JPH0682070A - クリーンルーム清浄度維持システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ダウンフローの空気流を有したクリーンルー
ム内に配置した装置、テーブル等の障害物の存在やその
稼働状況による影響により、ルーム内の特定部位に塵埃
が集中し、その結果製品に対して塵埃が付着する可能性
が高まり、歩留の低下をもたらすことを防止できるクリ
ーンルーム清浄度維持システムの提。 【構成】 内部にダウンフローの空気流を形成すること
により塵埃を下方へ強制移動せしめるクリーンルームに
おいて、該クリーンルーム内の適所に複数のエアー吸入
手段を設けると共に、該エアー吸入手段から導入した空
気中に含まれる塵埃濃度が基準値を越える場合にその旨
をコントローラに報知するダストカウンタを設け、該空
気流はクリーンルーム上部に設けたクリーンエアユニッ
トから送風され、該クリーンエアユニットはクリーンエ
アの吹き出し方向及び風量が可変である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は半導体製造工場等に利用
されるクリーンルームの清浄度を維持するためのシステ
ムの改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工場や光ディスク、磁気ディ
スクの製造工場においては、空気中に含まれる塵埃を極
限まで低減し、かつ温度、湿度が高精度に制御されたク
リーンルームが利用されているが、微細化、高集積化の
一途を辿る半導体装置等の製造工程からの要求によっ
て、クリーンルームにおける空気浄化能力もより高度な
レベルが要求されるようになっている。クリーンルーム
内においては、室内の装置類やワークに塵埃が付着しな
いように塵埃をルーム下方に強制的に移動させるため
に、ルーム上方から導入したクリーンエアを下方へ向け
て吹き付けるダウンフロー方式が採用されている。しか
しながら、ルーム内に装置、テーブル類が配置される
と、これらの存在や稼働状態によってルーム内のエアー
流れが変動し、その結果ルーム内の特定箇所に塵埃が集
中して滞留し、その部分の清浄度が規定値を越えた状態
となることがある。その結果、製品の歩留が低下する事
態も頻発する。

【０００３】

【発明の目的】本発明は上記に鑑みてなされたものであ
り、ダウンフローの空気流を有したクリーンルーム内に
配置した装置、テーブル等の障害物の存在やその稼働状
況による影響により、ルーム内の特定部位に塵埃が集中
し、その結果製品に対して塵埃が付着する可能性が高ま
り、歩留の低下をもたらすことを防止できるクリーンル
ーム清浄度維持システムを提供することを目的としてい
る。

【０００４】

【発明の構成】上記目的を達成するため本発明は、内部
にダウンフローの空気流を形成することにより塵埃を下
方へ強制移動せしめるクリーンルームにおいて、該クリ
ーンルーム内の適所に複数のエアー吸入手段を設けると
共に、該エアー吸入手段から導入した空気中に含まれる
塵埃濃度が基準値を越える場合にその旨をコントローラ
に報知するダストカウンタを設けたこと、内部にダウン
フローの空気流を形成することにより塵埃を下方へ強制
移動せしめるクリーンルームにおいて、前記空気流はク
リーンルーム上部に設けたクリーンエアユニットから送
風され、該クリーンエアユニットはクリーンエアの吹き
出し方向及び風量が可変であること、コントローラは、
前記ダストカウンタから報知された塵埃濃度の値に基づ
いてクリーンエアユニットからのクリーンエアの吹き出
し方向及び風量を変化させるよう制御すること、前記ク
リーンエアの吹き出し方向を変化させる手段は複数の羽
根から成り、前記風量を変化させる手段はファンモータ
であることを特徴とする。

【０００５】以下、添付図面に示した実施例により本発
明を詳細に説明する。図１は本発明の一実施例のクリー
ンルーム清浄度維持システムの説明図であり、このクリ
ーンルーム１はその上部適所にクリーンエアのダウンフ
ローを生成するクリーンエアユニット２を有すると共
に、これらクリーンエアユニット２はコントローラ３に
よってその風向き及び風量の制御を受ける。また、クリ
ーンルーム１内の装置４やテーブル５等の近傍にはエア
ー吸入手段６を複数配置する。エアー吸入手段６はダス
トカウンタ７に接続され、各エアー吸入手段６から吸入
したエアー中の塵埃の量が測定される。ダストカウンタ
７は、いずれかのエアー吸入手段６からの空気中に含ま
れる塵埃の量が規定の許容値を越えた場合にこのことを
コントローラ３に報知する。この規定値は製造する製品
ごとに決定される。エアー吸入手段６の配置位置は、主
として高い清浄度を維持する必要が高い箇所を選定して
決定する。コントローラ３は、クリーンエアユニット２
の内、塵埃量が規定値を越えることが検知されたエアー
吸入手段６の存在する位置の送風を担当するクリーンエ
アユニットに制御信号を出力して風量及び風向きを変更
させる。

【０００６】クリーンエアユニット２は、図示しない濾
過装置により清浄化した外気をクリーンエアとしてクリ
ーンルーム１内に導入するための図示しないファン及び
ファンモータを有すると共に、該クリーンエアの送風方
向を図面左右方向であるＸ方向へ切り替えるＸ方向風向
き切換え羽根１０と、該Ｘ方向と直交する方向であるＹ
方向（紙面と直交する方向）へ切り替えるＹ方向風向き
切換え羽根１１と、各切換え羽根１０、１１の角度を切
り替える方向変更部（ソレノイド、モータ等）とを有す
る。コントローラ３は、前記ダストカウンタ７から塵埃
量が許容値を越えたことが報知されたエアー吸入手段６
の周辺に向けてクリーンエアユニット２からの送風量及
び送風方向を切り替えるように前記図示しないファンモ
ータ及び各羽根の方向変更部に制御信号を出力する。各
切換え羽根１０、１１は夫々複数本の羽根から構成され
ると共に、クリーンエアユニット内に交差する形で配置
され、各切換え羽根１０、１１を構成する各羽根は、夫
々が独立してその方向を切換えできるように構成されて
いるため、これらの協働により、ダストカウンタ７から
の検知信号に応じて、リアルタイムにクリーンルーム内
の所望位置に所望の風量を吹き付け、該位置に滞留して
いる基準値を越える密度の塵埃をルーム下方に押し下げ
て図示しない排気口から排出させることができる。

【０００７】

【発明の効果】このように本発明によれば、クリーンル
ーム内にダウンフローのクリーンエアを供給するクリー
ンエアユニット内にファン及びファンモータ、Ｘ及びＹ
方向への風向き切換え羽根、該切換え羽根の方向を切り
替える方向変更部を設け、更に、クリーンルーム内の適
所に設けたエアー吸入手段から導入した空気中に含まれ
る塵埃が基準値を越える場合にその旨をコントローラに
報知するダストカウンタを設けた。このため、製品の加
工工程において塵埃の影響が高くなり易い位置を知るこ
とができ、歩留を低下させる原因を知ることができる。
そして、塵埃が基準値を越えることが検出されたエアー
吸入手段周辺に向けた前記クリーンエアユニットからの
風量及び方向を任意に変更できるので、ダストの多い位
置に風向を向けてより多い量のクリーンエアを流すこと
ができ、製品に対する塵埃の付着率を低減できる。更
に、クリーンエアの吹き出し方向を決定する切換え羽根
を夫々個別に動作させることができるので、クリーンエ
アの風向きの偏りを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のクリーンルーム清浄度維持システムの
一実施例の構成説明図。

【符号の説明】

１ クリーンルーム、２ クリーンエアユニット、３
コントローラ、４ 装置、５ テーブル、６ エアー吸
入手段、７ ダストカウンタ、１０ Ｘ方向風向き切換
え羽根、１１ Ｙ方向風向き切換え羽根、

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内部にダウンフローの空気流を形成する
   ことにより塵埃を下方へ強制移動せしめるクリーンルー
   ムにおいて、該クリーンルーム内の適所に複数のエアー
   吸入手段を設けると共に、該エアー吸入手段から吸入し
   た空気中に含まれる塵埃濃度が基準値を越える場合にそ
   の旨をコントローラに報知するダストカウンタを設けた
   ことを特徴とするクリーンルーム清浄度維持システム。
2. 【請求項２】 内部にダウンフローの空気流を形成する
   ことにより塵埃を下方へ強制移動せしめるクリーンルー
   ムにおいて、前記空気流はクリーンルーム上部に設けた
   クリーンエアユニットから送風され、該クリーンエアユ
   ニットはクリーンエアの吹き出し方向及び風量が可変で
   あることを特徴とするクリーンルーム清浄度維持システ
   ム。
3. 【請求項３】 請求項１記載のコントローラは、前記ダ
   ストカウンタから報知された塵埃濃度の値に基づいて請
   求項２記載のクリーンエアユニットからのクリーンエア
   の吹き出し方向及び風量を変化させるよう制御すること
   を特徴とするクリーンルーム清浄度維持システム。
4. 【請求項４】 前記クリーンエアの吹き出し方向を変化
   させる手段は複数の羽根から成り、前記風量を変化させ
   る手段はファンモータであることを特徴とする請求項３
   記載のクリーンルーム清浄度維持システム。