な分析が行えず大きな問題とるなる。ここでガス採取
管32が接続部の無い一本の管であれば前記問題は生じな
い。しかしその場合、排ガス中の塵埃によるダストトラ
ップ36の目づまり及び採取口からダストトラップ36間の
管の汚れ、又は高温・高湿の排ガスからの凝縮水等によ
るガス採取管32のつまりに対処し得ず、従って安定した
排ガスの採取を行うことは不可能である。
That is, when collecting the exhaust gas under a high vacuum, when the outside air is sucked from the gas sampling pipe 32 communicating with the mass spectrometer 33 from the exhaust duct 31, accurate analysis can be performed by the mass spectrometer 33. It will be a big problem. If the gas sampling pipe 32 is a single pipe having no connecting portion, the above problem does not occur. However, in that case, the clogging of the dust trap 36 due to the dust in the exhaust gas and the contamination of the pipe between the collection port and the dust trap 36, or the clogging of the gas collection pipe 32 due to the condensed water from the high temperature and high humidity exhaust gas, etc. should be dealt with. Therefore, it is impossible to obtain a stable exhaust gas.

【0010】一方、これを解決するために接続部を介す
る構成とする場合、例えば真空精錬中に真空精錬炉から
伝導する振動により接合部にゆるみが生じ、そのため外
気の吸込みが発生する虞がある。本発明はかかる事情に
鑑みてなされたものであり、高真空下においても安定し
て排ガスを採取することができる排ガス採取装置を提供
することを目的とする。
On the other hand, in the case of adopting the structure through the connecting portion to solve this problem, for example, the vibration is transmitted from the vacuum refining furnace during the vacuum refining, so that the joint is loosened, so that the intake of the outside air may occur. . The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide an exhaust gas sampling apparatus that can stably collect exhaust gas even under a high vacuum.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】第1発明に係る排ガス採
取装置は、真空精錬中に排出される排ガスを採取するプ
ローブと、該プローブで採取した排ガスを浄化して排ガ
スの成分を分析する分析装置へ導入する排ガス浄化装置
とを備える排ガス採取装置において、前記プローブ及び
前記排ガス浄化装置は排ガス中の塵埃を除去するフィル
タを脱着可能に備え、その脱着部分に外気の吸込みを防
止するシール手段を具備することを特徴とする。
An exhaust gas collecting apparatus according to a first aspect of the present invention is a probe for collecting exhaust gas discharged during vacuum refining, and an analysis for purifying the exhaust gas collected by the probe to analyze the components of the exhaust gas. In the exhaust gas collecting device having an exhaust gas purifying device to be introduced into the device, the probe and the exhaust gas purifying device are detachably provided with a filter for removing dust in the exhaust gas, and a sealing means for preventing intake of outside air to the detached portion. It is characterized by having.

【0012】また第2発明に係る排ガス採取装置は、前
記プローブには前記排ガス浄化装置から該プローブ方向
へパージガスを通流し、また前記排ガス浄化装置には前
記分析装置から該排ガス浄化装置方向へパージガスを通
流するパージ装置がそれぞれ接続されていることを特徴
とする。
Further, in the exhaust gas collecting apparatus according to the second aspect of the present invention, purge gas flows from the exhaust gas purifying apparatus to the probe in the probe direction, and purge gas flows from the analyzing apparatus to the exhaust gas purifying apparatus in the exhaust gas purifying apparatus. It is characterized in that the purging devices for flowing through are respectively connected.

【0013】更に第3発明に係る排ガス採取装置は、真
空精錬中に排出される排ガスを採取するプローブと、該
プローブで採取した排ガスを浄化して排ガスの成分を分
析する分析装置へ導入する排ガス浄化装置とを備える排
ガス採取装置において、前記プローブと前記排ガス浄化
装置との間及び前記排ガス浄化装置と前記分析装置との
間は共に振動を吸収する揉構造管で接続されていること
を特徴とする。
Further, an exhaust gas collecting apparatus according to a third aspect of the present invention is a probe for collecting the exhaust gas discharged during vacuum refining, and an exhaust gas for introducing into the analyzer for purifying the exhaust gas collected by the probe and analyzing the components of the exhaust gas. In an exhaust gas sampling device including a purifying device, the probe and the exhaust gas purifying device, and between the exhaust gas purifying device and the analyzing device are connected by a kneading structure pipe that absorbs vibrations, To do.

【0014】[0014]

【作用】第1の発明においては、脱着可能にフィルタを
備えるため、フィルタが目づまりした場合、容易にフィ
ルタの交換が行え、しかも脱着部分にはシール手段が施
されているため高真空下でも外気吸込みの虞がない。
In the first aspect of the invention, since the filter is detachably attached, if the filter is clogged, the filter can be easily replaced, and since the detached portion is provided with the sealing means, even under high vacuum. There is no danger of inhaling outside air.

【0015】第2の発明においては、プローブには排ガ
ス浄化装置から該プローブ方向へ、また排ガス浄化装置
には分析装置から該排ガス浄化装置方向へ、それぞれパ
ージガスを通流することにより、プローブ及び排ガス浄
化装置を設置されたフィルタに蓄積した汚れを取除くこ
とができ、また待機中のプローブにあっては待機中に排
ガスが侵入しない。
In the second aspect of the invention, the probe and the exhaust gas are passed by passing the purge gas through the probe from the exhaust gas purifying device toward the probe and through the exhaust gas purifying device toward the exhaust gas purifying device toward the exhaust gas purifying device. Dirt accumulated on the filter equipped with the purifying device can be removed, and exhaust gas does not enter the standby probe.

【0016】第3の発明においては、プローブ, 排ガス
浄化装置及び分析装置が揉構造管を介して接続されてい
るため、各装置で発生する振動が吸収されて接続部ゆる
みが防止される。
In the third aspect of the invention, since the probe, the exhaust gas purifying device and the analyzing device are connected through the kneading structure pipe, vibration generated in each device is absorbed and loosening of the connecting portion is prevented.

【0017】[0017]

【実施例】以下本発明をその実施例を示す図面に基づい
て具体的に説明する。図1は本発明に係る排ガス採取装
置の概略を示すブロック図である。図中1は溶鋼が入っ
た取鍋(図示せず)を内部に収容し溶鋼を真空精錬する
真空精錬炉である。そして真空精錬炉1に排気ダクト2
を介して真空ポンプ3が接続されている。真空精錬中に
排出される排ガスは、真空ポンプ3によって排気ダクト
2を図中白抜き矢符方向へ排気される。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be specifically described below with reference to the drawings showing the embodiments thereof. FIG. 1 is a block diagram showing an outline of an exhaust gas collecting apparatus according to the present invention. Reference numeral 1 in the figure is a vacuum refining furnace for accommodating a ladle (not shown) containing molten steel therein and for refining the molten steel in a vacuum. And exhaust duct 2 in vacuum refining furnace 1
The vacuum pump 3 is connected via. The exhaust gas discharged during the vacuum refining is exhausted through the exhaust duct 2 by the vacuum pump 3 in the direction of the white arrow in the figure.

【0018】このような真空精錬装置において、排ガス
の成分を分析するため排気ダクト2に排ガスの採取口た
るプローブ51,52 が貫通されており、該プローブ51,52
は排ガス中の微細な塵埃を除去する排ガス浄化装置6
に、振動を吸収する揉構造管80、例えばフレキシブル管
を介して接続され、排ガス浄化装置6は同様に揉構造管
80を介して排ガスの成分を分析する排ガス分析装置4と
接続されている。
In such a vacuum refining apparatus, in order to analyze the components of the exhaust gas, the exhaust duct 2 is penetrated with probes 51, 52 as exhaust gas sampling ports.
Is an exhaust gas purification device 6 that removes fine dust in the exhaust gas
Is connected via a kneading structure pipe 80 that absorbs vibrations, for example, a flexible pipe, and the exhaust gas purifying apparatus 6 is similarly connected to the kneading structure pipe 80.
It is connected via 80 to the exhaust gas analyzer 4 for analyzing the components of the exhaust gas.

【0019】一方、前記プローブ51,52 の排ガス浄化装
置6側端部にはパージ装置7よりのラインが揉構造管80
を介して開設されており、また排ガス浄化装置6の分析
装置4側のラインにはパージ装置7よりのラインが開設
されている。そしてパージ装置7よりパージガスを通流
して、プローブ51,52 及び排ガス浄化装置6に付着した
塵埃を取除き、及びプローブ51,52 をパージする。
On the other hand, a line from the purging device 7 is provided at the end portion of the probes 51, 52 on the exhaust gas purifying device 6 side.
Further, a line from the purging device 7 is opened on the line of the exhaust gas purification device 6 on the analysis device 4 side. Then, the purge gas is passed from the purging device 7 to remove dust adhering to the probes 51, 52 and the exhaust gas purifying device 6 and to purge the probes 51, 52.

【0020】このように構成された装置を、その一例を
示す図2に基づいてさらに詳しく説明する。図2は排気
ダクト2に2本のプローブ51,52 が貫通した排ガス採取
装置の構成を示す模式図である。図中51及び52は図中矢
符方向へ排気される排ガスを採取するプローブであり、
プローブ51が排気方向の上流、プローブ52が排気方向の
下流となるように排気ダクト2内に突設されている。円
筒状をしたプローブ51(52)の一端は排気ダクト2中へ突
出させ、他端は蓋510(520)を脱着可能に取付けている。
そして蓋510(520)には排ガス浄化装置6へ通じるライン
601(602)及びパージ装置7へ通じるライン701(702)が開
設されている。
The device thus configured will be described in more detail with reference to FIG. 2 showing an example thereof. FIG. 2 is a schematic diagram showing the configuration of an exhaust gas sampling apparatus in which two probes 51, 52 penetrate the exhaust duct 2. In the figure, 51 and 52 are probes for collecting exhaust gas exhausted in the arrow direction in the figure,
The probe 51 is projectingly provided in the exhaust duct 2 so that the probe 51 is upstream in the exhaust direction and the probe 52 is downstream in the exhaust direction. One end of the cylindrical probe 51 (52) is projected into the exhaust duct 2, and the other end is detachably attached with a lid 510 (520).
And the line leading to the exhaust gas purification device 6 is connected to the lid 510 (520).
A line 701 (702) leading to the 601 (602) and the purging device 7 is established.

【0021】また蓋510(520)の取付け部から排気ダクト
2までの中間部511(521)は、冷却水が還流する二重構造
となっており、前記取付け部には排ガス中の比較的大き
な塵埃を除去する直径10μm 〜20μm の耐熱性のプレフ
ィルタPF(PF)が挿入されており、プレフィルタPF(PF)と
中間部511(521)との間及びプレフィルタPF(PF)と蓋510
(520)との間にはそれぞれ外気の吸込みを防ぐ耐熱性の
Oリング又はパッキン等のシールSが施されている。
The intermediate portion 511 (521) from the attachment portion of the lid 510 (520) to the exhaust duct 2 has a double structure in which cooling water flows back, and the attachment portion is relatively large in the exhaust gas. A heat-resistant prefilter PF (PF) with a diameter of 10 μm to 20 μm for removing dust is inserted, and it is inserted between the prefilter PF (PF) and the intermediate part 511 (521) and between the prefilter PF (PF) and the lid 510.
A seal S such as a heat-resistant O-ring or packing is provided between the (520) and the (520) to prevent intake of outside air.

【0022】このように構成されたプローブ51より多量
の塵埃を含む排ガスを採取するが、その際比較的大きな
塵埃はプローブ51に設置されたプレフィルタPFにて捕集
される。捕集された塵埃はプレフィルタPFに徐々に蓄積
するため目づまりを生じ安定な排ガスの採取が行えなく
なる虞がある。そこで目づまりが生じる前にバルブを操
作して待機させておいたプローブ52より排ガスを採取
し、プローブ51よりの採取を中止する。そしてプローブ
51は後述するパージ装置からのライン701 よりパージガ
スをプレフィルタPFに吹付け逆洗することによって再生
し、次の排ガス採取に備える。
Exhaust gas containing a large amount of dust is collected from the probe 51 having the above-described structure, and at this time, relatively large dust is collected by the pre-filter PF installed on the probe 51. Since the collected dust gradually accumulates in the pre-filter PF, there is a risk that clogging will occur and stable exhaust gas collection will not be possible. Therefore, the exhaust gas is sampled from the probe 52, which was operated by operating the valve before the occurrence of clogging, and the sampling from the probe 51 is stopped. And the probe
The line 51 is regenerated by spraying a purge gas onto a pre-filter PF from a line 701 from a purging device which will be described later to backwash and prepare for the next exhaust gas collection.

【0023】一方、パージガスによる逆洗によってプレ
フィルタPFの目づまりが解消できない場合は、プレフィ
ルタPFを交換するが、プローブ51は蓋510 が脱着可能で
あるためプレフィルタPFは容易に交換できる。ところ
で、中間部511,プレフィルタPF, 蓋510 の間は前述した
如くそれぞれシールされているため、高真空下において
もこれらの部分より外気を吸込む虞はない。また排ガス
は非常に高温であるため、中間部511 が膨張し蓋510 と
の間にすき間が生じる虞があるが、中間部511 は冷却水
を通流できるよう二重構造となっており、通流した冷却
水によって膨張は抑制される。
On the other hand, when the clogging of the prefilter PF cannot be eliminated by backwashing with the purge gas, the prefilter PF is replaced, but the lid 510 of the probe 51 is removable, so the prefilter PF can be easily replaced. By the way, since the middle portion 511, the pre-filter PF, and the lid 510 are sealed as described above, there is no possibility that the outside air is sucked from these portions even under a high vacuum. In addition, since the exhaust gas is extremely hot, there is a risk that the intermediate portion 511 will expand and a gap will form between it and the lid 510, but the intermediate portion 511 has a double structure to allow cooling water to flow. Expansion is suppressed by the flowing cooling water.

【0024】プローブ51,52 で採取された排ガスは揉構
造管81,81 を介して排ガス浄化装置に送給される。排ガ
ス浄化装置の要部は、直径1〜2mmの耐熱性のフィルタ
1,F2 を内部に配設したカートリッジ式の濾過器66
であり、その一端はライン601,602 へ連通するライン60
3 と、他端はガス成分分析装置4へ連通するライン604
と、真空装置用継手(例えばスエジロック)により接続
されている。そしてライン603,604 にはパージ装置7に
連通するライン704,703 がそれぞれ接続されている。
The exhaust gas collected by the probes 51, 52 is sent to the exhaust gas purifying apparatus via the kneading structure pipes 81, 81. The main part of the exhaust gas purifying apparatus is a cartridge type filter 66 in which heat resistant filters F 1 and F 2 having a diameter of 1 to 2 mm are arranged.
Line 60, which is connected to lines 601, 602 at one end.
3 and a line 604 communicating the other end with the gas component analyzer 4.
And a vacuum device joint (for example, Swagelok). Lines 704 and 703 communicating with the purging device 7 are connected to the lines 603 and 604, respectively.

【0025】また濾過器66に接続するライン603 へ連通
しプローブ51及びプローブ52へそれぞれ接続するライン
601 及びライン602 にはそれぞれ2個のエアー弁101,10
2,111,112 がそれぞれ直列に介設されており、万一外気
の吸込みが生じた場合これらのラインを閉塞して分析装
置4への外気の流入を防止している。なお、このように
2個のエアー弁を直列に介設すると外気流入防止の信頼
度が高まる。
A line connected to the line 603 connected to the filter 66 and connected to the probe 51 and the probe 52, respectively.
Two air valves 101 and 10 are provided for 601 and line 602, respectively.
2,111,112 are respectively provided in series, and when the outside air is sucked in, these lines are closed to prevent the outside air from flowing into the analyzer 4. If two air valves are provided in series in this way, the reliability of preventing the inflow of outside air is increased.

【0026】プローブ51,52 のプレフィルタPF,PF にて
比較的大きな塵埃が取除かれた排ガスは、濾過器66に配
設されたフィルタF1 ,F2 によって更に細かい塵埃が
取除かれた後、真空ポンプ14,14 によって、コンダクタ
ンスを調整するインレットユニット12を介して質量分析
計又は赤外線方式分析計等の排ガス成分分析計13に導入
される。この際排ガスは、濾過器66によって浄化される
ため分析値が安定し、また分析計13に悪影響を及ぼさな
い。
Exhaust gas from which relatively large dust has been removed by the pre-filters PF, PF of the probes 51, 52 has finer dust removed by filters F 1 , F 2 arranged in the filter 66. After that, the gas is introduced into the exhaust gas component analyzer 13 such as a mass spectrometer or an infrared type analyzer through the inlet unit 12 for adjusting the conductance by the vacuum pumps 14, 14. At this time, since the exhaust gas is purified by the filter 66, the analysis value is stable and does not adversely affect the analyzer 13.

【0027】排ガスの濾過によるフィルタF1 ,F2
汚れはパージガスを分析装置4から排ガス浄化装置6方
向に吹付けることにより取除き、汚れを含んだパージガ
スはパージガス排気ライン704,705 より排気される。ま
たこれによりフィルタF1 ,F2 の目づまりが解消でき
ない場合は、濾過器66を新しいものと交換する。この際
真空装置用継手を使用しているため、濾過器66の交換が
容易であるが、高真空下における外気吸込みの虞はな
い。
Contamination of the filters F 1 and F 2 due to the filtration of the exhaust gas is removed by spraying the purge gas from the analyzer 4 toward the exhaust gas purifier 6, and the purge gas containing the dirt is exhausted from the purge gas exhaust lines 704 and 705. If the clogging of the filters F 1 and F 2 cannot be eliminated by this, the filter 66 is replaced with a new one. At this time, since the joint for the vacuum device is used, the filter 66 can be easily replaced, but there is no risk of the outside air being sucked in under a high vacuum.

【0028】なお本実施例において濾過器をカートリッ
ジ式としているが、本発明はこれに限られるものでな
く、その一端又は両端をプローブ51,52 と同様脱着可能
な蓋とし、シールを施してもよい。このようなプローブ
51,52 及び排ガス浄化装置には前述した如くパージ装置
7からのラインが接続されている。そしてこのパージ装
置7は以下の動作をする。まずプローブ51にて排ガスを
採取している際、パージガスとして例えばN2 ガスを少
量、ライン702 より待機中のプローブ52に通流する。プ
ローブ52はパージガスによって排気ダクト2内よりも陽
圧となるため、排ガスがプローブ52内に侵入することは
なく、そのため待機中にプローブ52が汚れることはな
い。
Although the filter is a cartridge type in the present embodiment, the present invention is not limited to this, and one or both ends of the filter may be a detachable lid like the probes 51 and 52 and may be sealed. Good. Such a probe
As described above, the lines from the purging device 7 are connected to the 51, 52 and the exhaust gas purifying device. Then, the purging device 7 operates as follows. First, when the exhaust gas is collected by the probe 51, a small amount of N 2 gas, for example, as a purge gas is made to flow through the line 702 to the probe 52 on standby. Since the probe 52 has a positive pressure higher than that in the exhaust duct 2 due to the purge gas, the exhaust gas does not enter the probe 52, so that the probe 52 is not contaminated during standby.

【0029】また排ガス採取をプローブ51からプローブ
52に換えた場合プローブ51にパージガスを通流すること
により、プローブ52による排ガスの採取中であってもプ
ローブ51内のプレフィルタPFを逆洗することができる。
更に真空精錬が終了すると、両プローブのプレフィルタ
PF,PF を逆洗する。
In addition, the exhaust gas sampling from the probe 51 to the probe
In the case of replacing with 52, by flowing the purge gas through the probe 51, the pre-filter PF in the probe 51 can be backwashed even while the exhaust gas is being collected by the probe 52.
When the vacuum refining is completed, the pre-filter for both probes
Backwash PF and PF.

【0030】次に真空精錬終了後、排ガス浄化装置6の
濾過器66へライン703 からパージガスを通流し、フィル
タF1 ,F2 を逆洗し、汚れを含んだパージガスをライ
ン704,705 から排気する。更にライン601,602 へもパー
ジガスを通流し、両ラインに付着した汚れを取除く。
After the vacuum refining is completed, the purge gas is passed from the line 703 to the filter 66 of the exhaust gas purifying apparatus 6, the filters F 1 and F 2 are backwashed, and the purge gas containing dirt is exhausted from the lines 704 and 705. Further, purge gas is also passed through the lines 601 and 602 to remove the dirt adhering to both lines.

【0031】ところでプローブ51,52 と排ガス浄化装置
6とを連結しているライン601,602,701,702 には、又排
ガス浄化装置6と分析装置4とを連結しているライン60
4 には、それぞれ揉構造管81,81,82,82,83が介設されて
いる。これによってそれぞれの装置で発生する振動が吸
収されるため、接合部のゆるみが防止される。
By the way, the lines 601, 602, 701, 702 connecting the probes 51, 52 and the exhaust gas purifying apparatus 6 are connected to the line 60 connecting the exhaust gas purifying apparatus 6 and the analyzer 4.
4 are provided with kneading structure pipes 81, 81, 82, 82, 83, respectively. This absorbs the vibrations generated in the respective devices and prevents the joints from loosening.

【0032】以上のように構成された本発明装置を用い
て真空精錬中に連続的に排ガスを採取してその成分を分
析した結果を図3に示す。図3から明らかな如く本発明
装置においては、略760Torr 〜0.1Torr まで圧力が大き
く変化する環境下で排ガスを、外気を吸込むことなく安
定に採取することができた。
FIG. 3 shows the results obtained by continuously collecting exhaust gas during vacuum refining and analyzing the components by using the apparatus of the present invention having the above-described structure. As is apparent from FIG. 3, in the device of the present invention, the exhaust gas could be stably collected without sucking the outside air under the environment where the pressure greatly changes from about 760 Torr to 0.1 Torr.

【0033】[0033]

【発明の効果】以上詳述した如く本発明装置にあって
は、プレフィルタ及びフィルタの交換が容易に行えるた
め目づまりを生じた場合の交換作業の効率が良く、パー
ジガスによって前記両フィルタの汚れを取除くことがで
きるためフィルタの寿命が延び経済的である。また各装
置間を揉構造管を介して接続しているため、振動による
接続部のゆるみが防止されるので接続部の保守管理が軽
減される、等本発明は優れた効果を奏する。
As described above in detail, in the apparatus of the present invention, the replacement of the pre-filter and the filter can be easily performed, so that the replacement work is efficient when clogging occurs, and the purge gas cleans the both filters. Since it can be removed, the life of the filter is extended and it is economical. Further, since the respective devices are connected through the kneading structure pipe, the loosening of the connection portion due to vibration is prevented, and thus the maintenance management of the connection portion is reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る排ガス採取装置の概略を示すブロ
ック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing an outline of an exhaust gas collecting apparatus according to the present invention.

【図2】本発明に係る排ガス採取装置の構成を示す模式
図である。
FIG. 2 is a schematic diagram showing a configuration of an exhaust gas collecting apparatus according to the present invention.

【図3】本発明に係る排ガス採取装置を用いて排ガスの
分析を実施した結果を示すグラフである。
FIG. 3 is a graph showing the results of analysis of exhaust gas using the exhaust gas sampling apparatus according to the present invention.

【図4】従来の排ガス採取装置の構成を示す概略図であ
る。
FIG. 4 is a schematic diagram showing a configuration of a conventional exhaust gas collecting apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 真空精錬炉 2 排気ダクト 3 真空ポンプ 4 排ガス分析装置 51,52 プローブ 6 排ガス浄化装置 7 パージ装置 601,602,603,604 ライン 701,702,703,704 ライン 9 継手 101,102,111,112 エアー弁 13 分析計 14 真空ポンプ 66 濾過器 81,82,83 揉構造管 PF プレフィルタ F1 ,F2 フィルタ S シール1 vacuum refining furnace 2 exhaust duct 3 vacuum pump 4 exhaust gas analyzer 51,52 probe 6 exhaust gas purifier 7 purge device 601,602,603,604 line 701,702,703,704 line 9 joint 101,102,111,112 air valve 13 analyzer 14 vacuum pump 66 filter 81,82,83 kneading structure Tube PF Pre-filter F 1 , F 2 filter S seal

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 真空精錬中に排出される排ガスを採取す
るプローブと、該プローブで採取した排ガスを浄化して
排ガスの成分を分析する分析装置へ導入する排ガス浄化
装置とを備える排ガス採取装置において、 前記プローブ及び前記排ガス浄化装置は排ガス中の塵埃
を除去するフィルタを脱着可能に備え、その脱着部分に
外気の吸込みを防止するシール手段を具備することを特
徴とする排ガス採取装置。
1. An exhaust gas collecting apparatus comprising: a probe for collecting exhaust gas discharged during vacuum refining; and an exhaust gas purifying apparatus for purifying the exhaust gas collected by the probe and introducing it into an analyzer for analyzing components of the exhaust gas. The probe and the exhaust gas purifying apparatus are equipped with a filter for removing dust in exhaust gas so that they can be detachably attached, and the detaching portion is provided with a sealing means for preventing intake of outside air.
【請求項2】 前記プローブには前記排ガス浄化装置か
ら該プローブ方向へパージガスを通流し、また前記排ガ
ス浄化装置には前記分析装置から該排ガス浄化装置方向
へパージガスを通流するパージ装置がそれぞれ接続され
ている請求項1記載の排ガス採取装置。
2. A purging device is connected to the probe for flowing a purge gas from the exhaust gas purifying device toward the probe, and to the exhaust gas purifying device for flowing a purge gas from the analyzer toward the exhaust gas purifying device. The exhaust gas collecting apparatus according to claim 1, which is provided.
【請求項3】 真空精錬中に排出される排ガスを採取す
るプローブと、該プローブで採取した排ガスを浄化して
排ガスの成分を分析する分析装置へ導入する排ガス浄化
装置とを備える排ガス採取装置において、 前記プローブと前記排ガス浄化装置との間及び前記排ガ
ス浄化装置と前記分析装置との間は共に振動を吸収する
揉構造管で接続されていることを特徴とする排ガス採取
装置。
3. An exhaust gas collecting apparatus comprising a probe for collecting exhaust gas discharged during vacuum refining, and an exhaust gas purifying apparatus for purifying the exhaust gas collected by the probe and introducing it into an analyzer for analyzing the components of the exhaust gas. An exhaust gas collecting apparatus, wherein the probe and the exhaust gas purifying apparatus and the exhaust gas purifying apparatus and the analyzing apparatus are connected by a kneading structure pipe that absorbs vibration.
JP23485892A 1992-09-02 1992-09-02 Exhaust gas sampling device in vacuum refining furnace Pending JPH0681027A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23485892A JPH0681027A (en) 1992-09-02 1992-09-02 Exhaust gas sampling device in vacuum refining furnace

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23485892A JPH0681027A (en) 1992-09-02 1992-09-02 Exhaust gas sampling device in vacuum refining furnace

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0681027A true JPH0681027A (en) 1994-03-22

Family

ID=16977456

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23485892A Pending JPH0681027A (en) 1992-09-02 1992-09-02 Exhaust gas sampling device in vacuum refining furnace

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0681027A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100504020B1 (en) * 2002-06-08 2005-07-27 송영배 exhaust gas detection probe assembly
JP4925489B1 (en) * 2011-08-02 2012-04-25 株式会社ベスト測器 Gas analyzer

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100504020B1 (en) * 2002-06-08 2005-07-27 송영배 exhaust gas detection probe assembly
JP4925489B1 (en) * 2011-08-02 2012-04-25 株式会社ベスト測器 Gas analyzer

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SU784738A3 (en) Air-cleaner
JP3572274B2 (en) Exhaust gas pretreatment device and method
CA1123229A (en) Probe and conditioning assembly for continuous stack monitoring
CA1323204C (en) Gas sampling system for reactive gas-solid mixtures
JP2799391B2 (en) Carbon particulate monitor
KR102198919B1 (en) Apparatus to measure gas and method to clean thereof
JP7445743B2 (en) elemental analyzer
US6736883B2 (en) Particulate separation system for mercury analysis
US7569093B2 (en) Filtering particulate materials in continuous emission monitoring systems
US7337683B2 (en) Insitu inertial particulate separation system
CN1137314A (en) Method and device for continuous and rapid analysis of gas mixture
CN204202942U (en) Anti-high dirt interference type gas mercury sampling system
JPH0681027A (en) Exhaust gas sampling device in vacuum refining furnace
CN101865793B (en) Air filtration sampling point adaptor
JPS61187911A (en) Method of cleaning filter element
CN216747605U (en) Corrosive gas analysis and treatment device
US4912985A (en) Gas sampling system for reactive gas-solid mixtures
JP2001330540A (en) Sample gas sampling method of exhaust gas analyzer
JP2000019082A (en) Sampling device for measuring exhaust gas components
KR20040016188A (en) The probe system for gas analysis and method of sampling using thereof
EP0909942B1 (en) Device for aspiration of a gas sample from a process-gas enclosure under vacuum
JP3258279B2 (en) Sampling device for measuring exhaust gas components
KR100616453B1 (en) Performance measuring device of fiber filter for air purification
KR102578293B1 (en) Sampling system for gaseous air pollutants in atmosphere and method for cleaning The same
CN109813593A (en) Pretreatment system and method for detection of carbon dioxide content in ship exhaust