JPH0684143A - 浮上型薄膜磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 外部磁界の影響を受けず、記録信号のレベル
の低下を回避することができる浮上型薄膜磁気ヘッドを
提供する。 【構成】 主磁極と補助磁極とが適長ギャップをおいて
配置された記録再生部とスライダー部とからなる浮上型
薄膜磁気ヘッドにおいて、前記補助磁極における前記主
磁極及び前記磁気記録媒体と磁路を形成する領域を除く
面に磁気遮蔽部材が設けられており、前記遮蔽部材は同
時に前記スライダー部を構成していることを特徴とす
る。外部磁界遮蔽部材とスライダー部材が一体で構成さ
れているので、接合面による段差がなく、加工がし易
い。磁気記録媒体への損傷も少なく耐久性を向上させる
ことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は磁気記録再生用の浮上型
薄膜磁気ヘッドに関し、特に磁気記録密度が高い垂直磁
気記録法に使用するのに好適の浮上型薄膜磁気ヘッドに
関する。

【０００２】

【従来の技術】垂直磁気記録は磁気記録媒体の磁性層を
厚さ方向に磁化させることにより記録再生を行うもので
あり、従前一般的であった面内磁気記録法に比して記録
密度を高くすることができるという利点がある。即ち、
面内磁気記録法においては、磁気記録媒体上に被着形成
された磁性層をその面に平行に磁化させ、この面内方向
での残留磁化により記録再生を行う。しかし、この面内
方向磁化の場合には、記録信号が短波長になるにつれ
て、即ち記録密度が高くなるにつれて、記録媒体内の反
磁界が増加し、再生出力が低下するという欠点がある。
これに対し、垂直磁気記録の場合には、記録密度が高く
なってもこのような反磁界による不都合が生じないた
め、面内方向磁化に比して記録密度を高くすることがで
きる。

【０００３】この種の垂直磁気記録に使用される磁気ヘ
ッドとしては、補助磁極励磁型ヘッド及び単磁極励磁型
ヘッドが一般的である。前者は、記録媒体の片面しか使
えないため、効率が悪いという難点がある。また、後者
は両面を使用でき、従来の面内磁気記録と同様の態様で
使用できる。

【０００４】図５は単磁極励磁型ヘッドである垂直磁気
記録用浮上型薄膜磁気ヘッド（以下薄膜磁気ヘッドとい
う）を示す模式図である。セラミック支持体４の側面
に、フェライト層３が形成されており、このフェライト
層３の側面に形成されたコイル軸部を介して磁極１が設
けられている。磁極１のコイル軸には、導体コイル２が
巻回されている。面内記録用磁気ヘッドの場合には、ギ
ャップを高精度で形成しないと記録再生機能を十分に果
たせないため、製造上の困難性がある。これに対し、薄
膜磁気ヘッドの場合には、記録方式の違いから、ギャッ
プの形成に厳密さは要求されず、製造が容易である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、薄膜磁
気ヘッドの場合は、外部磁界の影響を受け易いという欠
点がある。特に、記録媒体と垂直の方向に外部磁界が加
わると、記録した信号レベルが低下してしまう。このよ
うに、外部磁界により記録信号のレベル低下が生じる
と、ＳＮ比も減少してしまう。このため、薄膜磁気ヘッ
ドの場合には、この外部磁界の影響を小さくすることが
要望されている。

【０００６】また、薄膜磁気ヘッドの場合は、使用回数
の増加とともに磁気記録媒体と磁気ヘッドの摺動により
摩擦係数が徐々に増加して、いわゆるヘッドクラッシュ
やスティックを起こすため、磁気記録媒体に対する接触
摺動性を良好にし耐久性を向上させることが望まれてい
る。

【０００７】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、外部磁界の影響を受けず、記録信号のレベ
ルの低下が回避され、磁気記録媒体との耐久性の良好な
薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明に係る浮上型薄膜
磁気ヘッドは、主磁極と補助磁極とが適長ギャップをお
いて配置された記録再生部とスライダー部とからなる浮
上型薄膜磁気ヘッドにおいて前記補助磁極における前記
主磁極及び前記磁気記録媒体と磁路を形成する領域を除
く面に磁気遮蔽部材が設けられており、前記遮蔽部材は
同時に前記スライダー部を構成してなることを特徴とす
る。

【０００９】

【作用】本発明においては、補助磁極の特定の面に磁気
遮蔽部材が配置されている。この磁気遮蔽部材が配置さ
れる面は、補助磁極が主磁極と磁路を形成する領域と、
補助磁極が磁気記録媒体と磁路を形成する領域とを少な
くとも除く領域である。このため、この磁気遮蔽部材に
より、外部磁界が補助磁極に入って記録媒体と垂直の方
向に外部磁界が入るという事態が抑制される。これによ
り、記録されている信号のレベルが低下したり、ＳＮ比
が減少したりすることが防止される。

【００１０】しかも、この磁気遮蔽部材の一部がスライ
ダー部を構成した構造となっているので、磁気遮蔽機能
を有する部分とスライダー部を接合する部分がない。こ
れにより、スライダーを機械加工する際、異なる材料を
同時に研磨することによって発生するスライダー面の段
差を無くすことができる。従って磁気遮蔽部を有するス
ライダー面を平坦化することができ、磁気記録媒体との
耐久性を向上させることが可能となる。更にスライダー
部の材質が、従来の薄膜磁気ヘッドの主流であるTiC-Al
₂O₃ 系等と比較して摺動性が良好とされるフェライトを
使用するため、薄膜磁気ヘッドでいわゆるモノリシック
型ヘッドに近いレベルの耐久性を得ることができる。ま
た、磁気遮蔽部とスライダー部を同一材料にしたことに
より、製造を容易にし、低コスト化が可能となる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の実施例について添付の図面を
参照して説明する。図１は本発明の実施例に係る薄膜磁
気ヘッドの記録再生部を示す断面図、図２はこの薄膜磁
気ヘッド５の下面を示す斜視図である。図２に示すよう
に、この薄膜磁気ヘッド５はその空気流方向に延びるス
ライダー浮上面７と、磁気ヘッドと磁気記録媒体との間
への空気の流入を容易にするために傾斜して形成された
流入端８と、この流入端８の反対側の端部に設けられた
記録再生部６とを有する。

【００１２】この薄膜磁気ヘッドは、スライダー部９
と、このスライダー部９に背後を囲まれるようにして設
けられた補助磁極11とスライダー部９の端部及び補助磁
極11の表面を覆うアルミナ層等の非磁性膜13と、この非
磁性膜13内の補助磁極11と対向する位置に埋め込まれた
主磁極12と、コイル15とから構成されている。このコイ
ル15はリード線16により外部に導出されている。

【００１３】スライダー部９は、Ni-Zn 、Mn-Zn といっ
たフェライトを主成分とする材料で形成されている。非
磁性膜13はアルミナのスパッタリング等により形成する
ことができる。そして、この非磁性膜13内に埋め込まれ
た主磁極12は軟磁性材料であるパーマロイ又はCo系合金
若しくはFe系合金を使用することができる。補助磁極11
とシールド部10との間は、ガラス質材料14により充填さ
れている。

【００１４】この磁気ヘッドは以下に示すように薄膜形
成法により製造することができる。図３（ａ）乃至
（ｄ）は上述の薄膜磁気ヘッドを製造する方法を工程順
に示す模式図である。先ず、図３（ａ）に示すように、
２種類の基板21、22をガラス質材料23により接着して組
み立てる。基板21は磁気ヘッドのスライダー部９となる
ものであり平板状をなし、例えば幅が0.3乃至1.0mm、深
さが0.03乃至0.55mmの溝が複数本適長間隔をおいて形成
されている。一方、基板22は補助磁極11となるものであ
り、例えば、幅が0.28乃至0.98mm、高さが0.01乃至0.53
mmの複数本の凸部が基板21の凹部の配設ピッチと同一の
ピッチで形成されている。そして、基板21と基板22とは
その凹部に凸部をはめ込んでガラス質材料23により接着
されている。

【００１５】次いで、図３（ｂ）に示すように、基板22
を研削及び研磨し、基板21の凹部に埋め込まれた部分を
残してその他の基板22の部分を除去する。その後、図３
（ｃ）に示すように、基板22上の部分に、フォトリソグ
ラフィを含む薄膜形成技術により、非磁性層13、主磁極
12、コイル15及びその他の配線部分を形成する。次い
で、同図のA-A ，B-B ，C-C ，D-D 線で切断すると、図
３（ｄ）に示す形状の薄膜磁気ヘッドが製造される。

【００１６】本実施例の薄膜磁気ヘッドにおいては、コ
イル15への通電により形成された磁場が、補助磁極11
と、主磁極12と、磁気記録媒体30との間で閉ループを形
成する。これにより、磁気記録媒体30に対して記録再生
がなされる。一方、補助磁極11と主磁極12との間の磁路
を形成する相互対向面と、磁気記録媒体30との対向面と
を除く補助磁極11の２面の背後がスライダー部９を構成
している磁気遮蔽材により被覆されており、この２面か
ら外部磁界が補助磁極11内に入ることが防止される。こ
れにより、磁気記録媒体30の記録信号のレベルが外部磁
界により低下することが防止される。

【００１７】図４は横軸に外部磁界をとり、縦軸に出力
変動をとって本発明の効果を示すグラフ図である。但
し、使用した磁気記録媒体は軟磁性膜を下地層とし、磁
性膜としてCoCr系合金をスパッタリングにより形成した
ものであり、実用ドライブにおけるドライブ内の漏れ磁
場（外部磁場）は約10エルステッド（Oe）である。この
図から明らかなように、本実施例のスライダー部９が磁
気遮蔽剤で形成されている薄膜磁気ヘッドの場合は、従
来のセラミックで形成されているスライダー部を有する
薄膜磁気ヘッドの場合に比して、外部磁界の影響を著し
く低減することができる。

【００１８】本発明は、上述の如く、外部磁界をシール
ドする磁気遮蔽材で形成されたスライダー部を有する薄
膜磁気ヘッドに関するものである。スライダーの大き
さ、形状に限定されることなく、補助磁極部がスライダ
ー部材でシールドされれば目的を達成することができ
る。また、補助磁極の両側側面が遮蔽される場合も勿論
有効である。

【００１９】

【発明の効果】本発明によれば、補助磁極における主磁
極及び磁気記録媒体と磁路を形成する領域を少なくとも
除く面に磁気遮蔽部材が配置されたいるため外部磁界が
補助磁極に入ることにより、記録されている信号のレベ
ルが低下すること、及びこの出力低下に伴いＳＮ比が減
少することが防止される。更に、磁気遮蔽部材が同時に
スライダー部を構成しているので製造が容易であり、且
つ磁気遮蔽部の材質がフェライトからなることにより、
磁気記録媒体の耐久性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施例に係る浮上型薄膜磁気ヘッド
の一部を示す断面図である。

【図２】 同じくその斜視図である。

【図３】 同じくその製造方法を示す斜視図である。

【図４】 本発明の効果を示すグラフ図である。

【図５】 従来の薄膜磁気ヘッドを示す模式図である。

【符号の説明】

１、12；主磁極 ５；磁気ヘッド ６；記録再生部 ７；スライダー浮上面 ４、９；スライダー部 10；磁気遮蔽部材 ３、11；補助磁極 12；主磁極 15；コイル

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 主磁極と補助磁極とが適長ギャップをお
   いて配置された記録再生部とスライダー部とからなる浮
   上型薄膜磁気ヘッドにおいて、前記補助磁極における前
   記主磁極及び前記磁気記録媒体と磁路を形成する領域を
   除く面に磁気遮蔽部材が設けられており、前記遮蔽部材
   は同時に前記スライダー部を構成していることを特徴と
   する浮上型薄膜磁気ヘッド。
2. 【請求項２】 前記遮蔽部材がフェライトであることを
   特徴とする請求項１記載の浮上型薄膜磁気ヘッド。