JPH0691009A - 可撓性チューブ無菌的接合装置 - Google Patents
可撓性チューブ無菌的接合装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 切断手段の実測温度を測定し、かつ溶融切断
される可撓性チューブの切断面をほぼ垂直なものとする
ことができ、チューブの接合を確実に行うことができる
可撓性チューブ無菌的接合装置を提供する。 【構成】 少なくとも２本の可撓性チューブを平行状態
にて保持する２つのクランプと、２つのクランプ間にて
チューブを切断するための切断手段と、切断されたチュ
ーブの接合される端部相互が密着するようにいずれかの
クランプを移動させる移動手段とを有している。切断手
段は、可撓性チューブを溶融切断するための薄板状ウエ
ハーと、ウエハーを交換可能にかつほぼ垂直状態にて保
持するウエハー保持部と、ウエハーの温度を検知するた
めの温度検知手段と、温度検出手段のウエハー接触側表
面に固定された伝熱性平板部材と、該温度検出手段のウ
エハー非接触側表面固定された断熱部材とを有する無菌
的接合装置である。
される可撓性チューブの切断面をほぼ垂直なものとする
ことができ、チューブの接合を確実に行うことができる
可撓性チューブ無菌的接合装置を提供する。 【構成】 少なくとも２本の可撓性チューブを平行状態
にて保持する２つのクランプと、２つのクランプ間にて
チューブを切断するための切断手段と、切断されたチュ
ーブの接合される端部相互が密着するようにいずれかの
クランプを移動させる移動手段とを有している。切断手
段は、可撓性チューブを溶融切断するための薄板状ウエ
ハーと、ウエハーを交換可能にかつほぼ垂直状態にて保
持するウエハー保持部と、ウエハーの温度を検知するた
めの温度検知手段と、温度検出手段のウエハー接触側表
面に固定された伝熱性平板部材と、該温度検出手段のウ
エハー非接触側表面固定された断熱部材とを有する無菌
的接合装置である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、少なくとも２本の可撓
性チューブを加熱溶融して、無菌的に接続するための可
撓性チューブ無菌的接合装置に関する。
性チューブを加熱溶融して、無菌的に接続するための可
撓性チューブ無菌的接合装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】輸血システムにおける採血バッグおよび
血液成分バッグのチューブ接続、持続的腹膜透析（ＣＡ
ＰＤ）における透析液バッグと排液バッグの交換時など
には、チューブの接続を無菌的に行うことが必要とな
る。このようなチューブの無菌的接続を行う装置として
は、特公昭６１−３０５８２号公報に示されものがあ
る。この特公昭６１−３０５８２号公報に示されている
装置は、チューブを加熱溶融して接続するチューブ接続
装置である。そして、従来の無菌的接合装置の具体例を
図示すると、図２６示すような機構を有している。図２
６に示す接合装置１００は、接続すべき２本の可撓性チ
ューブ１１５，１１６を平行状態にて保持する第１クラ
ンプ１１１および第２クランプ１１０と、第１クランプ
１１１および第２クランプ１１０間にて可撓性チューブ
を切断するための切断手段（ウエハー）１１４と、切断
手段により切断された可撓性チューブの接合される端部
相互がウエハーを介して向かい合うように第１クランプ
を移動させる移動手段１１３と、切断手段１１４を上方
に移動させて可撓性チューブを溶融切断させ、切断後ウ
エハーを下方に移動させるための移動手段１１２を有し
ている。
血液成分バッグのチューブ接続、持続的腹膜透析（ＣＡ
ＰＤ）における透析液バッグと排液バッグの交換時など
には、チューブの接続を無菌的に行うことが必要とな
る。このようなチューブの無菌的接続を行う装置として
は、特公昭６１−３０５８２号公報に示されものがあ
る。この特公昭６１−３０５８２号公報に示されている
装置は、チューブを加熱溶融して接続するチューブ接続
装置である。そして、従来の無菌的接合装置の具体例を
図示すると、図２６示すような機構を有している。図２
６に示す接合装置１００は、接続すべき２本の可撓性チ
ューブ１１５，１１６を平行状態にて保持する第１クラ
ンプ１１１および第２クランプ１１０と、第１クランプ
１１１および第２クランプ１１０間にて可撓性チューブ
を切断するための切断手段（ウエハー）１１４と、切断
手段により切断された可撓性チューブの接合される端部
相互がウエハーを介して向かい合うように第１クランプ
を移動させる移動手段１１３と、切断手段１１４を上方
に移動させて可撓性チューブを溶融切断させ、切断後ウ
エハーを下方に移動させるための移動手段１１２を有し
ている。
【０００３】そして、この無菌的接合装置では、薄板状
のウエハー１１４を加熱後、第１クランプ１１１および
第２クランプ１１０間の下方より、上方に移動させて、
第１および第２クランプ間にて、可撓性チューブ１１
５，１１６を溶融切断した後、切断された可撓性チュー
ブの接合される端部相互が密着するように第１クランプ
１１１を後方に移動（後退）させた後、再びウエハーを
下方に移動させて、可撓性チューブの接合される端部相
互を密着させて接合する。
のウエハー１１４を加熱後、第１クランプ１１１および
第２クランプ１１０間の下方より、上方に移動させて、
第１および第２クランプ間にて、可撓性チューブ１１
５，１１６を溶融切断した後、切断された可撓性チュー
ブの接合される端部相互が密着するように第１クランプ
１１１を後方に移動（後退）させた後、再びウエハーを
下方に移動させて、可撓性チューブの接合される端部相
互を密着させて接合する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】そして、上記の接合装
置１００では、実測によるウエハーの温度検出手段を有
しておらず、ウエハー電圧を測定することにより、ウエ
ハーの温度抵抗特性より、ウエハー温度を演算により算
出している。しかし、ウエハーの個々の物性の相違など
により、正確な温度検知ができない場合があり、これに
起因してウエハーの加熱不足、加熱過剰を生ずる危険性
があった。また、上記の無菌的接合装置１００では、ウ
エハーにより第１クランプおよび第２クランプ間にて、
可撓性チューブを溶融切断するために、加熱されたウエ
ハーを第１クランプおよび第２クランプ間の下方より、
上方に移動させて、チューブを溶融切断し、そして、切
断された可撓性チューブの接合される端部相互が密着す
るように第１クランプ１１１を後方に移動（後退）させ
た後、再びウエハーを下方に移動させる。ウエハーは上
方移動の際、チューブに当接し、溶融によりチューブを
切断するが、当接時に、チューブより下方に働く力を受
ける。また、下降の際、ウエハーは溶融により切断され
たチューブに把持された状態となっており、チューブよ
り上方に働く力を受ける。よって、ウエハーは、チュー
ブより上方移動および下降のいずれにおいても力を受
け、その力によりウエハーが湾曲などの歪みが生じた
り、ウエハーがチューブに挟まれてウエハー保持部材よ
り抜け落ちる可能性がある。そこで、上記の無菌的接合
装置１００では、ウエハーを押さえるために、先端が刃
状をしたバネ１２１にて、ウエハーを押し付け保持して
いる。そして、この刃状バネ１２１による押圧が強すぎ
ると、ウエハーの垂直状態の保持が困難となるため、あ
らかじめウエハーを刃状バネ１２１側に若干倒すように
して、ウエハーを保持している。しかし、刃状バネ１２
１にへたりが生じると、ウエハー上昇時および下降時の
いずれにいても、ウエハーの垂直状態の保持が困難とな
り、これにも起因して、チューブの切断面が若干湾曲面
となり、このためチューブの接合不良を生じることがあ
った。そこで、本発明の目的は、上記の従来技術の問題
点を解消し、ウエハーの実測による温度検出ができ、か
つ、溶融切断される可撓性チューブの切断面をほぼ垂直
なものとすることができ、チューブの接合を確実に行う
ことができる可撓性チューブ無菌的接合装置を提供する
ものである。
置１００では、実測によるウエハーの温度検出手段を有
しておらず、ウエハー電圧を測定することにより、ウエ
ハーの温度抵抗特性より、ウエハー温度を演算により算
出している。しかし、ウエハーの個々の物性の相違など
により、正確な温度検知ができない場合があり、これに
起因してウエハーの加熱不足、加熱過剰を生ずる危険性
があった。また、上記の無菌的接合装置１００では、ウ
エハーにより第１クランプおよび第２クランプ間にて、
可撓性チューブを溶融切断するために、加熱されたウエ
ハーを第１クランプおよび第２クランプ間の下方より、
上方に移動させて、チューブを溶融切断し、そして、切
断された可撓性チューブの接合される端部相互が密着す
るように第１クランプ１１１を後方に移動（後退）させ
た後、再びウエハーを下方に移動させる。ウエハーは上
方移動の際、チューブに当接し、溶融によりチューブを
切断するが、当接時に、チューブより下方に働く力を受
ける。また、下降の際、ウエハーは溶融により切断され
たチューブに把持された状態となっており、チューブよ
り上方に働く力を受ける。よって、ウエハーは、チュー
ブより上方移動および下降のいずれにおいても力を受
け、その力によりウエハーが湾曲などの歪みが生じた
り、ウエハーがチューブに挟まれてウエハー保持部材よ
り抜け落ちる可能性がある。そこで、上記の無菌的接合
装置１００では、ウエハーを押さえるために、先端が刃
状をしたバネ１２１にて、ウエハーを押し付け保持して
いる。そして、この刃状バネ１２１による押圧が強すぎ
ると、ウエハーの垂直状態の保持が困難となるため、あ
らかじめウエハーを刃状バネ１２１側に若干倒すように
して、ウエハーを保持している。しかし、刃状バネ１２
１にへたりが生じると、ウエハー上昇時および下降時の
いずれにいても、ウエハーの垂直状態の保持が困難とな
り、これにも起因して、チューブの切断面が若干湾曲面
となり、このためチューブの接合不良を生じることがあ
った。そこで、本発明の目的は、上記の従来技術の問題
点を解消し、ウエハーの実測による温度検出ができ、か
つ、溶融切断される可撓性チューブの切断面をほぼ垂直
なものとすることができ、チューブの接合を確実に行う
ことができる可撓性チューブ無菌的接合装置を提供する
ものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するもの
は、可撓性チューブを無菌的に接合するための装置であ
って、該装置は、少なくとも２本の可撓性チューブを平
行状態にて保持する第１クランプおよび第２クランプ
と、該第１クランプおよび第２クランプ間にて前記可撓
性チューブを切断するための切断手段と、該切断手段に
より切断された可撓性チューブの接合される端部相互が
密着するように前記第１クランプまたは前記第２クラン
プの少なくとも一方を移動させる移動手段と、前記切断
手段を前記第１クランプおよび第２クランプ間にて上下
動させるための切断手段駆動手段とを有し、前記切断手
段は、前記可撓性チューブを溶融切断するための薄板状
ウエハーと、該ウエハーを交換可能に保持するウエハー
保持部と、ウエハーの温度を検知するための温度検知手
段と、該温度検出手段のウエハー接触側表面に固定され
た伝熱性平板部材と、該温度検出手段のウエハー非接触
側表面固定された断熱部材とを有する無菌的接合装置で
ある。そして、前記無菌的接合装置は、前記温度検知手
段に固定された伝熱性平板部材を前記ウエハー保持部に
より保持されたウエハーの先端部側面に押しあてるよう
に温度検知手段を保持する温度検知手段保持部を有する
ことが好ましい。また、前記温度検知手段保持部による
ウエハーの押圧が、ウエハーの上部、特に、ウエハー内
部発熱体の上部であることが好ましい。前記伝熱性平板
部材は、金属板であることが好ましい。前記断熱部材
は、温度検知手段と温度検知手段保持部との間に設けら
れていることが好ましい。また、前記温度検知手段保持
部は、ある程度の弾力性を持って前記伝熱性平板部材を
前記ウエハー保持部により保持されたウエハーの先端部
側面に押しあてることが好ましい。そして、前記無菌的
接合装置は、前記温度検出手段により検知され信号に基
づいて、前記ウエハーの温度制御を行うウエハー加熱制
御手段を有していることが好ましい。そこで、本発明の
可撓性チューブ無菌的接合装置について、図面を参照し
て説明する。この可撓性チューブ無菌的接合装置１は、
可撓性チューブを無菌的に接合するための装置であっ
て、少なくとも２本の可撓性チューブを平行状態にて保
持する第１クランプ３および第２クランプ２と、第１ク
ランプ３および第２クランプ２間にて可撓性チューブ４
８，４９を切断するための切断手段５と、切断手段５に
より切断された可撓性チューブ４８，４９の接合される
端部相互が密着するように第１クランプ３または第２ク
ランプ２の少なくとも一方を移動させる移動手段と、切
断手段５を第１クランプ３および第２クランプ２間にて
上下動させるための切断手段駆動手段とを有し、切断手
段５は、可撓性チューブ４８，４９を溶融切断するため
の薄板状ウエハーと６、ウエハー６を交換可能に保持す
るウエハー保持部と、ウエハーの温度を検知するための
温度検知手段７と、温度検出手段７のウエハー接触側表
面に固定された伝熱性平板部材７６と、温度検出手段７
のウエハー非接触側表面固定された断熱部材７４とを有
する。
は、可撓性チューブを無菌的に接合するための装置であ
って、該装置は、少なくとも２本の可撓性チューブを平
行状態にて保持する第１クランプおよび第２クランプ
と、該第１クランプおよび第２クランプ間にて前記可撓
性チューブを切断するための切断手段と、該切断手段に
より切断された可撓性チューブの接合される端部相互が
密着するように前記第１クランプまたは前記第２クラン
プの少なくとも一方を移動させる移動手段と、前記切断
手段を前記第１クランプおよび第２クランプ間にて上下
動させるための切断手段駆動手段とを有し、前記切断手
段は、前記可撓性チューブを溶融切断するための薄板状
ウエハーと、該ウエハーを交換可能に保持するウエハー
保持部と、ウエハーの温度を検知するための温度検知手
段と、該温度検出手段のウエハー接触側表面に固定され
た伝熱性平板部材と、該温度検出手段のウエハー非接触
側表面固定された断熱部材とを有する無菌的接合装置で
ある。そして、前記無菌的接合装置は、前記温度検知手
段に固定された伝熱性平板部材を前記ウエハー保持部に
より保持されたウエハーの先端部側面に押しあてるよう
に温度検知手段を保持する温度検知手段保持部を有する
ことが好ましい。また、前記温度検知手段保持部による
ウエハーの押圧が、ウエハーの上部、特に、ウエハー内
部発熱体の上部であることが好ましい。前記伝熱性平板
部材は、金属板であることが好ましい。前記断熱部材
は、温度検知手段と温度検知手段保持部との間に設けら
れていることが好ましい。また、前記温度検知手段保持
部は、ある程度の弾力性を持って前記伝熱性平板部材を
前記ウエハー保持部により保持されたウエハーの先端部
側面に押しあてることが好ましい。そして、前記無菌的
接合装置は、前記温度検出手段により検知され信号に基
づいて、前記ウエハーの温度制御を行うウエハー加熱制
御手段を有していることが好ましい。そこで、本発明の
可撓性チューブ無菌的接合装置について、図面を参照し
て説明する。この可撓性チューブ無菌的接合装置１は、
可撓性チューブを無菌的に接合するための装置であっ
て、少なくとも２本の可撓性チューブを平行状態にて保
持する第１クランプ３および第２クランプ２と、第１ク
ランプ３および第２クランプ２間にて可撓性チューブ４
８，４９を切断するための切断手段５と、切断手段５に
より切断された可撓性チューブ４８，４９の接合される
端部相互が密着するように第１クランプ３または第２ク
ランプ２の少なくとも一方を移動させる移動手段と、切
断手段５を第１クランプ３および第２クランプ２間にて
上下動させるための切断手段駆動手段とを有し、切断手
段５は、可撓性チューブ４８，４９を溶融切断するため
の薄板状ウエハーと６、ウエハー６を交換可能に保持す
るウエハー保持部と、ウエハーの温度を検知するための
温度検知手段７と、温度検出手段７のウエハー接触側表
面に固定された伝熱性平板部材７６と、温度検出手段７
のウエハー非接触側表面固定された断熱部材７４とを有
する。
【０００６】図１は、本発明の可撓性チューブ無菌的接
合装置の一実施例の斜視図である。図２は、図１に示し
た無菌的接合装置をケースに収納した状態を示す斜視図
であり、図３は、本発明の無菌的接合装置に使用される
電気回路の一例を示すブロック図である。図４は、本発
明の可撓性チューブ無菌的接合装置の一実施例の上面図
である。図５は、本発明の無菌的接合装置の電気回路の
ウエハー加熱制御手段の一例を示す電気回路ブロック図
である。
合装置の一実施例の斜視図である。図２は、図１に示し
た無菌的接合装置をケースに収納した状態を示す斜視図
であり、図３は、本発明の無菌的接合装置に使用される
電気回路の一例を示すブロック図である。図４は、本発
明の可撓性チューブ無菌的接合装置の一実施例の上面図
である。図５は、本発明の無菌的接合装置の電気回路の
ウエハー加熱制御手段の一例を示す電気回路ブロック図
である。
【０００７】次に、無菌的接合装置１の全体の機構につ
いて説明する。この無菌的接合装置１は、図１、図２、
図４、図１７に示すように、少なくとも２本の可撓性チ
ューブを平行状態にて保持する第１クランプ３および第
２クランプ２を有している。モータの作動により回転す
るギア３０、ギア３０の回転により回転するギア３１、
ギア３１の回転により回転するシャフト３２、シャフト
の両端が回転可能に固定されたフレーム９、第１クラン
プ３の原点位置でのがたつきを防止するための防止部材
１１、マイクロスイッチ１３，１４，１５、第１クラン
プ３を移動させるための駆動用アーム１８、第１クラン
プ３を移動させるためのカム１９、切断手段５、切断手
段５および第２クランプを駆動させるためのカム１７、
第２クランプ２を第１クランプ側に押圧する押圧部材３
３、第１クランプ３の後退位置を規制する規制部材２
５、第１クランプ３のがたつきを防止するためのバネ部
材２７、ウエハー交換レバー２２，ウエハーカートリッ
ジ８、ウエハーカートリッジ交換レバー２４、使用済ウ
エハー収納箱把持部材２８、使用済ウエハーを収納箱に
誘導するための誘導部材２６、使用済ウエハー収納箱２
９、操作パネル５０を有している。
いて説明する。この無菌的接合装置１は、図１、図２、
図４、図１７に示すように、少なくとも２本の可撓性チ
ューブを平行状態にて保持する第１クランプ３および第
２クランプ２を有している。モータの作動により回転す
るギア３０、ギア３０の回転により回転するギア３１、
ギア３１の回転により回転するシャフト３２、シャフト
の両端が回転可能に固定されたフレーム９、第１クラン
プ３の原点位置でのがたつきを防止するための防止部材
１１、マイクロスイッチ１３，１４，１５、第１クラン
プ３を移動させるための駆動用アーム１８、第１クラン
プ３を移動させるためのカム１９、切断手段５、切断手
段５および第２クランプを駆動させるためのカム１７、
第２クランプ２を第１クランプ側に押圧する押圧部材３
３、第１クランプ３の後退位置を規制する規制部材２
５、第１クランプ３のがたつきを防止するためのバネ部
材２７、ウエハー交換レバー２２，ウエハーカートリッ
ジ８、ウエハーカートリッジ交換レバー２４、使用済ウ
エハー収納箱把持部材２８、使用済ウエハーを収納箱に
誘導するための誘導部材２６、使用済ウエハー収納箱２
９、操作パネル５０を有している。
【０００８】また、図３に示すように、この実施例の無
菌的接合装置１は、交流電源を直流に変換し、かつ所定
の電圧の変換する整流電源回路４１を有するウエハー加
熱用定電圧源４３と、同様にこの定電圧源４３より電源
が供給されるモーター４２と、モーター４２およびウエ
ハー加熱制御回路４４を制御するための制御器４０と、
可撓性チューブを加熱溶融により切断するためのウエハ
ー６と、このウエハー６の温度検知手段７と、温度検知
手段７からの信号に基づいて、定電圧源４３よりウエハ
ー６に送られる電力を制御することによりウエハー６の
加熱を制御するウエハー加熱制御手段４４とを有してい
る。また、図５に示すように、定電圧源４３とウエハー
とを電気的に接続するための接続端子９が設けられてい
る。そして、ウエハー加熱制御手段４４には、ウエハー
短絡回路の作動の後に、装置を復帰させるためのリセッ
トスイッチ６９が電気的に接続されており、また、ウエ
ハー加熱制御手段４４は、制御器４０と電気的に接続さ
れている。また、制御器４０には、マイクロスイッチＳ
Ｗ１（１３）、マイクロスイッチＳＷ２（１４）、マイ
クロスイッチＳＷ３（１５）、マイクロスイッチＳＷ４
（７２）、マイクロスイッチＳＷ５（７３）、マイクロ
スイッチＳＷ６（７４）、入力パネル５０に設けられた
電源スイッチ５１、開始スイッチ５２、クランプリセッ
トスイッチ５３が電気的に接続されており、さらに、制
御器４０より出力される信号により作動するブザー４５
が設けられている。モーター４２は、切断手段５、第１
クランプ３および第２クランプ２を駆動させる駆動源で
ある。
菌的接合装置１は、交流電源を直流に変換し、かつ所定
の電圧の変換する整流電源回路４１を有するウエハー加
熱用定電圧源４３と、同様にこの定電圧源４３より電源
が供給されるモーター４２と、モーター４２およびウエ
ハー加熱制御回路４４を制御するための制御器４０と、
可撓性チューブを加熱溶融により切断するためのウエハ
ー６と、このウエハー６の温度検知手段７と、温度検知
手段７からの信号に基づいて、定電圧源４３よりウエハ
ー６に送られる電力を制御することによりウエハー６の
加熱を制御するウエハー加熱制御手段４４とを有してい
る。また、図５に示すように、定電圧源４３とウエハー
とを電気的に接続するための接続端子９が設けられてい
る。そして、ウエハー加熱制御手段４４には、ウエハー
短絡回路の作動の後に、装置を復帰させるためのリセッ
トスイッチ６９が電気的に接続されており、また、ウエ
ハー加熱制御手段４４は、制御器４０と電気的に接続さ
れている。また、制御器４０には、マイクロスイッチＳ
Ｗ１（１３）、マイクロスイッチＳＷ２（１４）、マイ
クロスイッチＳＷ３（１５）、マイクロスイッチＳＷ４
（７２）、マイクロスイッチＳＷ５（７３）、マイクロ
スイッチＳＷ６（７４）、入力パネル５０に設けられた
電源スイッチ５１、開始スイッチ５２、クランプリセッ
トスイッチ５３が電気的に接続されており、さらに、制
御器４０より出力される信号により作動するブザー４５
が設けられている。モーター４２は、切断手段５、第１
クランプ３および第２クランプ２を駆動させる駆動源で
ある。
【０００９】そして、この無菌的接合装置１は、切断手
段５により切断された可撓性チューブ４８，４９の接合
される端部相互４８ａ，４９ａが向かい合うように第１
クランプ３を移動させる第１クランプ移動機構と、切断
手段５をチューブ側に（上方に）移動させ、切断後再び
チューブより離れる方向（下方に）に移動させるための
移動機能と、第２クランプ２を第１クランプ３に対し
て、近接および離間する方向に移動させる第２クランプ
移動機構とを有している。切断手段駆動機構には、切断
手段５を２本のチューブの軸に対して垂直に上方に移動
させ、チューブ切断後下方に移動させるものであり、第
１クランプ移動機構は、チューブ切断後、第１クランプ
３を２本のチューブの軸に対して水平状態にて直交方向
（より具体的には、後方に）に移動させるものであり、
第２クランプ移動機構は、第２クランプ２を第１クラン
プ側に近づくように、２本のチューブの軸に対して水平
状態にてごくわずか平行に移動させるものである。
段５により切断された可撓性チューブ４８，４９の接合
される端部相互４８ａ，４９ａが向かい合うように第１
クランプ３を移動させる第１クランプ移動機構と、切断
手段５をチューブ側に（上方に）移動させ、切断後再び
チューブより離れる方向（下方に）に移動させるための
移動機能と、第２クランプ２を第１クランプ３に対し
て、近接および離間する方向に移動させる第２クランプ
移動機構とを有している。切断手段駆動機構には、切断
手段５を２本のチューブの軸に対して垂直に上方に移動
させ、チューブ切断後下方に移動させるものであり、第
１クランプ移動機構は、チューブ切断後、第１クランプ
３を２本のチューブの軸に対して水平状態にて直交方向
（より具体的には、後方に）に移動させるものであり、
第２クランプ移動機構は、第２クランプ２を第１クラン
プ側に近づくように、２本のチューブの軸に対して水平
状態にてごくわずか平行に移動させるものである。
【００１０】次に、切断手段について図面を用いて説明
する。図６は、本発明の接合装置に使用される切断手段
の一例を示す左側面図であり、図７は、本発明の接合装
置に使用される切断手段の一例を示す右側面図であり、
図８は、図６および図７に示した切断手段の上面図であ
り、図９は、図６および図７に示した切断手段の正面図
であり、図１０は、図８のＡ−Ａ線端面図であり、図１
１は、図１０のＢ−Ｂ線部分にて切断したときの切断手
段の断面部分図である。ウエハー６としては、側面形状
が長方形をした薄板状のものであり、具体的には、向か
い合うように折り曲げられた金属板と、この金属板の内
面に形成された絶縁層と、この絶縁層内に上記の金属板
と接触しないように形成された抵抗体と、この抵抗体の
両端部に設けられた通電用端子とを有するものが好適に
使用される。
する。図６は、本発明の接合装置に使用される切断手段
の一例を示す左側面図であり、図７は、本発明の接合装
置に使用される切断手段の一例を示す右側面図であり、
図８は、図６および図７に示した切断手段の上面図であ
り、図９は、図６および図７に示した切断手段の正面図
であり、図１０は、図８のＡ−Ａ線端面図であり、図１
１は、図１０のＢ−Ｂ線部分にて切断したときの切断手
段の断面部分図である。ウエハー６としては、側面形状
が長方形をした薄板状のものであり、具体的には、向か
い合うように折り曲げられた金属板と、この金属板の内
面に形成された絶縁層と、この絶縁層内に上記の金属板
と接触しないように形成された抵抗体と、この抵抗体の
両端部に設けられた通電用端子とを有するものが好適に
使用される。
【００１１】そして、図８および図９に示すように、切
断手段５は、ウエハー保持部部材８１と、ウエハー加熱
部および温度検出手段保持部８３（以下、温度検出手段
保持部８３）を有している。さらに、切断手段５は、図
６および図８に示すように、回動自在のヒンジ部５ｄ
と、切断手段５を本体９に固定するための固定部５ｅ、
アーム部５ｃを有している。ウエハー保持部８１は、下
部部材６０と、その上面が形成する平坦面に載置される
とともに固定されたウエハー側面保持部材６７と、下部
部材６０の側面に固定されたウエハー下部側面保持部材
６１とにより構成されている。ウエハー６は、ウエハー
側面保持部材６７とウエハー下部側面保持部材６１間に
より、交換可能に保持されている。そして、ウエハー側
面保持部材６７には、図６に示すように、下方より上方
に伸びる柱状のウエハー前方側面保持部６７ａと、この
前方側面保持部６７ａより後方に位置するウエハー後方
側面保持部６７ｂを有しており、ウエハー前方側面保持
部６７ａと後方側面保持部６７ｂ間は、空間となってお
り、ウエハーが露出した状態となっている。また、ウエ
ハー後方側面保持部６７ｂより後方には、窓部があり、
待機ウエハー６９が露出している。ウエハー前方側面保
持部６７ａおよび後方側面保持部６７ｂのウエハー接触
側側面は、平坦面となっている。
断手段５は、ウエハー保持部部材８１と、ウエハー加熱
部および温度検出手段保持部８３（以下、温度検出手段
保持部８３）を有している。さらに、切断手段５は、図
６および図８に示すように、回動自在のヒンジ部５ｄ
と、切断手段５を本体９に固定するための固定部５ｅ、
アーム部５ｃを有している。ウエハー保持部８１は、下
部部材６０と、その上面が形成する平坦面に載置される
とともに固定されたウエハー側面保持部材６７と、下部
部材６０の側面に固定されたウエハー下部側面保持部材
６１とにより構成されている。ウエハー６は、ウエハー
側面保持部材６７とウエハー下部側面保持部材６１間に
より、交換可能に保持されている。そして、ウエハー側
面保持部材６７には、図６に示すように、下方より上方
に伸びる柱状のウエハー前方側面保持部６７ａと、この
前方側面保持部６７ａより後方に位置するウエハー後方
側面保持部６７ｂを有しており、ウエハー前方側面保持
部６７ａと後方側面保持部６７ｂ間は、空間となってお
り、ウエハーが露出した状態となっている。また、ウエ
ハー後方側面保持部６７ｂより後方には、窓部があり、
待機ウエハー６９が露出している。ウエハー前方側面保
持部６７ａおよび後方側面保持部６７ｂのウエハー接触
側側面は、平坦面となっている。
【００１２】さらに、切断手段５のウエハー保持部８１
は、後方に、図６、図７および図８に示すように、ウエ
ハー後方上部移動防止部を有することが好ましい。この
実施例では、ウエハー側面保持部材６７の後方の上面
に、金属板により形成されたウエハー後方上部移動防止
部材６２が設けられている。ウエハー後方上部移動防止
部材６３は、図８に示すように、その側面全体が、ウエ
ハー方向に突出しており、待機ウエハーの上部を被包す
るとともに、ウエハーの誘導部を形成している。さら
に、前方に突出する端部６２ａが、ウエハー６の後方の
上部に位置するように構成されている。これにより、ウ
エハー６が、切断された２本の可撓性チューブにより、
両側面より押された状態のときにウエハーを下方に移動
させても、ウエハーの後方部での移動も防止できるの
で、切断手段の動きと相違するウエハー移動を確実に防
止することができる。ウエハー後方上部移動防止部材６
２は、ウエハー側面保持部材６７ではなく、ウエハー下
部側面保持部材６１の後方の上面に設けてもよい。ま
た、ウエハー側面保持部材６７には、待機ウエハー保持
ボルト７１が設けられている。
は、後方に、図６、図７および図８に示すように、ウエ
ハー後方上部移動防止部を有することが好ましい。この
実施例では、ウエハー側面保持部材６７の後方の上面
に、金属板により形成されたウエハー後方上部移動防止
部材６２が設けられている。ウエハー後方上部移動防止
部材６３は、図８に示すように、その側面全体が、ウエ
ハー方向に突出しており、待機ウエハーの上部を被包す
るとともに、ウエハーの誘導部を形成している。さら
に、前方に突出する端部６２ａが、ウエハー６の後方の
上部に位置するように構成されている。これにより、ウ
エハー６が、切断された２本の可撓性チューブにより、
両側面より押された状態のときにウエハーを下方に移動
させても、ウエハーの後方部での移動も防止できるの
で、切断手段の動きと相違するウエハー移動を確実に防
止することができる。ウエハー後方上部移動防止部材６
２は、ウエハー側面保持部材６７ではなく、ウエハー下
部側面保持部材６１の後方の上面に設けてもよい。ま
た、ウエハー側面保持部材６７には、待機ウエハー保持
ボルト７１が設けられている。
【００１３】そして、図７、図８および図９に示すよう
に、温度検出手段保持部８３は、ウエハー保持部８１の
右側面に固定されており、ウエハー加熱用の電気接続端
子９、ウエハーの温度検知のための温度検知手段７、温
度検知手段保持部材６４を有している。温度検知手段７
としては、熱電対または測温抵抗体であることが好まし
い。より好ましくは、シース形熱電対または測温抵抗体
であるり、特に、シース形熱電対が好ましい。
に、温度検出手段保持部８３は、ウエハー保持部８１の
右側面に固定されており、ウエハー加熱用の電気接続端
子９、ウエハーの温度検知のための温度検知手段７、温
度検知手段保持部材６４を有している。温度検知手段７
としては、熱電対または測温抵抗体であることが好まし
い。より好ましくは、シース形熱電対または測温抵抗体
であるり、特に、シース形熱電対が好ましい。
【００１４】そして、図７に示すように、ウエハー保持
部８１の下部部材６０の固定部６０ａには、温度検知手
段保持部材６４の端部および電気接続端子９の下部が固
定されており、電気接続端子９より伸びる２つの端子９
ａ，９ａは、ウエハー６に接触し、ウエハーに加熱電流
を供給する。そして、電気接続端子９の後部には、コネ
クター６６が接続されている。また、温度検知手段７
は、接続部７ａにてコードと接続されている。そして、
温度検知手段保持部材６４は、図８に示すように、屈曲
しており、下部部材６０の固定部６０ａにて固定された
状態にて、温度検知手段７が設けられている先端部をウ
エハー６側に押圧している。これにより、温度検知手段
７をウエハー６に確実に密着させることができ、正確な
温度検知を行うことが可能となる。さらに、ウエハー側
面保持部材６７のウエハー前方側面保持部６７ａのウエ
ハー保持面を、ほぼ垂直状態に形成し、上記のように、
ウエハーの前方側面を押圧することにより、ウエハーを
垂直状態に保持することができ、よって、切断されるチ
ューブの切断面も垂直なものとなり、チューブの接合が
より確実なものとなる。特に、図８に示すように、温度
検知手段保持部材６４によるウエハーの押圧が、ウエハ
ーの上部となるように行うことが好ましい。このよう
に、上部にて押圧することにより、より確実にウエハー
を垂直状態に保持することができる。さらに、この無菌
的接合装置では、図９、図１０および図１１に示すよう
に温度検知手段７のウエハー６と接触する面に伝熱性平
板部材７６が固定されている。伝熱性平板部材７６とし
ては、伝熱性の高い金属例えば、銅、ステンレスなどに
より形成された金属板が好適である。そして、平板部材
７６の形状としては、円形、楕円形、多角形（例えば、
四角形、五角形）などいずれでよい。このように、温度
検知手段７のウエハー６と接触する面に伝熱性平板部材
７６を設けることにより、温度検出手段によるウエハー
を押圧する押圧面積を広くすることができ、これによ
り、ウエハーの垂直状態の保持がより確実となるととも
に、ウエハー表面と温度検出手段との熱的結合が密とな
り、より正確な温度信号を得ることができる。さらに、
温度検知手段７と温度検知手段保持部材６４との間に、
断熱部材７４が設けられている。この断熱部材７４を設
けることにより、温度検出手段７が外気により冷却され
ることが少なくなり、より確実に温度検知を行うことが
できる。断熱部材７４としては、耐熱性樹脂が使用さ
れ、ポリイミド系樹脂が好適である。
部８１の下部部材６０の固定部６０ａには、温度検知手
段保持部材６４の端部および電気接続端子９の下部が固
定されており、電気接続端子９より伸びる２つの端子９
ａ，９ａは、ウエハー６に接触し、ウエハーに加熱電流
を供給する。そして、電気接続端子９の後部には、コネ
クター６６が接続されている。また、温度検知手段７
は、接続部７ａにてコードと接続されている。そして、
温度検知手段保持部材６４は、図８に示すように、屈曲
しており、下部部材６０の固定部６０ａにて固定された
状態にて、温度検知手段７が設けられている先端部をウ
エハー６側に押圧している。これにより、温度検知手段
７をウエハー６に確実に密着させることができ、正確な
温度検知を行うことが可能となる。さらに、ウエハー側
面保持部材６７のウエハー前方側面保持部６７ａのウエ
ハー保持面を、ほぼ垂直状態に形成し、上記のように、
ウエハーの前方側面を押圧することにより、ウエハーを
垂直状態に保持することができ、よって、切断されるチ
ューブの切断面も垂直なものとなり、チューブの接合が
より確実なものとなる。特に、図８に示すように、温度
検知手段保持部材６４によるウエハーの押圧が、ウエハ
ーの上部となるように行うことが好ましい。このよう
に、上部にて押圧することにより、より確実にウエハー
を垂直状態に保持することができる。さらに、この無菌
的接合装置では、図９、図１０および図１１に示すよう
に温度検知手段７のウエハー６と接触する面に伝熱性平
板部材７６が固定されている。伝熱性平板部材７６とし
ては、伝熱性の高い金属例えば、銅、ステンレスなどに
より形成された金属板が好適である。そして、平板部材
７６の形状としては、円形、楕円形、多角形（例えば、
四角形、五角形）などいずれでよい。このように、温度
検知手段７のウエハー６と接触する面に伝熱性平板部材
７６を設けることにより、温度検出手段によるウエハー
を押圧する押圧面積を広くすることができ、これによ
り、ウエハーの垂直状態の保持がより確実となるととも
に、ウエハー表面と温度検出手段との熱的結合が密とな
り、より正確な温度信号を得ることができる。さらに、
温度検知手段７と温度検知手段保持部材６４との間に、
断熱部材７４が設けられている。この断熱部材７４を設
けることにより、温度検出手段７が外気により冷却され
ることが少なくなり、より確実に温度検知を行うことが
できる。断熱部材７４としては、耐熱性樹脂が使用さ
れ、ポリイミド系樹脂が好適である。
【００１５】そして、図８、図９および図１０に示すよ
うに、温度検知手段保持部材６４の上部はウエハー側に
突出しており、その端部が、ウエハー６の上部を越え、
ウエハー前方側面保持部６７ａに当接するあるいは図９
および図１０のようにウエハー前方側面保持部を若干越
えるように形成されており、この端部が、ウエハー前方
上部移動防止部６３を形成している。このようなウエハ
ー前方上部移動防止部６３を設けることにより、ウエハ
ー６が、切断された２本の可撓性チューブにより、両側
面より押された状態のときにウエハーを下方に（切断手
段を下方に）移動させても、ウエハー前方上部移動防止
部６３により、ウエハーの移動が防止されるので、可撓
性チューブ間の押圧力によりウエハーが保持されウエハ
ーがチューブ間に挟まれた状態のままとなることがな
く、切断手段とともにウエハー６を下方に移動すること
ができる。
うに、温度検知手段保持部材６４の上部はウエハー側に
突出しており、その端部が、ウエハー６の上部を越え、
ウエハー前方側面保持部６７ａに当接するあるいは図９
および図１０のようにウエハー前方側面保持部を若干越
えるように形成されており、この端部が、ウエハー前方
上部移動防止部６３を形成している。このようなウエハ
ー前方上部移動防止部６３を設けることにより、ウエハ
ー６が、切断された２本の可撓性チューブにより、両側
面より押された状態のときにウエハーを下方に（切断手
段を下方に）移動させても、ウエハー前方上部移動防止
部６３により、ウエハーの移動が防止されるので、可撓
性チューブ間の押圧力によりウエハーが保持されウエハ
ーがチューブ間に挟まれた状態のままとなることがな
く、切断手段とともにウエハー６を下方に移動すること
ができる。
【００１６】さらに、図９，図１０に示すように、温度
検知手段保持部材６４の先端部が形成するウエハー前方
上部移動防止部６３は、ウエハー６の上部を越え若干ウ
エハー前方側面保持部６７ａにかかる程度であり、あま
りウエハー前方側面保持部６７ａ側に突出していないこ
とが好ましい。ウエハー６を交換する際、図４に示すウ
エハー交換レバー２２を引くと、レバー先端部２２ａ
は、前方に進行し、図１２に示すように、温度検知手段
保持部材６４とウエハー下部側面保持部材６１との間に
侵入する。これにより、温度検知手段保持部材６４によ
りウエハーの押圧が解除され、温度検知手段保持部材６
４はウエハー６より離間する。そして、ウエハー交換レ
バーにより押された待機ウエハーにより使用済ウエハー
も押され、図２および図４に示す誘導部材２６を通り、
前方に傾斜しながら、収納箱２９内に落下する。上述の
ようにウエハー前方上部移動防止部６３を形成すること
により、ウエハー交換する際には、ウエハー前方上部移
動防止部６３は、温度検知手段保持部材６４とともにウ
エハー６より離間するので、ウエハー６が前方に傾斜す
るときその後部が引っ掛かることがなく、確実に収納箱
２９内に落下させることができる。
検知手段保持部材６４の先端部が形成するウエハー前方
上部移動防止部６３は、ウエハー６の上部を越え若干ウ
エハー前方側面保持部６７ａにかかる程度であり、あま
りウエハー前方側面保持部６７ａ側に突出していないこ
とが好ましい。ウエハー６を交換する際、図４に示すウ
エハー交換レバー２２を引くと、レバー先端部２２ａ
は、前方に進行し、図１２に示すように、温度検知手段
保持部材６４とウエハー下部側面保持部材６１との間に
侵入する。これにより、温度検知手段保持部材６４によ
りウエハーの押圧が解除され、温度検知手段保持部材６
４はウエハー６より離間する。そして、ウエハー交換レ
バーにより押された待機ウエハーにより使用済ウエハー
も押され、図２および図４に示す誘導部材２６を通り、
前方に傾斜しながら、収納箱２９内に落下する。上述の
ようにウエハー前方上部移動防止部６３を形成すること
により、ウエハー交換する際には、ウエハー前方上部移
動防止部６３は、温度検知手段保持部材６４とともにウ
エハー６より離間するので、ウエハー６が前方に傾斜す
るときその後部が引っ掛かることがなく、確実に収納箱
２９内に落下させることができる。
【００１７】次に、図５に示すウエハー加熱制御手段に
ついて説明する。ウエハー６としては、向かい合うよう
に折り曲げられた金属板と、この金属板の内面に形成さ
れた絶縁層と、この絶縁層内に上記の金属板と接触しな
いように形成された抵抗体と、この抵抗体の両端部に設
けられた通電用端子とを有するものが好適に使用され
る。そして、抵抗体は、通電により発熱するため、抵抗
体の発熱は、金属板に伝導されウエハー全体が通電によ
り発熱する。そして、抵抗体は、通電による発熱によ
り、抵抗値が変化する。よって、定電圧源を単に使用
し、ウエハーへの電力供給を調整するだけでは、十分な
ウエハーの温度制御ができない。そこで、この実施例の
無菌的接合装置１では、ウエハー加熱制御手段を有して
いる。
ついて説明する。ウエハー６としては、向かい合うよう
に折り曲げられた金属板と、この金属板の内面に形成さ
れた絶縁層と、この絶縁層内に上記の金属板と接触しな
いように形成された抵抗体と、この抵抗体の両端部に設
けられた通電用端子とを有するものが好適に使用され
る。そして、抵抗体は、通電により発熱するため、抵抗
体の発熱は、金属板に伝導されウエハー全体が通電によ
り発熱する。そして、抵抗体は、通電による発熱によ
り、抵抗値が変化する。よって、定電圧源を単に使用
し、ウエハーへの電力供給を調整するだけでは、十分な
ウエハーの温度制御ができない。そこで、この実施例の
無菌的接合装置１では、ウエハー加熱制御手段を有して
いる。
【００１８】ウエハー加熱制御手段４４は、図５に示す
ように、ウエハー加熱制御回路５５および補正ウエハー
温度算出回路５１を有しており、さらに、図５に示すよ
うにウエハー短絡保護回路６５を有することが好まし
い。ウエハー加熱制御回路５５は、温度検知手段７から
のの出力に基づいて、算出されるパルス幅変調信号出力
部５９を有し、パルス幅変調信号により定電圧源４３を
制御するものである。具体的には、ウエハー温度検知手
段７の出力に基づいて、補正ウエハー温度を算出する補
正ウエハー温度算出部５６と、算出部により算出された
補正温度とウエハーの目的加熱温度との偏差信号を出力
する偏差信号出力部５７とを有し、パルス幅変調信号出
力部５９は、偏差信号に基づいてパルス幅変調信号を出
力するものである。温度検知手段７としては、熱電対ま
たは測温抵抗体であることが好ましい。より好ましく
は、シース形熱電対または測温抵抗体であり、特に、シ
ース形熱電対が好ましい。
ように、ウエハー加熱制御回路５５および補正ウエハー
温度算出回路５１を有しており、さらに、図５に示すよ
うにウエハー短絡保護回路６５を有することが好まし
い。ウエハー加熱制御回路５５は、温度検知手段７から
のの出力に基づいて、算出されるパルス幅変調信号出力
部５９を有し、パルス幅変調信号により定電圧源４３を
制御するものである。具体的には、ウエハー温度検知手
段７の出力に基づいて、補正ウエハー温度を算出する補
正ウエハー温度算出部５６と、算出部により算出された
補正温度とウエハーの目的加熱温度との偏差信号を出力
する偏差信号出力部５７とを有し、パルス幅変調信号出
力部５９は、偏差信号に基づいてパルス幅変調信号を出
力するものである。温度検知手段７としては、熱電対ま
たは測温抵抗体であることが好ましい。より好ましく
は、シース形熱電対または測温抵抗体であり、特に、シ
ース形熱電対が好ましい。
【００１９】図５を用いて、加熱制御手段４４をより具
体的に説明すると、温度検知手段７である熱電対からの
温度検知信号ａが、補正ウエハー温度算出部５６である
ＰＩＤ補正器１（比例・微分・積分補正器１）に入力さ
れ、補正された補正温度信号ｂが出力される。このＰＩ
Ｄ補正器５６では、例えば、式１ ｂ＝１／Ｋ・ａ・（１＋Ｋ１・Ｔ・ｄａ／ｄｔ）・・・（１） により、補正値を算出する。Ｋは、ウエハーと熱電対と
の結合係数であり、Ｋ１は、切断される可撓性チューブ
に起因する補正係数であり、Ｔは、熱電対の熱時定数で
ある。このような補正を行う目的は、ウエハーと熱電対
との間での熱伝導損失に基づく補正（Ｋ）を行うこと、
熱電対の熱時定数（Ｔ）を考慮した補正を行うことにあ
る。そして、式１に示すように、補正温度信号ｂは、１
／Ｋは定数であるので、実測されたウエハー温度信号ａ
より、ウエハー温度が上昇している間は、Ｋ１・Ｔ・ｄ
ａ／ｄｔ分だけ、高く算出される。熱電対が検知する温
度は、熱電対の内部温度であり、ウエハーの表面温度に
対して遅れを持っている。しかし、上記の補正を行うこ
とにより、熱電対の遅れを一次遅れに近似して時定数Ｔ
とし、補正関数としては、逆に時定数Ｔの二次進み演算
を行うので、ウエハー表面温度を時間遅れなく正確に算
出することができる。
体的に説明すると、温度検知手段７である熱電対からの
温度検知信号ａが、補正ウエハー温度算出部５６である
ＰＩＤ補正器１（比例・微分・積分補正器１）に入力さ
れ、補正された補正温度信号ｂが出力される。このＰＩ
Ｄ補正器５６では、例えば、式１ ｂ＝１／Ｋ・ａ・（１＋Ｋ１・Ｔ・ｄａ／ｄｔ）・・・（１） により、補正値を算出する。Ｋは、ウエハーと熱電対と
の結合係数であり、Ｋ１は、切断される可撓性チューブ
に起因する補正係数であり、Ｔは、熱電対の熱時定数で
ある。このような補正を行う目的は、ウエハーと熱電対
との間での熱伝導損失に基づく補正（Ｋ）を行うこと、
熱電対の熱時定数（Ｔ）を考慮した補正を行うことにあ
る。そして、式１に示すように、補正温度信号ｂは、１
／Ｋは定数であるので、実測されたウエハー温度信号ａ
より、ウエハー温度が上昇している間は、Ｋ１・Ｔ・ｄ
ａ／ｄｔ分だけ、高く算出される。熱電対が検知する温
度は、熱電対の内部温度であり、ウエハーの表面温度に
対して遅れを持っている。しかし、上記の補正を行うこ
とにより、熱電対の遅れを一次遅れに近似して時定数Ｔ
とし、補正関数としては、逆に時定数Ｔの二次進み演算
を行うので、ウエハー表面温度を時間遅れなく正確に算
出することができる。
【００２０】また、式１に示すような補正を行うことに
より、ウエハー温度下降時にも、正確なウエハー表面温
度を時間遅れなく正確に算出することができる。そし
て、サンプリングタイム（△ｔ）を考慮して、式１を書
き直すと、式２となる。 ｂ（ｔ＋△ｔ）＝１／Ｋ・ａ（ｔ＋△ｔ）・｛１＋Ｋ１・Ｔ／△ｔ・［ａ（ｔ＋ △ｔ）−ａ（ｔ）］｝・・・（２） このようにして、算出される補正温度信号ｂは、目標と
するウエハー温度信号ｃと比較され、偏差信号出力部５
７より偏差信号ｄが出力される。この偏差信号ｄは、制
御系の応答性を高めるために適当な伝達関数に設計され
たＰＩＤ補正器２に入力され、補正偏差信号ｅとして、
出力される。この補正偏差信号ｅは、ＰＷＭ（パルス幅
変調）信号作成回路５９に入力される。ＰＷＭ信号作成
回路５９は、上記の補正偏差信号ｅと搬送波発振回路６
０によって作成される所定周波数に同期し、補正偏差信
号ｅに比例したパルス幅の信号（ＰＷＭ変調したパルス
列信号）ｆを出力する。このパルス列信号ｆは、ゲート
回路６１を通り、ドライブ回路６２に流入する。ドライ
ブ回路６２は、半導体スイッチング素子であるトランジ
スタ、サイリスタなどにより構成されており、入力され
たパルス列信号ｇは、スイッチング、タイミング信号と
して作用し、パルス列信号ｇがＨの状態のときのみ、定
電圧源とウエハーが接続される。ドライブ回路６２とウ
エハー６との接続は、接続端子９により行われてる。定
電圧源４３とウエハー６は、パルス列信号ｇに基づき断
続的に接続され、ウエハーは、目的とするウエハー温度
に制御される。
より、ウエハー温度下降時にも、正確なウエハー表面温
度を時間遅れなく正確に算出することができる。そし
て、サンプリングタイム（△ｔ）を考慮して、式１を書
き直すと、式２となる。 ｂ（ｔ＋△ｔ）＝１／Ｋ・ａ（ｔ＋△ｔ）・｛１＋Ｋ１・Ｔ／△ｔ・［ａ（ｔ＋ △ｔ）−ａ（ｔ）］｝・・・（２） このようにして、算出される補正温度信号ｂは、目標と
するウエハー温度信号ｃと比較され、偏差信号出力部５
７より偏差信号ｄが出力される。この偏差信号ｄは、制
御系の応答性を高めるために適当な伝達関数に設計され
たＰＩＤ補正器２に入力され、補正偏差信号ｅとして、
出力される。この補正偏差信号ｅは、ＰＷＭ（パルス幅
変調）信号作成回路５９に入力される。ＰＷＭ信号作成
回路５９は、上記の補正偏差信号ｅと搬送波発振回路６
０によって作成される所定周波数に同期し、補正偏差信
号ｅに比例したパルス幅の信号（ＰＷＭ変調したパルス
列信号）ｆを出力する。このパルス列信号ｆは、ゲート
回路６１を通り、ドライブ回路６２に流入する。ドライ
ブ回路６２は、半導体スイッチング素子であるトランジ
スタ、サイリスタなどにより構成されており、入力され
たパルス列信号ｇは、スイッチング、タイミング信号と
して作用し、パルス列信号ｇがＨの状態のときのみ、定
電圧源とウエハーが接続される。ドライブ回路６２とウ
エハー６との接続は、接続端子９により行われてる。定
電圧源４３とウエハー６は、パルス列信号ｇに基づき断
続的に接続され、ウエハーは、目的とするウエハー温度
に制御される。
【００２１】次に、ウエハー短絡保護回路について、図
５を用いて説明する。通常状態においては、コンパレー
タ６７からの信号ｊが、ラッチ回路６８に入力されてい
ないため、ラッチ回路６８は、ゲート回路６１（アンド
回路）に対して、常にＨの信号を出力している。このた
め、ゲート回路は、ＰＷＭ信号ｆのＯＮ／ＯＦＦ（Ｈ／
Ｌ）に従って、信号ｇをドライブ回路６２に出力する。
そして、図５に示すように、ウエハー６には、シャント
抵抗６６が、電気的に接続されており、シャント抵抗６
６の電圧Ｖは、コンパレータ６７により、設定電圧Ｖｓ
ｅｔと比較されている。通常状態では、シャント抵抗間
の電圧Ｖは、設定電圧Ｖｓｅｔより低いため、コンパレ
ータ６７から信号ｊは出力されない。しかし、ウエハー
６が短絡すると、シャント抵抗６６に規定以上の電流が
流れるため、シャント抵抗６６の電圧Ｖが上昇し、設定
電圧Ｖｓｅｔより大きくなると、コンパレータ６７から
信号ｊが、ラッチ回路６８に出力される。ラッチ回路６
８は、一度信号ｊが入力されるとその状態を保持する機
能を有している。このため、一度信号ｊが入力される
と、ゲート回路６１（アンド回路）に対して、常にＬの
信号を出力する。このため、ゲート回路６１からは、Ｐ
ＷＭ信号ｆに基づく信号ｇが、ドライブ回路６２に出力
されなくなり、回路が保護される。そして、短絡事故を
起こしたウエハーを交換した後、リセットスイッチ６９
を押すと、ラッチ回路６８は、ゲート回路６１（アンド
回路）に対して、Ｈの信号を出力する。ラッチ回路６８
は、一度リセット信号ｋが入力されるとその状態を保持
し、通常状態に復帰する。
５を用いて説明する。通常状態においては、コンパレー
タ６７からの信号ｊが、ラッチ回路６８に入力されてい
ないため、ラッチ回路６８は、ゲート回路６１（アンド
回路）に対して、常にＨの信号を出力している。このた
め、ゲート回路は、ＰＷＭ信号ｆのＯＮ／ＯＦＦ（Ｈ／
Ｌ）に従って、信号ｇをドライブ回路６２に出力する。
そして、図５に示すように、ウエハー６には、シャント
抵抗６６が、電気的に接続されており、シャント抵抗６
６の電圧Ｖは、コンパレータ６７により、設定電圧Ｖｓ
ｅｔと比較されている。通常状態では、シャント抵抗間
の電圧Ｖは、設定電圧Ｖｓｅｔより低いため、コンパレ
ータ６７から信号ｊは出力されない。しかし、ウエハー
６が短絡すると、シャント抵抗６６に規定以上の電流が
流れるため、シャント抵抗６６の電圧Ｖが上昇し、設定
電圧Ｖｓｅｔより大きくなると、コンパレータ６７から
信号ｊが、ラッチ回路６８に出力される。ラッチ回路６
８は、一度信号ｊが入力されるとその状態を保持する機
能を有している。このため、一度信号ｊが入力される
と、ゲート回路６１（アンド回路）に対して、常にＬの
信号を出力する。このため、ゲート回路６１からは、Ｐ
ＷＭ信号ｆに基づく信号ｇが、ドライブ回路６２に出力
されなくなり、回路が保護される。そして、短絡事故を
起こしたウエハーを交換した後、リセットスイッチ６９
を押すと、ラッチ回路６８は、ゲート回路６１（アンド
回路）に対して、Ｈの信号を出力する。ラッチ回路６８
は、一度リセット信号ｋが入力されるとその状態を保持
し、通常状態に復帰する。
【００２２】次に、第１および第２クランプ３，２につ
いて説明する。第１および第２クランプ３，２は、図
１、図４、図１４および図１７に示すように構成されて
いる。具体的には、第１クランプ３は、図１７に示すよ
うに、ベース３ｂと、このベース３ｂに回転可能に取り
付けられたカバー３ａと、ベース３ｂが固定されたクラ
ンプ固定台３ｃを有している。そして、このクランプ固
定台３ｃは、リニアテーブルに固定されている。リニア
テーブルは、クランプ固定台３ｃの下面に固定された移
動台３ｃと、移動台３ｃの下部に設けられたレール部材
３ｎにより構成されている。そして、このリニアテーブ
ルにより、第１クランプ３は、接合するチューブ４８，
４９の軸に対して垂直方向、言い換えれば、切断された
可撓性チューブの接合される端部相互が向かい合うよ
う、歪みがなく移動する。よって、この実施例の無菌的
接合装置１では、第１クランプ移動機構は、上記のリニ
アテーブル、モータ、ギア３０、ギア３１、シャフト３
２、駆動用アーム１８、カム１９により構成されてい
る。そして、この接合装置１では、図１および図４に示
すように、第１クランプ固定台３ｃの後方と、接合装置
１のフレームとを接続するバネ部材２７が設けられてお
り、第１クランプ３は、常時後方に引っ張られた状態と
なっており、第１クランプ３（正確には、第１クランプ
固定台３ｃ）のがたつきを少ないものとしている。ま
た、図１、図４に示すように、第１クランプ３のチュー
ブ装着位置（言い換えれば、第１クランプが最も前に出
た状態の位置）にて、第１クランプ２のがたつきを防止
するための防止部材１１が、フレーム９の側面に固定さ
れている。よって、第１クランプ３は、チューブ装着位
置では、バネ部材２７により後方に引っ張られた状態、
つまり、後方側にがたつきがない状態であり、かつ前方
をがたつき防止部材により、それより前方に移動できな
いようになっている。よって、第１クランプ３は、チュ
ーブ装着位置では、がたつきがないように構成されてい
る。また、接合装置１には、図１および図４に示すよう
に、第１クランプ３（正確には、第１クランプ固定台３
ｃ）の後方の最大移動位置を規制する規制部材２５が設
けられている。
いて説明する。第１および第２クランプ３，２は、図
１、図４、図１４および図１７に示すように構成されて
いる。具体的には、第１クランプ３は、図１７に示すよ
うに、ベース３ｂと、このベース３ｂに回転可能に取り
付けられたカバー３ａと、ベース３ｂが固定されたクラ
ンプ固定台３ｃを有している。そして、このクランプ固
定台３ｃは、リニアテーブルに固定されている。リニア
テーブルは、クランプ固定台３ｃの下面に固定された移
動台３ｃと、移動台３ｃの下部に設けられたレール部材
３ｎにより構成されている。そして、このリニアテーブ
ルにより、第１クランプ３は、接合するチューブ４８，
４９の軸に対して垂直方向、言い換えれば、切断された
可撓性チューブの接合される端部相互が向かい合うよ
う、歪みがなく移動する。よって、この実施例の無菌的
接合装置１では、第１クランプ移動機構は、上記のリニ
アテーブル、モータ、ギア３０、ギア３１、シャフト３
２、駆動用アーム１８、カム１９により構成されてい
る。そして、この接合装置１では、図１および図４に示
すように、第１クランプ固定台３ｃの後方と、接合装置
１のフレームとを接続するバネ部材２７が設けられてお
り、第１クランプ３は、常時後方に引っ張られた状態と
なっており、第１クランプ３（正確には、第１クランプ
固定台３ｃ）のがたつきを少ないものとしている。ま
た、図１、図４に示すように、第１クランプ３のチュー
ブ装着位置（言い換えれば、第１クランプが最も前に出
た状態の位置）にて、第１クランプ２のがたつきを防止
するための防止部材１１が、フレーム９の側面に固定さ
れている。よって、第１クランプ３は、チューブ装着位
置では、バネ部材２７により後方に引っ張られた状態、
つまり、後方側にがたつきがない状態であり、かつ前方
をがたつき防止部材により、それより前方に移動できな
いようになっている。よって、第１クランプ３は、チュ
ーブ装着位置では、がたつきがないように構成されてい
る。また、接合装置１には、図１および図４に示すよう
に、第１クランプ３（正確には、第１クランプ固定台３
ｃ）の後方の最大移動位置を規制する規制部材２５が設
けられている。
【００２３】第２クランプ２は、図４、図１４および図
１７に示すように、ベース２ｂと、このベース２ｂに回
転可能に取り付けられたカバー２ａと、ベース２ｂが固
定されたクランプ固定台２ｃを有している。そして、こ
のクランプ固定台２ｃは、リニアテーブルに固定されて
いる。リニアテーブルは、クランプ固定台２ｃの下面に
固定された移動台２ｃと、移動台２ｃの下部に設けられ
たレール部材２ｎにより構成されている。そして、この
リニアテーブルにより、第２クランプ２は、接合するチ
ューブ４８，４９の軸に対して平行な方向、言い換えれ
ば、第２クランプ２を第１クランプ３に対して、近接お
よび離間する方向にのみ、歪みがなく移動する。
１７に示すように、ベース２ｂと、このベース２ｂに回
転可能に取り付けられたカバー２ａと、ベース２ｂが固
定されたクランプ固定台２ｃを有している。そして、こ
のクランプ固定台２ｃは、リニアテーブルに固定されて
いる。リニアテーブルは、クランプ固定台２ｃの下面に
固定された移動台２ｃと、移動台２ｃの下部に設けられ
たレール部材２ｎにより構成されている。そして、この
リニアテーブルにより、第２クランプ２は、接合するチ
ューブ４８，４９の軸に対して平行な方向、言い換えれ
ば、第２クランプ２を第１クランプ３に対して、近接お
よび離間する方向にのみ、歪みがなく移動する。
【００２４】また、図４および図１４に示すように、接
合装置１のフレームとクランプ固定台２ｃとの間には、
押圧部材３３が設けられており、常時第２クランプ２
（正確には、第２クランプ固定台２ｃ）を第１クランプ
側に押している。押圧部材としては、バネ部材が好適に
使用される。そして、この押圧部材３３は、第１および
第２クランプ３，２によりを２本の可撓性チューブ４
８，４９を押し潰すようにして把持した時の、可撓性チ
ューブの反発力より押圧部材３３の押圧力が弱いものが
使用されており、可撓性チューブを把持したとき、第２
クランプ２が第１クランプ３より若干は離間する方向に
動くように構成されている。よって、この実施例の無菌
的接合装置１では、第２クランプ移動機構は、上記のリ
ニアテーブル、モータ、ギア３０、ギア３１、シャフト
３２、カム１７、押圧部材３３により構成されている。
合装置１のフレームとクランプ固定台２ｃとの間には、
押圧部材３３が設けられており、常時第２クランプ２
（正確には、第２クランプ固定台２ｃ）を第１クランプ
側に押している。押圧部材としては、バネ部材が好適に
使用される。そして、この押圧部材３３は、第１および
第２クランプ３，２によりを２本の可撓性チューブ４
８，４９を押し潰すようにして把持した時の、可撓性チ
ューブの反発力より押圧部材３３の押圧力が弱いものが
使用されており、可撓性チューブを把持したとき、第２
クランプ２が第１クランプ３より若干は離間する方向に
動くように構成されている。よって、この実施例の無菌
的接合装置１では、第２クランプ移動機構は、上記のリ
ニアテーブル、モータ、ギア３０、ギア３１、シャフト
３２、カム１７、押圧部材３３により構成されている。
【００２５】そして、第１クランプ３および第２クラン
プ２は、図１７に示すように、保持するチューブを斜め
に押し潰した状態で保持するように構成されている。ク
ランプ３，２は、ベース３ｂ，２ｂに旋回可能に取り付
けられたカバー３ａ，２ａを有しており、ベース３ｂ，
２ｂには、２つのチューブを裁置するために平行に設け
られた２つのスロット３ｆ，３ｅおよび２ｆ，２ｅを有
している。そして、スロット３ｆ，３ｅとスロット２
ｆ，２ｅが向かい合う部分のベース３ｂ，２ｂの端面に
は、鋸刃状の閉塞部材３ｈ，２ｈが設けられている。そ
して、カバー３ａ，２ａには、上記のベース３ｂ，２ｂ
の閉塞部材３ｈ，２ｈに対応する形状の鋸刃状の閉塞部
材３ｇ，２ｇが設けられている。カバー３ａ，２ａの内
表面は平坦となっている。そして、カバー３ａ，２ａに
は、それぞれ旋回カムを有しており、この旋回カムは、
カバー３ａ，２ａを閉じると、ベース３ｂ，２ｂのロー
ラと係合する。そして、２本のチューブは、カバー３
ａ，２ａが閉じられたとき、ベース３ｂの閉塞部材３ｈ
とカバー３ａの閉塞部材３ｇとの間、およびベース２ｂ
の閉塞部材２ｈとカバー２ａの閉塞部材２ｇとの間によ
り、斜めに押し潰され、閉塞した状態で保持される。ま
た、第１クランプ３は、第２クランプ方向に突出する突
出部３ｉを有し、第２クランプ２が、この突出部３ｉを
収納する凹部２ｉを有しているので、第２クランプ２
は、第１クランプ１を閉塞しないと、閉塞できないよう
に構成されている。
プ２は、図１７に示すように、保持するチューブを斜め
に押し潰した状態で保持するように構成されている。ク
ランプ３，２は、ベース３ｂ，２ｂに旋回可能に取り付
けられたカバー３ａ，２ａを有しており、ベース３ｂ，
２ｂには、２つのチューブを裁置するために平行に設け
られた２つのスロット３ｆ，３ｅおよび２ｆ，２ｅを有
している。そして、スロット３ｆ，３ｅとスロット２
ｆ，２ｅが向かい合う部分のベース３ｂ，２ｂの端面に
は、鋸刃状の閉塞部材３ｈ，２ｈが設けられている。そ
して、カバー３ａ，２ａには、上記のベース３ｂ，２ｂ
の閉塞部材３ｈ，２ｈに対応する形状の鋸刃状の閉塞部
材３ｇ，２ｇが設けられている。カバー３ａ，２ａの内
表面は平坦となっている。そして、カバー３ａ，２ａに
は、それぞれ旋回カムを有しており、この旋回カムは、
カバー３ａ，２ａを閉じると、ベース３ｂ，２ｂのロー
ラと係合する。そして、２本のチューブは、カバー３
ａ，２ａが閉じられたとき、ベース３ｂの閉塞部材３ｈ
とカバー３ａの閉塞部材３ｇとの間、およびベース２ｂ
の閉塞部材２ｈとカバー２ａの閉塞部材２ｇとの間によ
り、斜めに押し潰され、閉塞した状態で保持される。ま
た、第１クランプ３は、第２クランプ方向に突出する突
出部３ｉを有し、第２クランプ２が、この突出部３ｉを
収納する凹部２ｉを有しているので、第２クランプ２
は、第１クランプ１を閉塞しないと、閉塞できないよう
に構成されている。
【００２６】そして、無菌的接合装置１は、図１に示す
ように、モータにより回転するギア３０と、このギア３
０の回転により回転するギア３１を有しており、ギア３
１のシャフト３２には、図１４に示すように、２つのカ
ム１９，１７が固定されており、カム１９，１７は、ギ
ア３１の回転と共に回転する。そして、カム１９の右側
面には、図１５に示すような形状の第１クランプ駆動用
のカム溝１９ａが設けられている。そして、カム１９の
カム溝１９ａ内を摺動するフォロア１８ａを中央部に有
する第１クランプ移動用アーム１８が設けられている。
また、アーム１８の下端は、支点１８ｂによりフレーム
９に回動可能に支持されており、アーム１８の上端は、
第１クランプ３のクランプ固定台３ｃに設けられた支点
１８ｃによりに回動可能に支持されている。よって、第
１クランプ３は、リニアテーブルのレール部材３ｎに沿
って、図１５に示すように、カム１９の回転により、カ
ム溝１９ａの形状に従い矢印に示すように、２本のチュ
ーブの軸に対して水平状態にて直交方向後方に移動す
る。
ように、モータにより回転するギア３０と、このギア３
０の回転により回転するギア３１を有しており、ギア３
１のシャフト３２には、図１４に示すように、２つのカ
ム１９，１７が固定されており、カム１９，１７は、ギ
ア３１の回転と共に回転する。そして、カム１９の右側
面には、図１５に示すような形状の第１クランプ駆動用
のカム溝１９ａが設けられている。そして、カム１９の
カム溝１９ａ内を摺動するフォロア１８ａを中央部に有
する第１クランプ移動用アーム１８が設けられている。
また、アーム１８の下端は、支点１８ｂによりフレーム
９に回動可能に支持されており、アーム１８の上端は、
第１クランプ３のクランプ固定台３ｃに設けられた支点
１８ｃによりに回動可能に支持されている。よって、第
１クランプ３は、リニアテーブルのレール部材３ｎに沿
って、図１５に示すように、カム１９の回転により、カ
ム溝１９ａの形状に従い矢印に示すように、２本のチュ
ーブの軸に対して水平状態にて直交方向後方に移動す
る。
【００２７】切断手段５は、図１３に示し、上述のよう
に、ウエハーを交換可能に保持するウエハー保持部５ａ
と、ウエハー保持部５ａの下方に設けられたアーム部５
ｃと、アーム部５ｃの端部に設けられたフォロア５ｂ
と、ヒンジ部５ｄと、フレーム９への取付部５ｅを有し
ている。そして、ヒンジ部５ｄによりフレーム９に対し
て旋回可能となっている。アーム部５ｃの端部に設けら
れたフォロア５ｂは、図１３に示すように、カム１７の
カム溝１７ａ内を摺動し、カム溝の形状により、切断手
段５は上下動する。
に、ウエハーを交換可能に保持するウエハー保持部５ａ
と、ウエハー保持部５ａの下方に設けられたアーム部５
ｃと、アーム部５ｃの端部に設けられたフォロア５ｂ
と、ヒンジ部５ｄと、フレーム９への取付部５ｅを有し
ている。そして、ヒンジ部５ｄによりフレーム９に対し
て旋回可能となっている。アーム部５ｃの端部に設けら
れたフォロア５ｂは、図１３に示すように、カム１７の
カム溝１７ａ内を摺動し、カム溝の形状により、切断手
段５は上下動する。
【００２８】そして、カム１７は、図１３および図１６
に示すように、左側面に切断手段駆動用のカム溝１７ａ
を有している。そして、切断手段５のフォロア５ｂは、
カム１７のカム溝１７ａ内に位置しており、カム溝１７
ａ内をカム溝の形状に沿って摺動する。よって、切断手
段５は、図１６に示すように、カム１７の回転により、
カム溝１７ａの形状に従い上下に、言い換えれば、２本
のチューブの軸に対して、直交かつ垂直方向上下に移動
する。さらに、カム１７は、図１４に示すように、中央
部に第２クランプ２の駆動用のカム溝１７ｃを有してい
る。カム溝１７ｃは、左側面１７ｆおよび右側面１７ｅ
を有しており、左側面１７ｆおよび右側面１７ｅによ
り、第２クランプの位置を制御する。第２クランプ固定
台２ｃには下方にのびる突出部を有しており、その先端
にはフォロア２０が設けられている。このフォロア２０
は、第２クランプ２の駆動用のカム溝１７ｃ内を摺動す
る。そして、図１４に示すように、フォロア２０とカム
溝１７ｃの側面間には、若干の隙間ができるように形成
されている。そして、第２クランプ固定台２ｃは、バネ
部材３３により常時押されているため、通常状態では、
フォロア２０は、カム溝１７ｃの左側面１７ｆに当接す
るようになり、フォロア２０とカム溝１７ｃの右側面１
７ｅとの間に若干の隙間ができる。しかし、第１および
第２クランプ３，２により２本のチューブを保持する
と、上述のように、２つのクランプ３，２はそれぞれ、
２本のチューブを押し潰すように閉塞し保持するため、
チューブの閉塞に起因する反発力が生ずる。そして、バ
ネ部材３３は、上記チューブの閉塞に起因する反発力よ
り小さい力のものが用いられているため、クランプ３，
２がチューブを保持する状態では、図１４に示すよう
に、フォロア２０は、カム溝１７ｃの右側面１７ｅに当
接するようになり、フォロア２０とカム溝１７ｃの左側
面１７ｆとの間に若干の隙間ができる。しかし、上述の
切断手段５によりチューブが切断されと、チューブの閉
塞に起因する反発力が消失するため、通常状態に戻り、
フォロア２０は、カム溝１７ｃの左側面１７ｆに当接す
るようになり、フォロア２０とカム溝１７ｃの右側面１
７ｅとの間に若干の隙間ができる。このように、バネ部
材３３の作用およびチューブの反発力により、フォロア
２０が当接するカム溝の摺動面が経時的に変化するよう
に構成されている。
に示すように、左側面に切断手段駆動用のカム溝１７ａ
を有している。そして、切断手段５のフォロア５ｂは、
カム１７のカム溝１７ａ内に位置しており、カム溝１７
ａ内をカム溝の形状に沿って摺動する。よって、切断手
段５は、図１６に示すように、カム１７の回転により、
カム溝１７ａの形状に従い上下に、言い換えれば、２本
のチューブの軸に対して、直交かつ垂直方向上下に移動
する。さらに、カム１７は、図１４に示すように、中央
部に第２クランプ２の駆動用のカム溝１７ｃを有してい
る。カム溝１７ｃは、左側面１７ｆおよび右側面１７ｅ
を有しており、左側面１７ｆおよび右側面１７ｅによ
り、第２クランプの位置を制御する。第２クランプ固定
台２ｃには下方にのびる突出部を有しており、その先端
にはフォロア２０が設けられている。このフォロア２０
は、第２クランプ２の駆動用のカム溝１７ｃ内を摺動す
る。そして、図１４に示すように、フォロア２０とカム
溝１７ｃの側面間には、若干の隙間ができるように形成
されている。そして、第２クランプ固定台２ｃは、バネ
部材３３により常時押されているため、通常状態では、
フォロア２０は、カム溝１７ｃの左側面１７ｆに当接す
るようになり、フォロア２０とカム溝１７ｃの右側面１
７ｅとの間に若干の隙間ができる。しかし、第１および
第２クランプ３，２により２本のチューブを保持する
と、上述のように、２つのクランプ３，２はそれぞれ、
２本のチューブを押し潰すように閉塞し保持するため、
チューブの閉塞に起因する反発力が生ずる。そして、バ
ネ部材３３は、上記チューブの閉塞に起因する反発力よ
り小さい力のものが用いられているため、クランプ３，
２がチューブを保持する状態では、図１４に示すよう
に、フォロア２０は、カム溝１７ｃの右側面１７ｅに当
接するようになり、フォロア２０とカム溝１７ｃの左側
面１７ｆとの間に若干の隙間ができる。しかし、上述の
切断手段５によりチューブが切断されと、チューブの閉
塞に起因する反発力が消失するため、通常状態に戻り、
フォロア２０は、カム溝１７ｃの左側面１７ｆに当接す
るようになり、フォロア２０とカム溝１７ｃの右側面１
７ｅとの間に若干の隙間ができる。このように、バネ部
材３３の作用およびチューブの反発力により、フォロア
２０が当接するカム溝の摺動面が経時的に変化するよう
に構成されている。
【００２９】そして、図１４に示すように、左側面１７
ｆに凹部１７ｄが形成されている。この凹部１７ｄ部分
をフォロア２０が通過する時期は、切断手段によりチュ
ーブの切断後であるため、フォロア２０は、カム溝１７
の左側面１７ｆを沿って摺動している状態であり、よっ
て、フォロア２０は凹部１７部分に入る。このため、凹
部１７ｄの深さ分だけ、第２クランプ２が第１クランプ
３方向に移動することになる。これにより、チューブの
接合がより確実となる。そして、カム溝１７ｃの右側面
１７ｅにも凹部１７ｇが設けられている。この凹部１７
ｇは、クランプ３，２の内面の清掃のためのものであ
る。この凹部１７ｇを設けることにより、第２クランプ
２をバネ部材３３側に押すことにより、フォロア２０が
凹部１７ｇに当接するまで、第２クランプ２を第１クラ
ンプ３より離間する方向に移動することができ、これに
より、第１クランプ３と第２クランプとの間に隙間が形
成される。形成された間隙内に清掃部材、例えば、アル
コールなどのある程度切断されるチューブの形成材料を
溶解できる溶剤を含有した綿棒により清掃することが可
能となる。この凹部１７ｇは、図１４に示すように、左
側面１７ｆの凹部１７ｄ（第２クランプ２の幅寄せが行
われる部分）とほぼ向かい合う位置に設けられている。
第２クランプ固定台２ｃの下方にのびる突出部に設けら
れたフォロア２０が凹部１７ｄ部分に入っているとき
は、チューブ切断後、目的とするチューブ相互を接合し
た状態であり、この状態にて、第２クランプは停止す
る。また、第１クランプも既に停止しており、かつ、第
１クランプ３は、第２クランプとずれた位置にある。具
体的には、図１に示すように、第１クランプ３が、第２
クランプ２より後退しており、第１クランプ３は、第２
クランプとずれた位置にある。このため、この状態で
は、第２クランプ２の先端部の内面が若干露出してお
り、さらに、第１クランプの後端部の内面も若干露出し
ている。よって、露出した第２クランプ２の内面および
第１クランプ３は、その清掃が容易である。
ｆに凹部１７ｄが形成されている。この凹部１７ｄ部分
をフォロア２０が通過する時期は、切断手段によりチュ
ーブの切断後であるため、フォロア２０は、カム溝１７
の左側面１７ｆを沿って摺動している状態であり、よっ
て、フォロア２０は凹部１７部分に入る。このため、凹
部１７ｄの深さ分だけ、第２クランプ２が第１クランプ
３方向に移動することになる。これにより、チューブの
接合がより確実となる。そして、カム溝１７ｃの右側面
１７ｅにも凹部１７ｇが設けられている。この凹部１７
ｇは、クランプ３，２の内面の清掃のためのものであ
る。この凹部１７ｇを設けることにより、第２クランプ
２をバネ部材３３側に押すことにより、フォロア２０が
凹部１７ｇに当接するまで、第２クランプ２を第１クラ
ンプ３より離間する方向に移動することができ、これに
より、第１クランプ３と第２クランプとの間に隙間が形
成される。形成された間隙内に清掃部材、例えば、アル
コールなどのある程度切断されるチューブの形成材料を
溶解できる溶剤を含有した綿棒により清掃することが可
能となる。この凹部１７ｇは、図１４に示すように、左
側面１７ｆの凹部１７ｄ（第２クランプ２の幅寄せが行
われる部分）とほぼ向かい合う位置に設けられている。
第２クランプ固定台２ｃの下方にのびる突出部に設けら
れたフォロア２０が凹部１７ｄ部分に入っているとき
は、チューブ切断後、目的とするチューブ相互を接合し
た状態であり、この状態にて、第２クランプは停止す
る。また、第１クランプも既に停止しており、かつ、第
１クランプ３は、第２クランプとずれた位置にある。具
体的には、図１に示すように、第１クランプ３が、第２
クランプ２より後退しており、第１クランプ３は、第２
クランプとずれた位置にある。このため、この状態で
は、第２クランプ２の先端部の内面が若干露出してお
り、さらに、第１クランプの後端部の内面も若干露出し
ている。よって、露出した第２クランプ２の内面および
第１クランプ３は、その清掃が容易である。
【００３０】次に、本発明の無菌的接合装置１の作用を
図面を用いて説明する。図１８は、切断手段、第１クラ
ンプ、第２クランプの動作を示すタイミングチャートで
ある。図１９，図２０および図２１は、無菌的接合装置
の作用を説明するためのフローチャートである。図２
２、図２３、図２４および図２５は、無菌的接合装置の
作用を説明するための説明図である。この接合装置１で
は、接合作業終了時の第１クランプ３は、第２クランプ
２とずれた位置となっており、図１８のタイミングチャ
ートの停止位置にある。図１８のタイミングチャートの
横軸の角度は、原点（第１クランプと第２クランプの位
置があっている状態）を０°とし、その後のギア３１の
シャフト３２の回転角度、言い換えれば、カム１７およ
びカム１９の回転角度のときの、切断手段（ウエハ
ー）、第１クランプ３、第２クランプ２の動きを示すも
のである。
図面を用いて説明する。図１８は、切断手段、第１クラ
ンプ、第２クランプの動作を示すタイミングチャートで
ある。図１９，図２０および図２１は、無菌的接合装置
の作用を説明するためのフローチャートである。図２
２、図２３、図２４および図２５は、無菌的接合装置の
作用を説明するための説明図である。この接合装置１で
は、接合作業終了時の第１クランプ３は、第２クランプ
２とずれた位置となっており、図１８のタイミングチャ
ートの停止位置にある。図１８のタイミングチャートの
横軸の角度は、原点（第１クランプと第２クランプの位
置があっている状態）を０°とし、その後のギア３１の
シャフト３２の回転角度、言い換えれば、カム１７およ
びカム１９の回転角度のときの、切断手段（ウエハ
ー）、第１クランプ３、第２クランプ２の動きを示すも
のである。
【００３１】まず、最初にフローチャートの図１９に示
すように、図３のパネル５０に設けられている電源スイ
ッチ５１を押す。これにより、図３に示す制御器４０を
構成するＣＰＵにより、接合装置１は、異常が無いか
（具体的には、内部コネクタの抜けがないか、熱電対の
断線がないか、内部定電圧源に不良がないか）を判断
し、以上がある場合は、ブザーが鳴動する。続いて、図
３のパネル５０に設けられているクランプリセットスイ
ッチ５３を押す。ＣＰＵにより、第１および第２クラン
プが開いているか否か、第１および第２クランプが原点
にないか否か、ウエハー交換レバーが原点にあるか否か
を判断する。なお、この実施例の無菌的接合装置１で使
用するクランプは、上述のように、第１クランプ３が、
第２クランプ方向に突出する突出部３ｉを有し、第２ク
ランプ２が、この突出部３ｉを収納する凹部２ｉを有し
ているので、第２クランプ２は、第１クランプ１を閉塞
しないと、閉塞できないように構成されている。このた
め、第１および第２クランプが開いていることは、第２
クランプが閉塞されたときに、接触するレバー１６と、
このレバー１６によりＯＮ／ＯＦＦされるマイクロスイ
ッチ１３により検知される。具体的には、マイクロスイ
ッチ１３は、第２クランプが解放状態のときは、ＯＦＦ
となており、第２クランプ２が閉塞されたときにレバー
１６と接触し、レバー１６が動きマイクロスイッチ１３
をＯＮ状態とする。このマイクロスイッチ１３のＯＮ／
ＯＦＦ信号は、制御器４０に入力される。第１および第
２クランプが原点にないことは、それぞれのカムの円周
上に設けられた溝をマイクロスイッチＳＷ５（７３），
ＳＷ６（７４）が検知することにより判断される。ウエ
ハー交換レバー２２が原点にあることは、マイクロスイ
ッチ１４により検知される。レバー２２が、原点にある
場合は、マイクロスイッチ１４がＯＮとなり、原点にな
い場合は、ＯＦＦとなり、このマイクロスイッチ１４の
ＯＮ／ＯＦＦ信号は、制御器４０に入力される。
すように、図３のパネル５０に設けられている電源スイ
ッチ５１を押す。これにより、図３に示す制御器４０を
構成するＣＰＵにより、接合装置１は、異常が無いか
（具体的には、内部コネクタの抜けがないか、熱電対の
断線がないか、内部定電圧源に不良がないか）を判断
し、以上がある場合は、ブザーが鳴動する。続いて、図
３のパネル５０に設けられているクランプリセットスイ
ッチ５３を押す。ＣＰＵにより、第１および第２クラン
プが開いているか否か、第１および第２クランプが原点
にないか否か、ウエハー交換レバーが原点にあるか否か
を判断する。なお、この実施例の無菌的接合装置１で使
用するクランプは、上述のように、第１クランプ３が、
第２クランプ方向に突出する突出部３ｉを有し、第２ク
ランプ２が、この突出部３ｉを収納する凹部２ｉを有し
ているので、第２クランプ２は、第１クランプ１を閉塞
しないと、閉塞できないように構成されている。このた
め、第１および第２クランプが開いていることは、第２
クランプが閉塞されたときに、接触するレバー１６と、
このレバー１６によりＯＮ／ＯＦＦされるマイクロスイ
ッチ１３により検知される。具体的には、マイクロスイ
ッチ１３は、第２クランプが解放状態のときは、ＯＦＦ
となており、第２クランプ２が閉塞されたときにレバー
１６と接触し、レバー１６が動きマイクロスイッチ１３
をＯＮ状態とする。このマイクロスイッチ１３のＯＮ／
ＯＦＦ信号は、制御器４０に入力される。第１および第
２クランプが原点にないことは、それぞれのカムの円周
上に設けられた溝をマイクロスイッチＳＷ５（７３），
ＳＷ６（７４）が検知することにより判断される。ウエ
ハー交換レバー２２が原点にあることは、マイクロスイ
ッチ１４により検知される。レバー２２が、原点にある
場合は、マイクロスイッチ１４がＯＮとなり、原点にな
い場合は、ＯＦＦとなり、このマイクロスイッチ１４の
ＯＮ／ＯＦＦ信号は、制御器４０に入力される。
【００３２】そして、図１９に示すように、上述の４つ
の点すべてがＹＥＳの場合、モータを作動させ、第１お
よび第２クランプを原点に復帰させる。また、上述の４
つの点のうちいずれか１つでもＮｏの場合、ブサーが鳴
動し、異常ランプが点灯し、手動解除を行い、リセット
スイッチを押すことにより、異常ランプが消灯する。第
１および第２クランプが原点に到達した後、２本の可撓
性チューブ４８，４９を第１および第２クランプに装着
する。この状態での第１および第２クランプ３，２は、
図１７に示すように、両者とも開放した状態であり、か
つ両者に設けられたスロット３ｅと２ｅおよび３ｆと２
ｆは互いに向かいあった状態となっている。そして、使
用中のチューブ４９を手前側のスロット３ｆ，２ｆに装
着し、接続される未使用チューブ４８を奥側のスロット
３ｅ，２ｅに装着する。そして、上記のように第１およ
び第２クランプ３を閉塞した後、ウエハー交換レバー２
２をクランプ側に押して、ウエハーを交換する。ウエハ
ー交換レバー２２をクランプ側に押すことにより、ウエ
ハーカートリッジ８内より、新しいウエハーが取り出さ
れ、新しいウエハーが、切断手段５に装着されている待
機ウエハーを押し、待機ウエハーが切断手段５に装着さ
れていた使用済ウエハーを押し、待機ウエハーが使用位
置に装着されるとともに、使用済ウエハーは、使用済ウ
エハー収納箱２９内に収納される。続いて、パネル５０
の開始スイッチ５２を押すと図２０のフローチャートの
に移行し、図３に示す制御器４０を構成するＣＰＵに
より、第１および第２クランプが閉じているか否か、ウ
エハーが交換済であるか否か、第１および第２クランプ
が原点にあるか否か、ウエハー交換レバーが原点にある
か否か、第１および第２クランプが閉じているか否か
は、第２クランプが閉塞されたときに、接触するレバー
１６と、このレバー１６によりＯＮ／ＯＦＦされるマイ
クロスイッチ１３により検知される。具体的には、マイ
クロスイッチ１３は、第２クランプが解放状態のとき
は、ＯＦＦとなっており、第２クランプ２が閉塞された
ときにレバー１６と接触し、レバー１６が動き、マイク
ロスイッチ１３をＯＮ状態とする。このマイクロスイッ
チ１３のＯＮ／ＯＦＦ信号は、制御器４０に入力され
る。ウエハーが交換済であるか否かは、ウエハー交換レ
バー２２をクランプ方向に押し、ウエハー交換作業を行
うと、交換レバー２２は、マイクロスイッチ１５を一度
ＯＮさせるので、マイクロスイッチ１５からのＯＮ信号
により交換されたか否か検知される。マイクロスイッチ
１５のＯＮ／ＯＦＦ信号は、制御器４０に入力される。
第１および第２クランプが原点にあるか否かは、上述の
ようにマイクロスイッチ５，６により検知する。
の点すべてがＹＥＳの場合、モータを作動させ、第１お
よび第２クランプを原点に復帰させる。また、上述の４
つの点のうちいずれか１つでもＮｏの場合、ブサーが鳴
動し、異常ランプが点灯し、手動解除を行い、リセット
スイッチを押すことにより、異常ランプが消灯する。第
１および第２クランプが原点に到達した後、２本の可撓
性チューブ４８，４９を第１および第２クランプに装着
する。この状態での第１および第２クランプ３，２は、
図１７に示すように、両者とも開放した状態であり、か
つ両者に設けられたスロット３ｅと２ｅおよび３ｆと２
ｆは互いに向かいあった状態となっている。そして、使
用中のチューブ４９を手前側のスロット３ｆ，２ｆに装
着し、接続される未使用チューブ４８を奥側のスロット
３ｅ，２ｅに装着する。そして、上記のように第１およ
び第２クランプ３を閉塞した後、ウエハー交換レバー２
２をクランプ側に押して、ウエハーを交換する。ウエハ
ー交換レバー２２をクランプ側に押すことにより、ウエ
ハーカートリッジ８内より、新しいウエハーが取り出さ
れ、新しいウエハーが、切断手段５に装着されている待
機ウエハーを押し、待機ウエハーが切断手段５に装着さ
れていた使用済ウエハーを押し、待機ウエハーが使用位
置に装着されるとともに、使用済ウエハーは、使用済ウ
エハー収納箱２９内に収納される。続いて、パネル５０
の開始スイッチ５２を押すと図２０のフローチャートの
に移行し、図３に示す制御器４０を構成するＣＰＵに
より、第１および第２クランプが閉じているか否か、ウ
エハーが交換済であるか否か、第１および第２クランプ
が原点にあるか否か、ウエハー交換レバーが原点にある
か否か、第１および第２クランプが閉じているか否か
は、第２クランプが閉塞されたときに、接触するレバー
１６と、このレバー１６によりＯＮ／ＯＦＦされるマイ
クロスイッチ１３により検知される。具体的には、マイ
クロスイッチ１３は、第２クランプが解放状態のとき
は、ＯＦＦとなっており、第２クランプ２が閉塞された
ときにレバー１６と接触し、レバー１６が動き、マイク
ロスイッチ１３をＯＮ状態とする。このマイクロスイッ
チ１３のＯＮ／ＯＦＦ信号は、制御器４０に入力され
る。ウエハーが交換済であるか否かは、ウエハー交換レ
バー２２をクランプ方向に押し、ウエハー交換作業を行
うと、交換レバー２２は、マイクロスイッチ１５を一度
ＯＮさせるので、マイクロスイッチ１５からのＯＮ信号
により交換されたか否か検知される。マイクロスイッチ
１５のＯＮ／ＯＦＦ信号は、制御器４０に入力される。
第１および第２クランプが原点にあるか否かは、上述の
ようにマイクロスイッチ５，６により検知する。
【００３３】そして、図２０に示すように、上述の４つ
の点のいずれか１つでもＮｏの場合、ブサーが鳴動し、
図１９のにもどる。また、上述の４つの点のすべてが
ＹＥＳの場合、動作中ランプ４７が点灯し、ウエハーの
加熱が開始される。ウエハーの加熱開始後、ウエハー電
流が設定値以上であるか判断し、これは、ウエハーが短
絡しているはを判断するためである。そして、ウエハー
電流が設定値以下（シャント抵抗にかかる電圧が所定値
以上）でない場合は、０．３秒待った後に、ウエハー電
流が設定値範囲内であるか判断する。これは、ウエハー
が使用済のものである場合、抵抗体の熱履歴のために、
抵抗値が低下するため、ウエハー電流を測定し、あらか
じめ設定したウエハー電流と比較し、設定範囲内（許容
範囲内）であるかを検知し、これにより、ウエハーが使
用済であるかを電気的に判断する。上記のウエハー電流
が設定値以上である場合（ウエハーが短絡している場
合）および、上述のウエハー電流が設定範囲内でない場
合（ウエハーが使用済みの場合）は、ブサーが鳴動し、
ウエハーの加熱を停止し、ウエハー異常ランプが点灯
し、リセットスイッチが押された後、図１９のフローチ
ャートに移行する。そして、ウエハー電流と比較し、
設定範囲内（許容範囲内）である場合は、ウエハーの加
熱が継続される。ウエハー６の加熱は、ウエハー温度検
知手段である熱電対７の温度検知出力に基づいて、算出
されるパルス幅変調信号により定電圧源４３を制御しな
がら行われる。そして、ウエハーの過剰加熱を防止する
ために、ウエハーの加熱時間が所定時間内であるか判断
し、また、ウエハー電流が所定値以下であるか判断し、
所定値以下、つまりウエハーが短絡事故を起こしている
場合は、直ちにブサーが鳴動し、ウエハーの加熱を停止
し、図１９のフローチャートに移行する。そして、ウ
エハーの温度が設定温度に達すると、図２１のフローチ
ャートに移行し、モータが作動し、これにより、ギア
３０、ギア３１、カム１９，１７が回転し、切断手段
（ウエハー）の上昇し、チューブの切断、第１クランプ
の後退、切断手段（ウエハー）の下降、第２クランプの
第１クランプ側への幅寄せが行われる。
の点のいずれか１つでもＮｏの場合、ブサーが鳴動し、
図１９のにもどる。また、上述の４つの点のすべてが
ＹＥＳの場合、動作中ランプ４７が点灯し、ウエハーの
加熱が開始される。ウエハーの加熱開始後、ウエハー電
流が設定値以上であるか判断し、これは、ウエハーが短
絡しているはを判断するためである。そして、ウエハー
電流が設定値以下（シャント抵抗にかかる電圧が所定値
以上）でない場合は、０．３秒待った後に、ウエハー電
流が設定値範囲内であるか判断する。これは、ウエハー
が使用済のものである場合、抵抗体の熱履歴のために、
抵抗値が低下するため、ウエハー電流を測定し、あらか
じめ設定したウエハー電流と比較し、設定範囲内（許容
範囲内）であるかを検知し、これにより、ウエハーが使
用済であるかを電気的に判断する。上記のウエハー電流
が設定値以上である場合（ウエハーが短絡している場
合）および、上述のウエハー電流が設定範囲内でない場
合（ウエハーが使用済みの場合）は、ブサーが鳴動し、
ウエハーの加熱を停止し、ウエハー異常ランプが点灯
し、リセットスイッチが押された後、図１９のフローチ
ャートに移行する。そして、ウエハー電流と比較し、
設定範囲内（許容範囲内）である場合は、ウエハーの加
熱が継続される。ウエハー６の加熱は、ウエハー温度検
知手段である熱電対７の温度検知出力に基づいて、算出
されるパルス幅変調信号により定電圧源４３を制御しな
がら行われる。そして、ウエハーの過剰加熱を防止する
ために、ウエハーの加熱時間が所定時間内であるか判断
し、また、ウエハー電流が所定値以下であるか判断し、
所定値以下、つまりウエハーが短絡事故を起こしている
場合は、直ちにブサーが鳴動し、ウエハーの加熱を停止
し、図１９のフローチャートに移行する。そして、ウ
エハーの温度が設定温度に達すると、図２１のフローチ
ャートに移行し、モータが作動し、これにより、ギア
３０、ギア３１、カム１９，１７が回転し、切断手段
（ウエハー）の上昇し、チューブの切断、第１クランプ
の後退、切断手段（ウエハー）の下降、第２クランプの
第１クランプ側への幅寄せが行われる。
【００３４】具体的に説明すると、まず、カム１７が矢
印方向に回転することにより、切断手段５のフォロア５
ｂは、カム溝１７ａ内を摺動をする。当初図１６および
図１８に示すカム溝の原点Ｏがフォロア５ｂと接触して
いた状態より、図１６および図１８に示すカム溝１７ａ
の点Ａがフォロア５ｂと接触するようになる。そして、
図１６および図１８に示すカム溝１７ａの点Ａがフォロ
ア５ｂと接触する状態から、カム溝１７ａの点Ｂがフォ
ロア５ｂと接触する状態に至るまでの間、図１８に示す
ように、なだらかに切断手段５は上昇し、この間におい
て、２本の可撓性チューブが切断される。図２２および
図２３を用いて説明すると、２本のチューブ４８，４９
は、第１クランプ３および第２クランプ２により保持さ
れており、第１クランプ３および第２クランプ２の間に
位置するチューブ部分４８ａ，４９ａが形成され、その
下方に切断手段のウエハー６が位置している。そして、
上述のように、カム１７の回転により、切断手段５（ウ
エハー６）が上昇することにより、図２３に示すよう
に、２本のチューブの第１クランプ３および第２クラン
プ２の間に位置するチューブ部分４８ａ，４９ａにて両
者は溶融切断される。そして、この実施例の無菌的接合
装置では、図２２ないし図２５には図示しないが、ウエ
ハーはウエハー保持部によりほぼ垂直状態に保持されて
おり、さらに、ウエハー温度検知手段を保持する温度検
知手段保持部８３により、温度検知手段はウエハーの先
端部側面に押しあてられているので、ウエハーによりチ
ューブ４８，４９を溶融切断する際、チューブ４８，４
９より下方に働く力を受けても、ウエハーを垂直状態に
維持することができ、よって、切断されるチューブの切
断面も垂直なものとなる。
印方向に回転することにより、切断手段５のフォロア５
ｂは、カム溝１７ａ内を摺動をする。当初図１６および
図１８に示すカム溝の原点Ｏがフォロア５ｂと接触して
いた状態より、図１６および図１８に示すカム溝１７ａ
の点Ａがフォロア５ｂと接触するようになる。そして、
図１６および図１８に示すカム溝１７ａの点Ａがフォロ
ア５ｂと接触する状態から、カム溝１７ａの点Ｂがフォ
ロア５ｂと接触する状態に至るまでの間、図１８に示す
ように、なだらかに切断手段５は上昇し、この間におい
て、２本の可撓性チューブが切断される。図２２および
図２３を用いて説明すると、２本のチューブ４８，４９
は、第１クランプ３および第２クランプ２により保持さ
れており、第１クランプ３および第２クランプ２の間に
位置するチューブ部分４８ａ，４９ａが形成され、その
下方に切断手段のウエハー６が位置している。そして、
上述のように、カム１７の回転により、切断手段５（ウ
エハー６）が上昇することにより、図２３に示すよう
に、２本のチューブの第１クランプ３および第２クラン
プ２の間に位置するチューブ部分４８ａ，４９ａにて両
者は溶融切断される。そして、この実施例の無菌的接合
装置では、図２２ないし図２５には図示しないが、ウエ
ハーはウエハー保持部によりほぼ垂直状態に保持されて
おり、さらに、ウエハー温度検知手段を保持する温度検
知手段保持部８３により、温度検知手段はウエハーの先
端部側面に押しあてられているので、ウエハーによりチ
ューブ４８，４９を溶融切断する際、チューブ４８，４
９より下方に働く力を受けても、ウエハーを垂直状態に
維持することができ、よって、切断されるチューブの切
断面も垂直なものとなる。
【００３５】そして、図１６に示すカム溝１７ａの点Ｂ
がフォロア５ｂと接触する状態から、カム溝１７ａの点
Ｃがフォロア５ｂと接触する状態に至るまでの間、図１
６および図１８に示すように、切断手段５は、上昇した
状態が維持され、チューブ４８ａ，４９ａの切断された
端部を十分に溶解する。そして、図１６および図１８に
示すカム溝１７ａの点Ｃがフォロア５ｂと接触する状態
から、カム溝１７ａの点Ｅがフォロア５ｂと接触する状
態に至るまでの間、図１６および図１８に示すように、
なだらかに切断手段５は下降する。また、図１５に示す
ように、カム１９が矢印方向に回転することにより、第
１クランプを移動させるためのアーム１８に設けられた
フォロア１８ａは、カム溝１９ａ内を摺動をする。当初
図１５および図１８に示すカム溝の原点Ｏがフォロア１
８ａと接触していた状態より、図１５および図１８に示
すカム溝１９ａの点Ｆがフォロア１８ａと接触するよう
になる。図１８のタイミングチャートに示すように、切
断手段５のフォロア５ｂがカム溝１７ａの点Ｂに至るよ
り若干早く、フォロア１８ａは、カム溝１９ａ点Ｆに至
る。そして、図１５および図１８に示すように、カム溝
１９ａの点Ｆがフォロア１８ａと接触する状態から、カ
ム溝１９ａの点Ｇがフォロア１８ａと接触する状態に至
るまでの間、図１８に示すように、徐々に第１クランプ
３は後退し、図２４に示す状態となり、接合されるチュ
ーブ部分４９ａと４８ａがウエハー６を介して向かい合
った状態となる。この状態は、図１８のタイミングチャ
ートに示すように、カム溝１９ａの点Ｇがフォロア１８
ａと接触する状態から、カム溝１７ａの点Ｃがフォロア
５ｂと接触する状態に至るまでの間維持される。そし
て、第１クランプの位置は、点Ｇがフォロア１８ａと接
触する状態から、カム溝１９ａの点Ｈがフォロア１８ａ
と接触する状態に至るまでの間、図２４の状態が維持さ
れる。なお、切断手段５は、上述のように、図１６およ
び図１８に示すカム溝１７ａの点Ｃがフォロア５ｂと接
触する状態から、カム溝１７ａの点Ｅがフォロア５ｂと
接触する状態に至るまでの間、図１６および図１８に示
すように、なだらかに下降し、接合されるチューブ部分
４８ａ，４９ａが当接する。そして、切断手段５が下降
する際、ウエハー６は、切断されたチューブ４８，４９
に挟持された状態となっており、ウエハー６をその状態
に保持しようとする力が働き、切断手段５を下方に移動
させようとする力と相俟って、ウエハー６が湾曲する危
険性があるが、この実施例の無菌的接合装置では、上記
のように温度検出手段のウエハー接触側面に固定された
伝熱性平板部材によりウエハーの上部が押圧されている
ので、上記のチューブにより保持し力に対抗でき、か
つ、チューブのよる保持力と切断手段５を下方へ駆動す
る駆動力の両者がウエハーに負荷された状態でも、ウエ
ハーを垂直状態に保持することができる。また、ウエハ
ーが垂直状態を保持した状態にて動いても、図２４およ
び図２５に示すように、ウエハー６の先端部上方は、温
度検出手段保持部８３のウエハー前方側面保持部６３に
より、移動が抑制されているので、ウエハー６は、切断
手段の移動とともに確実に下方に移動する。
がフォロア５ｂと接触する状態から、カム溝１７ａの点
Ｃがフォロア５ｂと接触する状態に至るまでの間、図１
６および図１８に示すように、切断手段５は、上昇した
状態が維持され、チューブ４８ａ，４９ａの切断された
端部を十分に溶解する。そして、図１６および図１８に
示すカム溝１７ａの点Ｃがフォロア５ｂと接触する状態
から、カム溝１７ａの点Ｅがフォロア５ｂと接触する状
態に至るまでの間、図１６および図１８に示すように、
なだらかに切断手段５は下降する。また、図１５に示す
ように、カム１９が矢印方向に回転することにより、第
１クランプを移動させるためのアーム１８に設けられた
フォロア１８ａは、カム溝１９ａ内を摺動をする。当初
図１５および図１８に示すカム溝の原点Ｏがフォロア１
８ａと接触していた状態より、図１５および図１８に示
すカム溝１９ａの点Ｆがフォロア１８ａと接触するよう
になる。図１８のタイミングチャートに示すように、切
断手段５のフォロア５ｂがカム溝１７ａの点Ｂに至るよ
り若干早く、フォロア１８ａは、カム溝１９ａ点Ｆに至
る。そして、図１５および図１８に示すように、カム溝
１９ａの点Ｆがフォロア１８ａと接触する状態から、カ
ム溝１９ａの点Ｇがフォロア１８ａと接触する状態に至
るまでの間、図１８に示すように、徐々に第１クランプ
３は後退し、図２４に示す状態となり、接合されるチュ
ーブ部分４９ａと４８ａがウエハー６を介して向かい合
った状態となる。この状態は、図１８のタイミングチャ
ートに示すように、カム溝１９ａの点Ｇがフォロア１８
ａと接触する状態から、カム溝１７ａの点Ｃがフォロア
５ｂと接触する状態に至るまでの間維持される。そし
て、第１クランプの位置は、点Ｇがフォロア１８ａと接
触する状態から、カム溝１９ａの点Ｈがフォロア１８ａ
と接触する状態に至るまでの間、図２４の状態が維持さ
れる。なお、切断手段５は、上述のように、図１６およ
び図１８に示すカム溝１７ａの点Ｃがフォロア５ｂと接
触する状態から、カム溝１７ａの点Ｅがフォロア５ｂと
接触する状態に至るまでの間、図１６および図１８に示
すように、なだらかに下降し、接合されるチューブ部分
４８ａ，４９ａが当接する。そして、切断手段５が下降
する際、ウエハー６は、切断されたチューブ４８，４９
に挟持された状態となっており、ウエハー６をその状態
に保持しようとする力が働き、切断手段５を下方に移動
させようとする力と相俟って、ウエハー６が湾曲する危
険性があるが、この実施例の無菌的接合装置では、上記
のように温度検出手段のウエハー接触側面に固定された
伝熱性平板部材によりウエハーの上部が押圧されている
ので、上記のチューブにより保持し力に対抗でき、か
つ、チューブのよる保持力と切断手段５を下方へ駆動す
る駆動力の両者がウエハーに負荷された状態でも、ウエ
ハーを垂直状態に保持することができる。また、ウエハ
ーが垂直状態を保持した状態にて動いても、図２４およ
び図２５に示すように、ウエハー６の先端部上方は、温
度検出手段保持部８３のウエハー前方側面保持部６３に
より、移動が抑制されているので、ウエハー６は、切断
手段の移動とともに確実に下方に移動する。
【００３６】そして、切断手段５の下降が終了した状
態、言い換えれば、カム溝１７ａの点Ｅがフォロア５ｂ
と接触する状態に至ったときとほぼ同時に、図１４よび
図１８に示すように、第２クランプ２が、第１クランプ
側に幅寄せを行う。具体的には、図１４および図１８に
示すように、カム溝１７ｃの左側面１７ｄの点Ｍが、第
２クランプ２を駆動させるためのフォロア２０と接触す
る状態から、左側面の点Ｌがフォロア２０と接触する状
態に至るまでの間、徐々に、第２クランプ２は、第１ク
ランプ３側に移動し、カム溝１７ｃの凹部１７ｄの点Ｌ
Ｋが、フォロア２０と接触する状態から、凹部１７ｄの
点Ｋがフォロア２０と接触する状態に至るまでの間、幅
寄せした状態を維持する。この幅寄せにより、チューブ
部分４８ａ，４９ａの両者は確実に密着するので、両者
の接合をより確実なものとにすることができる。そし
て、カム溝１７ｃの凹部１７ｄの点Ｋが、フォロア２０
と接触する状態から、左側面１７ｆの点Ｊがフォロア２
０と接触する状態に至るまでの間、徐々に、第２クラン
プ２は、第１クランプ３側より離れる方向に移動し、こ
の状態てに、モータの作動が停止する。
態、言い換えれば、カム溝１７ａの点Ｅがフォロア５ｂ
と接触する状態に至ったときとほぼ同時に、図１４よび
図１８に示すように、第２クランプ２が、第１クランプ
側に幅寄せを行う。具体的には、図１４および図１８に
示すように、カム溝１７ｃの左側面１７ｄの点Ｍが、第
２クランプ２を駆動させるためのフォロア２０と接触す
る状態から、左側面の点Ｌがフォロア２０と接触する状
態に至るまでの間、徐々に、第２クランプ２は、第１ク
ランプ３側に移動し、カム溝１７ｃの凹部１７ｄの点Ｌ
Ｋが、フォロア２０と接触する状態から、凹部１７ｄの
点Ｋがフォロア２０と接触する状態に至るまでの間、幅
寄せした状態を維持する。この幅寄せにより、チューブ
部分４８ａ，４９ａの両者は確実に密着するので、両者
の接合をより確実なものとにすることができる。そし
て、カム溝１７ｃの凹部１７ｄの点Ｋが、フォロア２０
と接触する状態から、左側面１７ｆの点Ｊがフォロア２
０と接触する状態に至るまでの間、徐々に、第２クラン
プ２は、第１クランプ３側より離れる方向に移動し、こ
の状態てに、モータの作動が停止する。
【００３７】よって、停止した位置での、第１クランプ
３は、第２クランプ２の位置は、図２５に示すように、
図２４と同様にずれた位置となっている。そして、図２
１のフローチャートに示すように、熱電対によりウエハ
ー温度が検知され、ウエハー温度が設定値以下になる
と、動作ランプが消灯し、ブサーが鳴動する。そして、
図２５に示すように、第１クランプ２および第２クラン
プ３を開き、チューブを取り出すことにより、チューブ
の接合作業が終了する。
３は、第２クランプ２の位置は、図２５に示すように、
図２４と同様にずれた位置となっている。そして、図２
１のフローチャートに示すように、熱電対によりウエハ
ー温度が検知され、ウエハー温度が設定値以下になる
と、動作ランプが消灯し、ブサーが鳴動する。そして、
図２５に示すように、第１クランプ２および第２クラン
プ３を開き、チューブを取り出すことにより、チューブ
の接合作業が終了する。
【００３８】
【発明の効果】本発明の無菌的接合装置は、可撓性チュ
ーブを無菌的に接合するための装置であって、該装置
は、少なくとも２本の可撓性チューブを平行状態にて保
持する第１クランプおよび第２クランプと、該第１クラ
ンプおよび第２クランプ間にて前記可撓性チューブを切
断するための切断手段と、該切断手段により切断された
可撓性チューブの接合される端部相互が密着するように
前記第１クランプまたは前記第２クランプの少なくとも
一方を移動させる移動手段と、前記切断手段を前記第１
クランプおよび第２クランプ間にて上下動させるための
切断手段駆動手段とを有し、前記切断手段は、前記可撓
性チューブを溶融切断するための薄板状ウエハーと、該
ウエハーを交換可能かつほぼ垂直状態にて保持するウエ
ハー保持部と、ウエハーの温度を検知するための温度検
知手段と、該温度検出手段のウエハー接触側表面に固定
された伝熱性平板部材と、該温度検出手段のウエハー非
接触側表面固定された断熱部材とを有する無菌的接合装
置である。よって、ウエハーの実測による温度検出がで
き、かつ、温度検出手段は伝熱性平板部材を介してウエ
ハーと接触しているので、熱的結合が密であり、正確な
温度信号を得ることができる。また、ウエハーは、チュ
ーブを切断および融着させるために、上下動し、ウエハ
ーは上方移動の際、チューブに当接し、溶融によりチュ
ーブを切断するが、当接時に、チューブより下方に働く
力を受ける。また、下降の際、ウエハーは溶融により切
断されたチューブに把持された状態となっており、チュ
ーブより上方に働く力を受ける。しかし、上記のように
温度検出手段のウエハー接触側面に固定された伝熱性平
板部材によりウエハーの上部が押圧されているので、上
記のチューブにより保持し力に対抗でき、かつ、チュー
ブのよる保持力と切断手段を下方へ駆動する駆動力の両
者がウエハーに負荷された状態でも、ウエハーを垂直状
態に保持することができ、切断されるチューブの切断面
も垂直なものとなり、チューブの接合がより確実なもの
となる。
ーブを無菌的に接合するための装置であって、該装置
は、少なくとも２本の可撓性チューブを平行状態にて保
持する第１クランプおよび第２クランプと、該第１クラ
ンプおよび第２クランプ間にて前記可撓性チューブを切
断するための切断手段と、該切断手段により切断された
可撓性チューブの接合される端部相互が密着するように
前記第１クランプまたは前記第２クランプの少なくとも
一方を移動させる移動手段と、前記切断手段を前記第１
クランプおよび第２クランプ間にて上下動させるための
切断手段駆動手段とを有し、前記切断手段は、前記可撓
性チューブを溶融切断するための薄板状ウエハーと、該
ウエハーを交換可能かつほぼ垂直状態にて保持するウエ
ハー保持部と、ウエハーの温度を検知するための温度検
知手段と、該温度検出手段のウエハー接触側表面に固定
された伝熱性平板部材と、該温度検出手段のウエハー非
接触側表面固定された断熱部材とを有する無菌的接合装
置である。よって、ウエハーの実測による温度検出がで
き、かつ、温度検出手段は伝熱性平板部材を介してウエ
ハーと接触しているので、熱的結合が密であり、正確な
温度信号を得ることができる。また、ウエハーは、チュ
ーブを切断および融着させるために、上下動し、ウエハ
ーは上方移動の際、チューブに当接し、溶融によりチュ
ーブを切断するが、当接時に、チューブより下方に働く
力を受ける。また、下降の際、ウエハーは溶融により切
断されたチューブに把持された状態となっており、チュ
ーブより上方に働く力を受ける。しかし、上記のように
温度検出手段のウエハー接触側面に固定された伝熱性平
板部材によりウエハーの上部が押圧されているので、上
記のチューブにより保持し力に対抗でき、かつ、チュー
ブのよる保持力と切断手段を下方へ駆動する駆動力の両
者がウエハーに負荷された状態でも、ウエハーを垂直状
態に保持することができ、切断されるチューブの切断面
も垂直なものとなり、チューブの接合がより確実なもの
となる。
【図１】図１は、本発明の可撓性チューブ無菌的接合装
置の一実施例の斜視図である。
置の一実施例の斜視図である。
【図２】図２は、図１に示した無菌的接合装置をケース
に収納した状態を示す斜視図である。
に収納した状態を示す斜視図である。
【図３】図３は、本発明の無菌的接合装置に使用される
電気回路の一例を示すブロック図である。
電気回路の一例を示すブロック図である。
【図４】図４は、本発明の可撓性チューブ無菌的接合装
置の一実施例の上面図である。
置の一実施例の上面図である。
【図５】図５は、本発明の無菌的接合装置の電気回路の
ウエハー加熱制御手段の一例を示す電気回路ブロック図
である。
ウエハー加熱制御手段の一例を示す電気回路ブロック図
である。
【図６】図６は、本発明の接合装置に使用される切断手
段の一例を示す左側面図である。
段の一例を示す左側面図である。
【図７】図７は、本発明の接合装置に使用される切断手
段の一例を示す右側面図である。
段の一例を示す右側面図である。
【図８】図８は、図６および図７に示した切断手段の上
面図である。
面図である。
【図９】図９は、図６および図７に示した切断手段の正
面図である。
面図である。
【図１０】図１０は、図８のＡ−Ａ線端面図である。
【図１１】図１１は、図１０のＢ−Ｂ線部分にて切断し
たときの切断手段の断面部分図である。
たときの切断手段の断面部分図である。
【図１２】図１２は、本発明の接合装置におけるウエハ
ー交換時の作用を説明するための説明図である。
ー交換時の作用を説明するための説明図である。
【図１３】図１３は、切断手段の動作を説明するための
説明図である。
説明図である。
【図１４】図１４は、第１クランプ、第２クランプおよ
び切断手段の動作を説明するために説明図である。
び切断手段の動作を説明するために説明図である。
【図１５】図１５は、第１クランプのの動作を説明する
ための説明図である。
ための説明図である。
【図１６】図１６は、切断手段の動作を説明するための
説明図である。
説明図である。
【図１７】図１７は、本発明の無菌的接合装置に使用さ
れる第１および第２クランプの一例を示す斜視図であ
る。
れる第１および第２クランプの一例を示す斜視図であ
る。
【図１８】図１８は、第１クランプ、第２クランプおよ
び切断手段の動作タイミングを示すタイミングチャート
である。
び切断手段の動作タイミングを示すタイミングチャート
である。
【図１９】図１９は、本発明の無菌的接合装置の作用を
説明するためのフローチャートである。
説明するためのフローチャートである。
【図２０】図２０は、本発明の無菌的接合装置の作用を
説明するためのフローチャートである。
説明するためのフローチャートである。
【図２１】図２１は、本発明の無菌的接合装置の作用を
説明するためのフローチャートである。
説明するためのフローチャートである。
【図２２】図２２は、本発明の無菌的接合装置の作用を
説明するための説明図である。
説明するための説明図である。
【図２３】図２３は、本発明の無菌的接合装置の作用を
説明するための説明図である。
説明するための説明図である。
【図２４】図２４は、本発明の無菌的接合装置の作用を
説明するための説明図である。
説明するための説明図である。
【図２５】図２５は、本発明の無菌的接合装置の作用を
説明するための説明図である。
説明するための説明図である。
【図２６】図２６は、従来の無菌的接合装置を示す斜視
図である。
図である。
１ 無菌的接合装置 ２ 第２クランプ ３ 第１クランプ ５ 切断手段 ６ ウエハー ７ ウエハー温度検知手段 ９ ウエハー加熱用の電気接続端子 １３ マイクロスイッチ１ １４ マイクロスイッチ２ １５ マイクロスイッチ３ ４０ 制御器 ４１ 整流電源回路 ４２ モーター ４３ 定電圧源 ４４ ウエハー加熱制御手段 ５０ 入力パネル ６０ 下部部材 ６０ａ 固定部 ６１ ウエハー下部側面保持部材 ６２ ウエハー後方上部移動防止部材 ６３ ウエハー前方上部移動防止部材 ６４ 温度検知手段保持部材 ６５ 固定部 ６７ ウエハー側面保持部材 ６７ａ ウエハー前方側面保持部 ６７ｂ ウエハー後方側面保持部 ６９ 待機ウエハー ７４ 断熱部材 ７６ 伝熱性平板部材
【手続補正書】
【提出日】平成４年１０月２２日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正内容】
【図９】
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１０】
Claims (1)
- 【請求項１】 可撓性チューブを無菌的に接合するため
の装置であって、該装置は、少なくとも２本の可撓性チ
ューブを平行状態にて保持する第１クランプおよび第２
クランプと、該第１クランプおよび第２クランプ間にて
前記可撓性チューブを切断するための切断手段と、該切
断手段により切断された可撓性チューブの接合される端
部相互が密着するように前記第１クランプまたは前記第
２クランプの少なくとも一方を移動させる移動手段と、
前記切断手段を前記第１クランプおよび第２クランプ間
にて上下動させるための切断手段駆動手段とを有し、前
記切断手段は、前記可撓性チューブを溶融切断するため
の薄板状ウエハーと、該ウエハーを交換可能にかつ、ほ
ぼ垂直状態にて保持するウエハー保持部と、ウエハーの
温度を検知するための温度検知手段と、該温度検出手段
のウエハー接触側表面に固定された伝熱性平板部材と、
該温度検出手段のウエハー非接触側表面固定された断熱
部材とを有することを特徴とする可撓性チューブ無菌的
接合装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26931892A JP3140213B2 (ja) | 1992-09-10 | 1992-09-10 | 可撓性チューブ無菌的接合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26931892A JP3140213B2 (ja) | 1992-09-10 | 1992-09-10 | 可撓性チューブ無菌的接合装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0691009A true JPH0691009A (ja) | 1994-04-05 |
| JP3140213B2 JP3140213B2 (ja) | 2001-03-05 |
Family
ID=17470683
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26931892A Expired - Lifetime JP3140213B2 (ja) | 1992-09-10 | 1992-09-10 | 可撓性チューブ無菌的接合装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3140213B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004039563A1 (ja) * | 2002-11-01 | 2004-05-13 | Terumo Kabushiki Kaisha | チューブ接合装置 |
| CN108407319A (zh) * | 2017-02-10 | 2018-08-17 | 宁波卡瑞迈特电子科技有限公司 | 一种接管机及其方法 |
-
1992
- 1992-09-10 JP JP26931892A patent/JP3140213B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004039563A1 (ja) * | 2002-11-01 | 2004-05-13 | Terumo Kabushiki Kaisha | チューブ接合装置 |
| US7119305B2 (en) | 2002-11-01 | 2006-10-10 | Terumo Kabushiki Kaisha | Tube connecting apparatus |
| AU2003264475B2 (en) * | 2002-11-01 | 2008-07-24 | Terumo Kabushiki Kaisha | Tube connecting apparatus |
| CN108407319A (zh) * | 2017-02-10 | 2018-08-17 | 宁波卡瑞迈特电子科技有限公司 | 一种接管机及其方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3140213B2 (ja) | 2001-03-05 |
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