JPH0690289B2 - 多チャンネル電離箱形放射線検出器の製造方法 - Google Patents
多チャンネル電離箱形放射線検出器の製造方法Info
- Publication number
- JPH0690289B2 JPH0690289B2 JP1284320A JP28432089A JPH0690289B2 JP H0690289 B2 JPH0690289 B2 JP H0690289B2 JP 1284320 A JP1284320 A JP 1284320A JP 28432089 A JP28432089 A JP 28432089A JP H0690289 B2 JPH0690289 B2 JP H0690289B2
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- radiation detector
- groove
- insulating
- plates
- ionization chamber
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は，第３世代Ｘ線CT装置やコンピュータ・ラジ
オグラフィなどに用いられる多チャンネル電離箱形放射
線検出器の製造方法に関する。
オグラフィなどに用いられる多チャンネル電離箱形放射
線検出器の製造方法に関する。
多チャンネル電離箱形放射線検出器（以下単に放射線検
出器と称する）は，放射線吸収係数の大きいXeガスが封
入された金属またはガラス容器内に対置する絶縁板間に
多数の高電圧電極板と多数の信号電極板とが交互に保持
されている。
出器と称する）は，放射線吸収係数の大きいXeガスが封
入された金属またはガラス容器内に対置する絶縁板間に
多数の高電圧電極板と多数の信号電極板とが交互に保持
されている。
特にCT装置用の放射線検出器では前記容器ならびに絶縁
板は円弧状に形成され，電極板は対置する絶縁板間にＸ
線管焦点に向ってラインアップされて配列されている。
板は円弧状に形成され，電極板は対置する絶縁板間にＸ
線管焦点に向ってラインアップされて配列されている。
第５図，第６図はこの種放射線検出器の構成を示す模式
図で，（１）は電極を支持する絶縁板で，一般的には人
体を撮影するのに十分な有効視野を確保するために約80
0mmの円弧長を有している。
図で，（１）は電極を支持する絶縁板で，一般的には人
体を撮影するのに十分な有効視野を確保するために約80
0mmの円弧長を有している。
絶縁板（１）のそれぞれの対向面には，約1m先の一点
（Ｘ線焦点）で交差する一定の角度，例えば0.05°の等
角度ピッチの電極支持溝（１）′が放射状に多数削切さ
れ，この溝（１）′に多数（例えば1000枚）の電極板
（２）が挿入されて固定されている。
（Ｘ線焦点）で交差する一定の角度，例えば0.05°の等
角度ピッチの電極支持溝（１）′が放射状に多数削切さ
れ，この溝（１）′に多数（例えば1000枚）の電極板
（２）が挿入されて固定されている。
上記構成の放射線検出器において，各電極は互いに1014
Ω程度以上に絶縁して保持される必要があること，隣接
電極間のピッチが約0.5mm〜1.5mmと狭いことまた，電極
は，外部からの力によって振動変形しないように強固に
固定される必要があることなどから，電極を支持する絶
縁板としては，絶縁性・剛性／精密加工性等を備えたセ
ラミックスやガラスやエンジニアリングプラスチックス
などの材料が用いられる。
Ω程度以上に絶縁して保持される必要があること，隣接
電極間のピッチが約0.5mm〜1.5mmと狭いことまた，電極
は，外部からの力によって振動変形しないように強固に
固定される必要があることなどから，電極を支持する絶
縁板としては，絶縁性・剛性／精密加工性等を備えたセ
ラミックスやガラスやエンジニアリングプラスチックス
などの材料が用いられる。
一方,X線CT装置の検出器としては人体の断層撮影に十分
な視野を確保するため長さにして，約800mm程度の長さ
に上記電極板を連続して配列する必要があり，それを保
持する絶縁板も同様な長い円弧形状のものとなる。とこ
ろが上記のセラミック等の材料は，絶縁板として使用す
るに十分な特性を有する前記長さのものを製造すること
が技術的あるいはコスト的に困難である。
な視野を確保するため長さにして，約800mm程度の長さ
に上記電極板を連続して配列する必要があり，それを保
持する絶縁板も同様な長い円弧形状のものとなる。とこ
ろが上記のセラミック等の材料は，絶縁板として使用す
るに十分な特性を有する前記長さのものを製造すること
が技術的あるいはコスト的に困難である。
したがって溝を削切した一対の円弧長ｌの小絶縁板間に
電極板を装着した検出器ユニット（３）を作成し，この
検出器ユニット（３）を第１図に示すように相互に継ぎ
合わせて所定の円弧長Ｌを有する円弧状の長い放射線検
出器を得ていた。
電極板を装着した検出器ユニット（３）を作成し，この
検出器ユニット（３）を第１図に示すように相互に継ぎ
合わせて所定の円弧長Ｌを有する円弧状の長い放射線検
出器を得ていた。
この種の放射線検出器では，電極は絶縁板の溝にそう入
して保持されるため、溝の加工位置の誤差は電極の配列
の誤差に直接つながる。
して保持されるため、溝の加工位置の誤差は電極の配列
の誤差に直接つながる。
絶縁板の電極支持溝は一般にダイヤモンドソやワイヤソ
ーなどの加工機で加工されるが，溝を加工する位置は加
工機の機械的なガタやたわみ，設置環境のふんい気温度
の変化や加工熱，反応熱等による加工機，被加工物の熱
的ぼう張によって設計値からわずかにずれる。
ーなどの加工機で加工されるが，溝を加工する位置は加
工機の機械的なガタやたわみ，設置環境のふんい気温度
の変化や加工熱，反応熱等による加工機，被加工物の熱
的ぼう張によって設計値からわずかにずれる。
したがって，一対の小絶縁板間に電極を支持して検出器
ユニットを形成し，このユニットを数〜十数個を連結し
て所定大きさの放射線検出器とする従来の方法では，各
検出ユニットを形成する小絶縁板毎に微妙に加工精度が
異なり，最終的にこれらを連結した場合，特にその連結
部分において，上記の小絶縁板毎に生じた溝の位置の許
容誤差を越える大きな誤差が生じる。
ユニットを形成し，このユニットを数〜十数個を連結し
て所定大きさの放射線検出器とする従来の方法では，各
検出ユニットを形成する小絶縁板毎に微妙に加工精度が
異なり，最終的にこれらを連結した場合，特にその連結
部分において，上記の小絶縁板毎に生じた溝の位置の許
容誤差を越える大きな誤差が生じる。
Ｘ線CT用の検出器としては小絶縁板の連結部分において
も検出セル（信号電極を挾んで対向する高電圧電極間の
空隙）を連続して設ける必要があるのでその部分の検出
セルは特に他の部分とは大きく特性の異なるものとな
り，リングアーティファクトが発生しやすい。
も検出セル（信号電極を挾んで対向する高電圧電極間の
空隙）を連続して設ける必要があるのでその部分の検出
セルは特に他の部分とは大きく特性の異なるものとな
り，リングアーティファクトが発生しやすい。
個々に溝を加工した小絶縁板の溝の位置と方向は設計値
に対してそれぞれ，特有のずれをもっている。連結部分
において，溝のピッチを合わせようとすれば，溝の方向
が１点に交叉しなくなり，あるいは１点に交叉するよう
にすれば，ピッチが合わなくなる。
に対してそれぞれ，特有のずれをもっている。連結部分
において，溝のピッチを合わせようとすれば，溝の方向
が１点に交叉しなくなり，あるいは１点に交叉するよう
にすれば，ピッチが合わなくなる。
これらの小絶縁板を数個溝の位置と方向さらに外形を合
わせて，連結する作業は時間のかかる困難な作業であ
る。
わせて，連結する作業は時間のかかる困難な作業であ
る。
また，各検出器ユニットの小絶縁板に設計値通りに正確
に溝が加工され，電極板が等ピッチに配列されたとして
も、各検出器ユニットの連結に際し、各ユニットを最良
の配列・位置に配置できるとは限らず誤った位置に配
列，連結してさらに大きな誤差を生じる恐れがある。
に溝が加工され，電極板が等ピッチに配列されたとして
も、各検出器ユニットの連結に際し、各ユニットを最良
の配列・位置に配置できるとは限らず誤った位置に配
列，連結してさらに大きな誤差を生じる恐れがある。
この発明は従来法の問題点を解決すべくなされたもの
で，電極を等ピッチに配列でき，特に小絶縁板の継ぎ目
においても等ピッチに電極を配列でき，空間分解能のバ
ラツキのない多チャンネル電離箱形放射線検出器を簡単
に製造することのできる製造方法を提供することを目的
とする。
で，電極を等ピッチに配列でき，特に小絶縁板の継ぎ目
においても等ピッチに電極を配列でき，空間分解能のバ
ラツキのない多チャンネル電離箱形放射線検出器を簡単
に製造することのできる製造方法を提供することを目的
とする。
この発明による多チャンネル電離箱形放射線検出器の製
造方法は，複数枚の小絶縁板を連結一体化して所定サイ
ズの絶縁基板を形成して後，この絶縁板の一面に電極支
持溝を加工し，次に溝加工された絶縁板の溝に電極板を
順次着し込み支持させることを特徴とする。
造方法は，複数枚の小絶縁板を連結一体化して所定サイ
ズの絶縁基板を形成して後，この絶縁板の一面に電極支
持溝を加工し，次に溝加工された絶縁板の溝に電極板を
順次着し込み支持させることを特徴とする。
小絶縁板は連結一体化した後に電極支持溝を加工する。
溝加工における誤差の要因のうち，その多くは１つの溝
を加工する短時間に変化するものではなく多数の溝を加
工している間，長時間の周期でゆっくり変化するもので
ある。また小絶縁板は溝を加工する前にすでに連結され
ており，その連結部分に設けられる溝も同時に加工され
る。したがって，従来の方法で加工した場合に生じた連
結部分における局部的，かつ不連続な溝の位置と方向の
誤差は発生しない。
を加工する短時間に変化するものではなく多数の溝を加
工している間，長時間の周期でゆっくり変化するもので
ある。また小絶縁板は溝を加工する前にすでに連結され
ており，その連結部分に設けられる溝も同時に加工され
る。したがって，従来の方法で加工した場合に生じた連
結部分における局部的，かつ不連続な溝の位置と方向の
誤差は発生しない。
また，溝の位置と方向を合わせて連結する作業が必要な
いため、その工程での誤差が発生しない。したがって，
電極板を等ピッチで配列でき，空間分解能の均一な多チ
ャンネル電離箱形放射線検出器が得られる。
いため、その工程での誤差が発生しない。したがって，
電極板を等ピッチで配列でき，空間分解能の均一な多チ
ャンネル電離箱形放射線検出器が得られる。
以下図面によってこの発明の実施例を説明する。第１図
ないし第３図はこの発明の放射線検出器の絶縁基板の製
造工程を示す斜視図である。
ないし第３図はこの発明の放射線検出器の絶縁基板の製
造工程を示す斜視図である。
第１図は従来の検出器ユニットを構成する小絶縁板（1
1）′で一般的には大径（例えば1m半径）で円弧状に加
工され，円弧長l,幅W,厚みｔの例えばセラミック板であ
る。
1）′で一般的には大径（例えば1m半径）で円弧状に加
工され，円弧長l,幅W,厚みｔの例えばセラミック板であ
る。
この小絶縁板（11）′は，第１工程として所定の円弧長
（サイズ）によるよう複数枚（図面では３枚）それぞれ
の端面を連結して固定一体化し，絶縁基板（11）を作成
する。第２図はこの第１工程で作成された絶縁基板（1
1）を示す。
（サイズ）によるよう複数枚（図面では３枚）それぞれ
の端面を連結して固定一体化し，絶縁基板（11）を作成
する。第２図はこの第１工程で作成された絶縁基板（1
1）を示す。
各小絶縁板（11）′の固定方法は，それぞれの小絶縁板
のつぎ合わされるべき端面を接着剤等で連結するかもし
くはステンレス等の金属板を台座にしてそれに接着，ろ
う付あるいはネジ止めしてもよい。第１工程で作成され
た絶縁基板（11）の一面に電極板支持用の溝（12）を複
数本削切加工する。（第２工程）溝の加工はダイシング
ソーによって小絶縁物を削切加工してもよいし，また，
ホトマスクによるエッチング法や小絶縁板上に他の絶縁
物を付加して溝を形成してもよい。
のつぎ合わされるべき端面を接着剤等で連結するかもし
くはステンレス等の金属板を台座にしてそれに接着，ろ
う付あるいはネジ止めしてもよい。第１工程で作成され
た絶縁基板（11）の一面に電極板支持用の溝（12）を複
数本削切加工する。（第２工程）溝の加工はダイシング
ソーによって小絶縁物を削切加工してもよいし，また，
ホトマスクによるエッチング法や小絶縁板上に他の絶縁
物を付加して溝を形成してもよい。
第３図は第２工程で作成された絶縁基板（11）を示す。
つぎの工程として，第２工程で作成した絶縁基板２枚を
溝面が対向するように電極板の一辺の長さに応じた距離
を隔てて平行に対向させて，一対の対向する溝に電極板
を順次差し込みそれを保持させる。（第３工程） なお，実施例では小絶縁板（11）′の端面を溝と同じ放
射状に切断したが，特開昭57-203982号公報に記載され
ているように溝に斜めに交叉するように端面を切断した
形状の小絶縁板を用いてもよい。
つぎの工程として，第２工程で作成した絶縁基板２枚を
溝面が対向するように電極板の一辺の長さに応じた距離
を隔てて平行に対向させて，一対の対向する溝に電極板
を順次差し込みそれを保持させる。（第３工程） なお，実施例では小絶縁板（11）′の端面を溝と同じ放
射状に切断したが，特開昭57-203982号公報に記載され
ているように溝に斜めに交叉するように端面を切断した
形状の小絶縁板を用いてもよい。
第４図はこのように形成した小絶縁板（11）′を連結一
体化し，溝を削切加工した絶縁基板（11）を示す。ま
た，実施例では，円弧状の小絶縁板を用意し，それを複
数枚連結して，所定円弧長の円弧状絶縁基板としたが，
小絶縁板を複数枚連結して一体化して後，円弧状に加
工，あるいは溝を削切加工して後，円弧状等の所定形
状，大きさに加工するようにしてもよい。さらに，実施
例においては絶縁基板を円弧状に形成したが、矩形状に
形成し、その一面に互に平行な溝，あるいは一点に収束
する放射状の溝を削切加工するようにしてもよい。
体化し，溝を削切加工した絶縁基板（11）を示す。ま
た，実施例では，円弧状の小絶縁板を用意し，それを複
数枚連結して，所定円弧長の円弧状絶縁基板としたが，
小絶縁板を複数枚連結して一体化して後，円弧状に加
工，あるいは溝を削切加工して後，円弧状等の所定形
状，大きさに加工するようにしてもよい。さらに，実施
例においては絶縁基板を円弧状に形成したが、矩形状に
形成し、その一面に互に平行な溝，あるいは一点に収束
する放射状の溝を削切加工するようにしてもよい。
さらにまた，複数枚の小絶縁板を台座に，特にネジ止め
でもって連結一体化する場合は，その後の第２工程での
溝加工の後，固定された小絶縁板の固定を解除し，個々
の小絶縁板に分解して，個々の溝付小絶縁板を２ケ対向
させて電極板を保持させて検出器ユニットを製作し，こ
の検出器ユニットを複数連結して台座に固定して検出器
を製作してもよい。
でもって連結一体化する場合は，その後の第２工程での
溝加工の後，固定された小絶縁板の固定を解除し，個々
の小絶縁板に分解して，個々の溝付小絶縁板を２ケ対向
させて電極板を保持させて検出器ユニットを製作し，こ
の検出器ユニットを複数連結して台座に固定して検出器
を製作してもよい。
この発明によれば溝の位置精度が向上し，隣接する電極
板間ピッチ及びその方向精度の良い感度の均一な高精度
の多チャンネル電離箱形放射検出器が簡単且つ安価に製
造できる。
板間ピッチ及びその方向精度の良い感度の均一な高精度
の多チャンネル電離箱形放射検出器が簡単且つ安価に製
造できる。
また，この発明により製造された多チャンネル電離箱形
放射線検出器をＸ線CT装置に用いれば，リングアーティ
ファクトのない良質の再構成画像が得られる。
放射線検出器をＸ線CT装置に用いれば，リングアーティ
ファクトのない良質の再構成画像が得られる。
第１図ないし第３図は，この発明の一実施例にかかる製
造方法の一部を説明するための絶縁基板加工図（斜視
図），第４図は他の実施例の絶縁基板の加工図（斜視
図），第５図は従来の放射線検出器の概略構成を示す斜
視図，第６図は第５図の一部拡大図である。 11:絶縁基板、11′：小絶縁板、12:溝
造方法の一部を説明するための絶縁基板加工図（斜視
図），第４図は他の実施例の絶縁基板の加工図（斜視
図），第５図は従来の放射線検出器の概略構成を示す斜
視図，第６図は第５図の一部拡大図である。 11:絶縁基板、11′：小絶縁板、12:溝
Claims (1)
- 【請求項１】平行に対置された一対の絶縁板に複数の電
極板を装着してなる放射線検出器において， 複数枚の小絶縁板を連結一体化し絶縁基板を作成する工
程と，絶縁基板の一面に前記電極板を支持する溝を形成
する工程と，前記溝に電極板の端部を順次差し込み，電
極板を絶縁基板に装着する工程とよりなる多チャンネル
電離箱形放射線検出器の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1284320A JPH0690289B2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | 多チャンネル電離箱形放射線検出器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1284320A JPH0690289B2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | 多チャンネル電離箱形放射線検出器の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03144395A JPH03144395A (ja) | 1991-06-19 |
| JPH0690289B2 true JPH0690289B2 (ja) | 1994-11-14 |
Family
ID=17677026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1284320A Expired - Fee Related JPH0690289B2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | 多チャンネル電離箱形放射線検出器の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0690289B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005257598A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-22 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Ｘ線イオンチャンバ検出器 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4830450B2 (ja) * | 2005-11-02 | 2011-12-07 | 株式会社島津製作所 | 質量分析装置 |
| JP2015065263A (ja) * | 2013-09-25 | 2015-04-09 | 株式会社ダイヘン | 変圧器 |
-
1989
- 1989-10-31 JP JP1284320A patent/JPH0690289B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005257598A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-22 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Ｘ線イオンチャンバ検出器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03144395A (ja) | 1991-06-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |