JPH0687307B2 - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置Info
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- JPH0687307B2 JPH0687307B2 JP61160893A JP16089386A JPH0687307B2 JP H0687307 B2 JPH0687307 B2 JP H0687307B2 JP 61160893 A JP61160893 A JP 61160893A JP 16089386 A JP16089386 A JP 16089386A JP H0687307 B2 JPH0687307 B2 JP H0687307B2
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- Japan
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- recording medium
- magnetic recording
- dust
- substrate
- flakes
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- Expired - Lifetime
Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、真空成膜装置（例えばスパツタ装置、蒸着装
置等）を用い基体上に磁性膜を形成させる磁気記録媒体
の製造装置に関するものである。
置等）を用い基体上に磁性膜を形成させる磁気記録媒体
の製造装置に関するものである。
従来、真空成膜装置を用いた磁気記録媒体の製造装置に
おいては、製造中成膜室内で発生した粉塵及び凝集した
フレークが基体の表面や、基体の搬送機材に付着し、製
造される磁気記録媒体の品質を著しく劣化させてしまう
ことがしばしばあつた。これを解決する装置として、特
開昭59-139137号公報に記載の装置がある。即ち、上記
装置は基体の表面又は基体の搬送機材に付着した磁性を
有する粉塵及びフレークを取り除くため、基体及び基体
の搬送機材の要所表面に対向して永久磁石を配置したも
のである。
おいては、製造中成膜室内で発生した粉塵及び凝集した
フレークが基体の表面や、基体の搬送機材に付着し、製
造される磁気記録媒体の品質を著しく劣化させてしまう
ことがしばしばあつた。これを解決する装置として、特
開昭59-139137号公報に記載の装置がある。即ち、上記
装置は基体の表面又は基体の搬送機材に付着した磁性を
有する粉塵及びフレークを取り除くため、基体及び基体
の搬送機材の要所表面に対向して永久磁石を配置したも
のである。
しかるに、上記装置では磁石上に粉塵やフレークが直接
付着することになつて、長時間にわたる製造には不適当
であり改良が望まれていた。
付着することになつて、長時間にわたる製造には不適当
であり改良が望まれていた。
本発明の目的は長時間にわたり磁気記録媒体を安定に製
造する装置を提供することにある。
造する装置を提供することにある。
本発明は真空中で搬送する基体上に磁性薄膜を形成し、
磁気記録媒体を製造する装置において、該装置内に、底
面の下方に底面に近接して磁石を配設した１個ないし複
数個の受皿を配置したことを特徴とする磁気記録媒体の
製造装置である。
磁気記録媒体を製造する装置において、該装置内に、底
面の下方に底面に近接して磁石を配設した１個ないし複
数個の受皿を配置したことを特徴とする磁気記録媒体の
製造装置である。
本発明の受皿は、上記製造装置内に発生した粉塵及びフ
レークが装置内に搬送する基体上に落下するのを防ぎ、
溜め込むよう装置内各所に配置される。受皿の設置場所
及び形状は使用される装置ごとに決定されることはいう
までもない。上記受皿の材質は真空装置内に磁気記録媒
体の製造にとつて有害なガスを放出しないものであれば
特に制限はされない。好ましいものしては例えば、各種
セラミツクス，各種金属および合金があげられる。
レークが装置内に搬送する基体上に落下するのを防ぎ、
溜め込むよう装置内各所に配置される。受皿の設置場所
及び形状は使用される装置ごとに決定されることはいう
までもない。上記受皿の材質は真空装置内に磁気記録媒
体の製造にとつて有害なガスを放出しないものであれば
特に制限はされない。好ましいものしては例えば、各種
セラミツクス，各種金属および合金があげられる。
本発明の受皿の底面の下方に底面に近接して磁石を配設
してある。上記磁石を配設することにより磁性を帯びた
粉塵及びフレークを受皿上に固定することができる。
してある。上記磁石を配設することにより磁性を帯びた
粉塵及びフレークを受皿上に固定することができる。
磁石は受皿底面に密着させてもよく、また底面から多少
の距離を置いて配設してもよい。
の距離を置いて配設してもよい。
磁石は永久磁石であると、電磁石であるとを問わない。
またその磁極の強さは製造装置および予想される粉塵及
びフレークの種類・量により適宜決定される。
またその磁極の強さは製造装置および予想される粉塵及
びフレークの種類・量により適宜決定される。
本発明において、成膜室内で発生した粉塵及びフレーク
が基体上に落下しないように受皿を設けることにより成
膜室内で発生した粉塵及びフレークの殆んど大部分が受
皿上に落下するので、基体及び搬送機材上に付着する粉
塵及びフレークの量を従来より著しく軽減させることが
出来る。又受皿の底部に磁石を配置したことにより、粉
塵及びフレークは受皿の底部に集まりやすくなり且つ磁
石により凝集捕捉される粉塵及びフレークの量を長時間
にわたり、しかも増大させることが出来る。
が基体上に落下しないように受皿を設けることにより成
膜室内で発生した粉塵及びフレークの殆んど大部分が受
皿上に落下するので、基体及び搬送機材上に付着する粉
塵及びフレークの量を従来より著しく軽減させることが
出来る。又受皿の底部に磁石を配置したことにより、粉
塵及びフレークは受皿の底部に集まりやすくなり且つ磁
石により凝集捕捉される粉塵及びフレークの量を長時間
にわたり、しかも増大させることが出来る。
本発明の一実施例を第１図によって説明する。
真空成膜室１内において、キヤン５の左右からターゲッ
ト7a,7bがスパツタする構造の装置であり、基体９は送
り出しロール２からガイドロール4a,4b,を経てキャン５
に送られターゲツト7a,7bを用いてスパツタ法により磁
性薄膜を形成し、ガイドロール4c,4dを経て巻取ロール
３に巻取られる。スパツタする際に発生する粉塵は真空
成膜装置内に広がる。
ト7a,7bがスパツタする構造の装置であり、基体９は送
り出しロール２からガイドロール4a,4b,を経てキャン５
に送られターゲツト7a,7bを用いてスパツタ法により磁
性薄膜を形成し、ガイドロール4c,4dを経て巻取ロール
３に巻取られる。スパツタする際に発生する粉塵は真空
成膜装置内に広がる。
キヤン５の上部には、真空成膜室の天井面より粉塵及び
フレークが基体９及びキヤン５上に落下して付着するの
を防止するために、防着板６が設置してある。
フレークが基体９及びキヤン５上に落下して付着するの
を防止するために、防着板６が設置してある。
又本実施例では図示するごとく受皿８を設置することに
より、粉塵及びフレークの基体上への付着を防止するこ
とができる。
より、粉塵及びフレークの基体上への付着を防止するこ
とができる。
又受皿の下面に接近して磁石10を設け受皿底部に集つた
粉塵及びフレークを凝集固定させた。殆んどの粉塵及び
フレークをこの受皿で捕捉することが出来るので受皿８
とキヤン５との間隙を抜けて基体９上に付着する粉塵の
量は著しく減少した。
粉塵及びフレークを凝集固定させた。殆んどの粉塵及び
フレークをこの受皿で捕捉することが出来るので受皿８
とキヤン５との間隙を抜けて基体９上に付着する粉塵の
量は著しく減少した。
本発明の成膜室内で発生した粉塵が基体上に落下しない
ように受皿を設けるとともに該受皿の底面下方に底面に
近接して磁石を配設することにより、基体上に付着する
粉塵及びフレークによる品質の劣化が減少し、磁気記録
媒体の製造装置の長時間操業が可能となり生産性が向上
した。
ように受皿を設けるとともに該受皿の底面下方に底面に
近接して磁石を配設することにより、基体上に付着する
粉塵及びフレークによる品質の劣化が減少し、磁気記録
媒体の製造装置の長時間操業が可能となり生産性が向上
した。
第１図は本発明の磁気記録媒体の製造装置の一実施例の
概要図である。 １……真空成膜室 ２……送り出しロール ３……巻取ロール ｛4a,4b, 4c,4d｝……ガイドロール ５……キヤン ６……防着板 7a,7b……ターゲツト ８……受皿、９……基体 10,11……磁石
概要図である。 １……真空成膜室 ２……送り出しロール ３……巻取ロール ｛4a,4b, 4c,4d｝……ガイドロール ５……キヤン ６……防着板 7a,7b……ターゲツト ８……受皿、９……基体 10,11……磁石
Claims (1)
- 【請求項１】真空中で搬送する基体上に磁性薄膜を形成
し、磁気記録媒体を製造する装置において、該装置内
に、底面の下法に底面に近接して磁石を配設した１個な
いし複数個の受皿を配設したことを特徴とする磁気記録
媒体の製造装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61160893A JPH0687307B2 (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 | 磁気記録媒体の製造装置 |
| US07/071,941 US4867101A (en) | 1986-07-10 | 1987-07-10 | Apparatus for producing magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61160893A JPH0687307B2 (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6318522A JPS6318522A (ja) | 1988-01-26 |
| JPH0687307B2 true JPH0687307B2 (ja) | 1994-11-02 |
Family
ID=15724638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61160893A Expired - Lifetime JPH0687307B2 (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0687307B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7212662B2 (ja) * | 2020-11-30 | 2023-01-25 | キヤノントッキ株式会社 | 搬送装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59101033A (ja) * | 1982-12-02 | 1984-06-11 | Sony Corp | 磁気記録媒体の製造装置 |
| JPS59139137A (ja) * | 1983-01-25 | 1984-08-09 | Anelva Corp | 磁気記録媒体製造装置 |
-
1986
- 1986-07-10 JP JP61160893A patent/JPH0687307B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6318522A (ja) | 1988-01-26 |
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