JPH0687398B2 - シヤドウマスクの製造方法 - Google Patents
シヤドウマスクの製造方法Info
- Publication number
- JPH0687398B2 JPH0687398B2 JP16020686A JP16020686A JPH0687398B2 JP H0687398 B2 JPH0687398 B2 JP H0687398B2 JP 16020686 A JP16020686 A JP 16020686A JP 16020686 A JP16020686 A JP 16020686A JP H0687398 B2 JPH0687398 B2 JP H0687398B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- annealing
- shadow mask
- grain size
- temperature
- metal plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、例えばカラー受像管に用いられるシャドウマ
スクの製造方法の改良に関する。
スクの製造方法の改良に関する。
（従来の技術） カラー受像管のシャドウマスクは、従来よりエッチング
性及び成形性がよく、かつ電子ビームの反射軽減に寄与
する酸化膜をその表面に形成し易い材料であるリムド鋼
やAlキルド鋼等により形成されている。しかしながら、
近年、各種のニューメディアに対応すべくカラー受像管
の高品質化、つまり表示画像の所謂見易さや極め細かさ
が要求され、上述したリムド鋼やAlキルド鋼にて形成さ
れるシャドウマスクを用いるには不具合があった。
性及び成形性がよく、かつ電子ビームの反射軽減に寄与
する酸化膜をその表面に形成し易い材料であるリムド鋼
やAlキルド鋼等により形成されている。しかしながら、
近年、各種のニューメディアに対応すべくカラー受像管
の高品質化、つまり表示画像の所謂見易さや極め細かさ
が要求され、上述したリムド鋼やAlキルド鋼にて形成さ
れるシャドウマスクを用いるには不具合があった。
即ち、カラー受像管の動作時には前記シャドウマスクの
温度が30〜100℃に上昇して熱膨張を起こすため、シャ
ドウマスクの成形形状の歪みに起因した、所謂ドーミン
グが生じる。その結果、シャドウマスクと蛍光面との間
の相対位置関係にずれが生じ、ピュリティードリフト
（PD）と称される色ずれが発生する。特に、高品位カラ
ー受像管では前記シャドウマススの電子ビーム通過孔の
径及びそのピッチが非常に小さいので、該電子ビーム通
過孔の相対的ずれ量の割合が大きくなり、上述したリム
ド鋼やAlキルド鋼を素材とするシャドウマスクでは実用
に耐えなくなる。
温度が30〜100℃に上昇して熱膨張を起こすため、シャ
ドウマスクの成形形状の歪みに起因した、所謂ドーミン
グが生じる。その結果、シャドウマスクと蛍光面との間
の相対位置関係にずれが生じ、ピュリティードリフト
（PD）と称される色ずれが発生する。特に、高品位カラ
ー受像管では前記シャドウマススの電子ビーム通過孔の
径及びそのピッチが非常に小さいので、該電子ビーム通
過孔の相対的ずれ量の割合が大きくなり、上述したリム
ド鋼やAlキルド鋼を素材とするシャドウマスクでは実用
に耐えなくなる。
このようなことから、従来、シャドウマスクを形成する
素材として熱膨張係数の小さいNi-Fe合金、例えばアン
バー（36Ni-Fe）を用いることが特公昭42-25446号、特
開昭50-58977号、特開昭50-68650号等に提案されてい
る。しかしながら、この主のNi-Fe合金は熱伝導性が低
く、蓄熱し易いことのみならず、通常のシャドウマスク
級面から電子銃側に窪む、所謂スプリングバックを生じ
易い。また、シャドウマスクの電子ビーム通過孔をエッ
チングにより形成する際に、該電子ビーム通過孔の径に
むらが生じ易い。
素材として熱膨張係数の小さいNi-Fe合金、例えばアン
バー（36Ni-Fe）を用いることが特公昭42-25446号、特
開昭50-58977号、特開昭50-68650号等に提案されてい
る。しかしながら、この主のNi-Fe合金は熱伝導性が低
く、蓄熱し易いことのみならず、通常のシャドウマスク
級面から電子銃側に窪む、所謂スプリングバックを生じ
易い。また、シャドウマスクの電子ビーム通過孔をエッ
チングにより形成する際に、該電子ビーム通過孔の径に
むらが生じ易い。
即ち、前記スプリングバックはその素材の0.2％耐力値
との関係で、例えば第１図に示すような相関関係を有し
ている。そして、この0.2％耐力値が低い程、スプリン
グバックが小さくなり、その成形性が良好となる。反対
に、前記0.2％耐力が20kg/mm2以上になると、その成形
が非常に困難になる。
との関係で、例えば第１図に示すような相関関係を有し
ている。そして、この0.2％耐力値が低い程、スプリン
グバックが小さくなり、その成形性が良好となる。反対
に、前記0.2％耐力が20kg/mm2以上になると、その成形
が非常に困難になる。
そこで、従来では前記素材の0.2％耐力を下げるべく、1
000℃以上で焼鈍していた。しかしながら、シャドウマ
スクの種類によっては1000℃以上の焼鈍を行なうと、素
材の結晶粒径が大きくなり過ぎることに起因する電子ビ
ーム通過孔の縦、横方向での伸びむらが発生する問題が
あった。また、焼鈍温度が高いため、金属拡散結合によ
り素材同志のくっつき現象を起こす問題があった。
000℃以上で焼鈍していた。しかしながら、シャドウマ
スクの種類によっては1000℃以上の焼鈍を行なうと、素
材の結晶粒径が大きくなり過ぎることに起因する電子ビ
ーム通過孔の縦、横方向での伸びむらが発生する問題が
あった。また、焼鈍温度が高いため、金属拡散結合によ
り素材同志のくっつき現象を起こす問題があった。
（発明が解決しようとする問題点） 本発明は、上記従来の問題点を解決するためになされた
もので、リムド鋼やAlキルド鋼よりも熱膨張率が低く、
かつこれら各鋼に近い良好なエッチング性と成形性を有
するシャドウマスクの製造方法を提供しようとするもの
である。
もので、リムド鋼やAlキルド鋼よりも熱膨張率が低く、
かつこれら各鋼に近い良好なエッチング性と成形性を有
するシャドウマスクの製造方法を提供しようとするもの
である。
［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 本発明は、Fe及びNiを主成分とする金属板を再結晶温度
以上で焼鈍する工程と、前記金属板を所望の厚さに圧延
する工程と、この圧延された金属板をその結晶粒度がJI
SG0551に規定される鋼のオーステナイト結晶粒度の８〜
12の範囲となるように焼鈍する工程と、この焼鈍金属板
にフォトエッチング法により電子ビーム通過孔を穿孔す
る工程と、この電子ビーム通過孔を有する金属板を焼鈍
することなく、室温以上の温度領域でプレス成形する工
程と、プレス成形された金属板に黒色皮膜を形成する工
程とを具備したことを特徴とするシャドウマスクの製造
方法である。
以上で焼鈍する工程と、前記金属板を所望の厚さに圧延
する工程と、この圧延された金属板をその結晶粒度がJI
SG0551に規定される鋼のオーステナイト結晶粒度の８〜
12の範囲となるように焼鈍する工程と、この焼鈍金属板
にフォトエッチング法により電子ビーム通過孔を穿孔す
る工程と、この電子ビーム通過孔を有する金属板を焼鈍
することなく、室温以上の温度領域でプレス成形する工
程と、プレス成形された金属板に黒色皮膜を形成する工
程とを具備したことを特徴とするシャドウマスクの製造
方法である。
上記Fe及びNiを主成分とする金属板としては、例えば36
Ni-Fe、30Ni-5Co-Fe、その他Fe-Niを主成分とし、２％
以下のCr、Mn、Cuを添加したもの等を挙げることができ
る。
Ni-Fe、30Ni-5Co-Fe、その他Fe-Niを主成分とし、２％
以下のCr、Mn、Cuを添加したもの等を挙げることができ
る。
上記圧延工程での最終圧延率は、40％以上、好ましくは
80％以上で行なうことが望ましい。また、前記焼鈍の後
に圧延率30％以下で調整圧延を行なってもよいが、所定
形状に保たれている場合には該調整圧延を省略してもよ
い。更に、調整圧延によって金属板に歪みが発生した場
合には歪み除去のための焼鈍を行なう必要がある。この
温度は、350〜550℃にすることが望ましい。また、かか
る調整圧延はエッチング後に行なっもよい。
80％以上で行なうことが望ましい。また、前記焼鈍の後
に圧延率30％以下で調整圧延を行なってもよいが、所定
形状に保たれている場合には該調整圧延を省略してもよ
い。更に、調整圧延によって金属板に歪みが発生した場
合には歪み除去のための焼鈍を行なう必要がある。この
温度は、350〜550℃にすることが望ましい。また、かか
る調整圧延はエッチング後に行なっもよい。
上記焼鈍による結晶粒度をJISG0551に規定する鋼のオー
ステナイト結晶粒度の８〜12に限定した理由は、該粒度
を８未満にすると粒径が大き過ぎて成形後のシャドウマ
スクに肌荒れが生じたり、黒色皮膜形成時の速度が低く
なり、一方該粒度が12を越えると粒径の差が圧延方向と
その直角方向で異なり、エッチング時に電子ビーム通過
孔を均一に開孔できなくなる。より好ましい粒度範囲
は、９〜11である。こうした粒度調整は、例えば400〜1
500℃の焼鈍温度で行なうと共にその焼鈍時間をコント
ロールすることにより行なうが、Ｎ、Ｃ、Ｏ等の非金属
元素を予め金属板に添加して粒度調整を行なってもよ
い。
ステナイト結晶粒度の８〜12に限定した理由は、該粒度
を８未満にすると粒径が大き過ぎて成形後のシャドウマ
スクに肌荒れが生じたり、黒色皮膜形成時の速度が低く
なり、一方該粒度が12を越えると粒径の差が圧延方向と
その直角方向で異なり、エッチング時に電子ビーム通過
孔を均一に開孔できなくなる。より好ましい粒度範囲
は、９〜11である。こうした粒度調整は、例えば400〜1
500℃の焼鈍温度で行なうと共にその焼鈍時間をコント
ロールすることにより行なうが、Ｎ、Ｃ、Ｏ等の非金属
元素を予め金属板に添加して粒度調整を行なってもよ
い。
上記金属板へのフォトエッチングにあたっては、通常、
塩化第二鉄溶液をエッチング液として用いる。
塩化第二鉄溶液をエッチング液として用いる。
上記プレス成形は金属板への電子ビーム通過孔の穿孔
後、焼鈍を行なわずに実効され、かつ該成形の良否は材
料の0.2％耐力と相関する。つまり、0.2％耐力が低い材
料ほど、プレス成形性は良好となる。第２図は、夫々結
晶粒度がJISG0551に規定される鋼のオーステナイト結晶
粒度の８、９、10、11、12の粒度番号を持つ36Ni-Feに
おける試験温度と0.2％耐力の関係を示したものであ
る。この第２図より明かなように、粒度番号12の36Ni-F
eでは約200℃以上、粒度番号11の36Ni-Feでは150℃以
上、粒度番号10の36Ni-Feでは100℃以上、粒度番号９の
36Ni-Feでは90℃以上、粒度番号８の36Ni-Feでは室温以
上、に夫々温度を上げれば0.2％耐力は20kg/mm2以下に
下げることができる。プレス成形時には、強加工がなさ
れる部分以外では成形前の結晶粒度が略保持される。ま
た、金属板の中にはＣ、Ｎ、Ｏ、Ｐ、Ｓ等の非金属元素
や各種金属成分が混入することがあるが、微量である場
合には問題にならない。
後、焼鈍を行なわずに実効され、かつ該成形の良否は材
料の0.2％耐力と相関する。つまり、0.2％耐力が低い材
料ほど、プレス成形性は良好となる。第２図は、夫々結
晶粒度がJISG0551に規定される鋼のオーステナイト結晶
粒度の８、９、10、11、12の粒度番号を持つ36Ni-Feに
おける試験温度と0.2％耐力の関係を示したものであ
る。この第２図より明かなように、粒度番号12の36Ni-F
eでは約200℃以上、粒度番号11の36Ni-Feでは150℃以
上、粒度番号10の36Ni-Feでは100℃以上、粒度番号９の
36Ni-Feでは90℃以上、粒度番号８の36Ni-Feでは室温以
上、に夫々温度を上げれば0.2％耐力は20kg/mm2以下に
下げることができる。プレス成形時には、強加工がなさ
れる部分以外では成形前の結晶粒度が略保持される。ま
た、金属板の中にはＣ、Ｎ、Ｏ、Ｐ、Ｓ等の非金属元素
や各種金属成分が混入することがあるが、微量である場
合には問題にならない。
上記黒色皮膜の形成方法は、通常の高温酸化、例えば空
気、炭酸ガス、蒸気のいずれの雰囲気中で500〜900℃の
温度範囲で行なえばよい。形成された酸化皮膜は、α-F
e2Ｏ3とNixFe3-xＯ4（０＜ｘ＜３）であるが、不純物が
含まれている場合には酸化膜中に固溶する場合がある。
なお、かかる黒色皮膜の形成はプレス成形前に行なって
もよい。
気、炭酸ガス、蒸気のいずれの雰囲気中で500〜900℃の
温度範囲で行なえばよい。形成された酸化皮膜は、α-F
e2Ｏ3とNixFe3-xＯ4（０＜ｘ＜３）であるが、不純物が
含まれている場合には酸化膜中に固溶する場合がある。
なお、かかる黒色皮膜の形成はプレス成形前に行なって
もよい。
（作用） しかして、本発明によればFe及びNiを主成分とする金属
板を再結晶温度以上で焼鈍し、所望の厚さに圧延し、更
に圧延された金属板をその結晶粒度がJISG0551に規定さ
れる鋼のオーステナイト結晶粒度の８〜12の範囲となる
ように焼鈍することによって、フォトエッチング法によ
り均一な電子ビーム通過孔を穿孔することができる。ま
た、焼鈍により金属板を前記粒度番号の範囲に設定する
ことによって、電子ビーム通過孔の穿孔後に焼鈍せずに
室温以上の温度領域で0.2％耐力の低い状態（スプリン
グバックの小さい状態）でプレス成形でき、成形性を格
段に向上できる。従って、均一な電子ビーム通過孔を有
し、かつ高精度の形状を持つシャドウマスクを得ること
ができる。
板を再結晶温度以上で焼鈍し、所望の厚さに圧延し、更
に圧延された金属板をその結晶粒度がJISG0551に規定さ
れる鋼のオーステナイト結晶粒度の８〜12の範囲となる
ように焼鈍することによって、フォトエッチング法によ
り均一な電子ビーム通過孔を穿孔することができる。ま
た、焼鈍により金属板を前記粒度番号の範囲に設定する
ことによって、電子ビーム通過孔の穿孔後に焼鈍せずに
室温以上の温度領域で0.2％耐力の低い状態（スプリン
グバックの小さい状態）でプレス成形でき、成形性を格
段に向上できる。従って、均一な電子ビーム通過孔を有
し、かつ高精度の形状を持つシャドウマスクを得ること
ができる。
（発明の実施例） 以下、本発明の実施例を詳細に説明する。
実施例１ まず、36％Ni-Feを主成分とし、附随的成分としてＣを
0.005重量％、Siを0.01重量％及びＰとＳを夫々0.001重
量％含む合金のインゴットを真空溶解で作製したる。つ
づいて、このインゴットを繰返し圧延した後、酸洗して
１次及び２次冷延を施した。この処理における圧延率は
80％とした。
0.005重量％、Siを0.01重量％及びＰとＳを夫々0.001重
量％含む合金のインゴットを真空溶解で作製したる。つ
づいて、このインゴットを繰返し圧延した後、酸洗して
１次及び２次冷延を施した。この処理における圧延率は
80％とした。
次いで、箱型の焼鈍炉において10-4torr、800℃で前記
圧延処理された合金板を焼鈍した後、圧延率３％で調整
圧延を行なった。更に、歪み取り焼鈍を400℃で行なっ
た。こうした工程によって、JISG0551に規定される結晶
粒度が10のオーステナイト組織を有するシャドウマスク
素材を得た。
圧延処理された合金板を焼鈍した後、圧延率３％で調整
圧延を行なった。更に、歪み取り焼鈍を400℃で行なっ
た。こうした工程によって、JISG0551に規定される結晶
粒度が10のオーステナイト組織を有するシャドウマスク
素材を得た。
このようにして製作されたシャドウマスク用素材を用い
て次のような工程によりシャドウマスクを製造した。
て次のような工程によりシャドウマスクを製造した。
まず、素材の両面にフォトレジストが塗布し、これを乾
燥した後、各レジスト膜表面にスロット又はドット形状
の基準パターンが形成されたフィルムを密着させ、前記
レジスト膜を露光、現像した。この現像により未露光部
分のフォトレジストが溶解除去された。つづいて、現像
により形成されたフォトレジストパターンをバーニング
より硬化させた後、各レジストパターンをマスクとして
露出した素材を塩化第二鉄溶液でエッチングして電子ビ
ーム通過孔を開孔した。この後、レジストパターンを熱
アルカリにより除去してシャドウマスクの原板となるフ
ラットマスクを作製した。
燥した後、各レジスト膜表面にスロット又はドット形状
の基準パターンが形成されたフィルムを密着させ、前記
レジスト膜を露光、現像した。この現像により未露光部
分のフォトレジストが溶解除去された。つづいて、現像
により形成されたフォトレジストパターンをバーニング
より硬化させた後、各レジストパターンをマスクとして
露出した素材を塩化第二鉄溶液でエッチングして電子ビ
ーム通過孔を開孔した。この後、レジストパターンを熱
アルカリにより除去してシャドウマスクの原板となるフ
ラットマスクを作製した。
次いで、前記フラットマスクを焼鈍することなくプレス
成形を行ない、所定の曲面を有するシャドウマスクを得
た。この時のプレス温度は150℃にした。また、この工
程において成形前に加熱処理しても、或いはプレス成形
機の金型温度を上げても大きな際は認めらなかったが、
事前に加熱する場合は150℃より高めに設定することが
必要である。金型を加熱する場合には、ヒータを金型に
埋込んで行なう。こうしたプレス工程において、0.2％
耐力が小さく、その成形性が良好であるため、スプリン
グバックが生じないことが確認された。同時にシャドウ
マスクの幅方向及び長手方向の特性が均一であり、特性
のばらつきに起因する成形不良の発生がないことも確認
された。
成形を行ない、所定の曲面を有するシャドウマスクを得
た。この時のプレス温度は150℃にした。また、この工
程において成形前に加熱処理しても、或いはプレス成形
機の金型温度を上げても大きな際は認めらなかったが、
事前に加熱する場合は150℃より高めに設定することが
必要である。金型を加熱する場合には、ヒータを金型に
埋込んで行なう。こうしたプレス工程において、0.2％
耐力が小さく、その成形性が良好であるため、スプリン
グバックが生じないことが確認された。同時にシャドウ
マスクの幅方向及び長手方向の特性が均一であり、特性
のばらつきに起因する成形不良の発生がないことも確認
された。
次いで、前記シャドウマスクをトリクロルエタンの蒸気
で洗浄し、690℃に保持された連続黒化炉で20分間加熱
して密着性の良好な黒色皮膜を厚さ1.5mm成長させてシ
ャドウマスクを完成した。
で洗浄し、690℃に保持された連続黒化炉で20分間加熱
して密着性の良好な黒色皮膜を厚さ1.5mm成長させてシ
ャドウマスクを完成した。
実施例２ まず、36Ni-Feを主成分とし、附随的成分としてＣを0.0
5重量％、Siを0.02重量％及びＰとＳを夫々0.001重量％
含む合金のインゴットを真空溶解で作製したる。つづい
て、このインゴットを繰返し熱延した後、圧延と焼鈍を
繰返した。この時の最終焼鈍温度は680℃に設定した。
この処理における最終圧延率は50％とした。このように
してJISG0551に規定される結晶粒度が11のオーステナイ
ト組織を有するシャドウマスク素材を得た。
5重量％、Siを0.02重量％及びＰとＳを夫々0.001重量％
含む合金のインゴットを真空溶解で作製したる。つづい
て、このインゴットを繰返し熱延した後、圧延と焼鈍を
繰返した。この時の最終焼鈍温度は680℃に設定した。
この処理における最終圧延率は50％とした。このように
してJISG0551に規定される結晶粒度が11のオーステナイ
ト組織を有するシャドウマスク素材を得た。
次いで、前記シャドウマスク素材を用いて実施例１と同
様な方法により電子ビーム通過孔を穿孔した後、金型に
埋込んだヒータにより200℃に設定してプレス成形し、
更に実施例１と同様に黒色皮膜を成長させてシャドウマ
スクを完成した。
様な方法により電子ビーム通過孔を穿孔した後、金型に
埋込んだヒータにより200℃に設定してプレス成形し、
更に実施例１と同様に黒色皮膜を成長させてシャドウマ
スクを完成した。
実施例３ まず、実施例２と同様な組成のNi-Fe合金のインゴット
を真空溶解で作製したる。つづいて、このインゴットを
繰返し熱延した後、冷延と焼鈍を繰返した。この時の最
終焼鈍温度は980℃に設定し、最終圧延率は90％とし
た。かかる冷延、焼鈍後の合金板は僅かな歪みを有する
ため、５％以下の圧延率でスキンパスを行なった後、40
0℃で歪み取り焼鈍を行なった。このようにしてJISG055
1に規定される結晶粒度が８のオーステナイト組織を有
するシャドウマスク素材を得た。
を真空溶解で作製したる。つづいて、このインゴットを
繰返し熱延した後、冷延と焼鈍を繰返した。この時の最
終焼鈍温度は980℃に設定し、最終圧延率は90％とし
た。かかる冷延、焼鈍後の合金板は僅かな歪みを有する
ため、５％以下の圧延率でスキンパスを行なった後、40
0℃で歪み取り焼鈍を行なった。このようにしてJISG055
1に規定される結晶粒度が８のオーステナイト組織を有
するシャドウマスク素材を得た。
次いで、前記シャドウマスク素材を用いて実施例１と同
様な方法により電子ビーム通過孔を穿孔した後、金型に
埋込んだヒータにより40℃に設定してプレス成形し、更
に実施例１と同様に黒色皮膜を成長させてシャドウマス
クを完成した。
様な方法により電子ビーム通過孔を穿孔した後、金型に
埋込んだヒータにより40℃に設定してプレス成形し、更
に実施例１と同様に黒色皮膜を成長させてシャドウマス
クを完成した。
しかして、本実施例２、３においてもスプリングバック
が発生することなく、その成形性が極めて良好であるこ
とが確認された。
が発生することなく、その成形性が極めて良好であるこ
とが確認された。
なお、上記実施例では36％Ni-Feを主成分とするアンバ
ーをシャドウマスクの素材として用いた場合について説
明したが、他のNi-Feを主成分とする素材を用いても同
様な効果を達成できる。但し、例えばNi25〜35％、Co1
〜７％を含み残部がFeからなる合金においては、その0.
2耐力がアンバーに比べて２〜5kg/mm2程度高いため、プ
レス成形時の設定温度をアンバーの場合に比べて20〜30
℃高くする必要がある。また、Ni量がアンバーに比べて
多い合金ではNi量が５重量％高くなる毎にプレス成形時
の設定温度をアンバーの場合に比べて10℃高くし、逆に
少なくなる合金では同様な量（５重量％）毎にプレス成
形時の設定温度をアンバーの場合に比べて10℃低くする
必要がある。
ーをシャドウマスクの素材として用いた場合について説
明したが、他のNi-Feを主成分とする素材を用いても同
様な効果を達成できる。但し、例えばNi25〜35％、Co1
〜７％を含み残部がFeからなる合金においては、その0.
2耐力がアンバーに比べて２〜5kg/mm2程度高いため、プ
レス成形時の設定温度をアンバーの場合に比べて20〜30
℃高くする必要がある。また、Ni量がアンバーに比べて
多い合金ではNi量が５重量％高くなる毎にプレス成形時
の設定温度をアンバーの場合に比べて10℃高くし、逆に
少なくなる合金では同様な量（５重量％）毎にプレス成
形時の設定温度をアンバーの場合に比べて10℃低くする
必要がある。
［発明の効果］ 以上詳述した如く、本発明によれば所定のNi-Fe系合金
の結晶粒度をJISG0551に規定される鋼のオーステナイト
結晶粒度の８〜12に設定することにより、電子ビーム通
過孔を開孔する際のエッチング性を改善でき、しかも焼
鈍せずに良好な温間プレスを行なうことができる。ま
た、素材の結晶粒度が小さいため、短時間の酸化処理に
より所定の厚さで密着性の良好な黒色皮膜を形成でき
る。更にNi-Fe系合金はリムド鋼やAlキルド鋼に比べて
熱膨張係数が小さいため、シャドウマスクのドーミング
を小さくすることができる。従って、色ずれのない高品
位カラー受像管に好適なヂャドウマスクを製造すること
ができる。
の結晶粒度をJISG0551に規定される鋼のオーステナイト
結晶粒度の８〜12に設定することにより、電子ビーム通
過孔を開孔する際のエッチング性を改善でき、しかも焼
鈍せずに良好な温間プレスを行なうことができる。ま
た、素材の結晶粒度が小さいため、短時間の酸化処理に
より所定の厚さで密着性の良好な黒色皮膜を形成でき
る。更にNi-Fe系合金はリムド鋼やAlキルド鋼に比べて
熱膨張係数が小さいため、シャドウマスクのドーミング
を小さくすることができる。従って、色ずれのない高品
位カラー受像管に好適なヂャドウマスクを製造すること
ができる。
第１図は0.2％耐力とスプリングバックとの関係を示す
線図、第２図は結晶粒度番号の異なる複数種のアンバー
における試験温度と0.2％耐力との関係を示す線図であ
る。
線図、第２図は結晶粒度番号の異なる複数種のアンバー
における試験温度と0.2％耐力との関係を示す線図であ
る。
Claims (1)
- 【請求項１】Fe及びNiを主成分とする金属板を再結晶温
度以上で焼鈍する工程と、前記金属板を所望の厚さに圧
延する工程と、この圧延された金属板をその結晶粒度が
JISG0551に規定される鋼のオーステナイト結晶粒度の８
〜12の範囲となるように焼鈍する工程と、この焼鈍金属
板にフォトエッチング法により電子ビーム通過孔を穿孔
する工程と、この電子ビーム通過孔を有する金属板を焼
鈍することなく、室温以上の温度領域でプレス成形する
工程と、プレス成形された金属板に黒色皮膜を形成する
工程とを具備したことを特徴とするシャドウマスクの製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16020686A JPH0687398B2 (ja) | 1986-07-08 | 1986-07-08 | シヤドウマスクの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16020686A JPH0687398B2 (ja) | 1986-07-08 | 1986-07-08 | シヤドウマスクの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6316525A JPS6316525A (ja) | 1988-01-23 |
| JPH0687398B2 true JPH0687398B2 (ja) | 1994-11-02 |
Family
ID=15710060
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16020686A Expired - Lifetime JPH0687398B2 (ja) | 1986-07-08 | 1986-07-08 | シヤドウマスクの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0687398B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BE1008028A4 (nl) * | 1994-01-17 | 1995-12-12 | Philips Electronics Nv | Werkwijze voor het vervaardigen van een schaduwmasker van het nikkel-ijzer type. |
| KR102958879B1 (ko) | 2017-11-14 | 2026-04-29 | 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 | 증착 마스크를 제조하기 위한 금속판 및 금속판의 제조 방법, 그리고 증착 마스크 및 증착 마스크의 제조 방법 |
| DE102019007831A1 (de) * | 2018-11-13 | 2020-05-14 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Metallplatte zur herstellung von dampfphasenabscheidungsmasken, verfahren zur herstellung von metallplatten, dampfphasenabscheidungsmaske, verfahren zur herstellung einer dampfphasenabscheidungsmaske, und dampfphasenabscheidungsmaskenvorrichtung aufweisend eine dampfphasenabscheidungsmaske |
-
1986
- 1986-07-08 JP JP16020686A patent/JPH0687398B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6316525A (ja) | 1988-01-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4724012A (en) | Material for in-tube components and method of manufacturing it | |
| JPH1060525A (ja) | 板形状および耐熱収縮性に優れた低熱膨張合金薄板の製 造方法 | |
| JPS60128253A (ja) | エツチング時のスジむらの発生を抑制したシヤドウマスク用鉄−ニツケル基合金の製造方法 | |
| JP3379368B2 (ja) | 板形状および耐熱収縮性に優れた低熱膨張合金薄板の製造方法 | |
| JP3557395B2 (ja) | プレス成形型フラットマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系合金材の製造方法 | |
| JP3379301B2 (ja) | 板形状および耐熱収縮性に優れたシャドウマスク用低熱膨張合金薄板の製造方法 | |
| US20050067067A1 (en) | Method for producing a metal strip from an iron-nickel alloy for tensioned shadow masks | |
| JP2669789B2 (ja) | 管内部品 | |
| JP2592884B2 (ja) | シャドウマスク | |
| JP3515769B2 (ja) | プレス成形型フラットマスク用Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄帯 | |
| JPS6316525A (ja) | シヤドウマスクの製造方法 | |
| JPH04120251A (ja) | シャドウマスク用素材およびその製造方法 | |
| JP3316909B2 (ja) | 黒化処理性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板 | |
| JP2004331997A (ja) | シャドウマスク用高強度Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金 | |
| JPH0676645B2 (ja) | 管内部品用素材とその製造方法 | |
| JP2988973B2 (ja) | シャドウマスク材 | |
| JPH03191024A (ja) | シャドウマスク用鉄―ニッケル基合金素材の製造方法 | |
| JPS61218050A (ja) | カラ−受像管及びその部品用素材及びその製造法 | |
| JPH0987741A (ja) | 板形状および耐熱収縮性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ ーＮｉ系アンバー合金薄板の製造方法 | |
| JPS62120432A (ja) | シヤドウマスクの製造方法 | |
| JPS61201733A (ja) | シヤドウマスクの製造方法 | |
| JPS6249324B2 (ja) | ||
| JP3536059B2 (ja) | プレス成形型フラットマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄帯 | |
| JPH0569601B2 (ja) | ||
| JP2002035804A (ja) | 高強度シャドウマスク用あるいはアパーチャグリル用薄板の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |