JPH0685034A - ウェーハ洗浄装置におけるロボットハンドの洗浄方法および装置 - Google Patents
ウェーハ洗浄装置におけるロボットハンドの洗浄方法および装置Info
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- JPH0685034A JPH0685034A JP23063392A JP23063392A JPH0685034A JP H0685034 A JPH0685034 A JP H0685034A JP 23063392 A JP23063392 A JP 23063392A JP 23063392 A JP23063392 A JP 23063392A JP H0685034 A JPH0685034 A JP H0685034A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】メンテナンス性が簡便で、しかもロボットハン
ドを短時間で完全にクリーンな状態に洗浄，乾燥できる
ようにしたウェーハ洗浄装置におけるロボットハンドの
洗浄方法および装置を提供する。 【構成】ステーション内に配列した薬液槽，リンス槽と
分離してウェーハ搬送ロボットの移動経路上にロボット
ハンドの洗浄・乾燥室１２を設け、かつ該洗浄・乾燥室
内に溶媒（イソプロピルアルコール）１５を満たした溶
媒浴槽１６、および加熱用ヒータ１７を組み込んで構成
し、洗浄プロセス処理における槽間搬送過程で薬液の付
着したロボットハンド８のハンドアーム９ ，フィンガ
１０を室内の溶媒浴槽１６に浸漬してハンドの付着薬液
を溶媒で置換させた後、該浴槽から外に引き上げてヒー
タ１７により加熱乾燥させる。
ドを短時間で完全にクリーンな状態に洗浄，乾燥できる
ようにしたウェーハ洗浄装置におけるロボットハンドの
洗浄方法および装置を提供する。 【構成】ステーション内に配列した薬液槽，リンス槽と
分離してウェーハ搬送ロボットの移動経路上にロボット
ハンドの洗浄・乾燥室１２を設け、かつ該洗浄・乾燥室
内に溶媒（イソプロピルアルコール）１５を満たした溶
媒浴槽１６、および加熱用ヒータ１７を組み込んで構成
し、洗浄プロセス処理における槽間搬送過程で薬液の付
着したロボットハンド８のハンドアーム９ ，フィンガ
１０を室内の溶媒浴槽１６に浸漬してハンドの付着薬液
を溶媒で置換させた後、該浴槽から外に引き上げてヒー
タ１７により加熱乾燥させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ステーション内に並べ
て配置した複数の薬液槽, リンス槽に対し、ウェーハ搬
送ロボットのハンド操作により被洗浄ウェーハを槽間搬
送して洗浄プロセスのバッチ処理を行う多槽浸漬式ウェ
ーハ洗浄装置を対象としたウェーハ搬送ロボットのロボ
ットハンドの洗浄方法および装置に関する。
て配置した複数の薬液槽, リンス槽に対し、ウェーハ搬
送ロボットのハンド操作により被洗浄ウェーハを槽間搬
送して洗浄プロセスのバッチ処理を行う多槽浸漬式ウェ
ーハ洗浄装置を対象としたウェーハ搬送ロボットのロボ
ットハンドの洗浄方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェーハの洗浄装置として、ステ
ーション内に薬液槽, リンス槽を並べ、搬送ロボットの
操作により被洗浄ウェーハを薬液槽, リンス槽の順に浸
漬してバッチ処理する多槽浸漬式洗浄装置が公知であ
る。また、ステーション内でのウェーハ搬送方式として
は、ウェーハをキャリア（ウェーハ搬送用カセット）に
収容したままステーション内で槽間に持ち運びする方式
のほかに、最近では、ウェーハの大口径化に伴う対応策
として、キャリアの管理不要、薬液，純水消費量の節
減、廃液処理量の低減、並びにステーション据付け面積
の縮小化を狙いに、キャリアを使用せずにウェーハを搬
送ロボットのハンドで直接把持して処理槽間を搬送する
ようにしたキャリアレス方式の開発も進められている。
ーション内に薬液槽, リンス槽を並べ、搬送ロボットの
操作により被洗浄ウェーハを薬液槽, リンス槽の順に浸
漬してバッチ処理する多槽浸漬式洗浄装置が公知であ
る。また、ステーション内でのウェーハ搬送方式として
は、ウェーハをキャリア（ウェーハ搬送用カセット）に
収容したままステーション内で槽間に持ち運びする方式
のほかに、最近では、ウェーハの大口径化に伴う対応策
として、キャリアの管理不要、薬液，純水消費量の節
減、廃液処理量の低減、並びにステーション据付け面積
の縮小化を狙いに、キャリアを使用せずにウェーハを搬
送ロボットのハンドで直接把持して処理槽間を搬送する
ようにしたキャリアレス方式の開発も進められている。
【０００３】図２はかかるキャリアレスウェーハ洗浄装
置の構成概要を示すものであり、キャリアレス多槽浸漬
式洗浄装置のステーション内には一列に並べて洗浄薬液
（フッ酸，アンモニア，硫酸，塩酸，過酸化水素など）
を収容した薬液槽１，純水を収容したリンス槽２の各処
理槽、および前記処理槽の側方に走行してウェーハ４を
槽間搬送するウェーハ搬送ロボット３が組み込まれてい
る。なお、図２では薬液槽１，リンス槽２を１基ずつ示
したが、実際のウエットステーションではＲＣＡ洗浄の
ように洗浄プロセスを複数の工程に分けてバッチ処理す
るようにしている。ここで、ウェーハ搬送ロボット３は
直角座標形であり、ラック５に沿ってＸ軸方向に移動す
るロボット本体６と、ボールネジ７に沿ってＹ軸方向に
昇降移動するメカニカルハンド８からなり、かつメカニ
カルハンド８はエアシリンダなどの回転駆動機構を介し
て開閉する一対のスイング式ハンドアーム９と、ハンド
アーム９の先端に取付けて同時に多数枚のウェーハ４を
一括把持する櫛歯状のフィンガ１０とから構成された２
フィンガ形ハンドとしてなる。なお、１１はウェーハ搬
送ロボット３のコントローラ（プログラマブルコントロ
ーラ，および位置決めモジュール）である。
置の構成概要を示すものであり、キャリアレス多槽浸漬
式洗浄装置のステーション内には一列に並べて洗浄薬液
（フッ酸，アンモニア，硫酸，塩酸，過酸化水素など）
を収容した薬液槽１，純水を収容したリンス槽２の各処
理槽、および前記処理槽の側方に走行してウェーハ４を
槽間搬送するウェーハ搬送ロボット３が組み込まれてい
る。なお、図２では薬液槽１，リンス槽２を１基ずつ示
したが、実際のウエットステーションではＲＣＡ洗浄の
ように洗浄プロセスを複数の工程に分けてバッチ処理す
るようにしている。ここで、ウェーハ搬送ロボット３は
直角座標形であり、ラック５に沿ってＸ軸方向に移動す
るロボット本体６と、ボールネジ７に沿ってＹ軸方向に
昇降移動するメカニカルハンド８からなり、かつメカニ
カルハンド８はエアシリンダなどの回転駆動機構を介し
て開閉する一対のスイング式ハンドアーム９と、ハンド
アーム９の先端に取付けて同時に多数枚のウェーハ４を
一括把持する櫛歯状のフィンガ１０とから構成された２
フィンガ形ハンドとしてなる。なお、１１はウェーハ搬
送ロボット３のコントローラ（プログラマブルコントロ
ーラ，および位置決めモジュール）である。
【０００４】かかる構成で、ウェーハ洗浄装置のステー
ションに搬入したウェーハ４は、ローダ部でキャリア
（ウェーハ搬送用カセット）からウェーハ搬送ロボット
３に移載して図示のようにウェーハ４の外周をメカニカ
ルハンド９のフィンガ１０で直接把持し、続く洗浄プロ
セス工程では搬送ロボット３の操作により搬送経路Ｔに
沿ってステーション内に並ぶ薬液槽１，リンス槽２の順
に移し替え、アンローダ部で再びキャリアに移載してス
テーションより搬出される。
ションに搬入したウェーハ４は、ローダ部でキャリア
（ウェーハ搬送用カセット）からウェーハ搬送ロボット
３に移載して図示のようにウェーハ４の外周をメカニカ
ルハンド９のフィンガ１０で直接把持し、続く洗浄プロ
セス工程では搬送ロボット３の操作により搬送経路Ｔに
沿ってステーション内に並ぶ薬液槽１，リンス槽２の順
に移し替え、アンローダ部で再びキャリアに移載してス
テーションより搬出される。
【０００５】一方、洗浄プロセス処理工程におけるウェ
ーハの槽間搬送操作操作により、メカニカルハンド８の
ハンドアーム９の先端部，およびフィンガ１０には薬液
が付着することから、ウェーハを種類の異なる薬液槽に
移し替える際には、一旦槽外に引出したロボットハンド
を槽間搬送ラインからステーション内の別な位置（例え
ばローダ部，ないしはアンローダ部）に設けたロボット
ハンド・ドライヤと呼ばれるロボットハンド専用の洗浄
装置へ移してハンドに付着した薬液を洗浄，乾燥して清
浄化した後に、搬送ロボットを再び搬送ラインに戻して
洗浄プロセス処理工程を進めるような方法が一般に採ら
れている。
ーハの槽間搬送操作操作により、メカニカルハンド８の
ハンドアーム９の先端部，およびフィンガ１０には薬液
が付着することから、ウェーハを種類の異なる薬液槽に
移し替える際には、一旦槽外に引出したロボットハンド
を槽間搬送ラインからステーション内の別な位置（例え
ばローダ部，ないしはアンローダ部）に設けたロボット
ハンド・ドライヤと呼ばれるロボットハンド専用の洗浄
装置へ移してハンドに付着した薬液を洗浄，乾燥して清
浄化した後に、搬送ロボットを再び搬送ラインに戻して
洗浄プロセス処理工程を進めるような方法が一般に採ら
れている。
【０００６】図３は従来におけるロボットハンドの洗浄
装置を示すものであり、搬送ロボットの移動経路上に構
築したロボットハンド洗浄室１２の内部にはハンドアー
ム９，フィンガ１０に向けて両側から洗浄水（純水）を
撒布する水噴射ノズル１３，および空気あるいは窒素ガ
スなどの乾燥ガスを吹付けるガス吹付ノズル１４が組み
込まれている。
装置を示すものであり、搬送ロボットの移動経路上に構
築したロボットハンド洗浄室１２の内部にはハンドアー
ム９，フィンガ１０に向けて両側から洗浄水（純水）を
撒布する水噴射ノズル１３，および空気あるいは窒素ガ
スなどの乾燥ガスを吹付けるガス吹付ノズル１４が組み
込まれている。
【０００７】かかる構成で、ウェーハ搬送ロボット３の
ロボットハンドを洗浄する際には、搬送ロボット３を洗
浄室１２へ移動した上でハンドアーム１０を下降操作し
て洗浄室内に挿入し、この状態で最初にノズル１３より
洗浄水を撒布してハンドアーム９，フィンガ１０に付着
している薬液を洗い流した後、さらにノズル１４より乾
燥ガスを吹付けて乾燥させるようにしている。
ロボットハンドを洗浄する際には、搬送ロボット３を洗
浄室１２へ移動した上でハンドアーム１０を下降操作し
て洗浄室内に挿入し、この状態で最初にノズル１３より
洗浄水を撒布してハンドアーム９，フィンガ１０に付着
している薬液を洗い流した後、さらにノズル１４より乾
燥ガスを吹付けて乾燥させるようにしている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記したロ
ボットハンドの洗浄装置では、次記のような問題点が残
る。 （１）ハンドアーム９，フィンガ１０に純水を撒布して
付着薬液を物理的に洗い流す方法では、洗浄水シャワー
の死角が生じてロボットハンドの隅々まで完全に薬液を
除去させることが困難であるほか、ガス吹付けによりハ
ンドを完全に乾燥させるには長い時間が掛り、このこと
が洗浄タクトを長引かせる原因となっている。しかも、
ハンドの乾燥が不完全であると、特にウェーハを直接把
持するフィンガ１０のガイド溝部に薬液が付着したまま
残り、次の洗浄プロセス工程（種類の異なる薬液で処理
する）に支障を来す。
ボットハンドの洗浄装置では、次記のような問題点が残
る。 （１）ハンドアーム９，フィンガ１０に純水を撒布して
付着薬液を物理的に洗い流す方法では、洗浄水シャワー
の死角が生じてロボットハンドの隅々まで完全に薬液を
除去させることが困難であるほか、ガス吹付けによりハ
ンドを完全に乾燥させるには長い時間が掛り、このこと
が洗浄タクトを長引かせる原因となっている。しかも、
ハンドの乾燥が不完全であると、特にウェーハを直接把
持するフィンガ１０のガイド溝部に薬液が付着したまま
残り、次の洗浄プロセス工程（種類の異なる薬液で処理
する）に支障を来す。
【０００９】（２）また、ロボットハンドの洗浄に伴っ
て洗浄室１２の内壁面側が薬液で汚染され、このまま放
置すると薬液の種類によって結晶化した粉末が再飛散し
てロボットハンドに付着し、ウェーハをハンドリング際
にパーティクル発生の要因となる問題があり、このため
に洗浄室に対して頻繁なメンテナンスが必要でその保守
管理が厄介である。
て洗浄室１２の内壁面側が薬液で汚染され、このまま放
置すると薬液の種類によって結晶化した粉末が再飛散し
てロボットハンドに付着し、ウェーハをハンドリング際
にパーティクル発生の要因となる問題があり、このため
に洗浄室に対して頻繁なメンテナンスが必要でその保守
管理が厄介である。
【００１０】本発明は上記の点にかんがみなされたもの
であり、その目的は前記従来装置の課題を解消してメン
テナンス性を改善し、しかもロボットハンドを短時間で
完全にクリーンな状態に洗浄，乾燥できるようにしたウ
ェーハ洗浄装置におけるロボットハンドの洗浄方法およ
び装置を提供することにある。
であり、その目的は前記従来装置の課題を解消してメン
テナンス性を改善し、しかもロボットハンドを短時間で
完全にクリーンな状態に洗浄，乾燥できるようにしたウ
ェーハ洗浄装置におけるロボットハンドの洗浄方法およ
び装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の洗浄方法は、槽間搬送過程で薬液の付着し
たロボットハンドを浴槽内に満たした溶媒に浸漬してハ
ンドの付着薬液を溶媒で置換させた後、該浴槽から外に
引き上げて加熱乾燥させるものとする。また、前記の洗
浄方法においては、溶媒としてイソプロピルアルコール
を用いることができる。
に、本発明の洗浄方法は、槽間搬送過程で薬液の付着し
たロボットハンドを浴槽内に満たした溶媒に浸漬してハ
ンドの付着薬液を溶媒で置換させた後、該浴槽から外に
引き上げて加熱乾燥させるものとする。また、前記の洗
浄方法においては、溶媒としてイソプロピルアルコール
を用いることができる。
【００１２】一方、前記洗浄方法の実施に用いる本発明
の洗浄装置は、薬液槽，リンス槽と分離独立してステー
ション内におけるウェーハ搬送ロボットの移動経路上に
ロボットハンドの洗浄・乾燥室を設け、かつ該洗浄・乾
燥室内に溶媒を満たした溶媒浴槽、および加熱用ヒータ
を組み込んで構成するものとする。また、前記構成の実
施態様として、溶媒浴槽を昇降リフタに搭載して洗浄乾
燥室内の底部側に配備した構成、および洗浄・乾燥室に
溶媒蒸気の排気処理系を付設した構成などがある。
の洗浄装置は、薬液槽，リンス槽と分離独立してステー
ション内におけるウェーハ搬送ロボットの移動経路上に
ロボットハンドの洗浄・乾燥室を設け、かつ該洗浄・乾
燥室内に溶媒を満たした溶媒浴槽、および加熱用ヒータ
を組み込んで構成するものとする。また、前記構成の実
施態様として、溶媒浴槽を昇降リフタに搭載して洗浄乾
燥室内の底部側に配備した構成、および洗浄・乾燥室に
溶媒蒸気の排気処理系を付設した構成などがある。
【００１３】
【作用】上記のように薬液の付着したロボットハンドを
溶媒浴槽に移してイソプロピルアルコールなどの溶媒液
中に浸漬させることにより、ハンドに付着していた薬液
は周囲に飛散することなしに浴槽内で溶離して溶媒と置
換されので、ハンドは隅々まで完全にクリーンな状態に
なる。しかも、溶媒として用いるイソプロピルアルコー
ルは沸点が低くて揮発し易く、溶媒浴槽から引き上げた
後にロボットハンドをヒータ加熱することにより、短い
処理時間でロボットハンドは完全な乾燥状態となる。
溶媒浴槽に移してイソプロピルアルコールなどの溶媒液
中に浸漬させることにより、ハンドに付着していた薬液
は周囲に飛散することなしに浴槽内で溶離して溶媒と置
換されので、ハンドは隅々まで完全にクリーンな状態に
なる。しかも、溶媒として用いるイソプロピルアルコー
ルは沸点が低くて揮発し易く、溶媒浴槽から引き上げた
後にロボットハンドをヒータ加熱することにより、短い
処理時間でロボットハンドは完全な乾燥状態となる。
【００１４】また、洗浄・乾燥室内に組み込んだ溶媒浴
槽の昇降リフタは、ロボットハンドの浸漬時に溶媒浴槽
を待機位置から上昇させ、乾燥工程では下降して待機位
置に戻すように機能するものであり、これにより室内に
挿入したロボットハンドを停止のまま溶媒への浸漬，お
よびヒータ加熱が行え、しかもヒータ加熱工程では溶媒
がヒータ加熱の直接的な影響を受けないように溶媒浴槽
をヒータから遠く引き離すことかできる。さらに、洗浄
・乾燥室に設けた溶媒蒸気の排気処理系は、乾燥に伴っ
て室内に発生した溶媒蒸気がウェーハ洗浄装置のステー
ション内に拡散するのを防止して系外に排気する。
槽の昇降リフタは、ロボットハンドの浸漬時に溶媒浴槽
を待機位置から上昇させ、乾燥工程では下降して待機位
置に戻すように機能するものであり、これにより室内に
挿入したロボットハンドを停止のまま溶媒への浸漬，お
よびヒータ加熱が行え、しかもヒータ加熱工程では溶媒
がヒータ加熱の直接的な影響を受けないように溶媒浴槽
をヒータから遠く引き離すことかできる。さらに、洗浄
・乾燥室に設けた溶媒蒸気の排気処理系は、乾燥に伴っ
て室内に発生した溶媒蒸気がウェーハ洗浄装置のステー
ション内に拡散するのを防止して系外に排気する。
【００１５】
【実施例】以下本発明の実施例によるロボットハンドの
洗浄装置，並びに洗浄方法を図１に基づいて説明する。
なお、実施例の図中で図３に対応する同一部材には同じ
符号が付してある。図１において、ウェーハ搬送ロボッ
トの移動経路上に構築したロボットハンドの洗浄・乾燥
室１２の室内下部にはイソプロピルアルコールなどの溶
媒１５を満たした溶媒浴槽１６が、また室内上部の周域
にはヒータ１７が組み込まれており、さらに室１２には
排気ブロア１８を含む溶媒蒸気の排気処理系が付設され
ている。また、前記の溶媒浴槽１６は昇降リフタ１９に
搭載して洗浄・乾燥室内を昇降移動するようにしてい
る。なお、２０は室内の周域に配備したヒータ１７の熱
反射体である。
洗浄装置，並びに洗浄方法を図１に基づいて説明する。
なお、実施例の図中で図３に対応する同一部材には同じ
符号が付してある。図１において、ウェーハ搬送ロボッ
トの移動経路上に構築したロボットハンドの洗浄・乾燥
室１２の室内下部にはイソプロピルアルコールなどの溶
媒１５を満たした溶媒浴槽１６が、また室内上部の周域
にはヒータ１７が組み込まれており、さらに室１２には
排気ブロア１８を含む溶媒蒸気の排気処理系が付設され
ている。また、前記の溶媒浴槽１６は昇降リフタ１９に
搭載して洗浄・乾燥室内を昇降移動するようにしてい
る。なお、２０は室内の周域に配備したヒータ１７の熱
反射体である。
【００１６】かかる構成の洗浄装置において、待機時に
は溶媒浴槽１６を洗浄・乾燥室１２の底部側に下降後退
させ、かつヒータ１７を非通電にして室内を常温状態に
維持しておく。そして、ロボットハンドの洗浄時には、
まずウェーハ搬送ロボットを洗浄・乾燥室１２の上に移
動（Ｘ軸方向）した後、さらにメカニカルハンド８をＹ
軸方向に下降してハンドアーム９，および先端のフィン
ガ１０を室１２の中に挿入するとともに、昇降リフタ１
９の操作で溶媒浴槽１６を上昇してハンドアーム１０の
先端部，およびフィンガ１０を溶媒１５の液中に浸漬さ
せる。これにより洗浄プロセス処理でのウェーハの槽間
搬送の際にロボットハンドに付着した薬液が浴槽１６の
内部で溶離して溶媒（イソプロピルアルコール）に置換
される。続いて昇降リフタ１９の操作で溶媒浴槽１６を
ヒータ１７から遠く離れた室内の最下位置に下降してハ
ンドアーム９を浴槽から引出し、さらにロボットハンド
を緩い速度で上方へ引き上げながらヒータ１７を通電
し、表面が溶媒で濡れているハンドアーム９，フィンガ
１０を加熱（周囲加熱温度は約７０〜８０゜）して乾燥
させる。なお、この乾燥過程では室内に溶媒蒸気が発生
するので、排気ブロア１８を運転して蒸気を系外に排気
処理する。また、乾燥後はロボットハンドを洗浄・乾燥
室１２にから抜き出した後、搬送ロボットを次の洗浄プ
ロセス工程に移動してウェーハの槽間移送を行う。
は溶媒浴槽１６を洗浄・乾燥室１２の底部側に下降後退
させ、かつヒータ１７を非通電にして室内を常温状態に
維持しておく。そして、ロボットハンドの洗浄時には、
まずウェーハ搬送ロボットを洗浄・乾燥室１２の上に移
動（Ｘ軸方向）した後、さらにメカニカルハンド８をＹ
軸方向に下降してハンドアーム９，および先端のフィン
ガ１０を室１２の中に挿入するとともに、昇降リフタ１
９の操作で溶媒浴槽１６を上昇してハンドアーム１０の
先端部，およびフィンガ１０を溶媒１５の液中に浸漬さ
せる。これにより洗浄プロセス処理でのウェーハの槽間
搬送の際にロボットハンドに付着した薬液が浴槽１６の
内部で溶離して溶媒（イソプロピルアルコール）に置換
される。続いて昇降リフタ１９の操作で溶媒浴槽１６を
ヒータ１７から遠く離れた室内の最下位置に下降してハ
ンドアーム９を浴槽から引出し、さらにロボットハンド
を緩い速度で上方へ引き上げながらヒータ１７を通電
し、表面が溶媒で濡れているハンドアーム９，フィンガ
１０を加熱（周囲加熱温度は約７０〜８０゜）して乾燥
させる。なお、この乾燥過程では室内に溶媒蒸気が発生
するので、排気ブロア１８を運転して蒸気を系外に排気
処理する。また、乾燥後はロボットハンドを洗浄・乾燥
室１２にから抜き出した後、搬送ロボットを次の洗浄プ
ロセス工程に移動してウェーハの槽間移送を行う。
【００１７】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば次記
の効果を奏する。 （１）本発明の請求項１の洗浄方法を採用することによ
り、従来の洗浄方式と比べてロボットハンドを短時間処
理でクリーンな状態に洗浄，乾燥することかでき、これ
によりウェーハ洗浄プロセス処理工程のスループット性
が向上する。
の効果を奏する。 （１）本発明の請求項１の洗浄方法を採用することによ
り、従来の洗浄方式と比べてロボットハンドを短時間処
理でクリーンな状態に洗浄，乾燥することかでき、これ
によりウェーハ洗浄プロセス処理工程のスループット性
が向上する。
【００１８】（２）また、ロボットハンドに付着した薬
液の除去に請求項２のようにイソプロピルアルコールを
溶媒を用いることにより、従来のシャワー洗浄方式のよ
うに薬液が周囲に飛散することがなく、洗浄装置のメン
テナンス，保守管理が大幅に簡略化できる。 （３）さらに、当該ロボットハンドの洗浄装置を請求項
３ないし５のように構成することにより、本発明の洗浄
方法を効果的に遂行することができる。
液の除去に請求項２のようにイソプロピルアルコールを
溶媒を用いることにより、従来のシャワー洗浄方式のよ
うに薬液が周囲に飛散することがなく、洗浄装置のメン
テナンス，保守管理が大幅に簡略化できる。 （３）さらに、当該ロボットハンドの洗浄装置を請求項
３ないし５のように構成することにより、本発明の洗浄
方法を効果的に遂行することができる。
【図１】本発明の実施例によるロボットハンドの洗浄装
置の構成図
置の構成図
【図２】本発明の実施対象となる多槽浸漬式ウェーハ洗
浄装置の概要図
浄装置の概要図
【図３】従来におけるロボットハンドの洗浄装置の構成
図
図
１ 薬液槽 ２ リンス槽 ３ ウェーハ搬送ロボット ４ ウェーハ ８ メカニカルハンド（ロボットハンド） ９ ハンドアーム １０ フィンガ １２ 洗浄・乾燥室 １５ 溶媒（イソプロピルアルコール） １６ 溶媒浴槽 １７ ヒータ １８ 排気ブロア １９ 昇降リフタ
Claims (5)
- 【請求項１】ステーション内に並ぶ薬液槽, リンス槽に
対し、ウェーハ搬送ロボットのハンド操作により被洗浄
ウェーハを槽間搬送して洗浄プロセスのバッチ処理を行
う多槽浸漬式ウェーハ洗浄装置を対象としたロボットハ
ンドの洗浄方法であって、槽間搬送過程で薬液の付着し
たロボットハンドを浴槽内に満たした溶媒に浸漬してハ
ンドの付着薬液を溶媒で置換させた後、該浴槽から外に
引き上げて加熱乾燥させることを特徴とするウェーハ洗
浄装置におけるロボットハンドの洗浄方法。 - 【請求項２】請求項１記載の洗浄方法において、溶媒と
してイソプロピルアルコールを用いることを特徴とする
ウェーハ洗浄装置におけるロボットハンドの洗浄方法。 - 【請求項３】薬液槽，リンス槽と分離してステーション
内におけるウェーハ搬送ロボットの移動経路上にロボッ
トハンドの洗浄・乾燥室を設け、かつ該洗浄・乾燥室内
に溶媒浴槽、および加熱用ヒータを組み込んで構成した
ことを特徴とする請求項１記載の洗浄方法の実施に用い
るロボットハンドの洗浄装置。 - 【請求項４】請求項３記載のロボットハンドの洗浄装置
において、溶媒浴槽を昇降リフタに搭載して洗浄・乾燥
室内の底部側に配備したことを特徴とするウェーハ洗浄
装置に置けるロボットハンドの洗浄装置。 - 【請求項５】請求項３記載のロボットハンドの洗浄装置
において、洗浄・乾燥室に溶媒蒸気の排気処理系を付設
したことを特徴とするウェーハ洗浄装置に置けるロボッ
トハンドの洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23063392A JPH0685034A (ja) | 1992-08-31 | 1992-08-31 | ウェーハ洗浄装置におけるロボットハンドの洗浄方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23063392A JPH0685034A (ja) | 1992-08-31 | 1992-08-31 | ウェーハ洗浄装置におけるロボットハンドの洗浄方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0685034A true JPH0685034A (ja) | 1994-03-25 |
Family
ID=16910851
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23063392A Pending JPH0685034A (ja) | 1992-08-31 | 1992-08-31 | ウェーハ洗浄装置におけるロボットハンドの洗浄方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0685034A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108160617A (zh) * | 2017-12-12 | 2018-06-15 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 清洁装置 |
| CN110970333A (zh) * | 2019-12-26 | 2020-04-07 | 天津中环领先材料技术有限公司 | 一种大直径硅圆片的去胶设备及使用方法 |
| CN114505520A (zh) * | 2021-12-31 | 2022-05-17 | 安徽高德铝业有限公司 | 一种铝合金制造用钻孔设备 |
| US12643130B2 (en) | 2022-07-04 | 2026-06-02 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Apparatus for manufacturing semiconductor device and method of manufacturing semiconductor device using the same |
-
1992
- 1992-08-31 JP JP23063392A patent/JPH0685034A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108160617A (zh) * | 2017-12-12 | 2018-06-15 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 清洁装置 |
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