JPH0691576A - 真空吸着器の製造方法 - Google Patents
真空吸着器の製造方法Info
- Publication number
- JPH0691576A JPH0691576A JP29091091A JP29091091A JPH0691576A JP H0691576 A JPH0691576 A JP H0691576A JP 29091091 A JP29091091 A JP 29091091A JP 29091091 A JP29091091 A JP 29091091A JP H0691576 A JPH0691576 A JP H0691576A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core
- plate
- rigid plate
- outer diameter
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 8
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 7
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 7
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims description 6
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 4
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- 239000010959 steel Substances 0.000 abstract description 8
- 238000002347 injection Methods 0.000 abstract 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 229920006311 Urethane elastomer Polymers 0.000 description 5
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 種々の形状のワークを厳密に位置決めする必
要なく、しかも変形や破損させることもなく吸着できる
真空吸着器を、短時間かつ低コストで製造するための製
造方法を提供すること。 【構成】 上部外径よりも中部外径が小さく、そして下
部が末広がりに拡径された断面円形の中子５を用い、又
その中子５の上部外径よりも小さな径の貫通孔３を多数
穿設した剛性板１を上型として利用して弾性板２を射出
成型する。脱型後、中子５により確保された通気孔９の
うち中子上部５ａに当たる空間９ａ内に、その空間９ａ
内のみ移動自在となる外径の鋼球１０を押し込んで吸着
板７を製作し、チャンバー１２に取付ける。
要なく、しかも変形や破損させることもなく吸着できる
真空吸着器を、短時間かつ低コストで製造するための製
造方法を提供すること。 【構成】 上部外径よりも中部外径が小さく、そして下
部が末広がりに拡径された断面円形の中子５を用い、又
その中子５の上部外径よりも小さな径の貫通孔３を多数
穿設した剛性板１を上型として利用して弾性板２を射出
成型する。脱型後、中子５により確保された通気孔９の
うち中子上部５ａに当たる空間９ａ内に、その空間９ａ
内のみ移動自在となる外径の鋼球１０を押し込んで吸着
板７を製作し、チャンバー１２に取付ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、種々の形状のワーク・
物品を真空吸着して搬送・固定する際に使用する真空吸
着器の製造方法に関する。
物品を真空吸着して搬送・固定する際に使用する真空吸
着器の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】本発明の発明者は、実開平３−４７７９
０号公報に開示された真空吸着具を考案しているが、そ
の真空吸着具１５は図６に断面を示すように構成されて
いた。即ち、エア排気口１８を備えた真空チャンバー１
９の前面に、多数の貫通孔２０を有する吸着板２１を取
付け、それぞれの同貫通孔２０の途中に同貫通孔２０の
内径より少し大きな内径の空間２２を設け、同空間２２
内に同貫通孔２０の内径より大きな直径の球体２３を内
在させ、同空間２２内で同球体２３が移動自在としたも
のであった。２４は吸着性を良くするための弾性材であ
る。
０号公報に開示された真空吸着具を考案しているが、そ
の真空吸着具１５は図６に断面を示すように構成されて
いた。即ち、エア排気口１８を備えた真空チャンバー１
９の前面に、多数の貫通孔２０を有する吸着板２１を取
付け、それぞれの同貫通孔２０の途中に同貫通孔２０の
内径より少し大きな内径の空間２２を設け、同空間２２
内に同貫通孔２０の内径より大きな直径の球体２３を内
在させ、同空間２２内で同球体２３が移動自在としたも
のであった。２４は吸着性を良くするための弾性材であ
る。
【０００３】しかしながら、従来より吸着板２１の素材
としては鋼材が用いられることが多く、従来の技術では
貫通孔２０の途中に少し大きな内径の空間２２を設ける
ことは極めて困難であるため、図示の如く吸着板２１を
２枚重ねで構成していた。つまり、２枚の板材２１ａ，
２１ｂの夫々に同一間隔で貫通孔を穿設し、さらにその
全貫通孔２０の接合面側に所定深さのザグリ加工を施
し、連接させるというものであった。そのため、２枚の
板材２１ａ，２１ｂ間、さらにはその前面に取付ける弾
性材２４の３段に亘って正確な芯合わせを行わねばなら
ず、その製造作業は困難であり、多くの時間とコストが
必要となっていた。
としては鋼材が用いられることが多く、従来の技術では
貫通孔２０の途中に少し大きな内径の空間２２を設ける
ことは極めて困難であるため、図示の如く吸着板２１を
２枚重ねで構成していた。つまり、２枚の板材２１ａ，
２１ｂの夫々に同一間隔で貫通孔を穿設し、さらにその
全貫通孔２０の接合面側に所定深さのザグリ加工を施
し、連接させるというものであった。そのため、２枚の
板材２１ａ，２１ｂ間、さらにはその前面に取付ける弾
性材２４の３段に亘って正確な芯合わせを行わねばなら
ず、その製造作業は困難であり、多くの時間とコストが
必要となっていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記した問題
に鑑みてなされたものであり、その課題は、種々の形状
のワークを厳密に位置決めする必要なく、しかも変形や
破損させることもなく吸着できる真空吸着器を、短時間
かつ低コストで製造するための製造方法を提供すること
にある。
に鑑みてなされたものであり、その課題は、種々の形状
のワークを厳密に位置決めする必要なく、しかも変形や
破損させることもなく吸着できる真空吸着器を、短時間
かつ低コストで製造するための製造方法を提供すること
にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決した本
発明の要旨は、 １） 上部外径よりも中部外径が小さく、そして下部が
末広がりに拡径されるとともに、上面中心部に所定径の
突起を設けてなる断面円形の中子と、該中子上面の突起
と嵌合する貫通孔を所定間隔をおいて多数穿設した剛性
板とを用意し、該中子の突起を除いた部分の高さと同一
の深さを有し且つ上面を開口した箱型内に該中子を前記
剛性板の貫通孔と同一間隔をおいて多数配置し、各中子
上面の突起を剛性板の貫通孔に嵌合した状態で該剛性板
により箱型の上面開口部を閉塞し、箱型内部に流動状態
の弾性材料を射出し硬化させることによって剛性板の貫
通孔と連通した通気孔を有する弾性板を剛性板と接合し
た状態に成型し、箱型・中子を脱型した後に前記中子の
中部外径及び剛性板の貫通孔内径よりも大きく且つ中子
上部外径よりも小さな外径の閉塞体を該弾性板の通気孔
から押し込んで中子上部によって確保された空間内に封
入して吸着板を製作し、同吸着板を排気口を備えたチャ
ンバーの開口面に取付けて真空吸着器を製造することを
特徴とする真空吸着器の製造方法 ２） 上部外径よりも中部外径が小さく、そして下部が
末広がりに拡径されるとともに、上面中心部に所定径の
挿入孔を設けてなる断面円形の中子と、該中子の上部外
径よりも小さな径の貫通孔を所定間隔をおいて多数穿設
した剛性板とを用意し、該中子の高さと同一の深さを有
し且つ上面を開口した箱型内に該中子を前記剛性板の貫
通孔と同一間隔をおいて多数配置し、各中子の中心線と
剛性板の貫通孔の中心線とを一致させた状態で該剛性板
により箱型の上面開口部を閉塞し、剛性板上から各貫通
孔を通じて中子上面の挿入孔内にピンを嵌挿して各中子
を貫通孔の真下位置に固定し、箱型内部に流動状態の弾
性材料を射出し硬化させることによって該剛性板の貫通
孔と連通した通気孔を有する弾性板を同剛性板と接合し
た状態に成型し、箱型・中子を脱型した後に前記中子の
中部外径及び剛性板の貫通孔内径よりも大きく且つ中子
上部外径よりも小さな外径の閉塞体を該弾性板の通気孔
から押し込んで中子上部によって確保された空間内に封
入して吸着板を製作し、同吸着板を排気口を備えたチャ
ンバーの開口面に取付けて真空吸着器を製造することを
特徴とする真空吸着器の製造方法 にある。
発明の要旨は、 １） 上部外径よりも中部外径が小さく、そして下部が
末広がりに拡径されるとともに、上面中心部に所定径の
突起を設けてなる断面円形の中子と、該中子上面の突起
と嵌合する貫通孔を所定間隔をおいて多数穿設した剛性
板とを用意し、該中子の突起を除いた部分の高さと同一
の深さを有し且つ上面を開口した箱型内に該中子を前記
剛性板の貫通孔と同一間隔をおいて多数配置し、各中子
上面の突起を剛性板の貫通孔に嵌合した状態で該剛性板
により箱型の上面開口部を閉塞し、箱型内部に流動状態
の弾性材料を射出し硬化させることによって剛性板の貫
通孔と連通した通気孔を有する弾性板を剛性板と接合し
た状態に成型し、箱型・中子を脱型した後に前記中子の
中部外径及び剛性板の貫通孔内径よりも大きく且つ中子
上部外径よりも小さな外径の閉塞体を該弾性板の通気孔
から押し込んで中子上部によって確保された空間内に封
入して吸着板を製作し、同吸着板を排気口を備えたチャ
ンバーの開口面に取付けて真空吸着器を製造することを
特徴とする真空吸着器の製造方法 ２） 上部外径よりも中部外径が小さく、そして下部が
末広がりに拡径されるとともに、上面中心部に所定径の
挿入孔を設けてなる断面円形の中子と、該中子の上部外
径よりも小さな径の貫通孔を所定間隔をおいて多数穿設
した剛性板とを用意し、該中子の高さと同一の深さを有
し且つ上面を開口した箱型内に該中子を前記剛性板の貫
通孔と同一間隔をおいて多数配置し、各中子の中心線と
剛性板の貫通孔の中心線とを一致させた状態で該剛性板
により箱型の上面開口部を閉塞し、剛性板上から各貫通
孔を通じて中子上面の挿入孔内にピンを嵌挿して各中子
を貫通孔の真下位置に固定し、箱型内部に流動状態の弾
性材料を射出し硬化させることによって該剛性板の貫通
孔と連通した通気孔を有する弾性板を同剛性板と接合し
た状態に成型し、箱型・中子を脱型した後に前記中子の
中部外径及び剛性板の貫通孔内径よりも大きく且つ中子
上部外径よりも小さな外径の閉塞体を該弾性板の通気孔
から押し込んで中子上部によって確保された空間内に封
入して吸着板を製作し、同吸着板を排気口を備えたチャ
ンバーの開口面に取付けて真空吸着器を製造することを
特徴とする真空吸着器の製造方法 にある。
【０００６】
【作用】本発明の真空吸着器の製造方法では、所定形状
の中子を用いて弾性板を射出成型する方法を採っている
ので、貫通孔途中の閉塞体の内在する空間を容易に成形
できるだけでなく、その際に剛性板を上型として利用す
ることで、極めて容易にしかも正確に剛性板の貫通孔と
弾性板の通気孔との芯合わせを完了することができ、さ
らに、剛性板と弾性板とを同時に接合することができる
ので、製作工程が短縮できる。従って、従来の技術にお
けるネック工程となっていた貫通孔途中の閉塞体の内在
する空間の成形、並びに各板材間の孔の芯合わせが短時
間で完了するため、従来の真空吸着器と同等の効果を有
する真空吸着器を、従来に比べ短時間かつ低コストで製
造できる。又、弾性板成型後の中子の抜脱の際において
は、弾性板の弾力性を利用して押出すだけで弾性板の通
気孔を損傷することなく容易に脱型を完了させることが
できる。
の中子を用いて弾性板を射出成型する方法を採っている
ので、貫通孔途中の閉塞体の内在する空間を容易に成形
できるだけでなく、その際に剛性板を上型として利用す
ることで、極めて容易にしかも正確に剛性板の貫通孔と
弾性板の通気孔との芯合わせを完了することができ、さ
らに、剛性板と弾性板とを同時に接合することができる
ので、製作工程が短縮できる。従って、従来の技術にお
けるネック工程となっていた貫通孔途中の閉塞体の内在
する空間の成形、並びに各板材間の孔の芯合わせが短時
間で完了するため、従来の真空吸着器と同等の効果を有
する真空吸着器を、従来に比べ短時間かつ低コストで製
造できる。又、弾性板成型後の中子の抜脱の際において
は、弾性板の弾力性を利用して押出すだけで弾性板の通
気孔を損傷することなく容易に脱型を完了させることが
できる。
【０００７】
【実施例】実施例について、以下の図面に基づき説明す
る。図１は第１実施例を示す説明図、図２は同断面図、
図３は第２実施例を示す説明図、図４は同断面図、図５
は本発明にかかる真空吸着器の使用例を示す断面図であ
る。
る。図１は第１実施例を示す説明図、図２は同断面図、
図３は第２実施例を示す説明図、図４は同断面図、図５
は本発明にかかる真空吸着器の使用例を示す断面図であ
る。
【０００８】第１実施例（図１，図２参照） 本実施例では、剛性板１の素材として鋼板、弾性板２の
素材としてウレタンゴムを用いる。まず、剛性板１に所
定間隔をおいて多数の貫通孔３を穿設しておく。一方、
上面を開口した箱型４内に、該剛性板１の貫通孔３と同
間隔で中子５を配置する。同中子５は上部５ａが貫通孔
３の内径よりも大きな外径を有し、中央部５ｂは該上部
５ａよりも小さな外径を有し、下部５ｃは末広がりに拡
径された断面円形の柱状で、上面には所定径の突起６が
設けられている。
素材としてウレタンゴムを用いる。まず、剛性板１に所
定間隔をおいて多数の貫通孔３を穿設しておく。一方、
上面を開口した箱型４内に、該剛性板１の貫通孔３と同
間隔で中子５を配置する。同中子５は上部５ａが貫通孔
３の内径よりも大きな外径を有し、中央部５ｂは該上部
５ａよりも小さな外径を有し、下部５ｃは末広がりに拡
径された断面円形の柱状で、上面には所定径の突起６が
設けられている。
【０００９】次に、前記剛性板１をもって貫通孔３内に
各中子５の突起６を嵌合させた状態で箱型４の上面開口
部を閉塞する。これによって、中子５は貫通孔３の真下
位置に固定されることになる。
各中子５の突起６を嵌合させた状態で箱型４の上面開口
部を閉塞する。これによって、中子５は貫通孔３の真下
位置に固定されることになる。
【００１０】剛性板１を上型、箱型４を下型として、ゲ
ート８を通じて流動状態のウレタンゴムを射出し、弾性
板２を成型する。このとき、剛性板１の表面に接着剤を
塗付しておけば、ウレタンゴムの硬化と同時に剛性板１
と弾性板２とを接合できる。
ート８を通じて流動状態のウレタンゴムを射出し、弾性
板２を成型する。このとき、剛性板１の表面に接着剤を
塗付しておけば、ウレタンゴムの硬化と同時に剛性板１
と弾性板２とを接合できる。
【００１１】ウレタンゴムが硬化した時点で箱型４を抜
脱し、中子５を押出する。このとき、ウレタンゴムが弾
性を有しているので、上部外径が大きな中子５でもその
突起６を利用して容易に押出することができる。又、該
中子５によって確保された空間は剛性板１の貫通孔３と
連通した通気孔９を形成することになる。
脱し、中子５を押出する。このとき、ウレタンゴムが弾
性を有しているので、上部外径が大きな中子５でもその
突起６を利用して容易に押出することができる。又、該
中子５によって確保された空間は剛性板１の貫通孔３と
連通した通気孔９を形成することになる。
【００１２】次に、弾性板２の吸着面２ａから該通気孔
９を通じて鋼球１０を押し込み、中子５の上部の大外径
部５ａにより確保された空間９ａ内へ封入し、吸着板１
３を製作する。鋼球１０は、貫通孔３の内径、及び通気
孔９の中子５の中央部５ｂに相当する部分９ｂの内径の
いずれよりも大きな外径を有し、且つ空間９ａの内径よ
りも小さい。従って、同空間９ａ内において移動自在と
なっている。
９を通じて鋼球１０を押し込み、中子５の上部の大外径
部５ａにより確保された空間９ａ内へ封入し、吸着板１
３を製作する。鋼球１０は、貫通孔３の内径、及び通気
孔９の中子５の中央部５ｂに相当する部分９ｂの内径の
いずれよりも大きな外径を有し、且つ空間９ａの内径よ
りも小さい。従って、同空間９ａ内において移動自在と
なっている。
【００１３】以上の如くして製作された吸着板７をエア
排気口１１を備えたチャンバー１２に取付ければ、真空
吸着器１３の製造は完了する。
排気口１１を備えたチャンバー１２に取付ければ、真空
吸着器１３の製造は完了する。
【００１４】第２実施例（図３，図４参照） 本実施例は、第１実施例に対し中子の固定方法を変更し
た例を示すものである。本実施例の中子１５には、その
上面中央部に所定径の挿入孔１６を設けてある。そし
て、剛性板１の貫通孔３の中心線と各中子１５の中心線
とを一致させた状態で、箱型４の上面開口部を同剛性板
１をもって閉塞する。次いで、剛性板１の上方より各貫
通孔３を通してピン１４を中子１５上面の挿入孔１６内
へ嵌挿する。これによって、中子１５を剛性板１の貫通
孔３の真下位置に固定することができる。他の工程は第
１実施例と同様でよいので省略する。
た例を示すものである。本実施例の中子１５には、その
上面中央部に所定径の挿入孔１６を設けてある。そし
て、剛性板１の貫通孔３の中心線と各中子１５の中心線
とを一致させた状態で、箱型４の上面開口部を同剛性板
１をもって閉塞する。次いで、剛性板１の上方より各貫
通孔３を通してピン１４を中子１５上面の挿入孔１６内
へ嵌挿する。これによって、中子１５を剛性板１の貫通
孔３の真下位置に固定することができる。他の工程は第
１実施例と同様でよいので省略する。
【００１５】所定形状を有するワーク２５を吸着する場
合には、厳密に位置決めする必要はなく、図５の如く弾
性板２の吸着面２ａをワーク２５に近接させ、排気口１
１を通じてチャンバー１２内の空気を吸入する。する
と、ワーク２５の当たっていない部分の通気孔内の鋼球
１０ａは、上方へ浮き上がり貫通孔３を閉塞し、リーク
を防止する。又、ワーク２５の当たっている部分の鋼球
１０ｂは僅かに浮き上がった状態で静止し、ワーク２５
を吸着するための負圧をワーク２５に作用させる。従っ
て、ワーク２５の形状に左右されることなくリークを起
こさずに吸着でき、厳密に位置決めする必要もない。
又、中子５の下部５ｃを末広がりにしておくことで、弾
性板２の吸着面２ａでのワークの吸着性を向上させるこ
とができる。
合には、厳密に位置決めする必要はなく、図５の如く弾
性板２の吸着面２ａをワーク２５に近接させ、排気口１
１を通じてチャンバー１２内の空気を吸入する。する
と、ワーク２５の当たっていない部分の通気孔内の鋼球
１０ａは、上方へ浮き上がり貫通孔３を閉塞し、リーク
を防止する。又、ワーク２５の当たっている部分の鋼球
１０ｂは僅かに浮き上がった状態で静止し、ワーク２５
を吸着するための負圧をワーク２５に作用させる。従っ
て、ワーク２５の形状に左右されることなくリークを起
こさずに吸着でき、厳密に位置決めする必要もない。
又、中子５の下部５ｃを末広がりにしておくことで、弾
性板２の吸着面２ａでのワークの吸着性を向上させるこ
とができる。
【００１６】本発明は以上説明した実施例に限ることな
く、閉塞体の形状は球でなくとも紡錘形でもよいし、剛
性板の貫通孔を閉塞できる形状であればよい。又、弾性
板や剛性板等の素材も適当としてよく、例えばウレタン
に替えてシリコンとすることもできるし、鋼材に替えて
プラスチックとすることもできる。
く、閉塞体の形状は球でなくとも紡錘形でもよいし、剛
性板の貫通孔を閉塞できる形状であればよい。又、弾性
板や剛性板等の素材も適当としてよく、例えばウレタン
に替えてシリコンとすることもできるし、鋼材に替えて
プラスチックとすることもできる。
【００１７】
【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、種々の形状のワークを厳密に位置決めする必
要がなく、ワークに変形や破損を生じさせることもな
く、効率良く吸着できる真空吸着器を、従来に比べ短時
間かつ低コストで製造することができる。
いるので、種々の形状のワークを厳密に位置決めする必
要がなく、ワークに変形や破損を生じさせることもな
く、効率良く吸着できる真空吸着器を、従来に比べ短時
間かつ低コストで製造することができる。
【図１】第１実施例を示す説明図である。
【図２】第１実施例を示す断面図である。
【図３】第２実施例を示す説明図である。
【図４】第２実施例を示す断面図である。
【図５】使用状態を示す断面図である。
【図６】従来例を示す断面図である。
１ 剛性板 ２ 弾性板 ３ 貫通孔 ４ 箱型 ５ 中子 ６ 突起 ７ 吸着板 ８ ゲート ９ 通気孔 １０ 鋼球 １１ 排気口 １２ チャンバー １３ 真空吸着器 １４ ピン １５ 中子 １６ 挿入孔 １７ 真空吸着具 １８ 排気口 １９ チャンバー ２０ 貫通孔 ２１ 吸着板 ２２ 空間 ２３ 球体 ２４ 弾性材 ２５ ワーク
Claims (2)
- 【請求項１】 上部外径よりも中部外径が小さく、そし
て下部が末広がりに拡径されるとともに、上面中心部に
所定径の突起を設けてなる断面円形の中子と、該中子上
面の突起と嵌合する貫通孔を所定間隔をおいて多数穿設
した剛性板とを用意し、該中子の突起を除いた部分の高
さと同一の深さを有し且つ上面を開口した箱型内に該中
子を前記剛性板の貫通孔と同一間隔をおいて多数配置
し、各中子上面の突起を剛性板の貫通孔に嵌合した状態
で該剛性板により箱型の上面開口部を閉塞し、箱型内部
に流動状態の弾性材料を射出し硬化させることによって
剛性板の貫通孔と連通した通気孔を有する弾性板を剛性
板と接合した状態に成型し、箱型・中子を脱型した後に
前記中子の中部外径及び剛性板の貫通孔内径よりも大き
く且つ中子上部外径よりも小さな外径の閉塞体を該弾性
板の通気孔から押し込んで中子上部によって確保された
空間内に封入して吸着板を製作し、同吸着板を排気口を
備えたチャンバーの開口面に取付けて真空吸着器を製造
することを特徴とする真空吸着器の製造方法。 - 【請求項２】 上部外径よりも中部外径が小さく、そし
て下部が末広がりに拡径されるとともに、上面中心部に
所定径の挿入孔を設けてなる断面円形の中子と、該中子
の上部外径よりも小さな径の貫通孔を所定間隔をおいて
多数穿設した剛性板とを用意し、該中子の高さと同一の
深さを有し且つ上面を開口した箱型内に該中子を前記剛
性板の貫通孔と同一間隔をおいて多数配置し、各中子の
中心線と剛性板の貫通孔の中心線とを一致させた状態で
該剛性板により箱型の上面開口部を閉塞し、剛性板上か
ら各貫通孔を通じて中子上面の挿入孔内にピンを嵌挿し
て各中子を貫通孔の真下位置に固定し、箱型内部に流動
状態の弾性材料を射出し硬化させることによって該剛性
板の貫通孔と連通した通気孔を有する弾性板を同剛性板
と接合した状態に成型し、箱型・中子を脱型した後に前
記中子の中部外径及び剛性板の貫通孔内径よりも大きく
且つ中子上部外径よりも小さな外径の閉塞体を該弾性板
の通気孔から押し込んで中子上部によって確保された空
間内に封入して吸着板を製作し、同吸着板を排気口を備
えたチャンバーの開口面に取付けて真空吸着器を製造す
ることを特徴とする真空吸着器の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29091091A JPH0747271B2 (ja) | 1991-10-09 | 1991-10-09 | 真空吸着器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29091091A JPH0747271B2 (ja) | 1991-10-09 | 1991-10-09 | 真空吸着器の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0691576A true JPH0691576A (ja) | 1994-04-05 |
| JPH0747271B2 JPH0747271B2 (ja) | 1995-05-24 |
Family
ID=17762093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29091091A Expired - Lifetime JPH0747271B2 (ja) | 1991-10-09 | 1991-10-09 | 真空吸着器の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0747271B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000041854A1 (en) * | 1999-01-11 | 2000-07-20 | Strasbaugh, Inc. | Improved handling of wet thin wafers |
| US8251422B2 (en) * | 2010-03-29 | 2012-08-28 | Asm Assembly Automation Ltd | Apparatus for transferring electronic components in stages |
| EP3909723A1 (en) * | 2020-05-13 | 2021-11-17 | Joulin Cemma | Vacuum gripper device with foam layer secured by magnetic attraction |
-
1991
- 1991-10-09 JP JP29091091A patent/JPH0747271B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000041854A1 (en) * | 1999-01-11 | 2000-07-20 | Strasbaugh, Inc. | Improved handling of wet thin wafers |
| US6254155B1 (en) * | 1999-01-11 | 2001-07-03 | Strasbaugh, Inc. | Apparatus and method for reliably releasing wet, thin wafers |
| US8251422B2 (en) * | 2010-03-29 | 2012-08-28 | Asm Assembly Automation Ltd | Apparatus for transferring electronic components in stages |
| EP3909723A1 (en) * | 2020-05-13 | 2021-11-17 | Joulin Cemma | Vacuum gripper device with foam layer secured by magnetic attraction |
| EP3909724A3 (en) * | 2020-05-13 | 2022-03-23 | Joulin Cemma | Vacuum gripper device with foam layer secured by magnetic attraction |
| US12240101B2 (en) | 2020-05-13 | 2025-03-04 | Piab Aktiebolag | Vacuum gripper device with foam layer secured by magnetic attraction |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0747271B2 (ja) | 1995-05-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104245234B (zh) | 单片化装置用真空吸附片和固定夹具的制造方法 | |
| US7950253B2 (en) | Molding device and method for setting up mold | |
| JPH0747271B2 (ja) | 真空吸着器の製造方法 | |
| JP2020082509A5 (ja) | ||
| WO2006053140A3 (en) | Grip enhancing material having miniaturized suction cups and method and apparatus for making the same | |
| US20180319073A1 (en) | Method of vacuum forming an object using a flexible mold and an apparatus for vacuum forming an object | |
| US1263141A (en) | Process of making hollow rubber articles. | |
| CN209971432U (zh) | 一种塑胶模小、薄类产品的吸取治具 | |
| US3917421A (en) | Insert for attaching fiberglass tool handles | |
| CN106738745A (zh) | 注塑机、模具及合模检测装置 | |
| JP3749236B2 (ja) | インサート射出成形品の製造方法、及びその装置 | |
| CN210257048U (zh) | 微注塑嵌件产品定位成型治具 | |
| CN210969659U (zh) | 一种模内注塑用定位机构 | |
| WO2016013210A1 (ja) | ボールおよびその製造方法 | |
| CN211842884U (zh) | 一种用于五金件自动嵌入成型的上料手爪 | |
| CN111993011A (zh) | 内藏式缓冲吸附模组 | |
| CN209466583U (zh) | 模具快速更换机构 | |
| JP2010194779A (ja) | 鏡面駒挿入用ガイド装置及び鏡面駒の挿入方法 | |
| CN114889022A (zh) | 一种基于3d打印的软体机器人模具及其制作方法 | |
| CN216506295U (zh) | 一种腰形减震垫硫化模具 | |
| JPS6273932A (ja) | 球形状物の製造方法 | |
| CN210791856U (zh) | 一种磁疗板的注塑模具 | |
| CN222201415U (zh) | 干簧管的取放装置 | |
| CN205631431U (zh) | 模具胎号定位装置 | |
| CN204976649U (zh) | 一种机械手吸附装置 |