JPH0682046B2

JPH0682046B2 - 自動板厚測定装置

Info

Publication number: JPH0682046B2
Application number: JP23815090A
Authority: JP
Inventors: 政春大野; 興一竹村; 修治内藤; 寿生藤川; 隆三村; 太一郎米谷; 浩一糸原; 広嗣橋本; 一俊藤崎
Original assignee: Japan Radio Co Ltd; Nippon Steel Corp
Current assignee: Japan Radio Co Ltd; Nippon Steel Corp
Priority date: 1990-09-07
Filing date: 1990-09-07
Publication date: 1994-10-19
Anticipated expiration: 2009-10-19
Also published as: JPH04116409A

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、搬送ラインにより搬送される被測定体の板厚
を光ビームの反射により非接触で自動測定する自動板厚
測定装置に関する。

［従来の技術］従来から、搬送ラインにより搬送される被測定体の板厚
を光変位計により自動計測する自動板厚測定装置が知ら
れている（例えば、特公昭56−10561号）。

従来において用いられていた装置は、いわゆるＣ型フレ
ームを用いた１点計測の装置であり、被測定体としては
幅が一定のもの、すなわち固定幅の被測定体を測定する
ものである。

この装置においては、搬送ラインの上下に光変位計が配
置される。この光変位計によってレーザ光である光ビー
ムが被測定体に照射され、被測定体の板厚が測定され
る。

このような装置により、従来、鋼板等の被測定体の板厚
を自動測定することが行われていた。

ところで一般に、自動板厚測定装置の精度を確保するた
めには校正が必要となる。

校正は装置を使用する都度行われ、装置運用の上で必須
の作業である。より具体的には、光変位計の経年変化等
による誤差を補正（電気的補正）し、また、機械的歪を
補正（機械的補正）して、信頼性を維持し、正確な板厚
測定を期するものである。

［発明が解決しようとする課題］しかしながら、従来においては、架台の歪み、光変位計
の特性変化等により板厚測定に誤差が生じるという問題
点があった。

すなわち、光変位計は搬送ライン上の架台に取り付けら
れており、この架台が所定位置・所定形状を維持するか
ぎり、架台に起因する誤差は生じない。しかし、実際に
は環境的要因、例えば温度、湿度等や、経年変化等によ
って架台には歪みが生じてしまう。この歪みにより、光
変位計の移動量が非線形に変化することとなり、板厚測
定の誤差を発生させる。

また、光変位計の検出特性も、同様の要因により変化す
る。この変化も、板厚測定の誤差発生原因となる。

さらに、従来、一時には面性状が同一の被測定体しか測
定できないという問題点があった。すなわち、各被測定
体の面性状が異なると、ある１種類の面性状に応じて校
正された装置では正確な測定が困難となる。また、１個
の被測定体の面性状が一定しない場合には、測定不能状
態に陥ってしまう。

本発明は、このような問題点を解決することを課題とし
てなされたものであり、校正時に架台歪み、光変位計の
特性変化等を補償してより正確な板厚測定を実施可能と
することを目的とする。また、面性状が異なる被測定体
を一時に正確に測定し、あるいは面性状が付均一な被測
定体を測定することを可能にすることを目的とする。

［課題を解決するための手段］このような目的を達成するために、本発明は、被測定体
を搬送する搬送ラインの上方及び下方の架台上に対をな
しかつ所定の基準距離を隔てて配置され、光ビームを被
測定体に照射して反光に基づき被測定体との距離を求め
る複数対の光変位計と、先端がＬ字状の屈曲を有し、被
測定体の板厚測定時には先端が光変位計の測定域外に配
置される所定板厚の校正板と、校正時に、光変位計から
発せられる光ビームを遮る所定位置に先端が位置するよ
う校正板を回動させる回動手段と、測定時には、被測定
体の板厚規格に応じて定められる位置となるよう光変位
計の上下位置を制御し、被測定体の流れに応じて被測定
体上の所定軌跡を描くよう光変位計の左右位置を制御
し、直線性校正時には、光変位計を上下方向に所定ピッ
チで移動させ、架台校正時には、光変位計を左右方向に
所定間隔で移動させる位置制御手段と、直線性校正時に
おける光変位計の出力を光変位計の期待される上下位置
に対応付ける直線性補正テーブルを作成する直線性補正
手段と、架台校正時における光変位計の出力と、校正板
の板厚と、に基づき基準距離を求め、この基準距離を光
変位計の左右位置に対応付ける校正テーブルを作成する
架台補正手段と、直線性補正テーブルを参照して光変位
計と被測定体との距離を補正し、光変位計の左右位置に
より校正テーブルを参照して基準距離を補正し、光変位
計の上下方向移動量、補正された距離及び基準距離に基
づき前記軌跡に沿う数点について被測定体の板厚を演算
し平均する板厚演算手段と、を備えることを特徴とす
る。

［作用］本発明の自動板厚装定装置においては、光変位計と被測
定体との距離、光変位計の上下方向移動量及び対向する
光変位計間の基準距離に基づき、被測定体の板厚が求め
られる。

これらのうち、光変位計と被測定体との距離は、直線性
補正テーブルによる補正を受ける。

例えば、光変位計の特性が初期特性から変化している場
合、この変化を補償してやらないと板厚測定値に誤差が
生じてしまう。このため、本発明では直線性校正を実施
する。直線性校正は、上下方向に所定ピッチで移動させ
つつ行われ、この校正については光変位計の出力が光変
位計の期待される上下位置に対応付けられる。

このときの光変位計の出力は、光変位計と校正板との距
離を示している。すなわち、校正時には校正板が光ビー
ムを遮る位置に回動され、この校正板から反射光が得ら
れる。また、期待される上下位置は、例えば光変位計の
初期特性に基づき位置制御により得られる上下位置であ
る。

光変位計の出力と上下位置との対応付けを示すテーブル
を直線性補正テーブルと呼ぶことにする。この直線性補
正テーブルは、測定時における光変位計の出力、即ち光
変位計と被測定体との距離の補正に用いられる。これに
より、測定時における光変位計の上下方向位置に応じて
前述の特性変化により発生する誤差が、補償されること
になる。

また、光変位計と被測定体との距離は、校正テーブルに
よる補正を受ける。

例えば、架台に歪みが発生している場合、この歪みによ
る測定誤差が生じ得る。このため、本発明では架台校正
を実施する。架台校正は、光変位計を左右方向に所定間
隔で移動させ、その際の光変位計出力に基づいて行われ
る。

より具体的には、光変位計の出力から求められる基準距
離と、光変位計の左右位置と、を対応付ける校正テーブ
ルが作成される。この場合の基準距離は、上下の光変位
計の出力と、校正板の既知の板厚と、に基づき求められ
る。

このようにして得られた校正テーブルは、測定時におい
て基準距離の補正に用いられる。これにより、測定時に
おける光変位計の左右位置に応じて発生する誤差、例え
ば架台歪みに起因する誤差が低減する。なお、架台校正
は直線性校正の後にその結果を用いて行うのが好まし
い。

さらに、測定時には、空間平均演算が実施される。測定
時においては、被測定体上の所定軌跡を描くよう光変位
計の左右位置が制御される。本発明では、この軌跡に沿
って所定点数の板厚が求められ、平均される。従って、
本発明においては、板厚演算の基礎となる点数が増大す
るため、測定の正確性が向上する。

［実施例］以下、本発明の好適な実施例について図面に基づき説明
する。

第１図には、本発明の一実施例に係る自動板厚測定測置
の実体構成が示されている。特に、第１図（ａ）におい
ては装置を上方から見た外観が、第１図（ｂ）において
は側面から見た外観が、それぞれ示されている。

この図においては、図中矢印で示される方向に被測定体
10を搬送する搬送ライン12が示されている。この図にお
ける被測定体10は、それぞれ板厚、幅等の異なる鋼板で
あり、図には10−1,10−2,10−３の３個が示されてい
る。この実施例において板厚測定の対象とする測定体10
は、例えば板厚４〜60mm、幅800〜4000mm、長さ1500〜1
4000mmの規格のものであり、搬送ライン12の上の任意の
位置に任意の姿勢で配置される。

また、搬送ライン12を跨ぐように、上下一対の門型架台
14が設けられている。門型架台14の搬送ライン12上流側
にはラインセンサ16が、下流側には光変位計18が、それ
ぞれ配設されている。

ラインセンサ16は、１対となるよう上下双方の門型架台
14に設けられており、被測定体10の先端の左右両端位置
を検出する。検出される左右両端位置は、光変位計18の
位置の切期設定に用いられる。

また、光変位計18は３対が門型架台14に移動自在に設け
られている。この光変位計18は被測定体10の板厚を測定
する装置である。すなわち、光変位計18は被測定体10に
光ビームを照射し、その反射光を取り込む。さらに、取
り込んだ反射光に基づき被測定体10までの距離を求め、
後述の原理による板厚演算に供する。

第２図には、この実施例のより詳細な実体構成が正面図
として示されている。

この図においては、上下２個のリニアモータレール20が
示されている。リニアモータレール20は、６個の光変位
計18をそれぞれ左右方向に駆動するリニアモータのレー
ルである。

また、光変位計18のうち上側の３個は、パルスステージ
22に取り付けられている。すなわち、この３個の光変位
計18はパルスステージ22によって上下方向に駆動され、
測定時には被測定体10の板厚規格に応じてパルスステー
ジ22の制御により上下位置が設定される。

更に、３対の光変位計18のうち左右両側の２対には、第
１及び第２エッジセンサ24及び26が付設されている。第
１エッジセンサ24は、ラインセンサ16の出力に応じて初
期設定された光変位計18の位置を、更に微調整するため
に用いられる。第２エッジセンサ26は、被測定体10の側
端を追従検出するために用いられる。

第３図には、この実施例における光変位計18の校正に係
る装置構成が示されている。特に、第３図（ａ）には一
対の光変位計18の正面が、第３図（ｂ）には側面が、そ
れぞれ示されている。

この図においては、通常の板厚測定時には破線のような
位置に、校正時には実線のような位置に、回動配置され
る校正板28が示されている。校正板28はＬ字状の屈曲を
有しており、先端の板厚は検定を受けた所定の厚みに設
定されている。校正板28の回動は、ロータリソレノイド
30により行われる。また、校正板28は、図示しないモー
タにより水平方向に例えば±3mmの振幅で振動する。

第４図には、この実施例の回路構成が示されている。

この図においては、一方で光変位計18の出力に基づき、
被測定体10の板厚を求め、他方でラインセンサ16並びに
第１及び第２エッジセンサ24及び26の出力に基づきリニ
アモータ32及びパルスステージ22を制御する演算制御部
34が示されている。さらに、演算制御部34はロータリソ
レノイド30をも制御する。加えて、この図には、校正時
に求められる基準距離及び本発明の特徴に係る直線性補
正テーブルを格納するメモリ36が示されている。なお、
光変位計18、ラインセンサ16、第１エッジセンサ24、第
２エッジセンサ26、リニアモータ32、パルスステージ22
及びロータリソレノイド30は実際は複数であるが、この
図においては図の簡単化のため省略されている。

次に、この実施例の動作について説明する。

まず、搬送ライン12の上に被測定体10が載置される。載
置された被測定体10は、搬送ライン12によって搬送さ
れ、ラインセンサ16下に到達する。

すると、ラインセンサ16により、この被測定体10による
遮光位置が検出される。すなわち、ラインセンサ16は、
被測定体10により光線が遮られる部分を検出し、これを
被測定体10の左右両端位置として演算制御部34に供給す
る。

演算制御部34は、ラインセンサ16の出力に基づきリニア
モータ32を駆動制御して、光変位計18の位置を制御す
る。具体的には、左右両側各１対の光変位計18を遮光位
置として検出される被測定体10の左右両端位置に移動さ
せ、中央に配置されている１対の光変位計18を、左右の
光変位計18の中央位置に維持する。これにより、光変位
計18の位置が初期設定される。

こののち、被測定体10がさらに搬送され第１エッジセン
サ24に達すると、この第１エッジセンサ24により光変位
計18の位置が微調節される。すなわち、第１エッジセン
サ24の出力に応じ、演算制御部34がリニアモータ32を制
御する。

次に、第２エッジセンサ26により被測定体10の左右両端
が捕捉される。このとき、第２エッジセンサ26の出力に
より演算制御部34がリニアモータ32を制御する。すなわ
ち、第２エッジセンサ26が光変位計18に固定されている
ため、この制御によって、第２エッジセンサ26が被測定
体10の左右両端を追従捕捉し続け、かつ左右両側の光変
位計18が被測定体10の左右両端から所定の距離の軌跡を
検出走査することとなる。

第５図には、光変位計18の光ビーム軌跡が、第６図に
は、この軌跡のうち板厚演算に用いられる点（測定位
置）が示されている。

この実施例においては、第５図において３本の矢印線で
示される軌跡に係る光変位計18の出力を連続して収集す
る。この収集の後、演算制御部34が測定位置を決定し、
板厚を演算する。

より具体的には、演算制御部34は、被測定体10の先端が
ラインセンサ16に達してから第１エッジセンサ24に達す
るまでの時間により被測定体10の搬送速度を求める。ラ
インセンサ16と第１エッジセンサ24の距離は設計的に決
定されるため、この搬送速度を用いて、時刻を被測定体
10を基準とした位置座標に換算できる。この換算結果に
基づき、測定位置が決定される。

測定位置は、例えば被測定体10の左右両端から15mmの
線、前後両端から15mmの線及び中心線の合計６本の線か
ら決定する。すなわち、これらの線の交点を測定位置P₁
〜P₉に設定する。

次に、このように設定された測定位置P₁〜P₉について、
すでに収集されている光変位計18出力に基づく板厚演算
が、演算制御部34により行われる。

この実施例の場合、板厚演算に供されるデータは、各測
定位置P₁〜P₉の近傍の点の空間平均である。

第７図には、空間平均の演算内容が示されている。

この図に示されるように、測定位置Ｐ_ｉ及びその前後各
10点が、第一次有効データとされる。各点は2mmピッチ
に設定されており、これら計21点のうち一定の条件に合
致する点のみを用いて空間平均が演算される。

例えば、21点のうち最大値から２点、最小値から５点を
削除して、さらに異常値をも削除して、残りの点数が10
点以上の場合に、当該残りの点についての光変位計18の
出力が平均される。なお、10点に達しない場合には、測
定不能と判断される。

本実施例における板厚演算は、このようにして空間平均
として求められる光変位計18と被測定体10との距離を用
いて所定の原理に従い実行される。

第８図には、この実施例における板厚測定の原理が示さ
れている。

この実施例においては、板厚測定時における対向する光
変位計18の距離と、前述の空間平均と、に基づき被測定
体10の板厚が求められる。

まず、被測定体10が無い状態での光変位計18の対向距
離、すなわち基準距離L₀が設計的に決定されているもの
とする。また、板厚Ｌの被測定体10の場合に光変位計18
の間隔を拡げる量、すなわち光変位計18の移動量をL₃と
する。

すると、上側の光変位計18によって測定される距離L₁及
び下側の光変位計18によって測定される距離L₂から、次
の式により、板厚Ｌが求められることになる。

Ｌ＝（L₀＋L₃）−（L₁＋L₂）このように、本実施例においては、測定位置P₁〜P₉に基
づく板厚Ｌの多点計測が実行される。このとき、空間平
均を用いるために、被測定体10の面性状が不均一な場合
にも一定の精度が確保される。すなわち、空間平均によ
り、面性状による光変位計18出力の不均一が吸収される
ことになる。また、同一の被測定体10において面性状が
不均一な場合にも、これが同様に吸収されるため、測定
が可能になる。

また、この実施例において板厚Ｌの測定に用いられる移
動量L₁は、校正の際に各光変位計18に作成される直線性
補正テーブルにより補正された値である。

次に、この直線性補正テーブルの作成に関連する校正の
動作について説明する。

光変位計18は、例えば環境的要因による特性変化、経時
変化等を伴う装置である。第９図には、実線で初期特性
が、破線で変化後の特性が、それぞれ示されている。こ
のような特性変化は、測定時における誤差となって現れ
ることになる。このため、本実施例では、校正として直
線性校正を行うこととしている。

また、架台14が温度、湿度、経年変化等により歪んでい
る場合、この歪みは上下の光変位計18の距離、すなわ
ち、基準距離を変化させる。この変化は、測定値の誤差
となって現れる。このため、本実施例では架台校正を実
施する。

直線性校正は、架台校正に先立って実施される。すなわ
ち、直線性校正が実施された後の光変位計18について架
台校正が施される。

まず、直線性校正の際には、校正板28がロータリソレノ
イド30により回動される。この回動の結果、その先端は
対向する光変位計18の間の位置に配置される。

校正板28は、板厚が既知で白色セラミック板から形成さ
れており、配置の後にロータリソレノイド30により水平
方向に振動させられる。この振動は、振幅±3mm程度の
振動であり、校正板28の面性状の影響を排除するために
施される。

この状態で、光変位計18は、上下方向に所定ピッチで移
動させられる。すなわち、演算制御部34によりパルスス
テージ22が制御され、上側の光変位計18の上下位置が所
定ピッチ、例えば1mmで変化する。この変化毎に、光変
位計18からの出力が得られる。この出力は、光変位計18
と校正板28との距離を示すものである。各ピッチ毎に16
回の測定が行われ、さらに光変位計18の上下方向移動が
所定ピッチ数、例えば±20mmに相当するピッチ数だけ実
行されたのちにこれらの出力が平均される。

このようにして得られた光変位計18出力の平均（以下、
単に光変位計18出力という）は、光変位計18の期待され
る上下位置と対応付けられる。すなわち、光変位計18出
力は期待される上下位置と対応付けられ直線性補正テー
ブルとしてメモリ36に格納される。

第10図には、直線性補正テーブルの一例が示されてい
る。

この図に示されるように、直線性補正テーブルは、演算
制御部34によるパルスステージ22の制御量（指令値）Ｌ
_3Siと、実際の光変位計18出力Ｌ_3Aiと、を対応付けてい
る。指令値Ｌ_3Siは、光変位計18の初期特性に基づき発
せられる値であり、光変位計18が特性変化してないなら
ば得られるであろう上下位置、すなわち理想値である。
従って、直線性補正テーブルは、光変位計18の特性に関
して理想値と実際値とを対応付けるものである。

このような直線性補正テーブルは、光変位計18の特性変
化に対応する趣旨から、上側の光変位計18それぞれにつ
いて作成される。

このようにして、直線性校正が実施された後に、架台校
正が実施される。この架台校正においては、上下の光変
位計18と校正板28が一対に水平移動させられる。

すなわち、第11図に示されるように、３個の光変位計18
の可動範囲は100−１、100−２及び100−３のような範
囲（例えば40mm程度）をとり、搬送ライン12の全幅110
をカバーしている。光変位計18及び校正板28は、それぞ
れの可動範囲100内において所定間隔で一体移動され、
各光変位計18について校正テーブルが作成される。

第12図には、校正テーブルの一例が示されている。

この図に示されるように、校正テーブルは、光変位計の
左右位置ｘ_Aiと、各左右位置ｘ_Aiにおける実際の基準距
離Ｌ_0Aiと、を対応付けるテーブルである。

架台校正においては、直線性校正の際と同様、校正板28
が回動されかつ水平振動されている。この状態での光変
位計18の出力は、光変位計18と校正板28との距離を示し
ている。

ここで、校正板28の板厚をl₀、上側及び下側の光変位計
18から校正板28までの距離（すなわち上下の光変位計18
の各出力）をそれぞれl₁及びl₂とする。この場合、第３
図に示されるように、基準距離L₀について、次の式 L₀＝l₁＋l₂＋l₀ が成立する。従って、演算制御部34が上式に基づく演算
を実行することにより、実際の基準距離L₀が求められる
ことになる。また、このような演算を所定回数、例えば
16回繰り返し平均を求め、この平均値を基準距離L₀とし
て扱えば、さらに基準距離L₀の正確さは向上する。

この基準距離L₀は、上側の光変位計18を所定間隔で左右
に移動させることにより、Ｎ個のデータＬ_0Aiとして得
られる。なお、この左右移動は、演算制御部34の制御に
基づきリニアモータ32により行われる。

このようにして得られた基準距離Ｌ_0Aiが、光変位計18
の左右位置と対応付けられると、第11図に示されるよう
な校正テーブルが作成される。校正テーブルは、各光変
位計18の対ごとに作成される。

以上のようにして作成された直線性補正テーブル及び校
正テーブルは、メモリ36に格納される。

測定時には、これら直線性補正テーブル及び校正テーブ
ルが参照される。

すなわち、被測定体10の板厚を求める際、演算制御部34
は、パルスステージ22への指令値に基づき直線性テーブ
ル中のデータを読み出す。この読み出しにより得られる
データは、例えば第９図でいえばＬ_3Aiである。従っ
て、このデータと指令値との差を求めれば、現在の光変
位計18の出力に含まれる特性変化に起因する誤差が求め
られる。この誤差を光変位計18出力から減じてやれば、
光変位計18の特性変化に起因する誤差の影響が排除され
る。

また、板厚演算時に用いられる基準距離をL₀補正すべ
く、演算制御部34は、光変位計18の左右位置に基づきメ
モリ36から校正テーブルに係るデータを読み出す。読み
出されるデータは、その左右位置に係る基準距離L₀であ
る。この基準距離L₀は、前述のように架台歪みを反映し
た値であるため、この基準距離L₀を用いて板厚演算すれ
ば、架台14が歪んでいる場合における誤差発生が防止さ
れる。

このように、本実施例によれば、校正板28により簡易な
手段で電気的補正及び機械的補正を一括して実施するこ
とができる。さらに、直線性補正テーブル及び校正テー
ブルにより補正を行うことができ、より正確に板厚Ｌを
演算して正確性及び信頼性を確保することが可能にな
る。

また、光変位計18と被測定体10との距離を測定点近傍の
数点の空間平均として求められ、この結果、複数の被測
定体10間の面性状のばらつきや、同一被測定体10におけ
る面性状のばらつきがある場合にも、この面性状の影響
を補正してより正確な板厚Ｌの測定を行うことができ
る。

なお、以上の説明ではパルスステージ22が上側のみに設
けられていたが、下側にも設けても良い。この場合、
上、下の光変位計18について直線性補正テーブルが作成
され、より精密な測定が可能になる。

［発明の効果］以上説明したように、本発明によれば、直線性補正テー
ブル及び校正テーブルを作成し、直線性補正テーブル及
び校正テーブルにより光変位計出力及び基準距離を補正
するようにしたため、より正確な板厚測定が可能にな
る。また、空間平均に基づき板厚演算を行うようにした
ため、面性状に起因する誤差が低減し、より正確な板厚
測定が可能になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係る自動板厚測定装置の実
体構成を示す慨略外観図であり、第１図（ａ）は上面
図、第１図は（ｂ）は側面図、第２図はこの実施例のより詳細な実体構成を示す正面
図、第３図はこの実施例の校正手段の構成を示す概略図であ
り、第３図（ａ）は正面図、第３図（ｂ）は側面図、第４図はこの実施例の回路構成を示すブロック図、第５図は光変位計から発せられる光ビームの軌跡を示す
図、第６図は板厚測定位置を示す図、第７図は空間平均の概念を示す図、第８図は板厚測定原理を示す図、第９図は光変位計の特性変化を示す図、第10図は直線性補正テーブルの一例を示す図、第11図は光変位計の移動範囲を示す図、第12図は校正テーブルの一例を示す図である。 10……被測定体 12……搬送ライン 18……光変位計 28……校正板 30……ロータリソレノイド 32……リニアモータ 34……演算制御部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者内藤修治福岡県北九州市戸畑区飛幡町１番１号新日本製鐵株式會社八幡製鐵所内 (72)発明者藤川寿生福岡県北九州市戸畑区飛幡町１番１号新日本製鐵株式會社八幡製鐵所内 (72)発明者三村隆東京都三鷹市下連雀５丁目１番１号日本無線株式会社内 (72)発明者米谷太一郎東京都三鷹市下連雀５丁目１番１号日本無線株式会社内 (72)発明者糸原浩一東京都三鷹市下連雀５丁目１番１号日本無線株式会社内 (72)発明者橋本広嗣東京都三鷹市下連雀５丁目１番１号日本無線株式会社内 (72)発明者藤崎一俊東京都三鷹市下連雀５丁目１番１号日本無線株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測定体を搬送する搬送ラインの上方及び
下方の架台上に対をなしかつ所定の基準距離を隔てて配
置され、光ビームを被測定体に照射して反射光に基づき
被測定体との距離を求める複数対の光変位計と、先端がＬ字状の屈曲を有し、被測定体の板厚測定時には
先端が光変位計の測定域外に配置される所定板厚の校正
板と、校正時に、光変位計から発せられる光ビームを遮る所定
位置に先端が位置するよう校正板を回動させる回動手段
と、測定時には、被測定体の板厚規格に応じて定められる位
置となるよう光変位計の上下位置を制御し、被測定体の
流れに応じて被測定体上の所定軌跡を描くよう光変位計
の左右位置を制御し、直線性校正時には、光変位計を上
下方向に所定ピッチで移動させ、架台校正時には、光変
位計を左右方向に所定間隔で移動させる位置制御手段
と、直線性校正時における光変位計の出力を光変位計の期待
される上下位置に対応付ける直線性補正テーブルを作成
する直線性補正手段と、架台校正時における光変位計の出力と、校正板の板厚
と、に基づき基準距離を求め、この基準距離を光変位計
の左右位置に対応付ける校正テーブルを作成する架台補
正手段と、直線性補正テーブルを参照して光変位計と被測定体との
距離を補正し、光変位計の左右位置により校正テーブル
を参照して基準距離を補正し、光変位計の上下方向移動
量、補正された距離及び基準距離に基づき前記軌跡に沿
う数点について被測定体の板厚を演算し平均する板厚演
算手段と、を備えることを特徴とする自動板厚測定装置。