JPH0683923B2 - 高硬度・高圧縮応力多層コートの工具 - Google Patents

高硬度・高圧縮応力多層コートの工具

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JPH0683923B2
JPH0683923B2 JP2507652A JP50765290A JPH0683923B2 JP H0683923 B2 JPH0683923 B2 JP H0683923B2 JP 2507652 A JP2507652 A JP 2507652A JP 50765290 A JP50765290 A JP 50765290A JP H0683923 B2 JPH0683923 B2 JP H0683923B2
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Description

【発明の詳細な説明】 本願発明の背景 本願発明はPVDコートの工具の分野に関するものであ
る。
公知の技術において工具鋼及びセメンテーションされた
カーバイド切削工具は機械加工中の切削の寿命を高める
ためCVD(化学蒸着)によってコートされていた。適用
された代表的なコートは、チタニウムカーバイド、チタ
ニウムカーボニトライド、チタニウム窒化物及びアルミ
ナである。CVDコートの1つの好ましい型式は3相のコ
ートでこの中ではチタニウムカーバイド層が基板に接着
され、チタニウムカーボニトライドの層がチタニウムカ
ーバイド層に接着され、それからのチタニウム窒化物の
層がチタニウムカーボニトライドの層の外側に接着され
る(例えばE.N.スミス外の米国特許第4.035.541号及び
W.シントルマイスター米国特許第4.101.703号参照)。
PVD(物理蒸着)コートは工具鋼及びセメンテーション
されたカーバイド切削工具に適用された(例えば小林外
の米国特許第4.169.913号参照)公知の技術においてPVD
チタニウム窒化物のコートは商業的に直接工具鋼とセメ
ンテーションされたカーバイドの基板に適用された。
欧州特許公開第0191554号(特開昭61−170559号)によ
ればセメンテーションされたカーバイドの基板は、靭性
を減少させる結果を来す基板のカーバイドとPVDコート
の中のチタニウムカーバイド間の拡散を避けるために、
若し最初に0.1から1マイクロメータの間のPVD TiNコ
ート(1)が適用されるならば、この基板はTiC又はTiC
NでPVDコートされてもよいことを教えている。更にPVD
のTiN層はPVDのTiC又はTiCNの上に適用されるべきこと
も教えている。
PVDコートはセメンテーションされたカーバイドと工具
鋼の基板の上に例えばイオンプレーテイング、磁気的な
スパッタリング及びアーク蒸発のような色々な技術によ
って適用される。更に夫々の技術は多くの変形を有して
いる。これらの各種の技術並びにその変形は色々な物性
を有するPVDコート工具を生む結果を生じていることが
観察されている。コートを沈着させるために用いられる
正確な技術に基いて、コートの硬度、残留応力、反応の
傾向又は基板への接着はプラス側に又はその反対に影響
される。これらのPVD技術とその結果のコートの物性
は、ビユール外の“鋼上のTiNコードシンソリッドフイ
ルム80巻(1981年)265−270頁、ビユール外の米国特許
第4.448.802号(前記のものは申請者がここで用いたバ
ルツアーAGのイオンプレーテイング技術と装置を記述し
ている)、ムンツ外の“工具上の硬い摩擦を減少させる
TiNコートの形成のための高率のスパッタリングプロセ
ス”シンソリッドフイルム96巻(1982年)79−86頁、ム
ンツ外の米国特許第4.426.267号、カマキ外の“CVD及び
PVD法によるTiNでコートされたセメンテーションされた
カーバイドの切削チップの中の残留応力の比較とその減
退した抵抗への影響”サーフエシングジャーナルインタ
ーナショナル第1巻3号(1986)82−86頁、ヴオルフエ
外の“カーバイドの平削り工具における硬質コートの役
割り”ジャーナルオブヴアキュームサイエンステクノロ
ジーA3(1986)2747−2754頁、キントー外の“物理的及
び化学的蒸着による硬質コートの高温のマイクロ硬度”
シンソリッドフイルム第153巻(1987)19−36頁、ジン
ダール外の“WC−C。基板上の物理的及化学的蒸着によ
る硬質コートの接着の測定”第54巻(1987)361−375
頁、ジンダール外の“硬質コートのマイクロ硬度の負荷
依存性”サーフエスアンドコーテイングテクノロジー第
36巻(1988)683−694頁(第15回金属学的コートについ
ての国際会議、1988年4月11〜15日、米国カリフオルニ
ア州サンデイエゴにて開催、にて発表された)、リッカ
ービー外の“物理的蒸着硬質コートの構造と物性のプロ
セスとシステムのパラメーターの関連性”シンソリッド
フイルム第157巻(1988年2月)195−222頁(200頁201
頁及び219−221頁参照)、キント外の“化学的蒸着及び
物理的蒸着によりコートされたカーバイド工具の機械的
な物性、構造及び性能”マテリアルズサイエンスアンド
エンジニアリングA105/106(1988)443−452頁(第3回
硬質材料の科学についての国際会議1987年11月9−13日
バハマのナッサウにて開催にて発表された)等に記載さ
れている。
本願発明者の意見では最良のPVDコートを与える技術は
上記にビユール外の特許と論文に記載されたものであっ
てこれはバルツアーAGのイオンプレーテイング技術及装
置を利用するものである。この信ずる処は色々な形式の
PVDコートされた工具の分析に基いて居り、この結果、P
VDTiNコートにおいて最高の硬度と最高の圧縮残留応力
がバルツアーAGのイオンプレートされたPVDコート(以
下BIPと云う)において得られた。これらの物性は他のP
VDコートされた切削工具がもつものよりもより高い耐摩
耗性と端が欠けたり破損することに対するより少い故障
発生率を有する切削工具を生み出す。
しかし乍らBIPのPVDコートの高い残留圧縮応力は又問題
を生じた、本願発明者がその上にBIP−PVDのTiCNコート
を有する切削工具を製作しょうとした時に、製造された
TiCNコートははげ易かった。同様な結果がBIP−PVDのTi
Cコートにおいても観察された。工具を分析した結果BIP
−BVD TiCNは非常に高い残留圧縮応力を含んでいるこ
とが示され、多分これはBIP−PVD TiNの場合に見出さ
れたものの2倍の高さであったが、前述の欧州特許公開
第0191554号(特開昭61−170559号)に報告されたよう
なかたいがもろい拡散相はなかった。従ってこれがはげ
落ちる問題の原因であることが理論付けられた。この問
題は最初に基板の表面にBIP−PVD TiCNコートを行い、
次いでBIP−PVD TiNコートを行うことによって解決さ
れた。工具鋼とセメンテーテションされたカーバイド工
具で前述のBIP−PVDのTiN/TiCNの2層のコートをもつも
のがそれ以来公開された。
その後耐摩耗性を改善し外観を良くするために上述のBI
P−PVD TiN/TiCNコートの上に更にBIP−PVD TiNコー
トを行うことが希望された。しかし乍ら,色々なコート
の中の高い圧縮残留応力のために現存するBIP−PVD Ti
CNコートにBIP−PVD TiNがよく付着して結合され得る
かどうかは知られていなかった。
本願発明の取りまとめ 本願発明に従えば基板とこれに付着して結合したコート
を有する工具が与えられる。この基板はよく知られた工
具鋼、セメンテーションされたカーバイド又はサーメッ
ト(陶性治金)の中の1つから成立っている。コートは
物理的蒸着によって沈着され、第1層は基板に付着して
結合されたIVBグループ金属(チタニウム、ジルコニウ
ム、ハフニウム)の窒化物より成り、第2層はIVBグル
ープのカーボニトライドで第1層の外側に付着して結合
されたものより成り、第3層は又第2層の外側に付着し
て結合されたIVB金属の窒化物グループから成立ってい
る。本願発明に従ったPVDコートは優秀な耐ひび割れ性
と耐摩耗性の特徴を有し、夫々350kg/mm2を越え好まし
くは400kg/mm2を越える圧縮残留応力とヴイツカースに
硬度番号(50gm負荷)で2600−3100好ましくは2750−31
00kg/mm2によって示されている。
本願発明のこれら及び他の面は以下の図面を以下の詳細
な仕様と関連して検討するときより明らかとなろう。
図面の簡単な説明 図1は本願発明の従った切削工具の好ましい実施例の等
尺性の図を示す。
図2は基板の表面からコーテイングの表面迄のコート層
の成分の変化の走査によりオーガー分析を示す。
本願発明の詳細な説明 本願発明に従って、SPGN−423として示される切削イン
サート本体10が図1に示されている。切削インサート本
体10はレーキ面14の接合部に形成された切削エッジ12と
その側面16とを有する。切削エッジ12は好ましくはとが
っている。即ちCVDコートされたインサートには通例で
あるようにホーニングされた面取りされてはいない。切
削インサート10は工具鋼、セメンテーションされたカー
バイド又はサーメットのようなよく知られた硬い材料か
ら成り立つ基板をもっている。
基板に付着して結合されて本願発明に従ったPVDコート
がある。好ましくは全体のレーキ面14、側面16及び切削
エッジ12がコートされている。示されている凸面のレー
キの形式のインサートに対しては底面(これは示されて
いない)はレーキ面と反対側にありコートされる必要は
ない。
PVDコートは3層から成り立つ、最初のキの即ち最も内
部の層はIVB(チタニウム、ジルコニウム、ハフニウ
ム)グループ金属の窒化物から成り、第2又は中間層は
IVBグループ金属のカーボニトライドから成り、外側の
即ち第3の層はIVBグループ金属の窒化物から成り立っ
ている。好ましくは第1、第2、第3の層は夫々次の組
成を有する。: TiN/TiCN/TiN。
コーテイング及び個々の層が基板に対し又夫々に付着す
ることをたしかにするために、所要の耐摩耗性の大きさ
と破砕に対する抵抗の大きさを与える一方で、これらの
厚さは次のように制御される。
平削り又は其の他の非連続的切削作業に用いられる切削
インサートのためには、窒化材料の最初の層は1lよりも
大きく、しかし3lよりも小さく、且つより好ましくは約
1.5から約2.5lの間の平均の厚さを有する。この厚さは
切削工具の重要な範囲(即ち切削刃と近くのフランク及
びレーキ面)が全く窒化物層で覆はれるので第2層のカ
ーボニトライド材は基板と直接の接触はしない保証を与
える。若し第2層が基板領域に接触すると非常に高い圧
縮残留応力が形成されてはがれ易くなってしまう。
第2層はカーボニトライド材から成り、好ましくは約1.
2から3lの平均の厚さを有する。このカーボニトライド
層はその硬度の耐摩耗性が窒化物層に較べて優れている
のでこの層を出来るだけ厚くすることがのぞましい一方
で、不連続的な切削作業に対するのぞましい割れに対す
る靭性を与えるのに十分な圧縮残留応力が残ることを保
証するためにその厚さは約3lを越えるべきではない。残
留圧縮応力はコートの厚さが増加すると共に減少する。
第1層の第2層に対する付着性を改善するために、第2
層の最初の部分においてはその炭素含有量は次第に増加
してのぞましいレベルに達する。
好ましくは第3層は約0.2から約1.7lの間の平均の厚さ
を持ち、より好ましくは約0,5から約1l以下の厚味を持
つ。この第3層はその高い硬度と残留圧縮応力のために
もう一つの耐摩耗性の高い割れの靭性の材料の層を与え
るものである。連続した外側の又は第3の層は摩擦の少
い面を与え且つ切削工具に魅力ある金色を与える。
好ましくは全部のコートの平均厚さは、平削り又は他の
不連続的な切削作業に用いられる切削インサートに対し
て約2.5から5lの間である。
ターニング其他の連続した切削作業に用いられる切削イ
ンサートに対しては、好ましい全体のコートの厚さと層
の厚さは平削り用として上述したものよりは下に述べる
ように変化する。ターニング作業においては、すりへら
す摩耗が平削りよりももっと問題となるが強化された耐
摩耗性を与えるために全体のコーテイングはより厚いこ
とが希まれる。全体の平均のコーテイング厚さは好まし
くは約8から15lで、より好ましくは9から12lであり最
も好ましくは約10lである。好ましくは内側の又は第1
層は厚さは1から4l、より好ましくは厚さ約3lである。
第2層は好ましくは2から5lでより好ましくは厚さ約4l
である。第3層は好ましくは約2から3lでより好ましく
は約3lである。
本願発明は次の例を考えることによって一層明らかに理
解されるが、これは全く本願発明の例証的なものにすぎ
ない。
SPGN−423型の指標となるインサート(ANSIB212.4−198
6参照)は約5.7重量パーセント(w/o)のコバルト、0.4
w/oのクロム及び残りはタングステンカーバイドを含む
よく知られた商業的なタングステンカーバイドーコバル
トのセメンテーションされたカーバイドから成るものが
基板として用いられるように選ばれた。この材料はヴイ
ツカースのHV30の硬度で約1830、磁気飽和が約90%、Hc
(抗磁力)が約300エルステッド・多孔性でA04又はそれ
以上且つパームクイストのれの靭性で約86kg/mmによっ
て特徴づけられている。この材料は試験の目的で作られ
たので、地下のレーキ表面は磨かれていた。切削刃は鋭
い状態にあった。
基板の表面は(底面を除いては凡て)バルツアーのBAI
−830(バルツアーAG・リヒテンシユタイン)のイオン
プレーテイングPVDコーテイング装置で約500#Cにおい
てチタニウム源、カーボンニトライドの中間部分のコー
テイング周期に導入されるアセチレンガスを伴った窒素
の雰囲気を用いてPVDコートされる。(米国特許第4.44
8.802参照)コーテイングの最初の段階においては通例
であるように、チタニウムの非常に薄い層(高度の分析
のTEHによってのみ探知可能)が基板の上に沈着して基
板とチタニウム窒化物の第1層との間の改良された接着
を与える。コーテイングの周期中基板は連続して動かさ
れる。
最初のインサート上において計測された結果として生じ
たTiN/TiC、N/TiNのコーテイングは平均内部又は第1層
の厚さ約1.7l、平均第2層の厚さ1.3l、平均第3層の厚
さ1.5lであった。第2のインサートにおいては計画の結
果第2層の成分は丁度上記から約1原子パーセントの炭
素が変化して約28.7原子パーセント炭素となった。図2
はA;窒素の合計とオーガースペクトルにおける最初のチ
タニウムのピーク;B、オーガースペクトルにおける第2
のチタニウムのピーク;C、炭素のピーク、に対するコー
テイングの厚さによるオーガーピークの強度の変化を記
入したものである。
このデータは編者がロビンソン外のエレクトロケミカル
ソサイアテイINC(1984)757−771頁の第9回CVD国際会
議の会報のメロトラ外の論文“ボールウエアスカー技術
によるCVDコーテイングにおける成分的並びにマイクロ
硬度の側面”に記載された技術を用いてボールウエアス
カーのオーガーラインスキャンを走査することにより得
られた。中間層又は第2層においては第1層と第2層の
界面から所要の最高値に到達する迄外に向って動くにつ
れて、炭素含有量は一般的に次第に増加することが認め
られる。1の位置(第1層1.3μ厚さ)、2(第2層2.1
μ)、3(第2層)及び4(第3層1.5μ)におけるコ
ーテイングの大略の成分はオーガーピーク強度から計算
されて下の表1に原子パーセントで報告されている。図
2及び表2から第2層中の金属カーボニトライドの組成
は基板からの距離と共に変化するので第2層が基板から
離れて伸びるに従って、第1の最高点(位置2)とそれ
から第2の最高点(位置3)が金属カーボニトライドの
窒素含有量の中にあることが認められる。第2の最高点
(位置3)における炭素含有量は第1の最高点(位置
2)における炭素含有量よりも大きい。第1と第2の最
高点の間には金属カーボニトライドの炭素含有量は第1
の最高点の炭素含有量(位置2)よりも少い値に達す
る。第1と第2のピークの間には炭素レベルは最初のピ
ークの炭素レベル以下に低下する。位置1及び4で見出
された炭素レベル及び凡ての位置における酸素のレベル
はオーガーのサンプルで観察される通常の残留量であ
る。外側のTiN層における小さい炭素のピークと対応す
る窒素の下降は調査した表面の局部的な孔によって起さ
れた人工のものであろうと思われる。
このコートは更に硬度と付着力について特徴づけられ
る。このコーテイングはヴイツカース硬度番号(50gm負
荷)で約2840kg/mm2を有する。
コーテイングの付着力はスクラッチアドヘツションクリ
テイカルロード、Lc、(ニユートンズ)及びインデント
アドヘツシヨンクリテイカルロード、Pcr、(kg)によ
って計測されたとき満足のゆくもので夫々〉90及び〉45
である。コーテイングの厚さを通しての割れの断面はコ
ーテイングが密で孔のない製造を持っていることを示し
ている。
PVDの硬いコーテイングにおいてより高い圧縮残留応力
はより高い計測されたマイクロ硬度と関連していること
は一般的気に知られている。(キントーの図9“切削工
具用硬質コーテイングにおける機械的な特性と構造の関
係"J.Vac.Sci.技術、A6(3)1988年5/6月、2149〜2157
頁参照)TiCNに対しては残留応力を計算するために必要
な弾性係数Eは知られていないが、より高いマイクロ硬
度のPVD TiCNは(PVD TiNに関して約2400kg/mm2)又T
iNに対する640GPaの想定されたEの値で計算されたもの
よりも高い圧縮残留応力を持つと想定することは理論に
合っている。(トローク外、“TiN、TiC、ZrN及びHfNの
ヤング係数”シンソリッドフイルム153巻(1987)37〜4
3頁特に42頁参照)X線の回折による残留応力の計測“A
in2法”がキントー外のシンソリツドフイルム153巻(19
87)21頁に記載されている。
我々の想定ではBIP−PVD TiNコーテイングにおいて行
われた残留応力の計測に基いて、本願発明によるコーテ
イング中の残留応力は約400kg/mm2を超えると信ぜられ
る。
凡ての申請、特許其の他の文書でここに引用されたもの
は参考として組合わされる。
ここに開示された発明の仕様又は実例を考慮すればこの
方面の専門家には本願発明の他の実施例は明らかであら
う。ここに記載した明細書と実例は単に範例としてのみ
考えられ、真の本願発明の範囲と精神は次の請求項によ
って示されているものである。

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】切削工具において、 第1の面と第2の面を有する本体と、 当該第1の面と第2の面の接合部に位置する切削刃と、 基板と当該基板に付着して結合するコーテイングとから
    なる当該本体と、 工具鋼、セメンテーションされたカーバイド及びサーメ
    ッツからなるグループから選択された硬質材料から当該
    基板と、 物理的な蒸着によって沈着され当該基板に付着して結合
    されたIVB金属グループの窒化物からなる第1層を有す
    る当該コーテイングと、 物理的な蒸着によって沈着され当該第1層の外側に付着
    して結合されたIVB金属グループのカーボニトライドか
    らなる第2層を有する当該コーテイングと、 物理的な蒸着によって沈着され当該第2層の外側に付着
    して結合されたIVB金属グループの窒化物からなる第3
    層を有する当該コーテイングと、から成り、ここにおい
    て当該コーテイングは約350kg/mm2を超える平均圧縮残
    留応力を含み、 ここにおいて当該コーテイングは約2600から3100kg/mm2
    の間の(50gm負荷における)平均ヴイツカース硬度番号
    を有し、 且つここにおいて当該第1層は1マイクロメータを超
    え、しかし3マイクロメータ以下の厚さを有することを
    特徴とする切削工具。
  2. 【請求項2】当該圧縮残留応力は約400kg/mm2を超える
    ことを特徴とする請求鋼1に記載の切削工具。
  3. 【請求項3】当該第1層は約1.5から約2.5マイクロメー
    タの厚さを有することを特徴とする請求項2に記載の切
    削工具。
  4. 【請求項4】当該基板はセメンテーションされたカーバ
    イドであることを特徴とする請求項1に記載の切削工
    具。
  5. 【請求項5】当該第3層はチタニウム窒化物より成るこ
    とを特徴とする請求項1に記載の切削工具。
  6. 【請求項6】当該第3層はチタニウム窒化物より成るこ
    とを特徴とする請求項3に記載の切削工具。
  7. 【請求項7】当該第2層はチタニウムカーボニトライド
    より成り、当該第1層はチタニウム窒化物より成ること
    を特徴とする請求項1に記載の切削工具。
  8. 【請求項8】当該第2層はチタニウムカーボニトライド
    より成り、当該第1層はチタニウム窒化物より成ること
    を特徴とする請求項6に記載の切削工具。
  9. 【請求項9】当該平均ヴイッカース硬度数は約2750から
    3100kg/mm2であることを特徴とする請求項1に記載の切
    削工具。
  10. 【請求項10】当該第1層は約1.5から約2.5マイクロメ
    ーターの厚さを有することを特徴とする請求項9に記載
    の切削工具。
  11. 【請求項11】当該基板はセメンテーションされたカー
    バイドであることを特徴とする請求項9に記載の切削工
    具。
  12. 【請求項12】当該第3層はチタニウム窒化物より成る
    ことを特徴とする請求項9に記載の切削工具。
  13. 【請求項13】当該第3層はチタニウム窒化物より成る
    ことを特徴とする請求項10に記載の切削工具。
  14. 【請求項14】当該第2層はチタニウムカーボニトライ
    ドより成り、当該第1層はチタニウム窒化物より成るこ
    とを特徴とする請求項9に記載の切削工具。
  15. 【請求項15】当該第2層はチタニウムカーボニトライ
    ドより成り、当該第1層はチタニウム窒化物より成るこ
    とを特徴とする請求の範囲13に記載の切削工具。
  16. 【請求項16】当該コーテイングは400kg/mm2を超える
    平均圧縮残留応力によって特徴づけられることを特徴と
    する請求項15に記載の切削工具。
  17. 【請求項17】切削工具において、 第1の面と第2の面を有する本体と、 当該第1の面と第2の面の接合部に位置する切削刃と、 基板と当該基板に付着して結合するコーテイングとから
    なる当該本体と、 工具鋼、セメンテーションされたカーバイド及びサーメ
    ッツからなるグループから選択された硬質材料から当該
    基板と、 物理的な蒸着により沈着され当該基板に付着して結合さ
    れたIVB金属グループの窒化物よりなる第1層を有する
    当該コーテイングと、 物理的な蒸着により沈着され当該第1層の外側に付着し
    て結合されたIVB金属グループのカーボニトライドから
    なる第2層を有する当該コーテイングと、 物理的な蒸着によって沈着され当該第2層の外側に付着
    して結合されたIVB金属グループの窒化物よりなる第3
    層を有する当該コーテイングと、から成り、ここにおい
    て当該コーテイングは約2600から3100kg/mm2の間の(50
    gm負荷の)平均ヴイツカース硬度数をもち、 ここにおいて当該コーテイングは約350kg/mm2を超える
    平均圧縮残留応力を含み、 ここにおいて第2層中の金属カーボニトライドの組成は
    基板からの距離と共に変るので、第2層が基板から外に
    伸びるに従って金属カーボニトライドの炭素含有量にお
    ける最初の最高点と其の後第2の最高点があり、ここに
    おいて当該最初と第2の最高点との間で当該金属カーボ
    ニトライドの炭素含有量は炭素含有量の中の第1の最高
    点よりも少い値に達することを特徴とする切削工具。
  18. 【請求項18】第2の最高点における炭素含有量は最高
    の最高点における炭素含有量よりも大きいことを特徴と
    する請求項17に記載の切削工具。
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