JPH0682208A - 回転する発信器部分の回転数または位置を非接触形式で検出する装置 - Google Patents
回転する発信器部分の回転数または位置を非接触形式で検出する装置Info
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- JPH0682208A JPH0682208A JP13511093A JP13511093A JPH0682208A JP H0682208 A JPH0682208 A JP H0682208A JP 13511093 A JP13511093 A JP 13511093A JP 13511093 A JP13511093 A JP 13511093A JP H0682208 A JPH0682208 A JP H0682208A
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 6
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- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
- G01P3/42—Devices characterised by the use of electric or magnetic means
- G01P3/44—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed
- G01P3/48—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage
- G01P3/481—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals
- G01P3/488—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals delivered by variable reluctance detectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
- G01D5/145—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 複数個の歯をまたは少なくとも１つのセグメ
ント１ａを有し、軸２を中心として回転する、強磁性材
料から成る発信器部分の回転数または位置を、回転しな
いように設けられている２つのホールセンサ３，４を用
いて非接触形式で検出する装置である。この場合、両方
のホールセンサ３，４が次のように配置されており、即
ち一方のホールセンサ３が発信器部分１の歯ないしセグ
メント１ａおよび切欠部１ｃを走査し、他方のホールセ
ンサ４が発信器部分の同質の部分１ｂを走査するよう
に、または当該発信器部分からの影響領域外の空気中で
一定出力を導出する測定を行なうように、配置されてい
る。この装置は、自動車における回転数発信器としてま
たは位置発信器として用いられる。
ント１ａを有し、軸２を中心として回転する、強磁性材
料から成る発信器部分の回転数または位置を、回転しな
いように設けられている２つのホールセンサ３，４を用
いて非接触形式で検出する装置である。この場合、両方
のホールセンサ３，４が次のように配置されており、即
ち一方のホールセンサ３が発信器部分１の歯ないしセグ
メント１ａおよび切欠部１ｃを走査し、他方のホールセ
ンサ４が発信器部分の同質の部分１ｂを走査するよう
に、または当該発信器部分からの影響領域外の空気中で
一定出力を導出する測定を行なうように、配置されてい
る。この装置は、自動車における回転数発信器としてま
たは位置発信器として用いられる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、請求項１または請求項
２の上位概念（ヨーロッパ特許第０３６３５１２Ａ１号
公報）に示された、回転する発信器部分の回転数または
位置を非接触形式で検出する装置に関する。
２の上位概念（ヨーロッパ特許第０３６３５１２Ａ１号
公報）に示された、回転する発信器部分の回転数または
位置を非接触形式で検出する装置に関する。
【０００２】
【従来技術】この種の装置は多数の適用領域に対して、
例えばクランク軸のまたはカム軸の位置を検出するため
の、または内燃機関の回転数検出のための自動車用電子
装置において、知られている。
例えばクランク軸のまたはカム軸の位置を検出するため
の、または内燃機関の回転数検出のための自動車用電子
装置において、知られている。
【０００３】この目的のために、クランク軸とまたはカ
ム軸と、強磁性体の歯またはセグメントを有する相応の
発信器部分が結合されている。走査ヘッドがこの歯を走
査して、この各々の歯がまたはセグメントが前方を通過
する際にパルス信号を供給する。
ム軸と、強磁性体の歯またはセグメントを有する相応の
発信器部分が結合されている。走査ヘッドがこの歯を走
査して、この各々の歯がまたはセグメントが前方を通過
する際にパルス信号を供給する。
【０００４】走査ヘッドとして、２つのセンサを有する
装置が用いられる。これらの両方のセンサは、歯の走行
方向で見て、間隔を置いて直列に配置されている。その
ため、歯が近づくとまず最初に両方のセンサのうちの一
方が応動し、他方のセンサはまだ応動しない。逆に歯が
通過してしまうと、最初に到達されたセンサはもはや応
動せず、他方、後から到達されたセンサはまだ応動して
いる。評価ユニットは両方のセンサ信号から差信号を形
成し、さらにこれから、各々の歯の立ち上り縁と立ち下
り縁を検出する。この差信号評価により障害影響量を検
出できる。
装置が用いられる。これらの両方のセンサは、歯の走行
方向で見て、間隔を置いて直列に配置されている。その
ため、歯が近づくとまず最初に両方のセンサのうちの一
方が応動し、他方のセンサはまだ応動しない。逆に歯が
通過してしまうと、最初に到達されたセンサはもはや応
動せず、他方、後から到達されたセンサはまだ応動して
いる。評価ユニットは両方のセンサ信号から差信号を形
成し、さらにこれから、各々の歯の立ち上り縁と立ち下
り縁を検出する。この差信号評価により障害影響量を検
出できる。
【０００５】評価ユニットは、差信号が存在している間
は、信号を供給する。そのため切欠部または歯が両方の
センサの相互の間の間隔よりも長いと、両方のセンサが
同じ歯をまたは同じ切欠部を走査する限り、差信号が存
在しない。このことは例えば、その周の半分にわたり延
在する１つのセグメントだけをまたは１つの切欠部だけ
を有するカム軸発信器の場合に、当てはまる。この公知
の装置はこのカム軸発信器においてそれぞれ歯から切欠
部へのまたは切欠部から歯への移行しか検出できない。
しかしカム軸発信器の場合は、走査ヘッドにちょうどい
ま歯が対向しているのか、または切欠部が対向している
のかを通報できなければならない。
は、信号を供給する。そのため切欠部または歯が両方の
センサの相互の間の間隔よりも長いと、両方のセンサが
同じ歯をまたは同じ切欠部を走査する限り、差信号が存
在しない。このことは例えば、その周の半分にわたり延
在する１つのセグメントだけをまたは１つの切欠部だけ
を有するカム軸発信器の場合に、当てはまる。この公知
の装置はこのカム軸発信器においてそれぞれ歯から切欠
部へのまたは切欠部から歯への移行しか検出できない。
しかしカム軸発信器の場合は、走査ヘッドにちょうどい
ま歯が対向しているのか、または切欠部が対向している
のかを通報できなければならない。
【０００６】そのためヨーロッパ特許出願公報第９１１
０１２９５．３号に次の構成が提案されている。即ち両
方のセンサを歯の走行方向へ並列に配置し、発信器部分
を、常に一方のセンサに１つの歯が対向し、この時は他
方のセンサに切欠部が対向する。あるいはその逆。この
ことは、発信器部分の複雑な構成（２つの歯車の並置）
および両方のセンサの差信号の、それらの極性に従って
の複雑な評価を前提とする。
０１２９５．３号に次の構成が提案されている。即ち両
方のセンサを歯の走行方向へ並列に配置し、発信器部分
を、常に一方のセンサに１つの歯が対向し、この時は他
方のセンサに切欠部が対向する。あるいはその逆。この
ことは、発信器部分の複雑な構成（２つの歯車の並置）
および両方のセンサの差信号の、それらの極性に従って
の複雑な評価を前提とする。
【０００７】
【発明の解決すべき課題】そのため本発明の課題は、簡
単な発信器部分の使用を可能にし、さらに走査ヘッドに
歯ないしセグメントが対向しているか、または切欠部が
対向しているかを簡単に通報させる、回転する発信器部
分の回転数または位置を非接触形式で検出する装置を提
供することである。
単な発信器部分の使用を可能にし、さらに走査ヘッドに
歯ないしセグメントが対向しているか、または切欠部が
対向しているかを簡単に通報させる、回転する発信器部
分の回転数または位置を非接触形式で検出する装置を提
供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この課題は本発明の請求
範囲に示された構成により解決されている。
範囲に示された構成により解決されている。
【０００９】
【実施例】次の本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。
る。
【００１０】図１に、１８０°のセグメント１ａを有す
るセグメント発信器部分１の回転数をまたは位置を非接
触形式で検出する装置が示されている。このセグメント
発信器部分は軸２を中心に回転可能に支承されている。
このセグメント発信器部分１の近傍に、軸方向で見て、
走査ヘッド５が、回転しないように取り付けられてい
る。走査ヘッドの上には２つのホールセンサ３，４が、
（回転可能な発信器部分１に関して）半径方向に直列
に、次のように配置されている。即ち一方のホールセン
サ３が、回転中の発信器部分１のセグメント１ａと切欠
部１ｃを交番的に走査し、他方のホールセンサ４が発信
器部分の同質の部分１ｂを走査するように、配置されて
いる。同質の部分１ｂとは発信器部分１の次の部分のこ
とである、即ちホールセンサ４の前方を回転通過する際
に切欠部を有しない部分のことである。そのためホール
センサ４は強磁性体材料だけを走査して、実質的に一定
の出力信号Ｓ４を送出する。
るセグメント発信器部分１の回転数をまたは位置を非接
触形式で検出する装置が示されている。このセグメント
発信器部分は軸２を中心に回転可能に支承されている。
このセグメント発信器部分１の近傍に、軸方向で見て、
走査ヘッド５が、回転しないように取り付けられてい
る。走査ヘッドの上には２つのホールセンサ３，４が、
（回転可能な発信器部分１に関して）半径方向に直列
に、次のように配置されている。即ち一方のホールセン
サ３が、回転中の発信器部分１のセグメント１ａと切欠
部１ｃを交番的に走査し、他方のホールセンサ４が発信
器部分の同質の部分１ｂを走査するように、配置されて
いる。同質の部分１ｂとは発信器部分１の次の部分のこ
とである、即ちホールセンサ４の前方を回転通過する際
に切欠部を有しない部分のことである。そのためホール
センサ４は強磁性体材料だけを走査して、実質的に一定
の出力信号Ｓ４を送出する。
【００１１】両方のホールセンサ３と４の出力信号Ｓ３
とＳ４が図２に、時間ｔを横軸として示されている。信
号Ｓ３は実質的に、発信器部分１の回転速度に依存する
周期期間でもって、時間ｔにわたり経過する。小さい方
の振幅は切欠部１ｃの走査の際に生じ、大きい方の振幅
はセグメント１ａの走査の際に生ずる（または、評価回
路の種類により逆になる）。他方、信号Ｓ４は、発信器
部分１の同質の強磁性体部分１ｂの走査に対応する、実
質的に一定の振幅を有する。
とＳ４が図２に、時間ｔを横軸として示されている。信
号Ｓ３は実質的に、発信器部分１の回転速度に依存する
周期期間でもって、時間ｔにわたり経過する。小さい方
の振幅は切欠部１ｃの走査の際に生じ、大きい方の振幅
はセグメント１ａの走査の際に生ずる（または、評価回
路の種類により逆になる）。他方、信号Ｓ４は、発信器
部分１の同質の強磁性体部分１ｂの走査に対応する、実
質的に一定の振幅を有する。
【００１２】両方の信号の増幅された差Ｓ４−Ｓ３が図
３に示されている。図示されている様に、セグメントの
走査の際は差信号は実質的に値ゼロを有し（何故ならば
両方のセンサが同時に強磁性体を走査する）、他方、切
欠部の走査の際はゼロでない値を有する（何故ならば一
方のセンサが強磁性体の材料を走査し、他方のセンサが
空気を測定すからである）。そのためこれらの両方の異
なる信号振幅から、走査ヘッドにちょうどいま歯が即ち
セグメントが対向してるか、または切欠部が対向してい
るかがわかる。このことはスタティックな測定（発信器
部分が静止している）に対しても、ダイナミック測定
（発信器部分が回転している）に対しても、当てはま
る。
３に示されている。図示されている様に、セグメントの
走査の際は差信号は実質的に値ゼロを有し（何故ならば
両方のセンサが同時に強磁性体を走査する）、他方、切
欠部の走査の際はゼロでない値を有する（何故ならば一
方のセンサが強磁性体の材料を走査し、他方のセンサが
空気を測定すからである）。そのためこれらの両方の異
なる信号振幅から、走査ヘッドにちょうどいま歯が即ち
セグメントが対向してるか、または切欠部が対向してい
るかがわかる。このことはスタティックな測定（発信器
部分が静止している）に対しても、ダイナミック測定
（発信器部分が回転している）に対しても、当てはま
る。
【００１３】図１に、破線で図示された走査ヘッド５′
−両方のホールセンサ３′と４′を有する−で示されて
いる様に、走査ヘッドを、両方のホールセンサ３と４と
の間の間隔だけ、半径方向へ外側へ変位させることもで
きる。この場合も、一方のホールセンサ３′が発信器部
分１の歯またはセグメント１ａと切欠部１ｃを走査す
る。他方、もう一方のホールセンサ４′は発信器部分１
の外側に設けられ、そのためホールセンサ４′は発信器
部分の強磁性体材料にもはや応動せず当該発信器部分か
らの影響領域外の空気中で一定出力を導出する測定を行
なう。その結果、ホールセンサ３′の出力信号Ｓ３′は
図２の信号Ｓ３に相応し、他方、出力信号Ｓ４′は、出
力信号Ｓ４よりも小さい一定の振幅を有する。何故なら
ば、当該発信器部分からの影響領域外の空気中で一定出
力を導出する測定を行うからである（図２に破線で示さ
れている）。増幅された差Ｓ３′−Ｓ４′が図３に破線
で示されており、反転された信号Ｓ４−Ｓ３に相応す
る。ホールセンサのこの配置の場合も、差信号の両方の
異なる信号振幅から、走査ヘッドに即ちセンサにちょう
どいま歯が即ちセグメントが対向しているか、または切
欠部に対向しているかが、検出される。
−両方のホールセンサ３′と４′を有する−で示されて
いる様に、走査ヘッドを、両方のホールセンサ３と４と
の間の間隔だけ、半径方向へ外側へ変位させることもで
きる。この場合も、一方のホールセンサ３′が発信器部
分１の歯またはセグメント１ａと切欠部１ｃを走査す
る。他方、もう一方のホールセンサ４′は発信器部分１
の外側に設けられ、そのためホールセンサ４′は発信器
部分の強磁性体材料にもはや応動せず当該発信器部分か
らの影響領域外の空気中で一定出力を導出する測定を行
なう。その結果、ホールセンサ３′の出力信号Ｓ３′は
図２の信号Ｓ３に相応し、他方、出力信号Ｓ４′は、出
力信号Ｓ４よりも小さい一定の振幅を有する。何故なら
ば、当該発信器部分からの影響領域外の空気中で一定出
力を導出する測定を行うからである（図２に破線で示さ
れている）。増幅された差Ｓ３′−Ｓ４′が図３に破線
で示されており、反転された信号Ｓ４−Ｓ３に相応す
る。ホールセンサのこの配置の場合も、差信号の両方の
異なる信号振幅から、走査ヘッドに即ちセンサにちょう
どいま歯が即ちセグメントが対向しているか、または切
欠部に対向しているかが、検出される。
【図１】セグメント発信器部分に対する２つのセンサを
有する走査ヘッドの配置図である。
有する走査ヘッドの配置図である。
【図２】この配置の装置から形成される信号図である。
【図３】この配置の装置から形成される信号図である。
１ セグメント発信器部分、 １ａ セグメント、 １
ｂ 同質の部分、 １ｃ 切欠部、 ２ 軸、 ３，４
ホールセンサ、 ５ 走査ヘッド
ｂ 同質の部分、 １ｃ 切欠部、 ２ 軸、 ３，４
ホールセンサ、 ５ 走査ヘッド
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｄ 5/244 Ｂ 7269−2Ｆ Ｇ０１Ｐ 3/488 Ｃ 9010−2Ｆ
Claims (2)
- 【請求項１】 複数個の歯をまたは少なくとも１つのセ
グメント（１ａ）を有し、軸（２）を中心として回転す
る、強磁性体材料から成る発信器部分の回転数または位
置を、回転しないように設けられている２つのホールセ
ンサ（３，４）を用いて非接触形式で検出する装置にお
いて、両方のホールセンサ（３，４）が次のように配置
されており、即ち一方のホールセンサ（３）が発信器部
分（１）の歯またはセグメント（１ａ）および切欠部
（１ｃ）を走査し、他方のホールセンサ（４）が発信器
部分の同質の部分（１ｂ）を走査するように、配置され
ていることを特徴とする、回転する発信器部分の回転数
または位置を非接触形式で検出する装置。 - 【請求項２】 複数個の歯をまたは少なくとも１つのセ
グメント（１ａ）を有し、軸（２）を中心として回転す
る、強磁性体材料から成る発信器部分の回転数または位
置を、回転しないように設けられている２つのホールセ
ンサ（３，４）を用いて非接触形式で検出する装置にお
いて、両方のホールセンサ（３，４）が次のように配置
されており、即ち一方のホールセンサ（３）が発信器部
分（１）の歯またはセグメント（１ａ）および切欠部を
走査し、他方のホールセンサ（４）が当該発信器部分か
らの影響領域外の空気中で一定出力を導出する測定を行
なうことを特徴とする、回転する発信器部分の回転数ま
たは位置を非接触形式で検出する装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE92108253.3 | 1992-05-15 | ||
| EP92108253A EP0569613B1 (de) | 1992-05-15 | 1992-05-15 | Anordnung zur berührungsfreien Erfassung der Drehzahl oder Position eines drehbaren Geberteils |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0682208A true JPH0682208A (ja) | 1994-03-22 |
Family
ID=8209619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13511093A Withdrawn JPH0682208A (ja) | 1992-05-15 | 1993-05-14 | 回転する発信器部分の回転数または位置を非接触形式で検出する装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0569613B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0682208A (ja) |
| DE (2) | DE59205972D1 (ja) |
| ES (1) | ES2084870T3 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018096997A (ja) * | 2016-12-17 | 2018-06-21 | ティディケイ−ミクロナス ゲー・エム・ベー・ハー | 測定システム |
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|---|---|---|---|---|
| US5341097A (en) * | 1992-09-29 | 1994-08-23 | Honeywell Inc. | Asymmetrical magnetic position detector |
| DE4343198C2 (de) * | 1993-12-17 | 1996-06-13 | A B Elektronik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung der Position rotierender Wellen |
| DE4432827C2 (de) * | 1994-09-15 | 1998-10-22 | Festo Ag & Co | Positionsbestimmungseinrichtung |
| DE19520683A1 (de) * | 1995-06-07 | 1996-12-12 | Teves Gmbh Alfred | Anordnung zur Erfassung einer Bewegung |
| DE19522722C2 (de) * | 1995-06-22 | 2001-10-04 | Diehl Stiftung & Co | Einrichtung zum Erfassen einer Drehbewegung |
| US5714883A (en) * | 1995-12-20 | 1998-02-03 | General Motors Corporation | Rotational sensor including axially adjacent targets one of which having invariant permeability the other having varying permeability as they rotate |
| US6131547A (en) * | 1998-02-27 | 2000-10-17 | Cummins Engine Company, Inc. | Electronic engine speed and position apparatus for camshaft gear applications |
| JP2001289610A (ja) * | 1999-11-01 | 2001-10-19 | Denso Corp | 回転角度検出装置 |
| RU2413088C2 (ru) * | 2008-10-28 | 2011-02-27 | Иркутская государственная сельскохозяйственная академия Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования | Датчик-распределитель бензиновых двигателей, работающих на газообразных видах топлива |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2157011A1 (de) * | 1971-11-17 | 1973-05-24 | Krauss Maffei Ag | Abstandsmessanordnung fuer elektromagnetische trag- oder fuehrungssysteme fuer schwebefahrzeuge |
| DE3339162A1 (de) * | 1983-10-28 | 1985-05-15 | Grutzeck, geb. Prass, Christel, 7272 Altensteig | Anordnung von steuerscheiben zum ansteuern von magnetflussempfindlichen halbleitern |
| US4901015A (en) * | 1988-09-21 | 1990-02-13 | Sundstrand Corporation | Ambient electromagnetic field compensating magnetic pick-up circuit for integrated drive generators |
| DE4038820C2 (de) * | 1990-12-05 | 2000-05-31 | Bayerische Motoren Werke Ag | Annäherungsschalter für ferromagnetische Metallteile von Kraftfahrzeugen |
| EP0496918A1 (de) * | 1991-01-31 | 1992-08-05 | Siemens Aktiengesellschaft | Anordnung zur Gewinnung von Impulssignalen beim Vorbeilauf von Markierungen eines Geberteils |
-
1992
- 1992-05-15 EP EP92108253A patent/EP0569613B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1992-05-15 DE DE59205972T patent/DE59205972D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-05-15 ES ES92108253T patent/ES2084870T3/es not_active Expired - Lifetime
-
1993
- 1993-04-08 DE DE9305385U patent/DE9305385U1/de not_active Expired - Lifetime
- 1993-05-14 JP JP13511093A patent/JPH0682208A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018096997A (ja) * | 2016-12-17 | 2018-06-21 | ティディケイ−ミクロナス ゲー・エム・ベー・ハー | 測定システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE59205972D1 (de) | 1996-05-15 |
| EP0569613A1 (de) | 1993-11-18 |
| ES2084870T3 (es) | 1996-05-16 |
| DE9305385U1 (de) | 1993-05-27 |
| EP0569613B1 (de) | 1996-04-10 |
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