JPH0692885B2 - Ｘ線ｃｔ装置 - Google Patents
Ｘ線ｃｔ装置Info
- Publication number
- JPH0692885B2 JPH0692885B2 JP2004255A JP425590A JPH0692885B2 JP H0692885 B2 JPH0692885 B2 JP H0692885B2 JP 2004255 A JP2004255 A JP 2004255A JP 425590 A JP425590 A JP 425590A JP H0692885 B2 JPH0692885 B2 JP H0692885B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- subject
- laser light
- path
- mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は産業用のＸ線CT装置、特に微細構造物の内部を
非破壊で検査するのに好適なＸ線CT装置に関するもので
ある。
非破壊で検査するのに好適なＸ線CT装置に関するもので
ある。
医療用のＸ線CT装置は、外部から生体内部の組織を観察
することができるという優れた特徴から現在では広く普
及している。又、産業用のＸ線CT装置は金属、セラミッ
クス、複合材料等の内部の微小欠陥を非破壊で検査する
ことがきるので、近年材料の品質評価などに盛んに利用
されつつある。
することができるという優れた特徴から現在では広く普
及している。又、産業用のＸ線CT装置は金属、セラミッ
クス、複合材料等の内部の微小欠陥を非破壊で検査する
ことがきるので、近年材料の品質評価などに盛んに利用
されつつある。
Ｘ線CT装置によって得られるCT断層像は、Ｘ線ビームが
被検体をスライスする位置におけるＸ線透過データを、
被検体を回転させることによって所定の角度範囲にわた
って収集し、これから計算処理を経て再構成されるもの
である。したがって、被検体のある部分のCT画像を得よ
うとするときは、その部分に正確にＸ線ビームを照射す
る必要がある。
被検体をスライスする位置におけるＸ線透過データを、
被検体を回転させることによって所定の角度範囲にわた
って収集し、これから計算処理を経て再構成されるもの
である。したがって、被検体のある部分のCT画像を得よ
うとするときは、その部分に正確にＸ線ビームを照射す
る必要がある。
従来のＸ線CT装置の多くは、このような目的のための特
別な手段が設けられておらず、オペレータの熟練技術に
たよるか、又は何回かの試行錯誤を繰り返すことによっ
てＸ線ビームのスライス位置を決定していた。
別な手段が設けられておらず、オペレータの熟練技術に
たよるか、又は何回かの試行錯誤を繰り返すことによっ
てＸ線ビームのスライス位置を決定していた。
尚、医療用のＸ線CT装置の中には、Ｘ線ビームが照射さ
れる人体の部位に可視光を照射することによりCT画像が
得られる部分を確認する手段が設けられているものがあ
る。
れる人体の部位に可視光を照射することによりCT画像が
得られる部分を確認する手段が設けられているものがあ
る。
従来のようにＸ線ビームのスライス位置を決定するため
の手段が設けられていない産業用のＸ線CT装置では、被
検体をスライス位置に合わせるのに熟練技術を要し、作
業性が悪いとともにその精度にも限界がある。
の手段が設けられていない産業用のＸ線CT装置では、被
検体をスライス位置に合わせるのに熟練技術を要し、作
業性が悪いとともにその精度にも限界がある。
また医療用のＸ線CT装置では、人体を被検体として癌の
腫瘍などを発見することを主な目的とするので、必要と
される分解能はせいぜい数百μｍ程度である。したがっ
て、通常光を被検体である人体に照射しこれを肉眼で観
察することによって、Ｘ線による被検体のスライス位置
を確認することは十分に可能である。
腫瘍などを発見することを主な目的とするので、必要と
される分解能はせいぜい数百μｍ程度である。したがっ
て、通常光を被検体である人体に照射しこれを肉眼で観
察することによって、Ｘ線による被検体のスライス位置
を確認することは十分に可能である。
一般に産業用のＸ線CT装置は、医療用のものよりも要求
される分解能が高く、微細な構造物を観察するためには
数十μｍ程度の分解能が必要となる。しかし、単に分解
能が向上してもＸ線のスライス幅がこの値よりも大きけ
れば明瞭なCT画像は得られないので、スライス幅も分解
能と同程度の小さい値とする必要がある。
される分解能が高く、微細な構造物を観察するためには
数十μｍ程度の分解能が必要となる。しかし、単に分解
能が向上してもＸ線のスライス幅がこの値よりも大きけ
れば明瞭なCT画像は得られないので、スライス幅も分解
能と同程度の小さい値とする必要がある。
このようにＸ線のスライス幅が薄くなると、当然それに
ともなってスライス位置を正確に決めなければならな
い。このような場合に、通常光を用いてＸ線のスライス
位置を決めようとしても、平行光線でない通常光は光源
から被検体に至るまでの間に空間的に広がってしまい、
数十μｍ程度に集束させることは困難である。
ともなってスライス位置を正確に決めなければならな
い。このような場合に、通常光を用いてＸ線のスライス
位置を決めようとしても、平行光線でない通常光は光源
から被検体に至るまでの間に空間的に広がってしまい、
数十μｍ程度に集束させることは困難である。
本発明は上記事情に基づいてなされたものであり、高分
解能のCT画像を得るためにＸ線のスライス幅を数十μ程
度とした場合にも、正確なスライス位置を決定するこが
できるＸ線CT装置を提供することを目的とするものであ
る。
解能のCT画像を得るためにＸ線のスライス幅を数十μ程
度とした場合にも、正確なスライス位置を決定するこが
できるＸ線CT装置を提供することを目的とするものであ
る。
前記の目的を達成するための本発明に係るＸ線CT装置
は、Ｘ線源から発せられ被検体を透過したＸ線ビームを
適当なスライス幅で検出することにより、Ｘ線透過デー
タを収集しCT画像を再構成するＸ線CT装置において、 前記Ｘ線ビームの経路に対してレーザー光を照射するレ
ーザー光源を設け、かつ前記Ｘ線ビームの経路中にＸ線
を透過するとともに前記レーザー光の光路が前記Ｘ線ビ
ームの経路と一致するように前記レーザー光を反射する
ミラーを設け、該ミラーによって反射されたレーザー光
を前記被検体に照射することにより、前記Ｘ線ビームが
前記被検体をスライスする位置を決定するようにしたこ
とを特徴とするものである。
は、Ｘ線源から発せられ被検体を透過したＸ線ビームを
適当なスライス幅で検出することにより、Ｘ線透過デー
タを収集しCT画像を再構成するＸ線CT装置において、 前記Ｘ線ビームの経路に対してレーザー光を照射するレ
ーザー光源を設け、かつ前記Ｘ線ビームの経路中にＸ線
を透過するとともに前記レーザー光の光路が前記Ｘ線ビ
ームの経路と一致するように前記レーザー光を反射する
ミラーを設け、該ミラーによって反射されたレーザー光
を前記被検体に照射することにより、前記Ｘ線ビームが
前記被検体をスライスする位置を決定するようにしたこ
とを特徴とするものである。
レーザー光は、通常光と異なり空間的な広がりがきわめ
て小さく平行光線とみなすことができる。このため、ミ
ラーに反射されて被検体に当たるレーザー光は通常光と
異なり殆ど発散しない。したがって、被検体に当たるレ
ーザー光を、例えば光学顕微鏡などを用いて観測するこ
とにより、Ｘ線のスライス幅が数十μｍ程度の場合であ
っても被検体のスライス位置を正確に決定することがで
きる。
て小さく平行光線とみなすことができる。このため、ミ
ラーに反射されて被検体に当たるレーザー光は通常光と
異なり殆ど発散しない。したがって、被検体に当たるレ
ーザー光を、例えば光学顕微鏡などを用いて観測するこ
とにより、Ｘ線のスライス幅が数十μｍ程度の場合であ
っても被検体のスライス位置を正確に決定することがで
きる。
以下に図面を参照しつつ本発明の実施例について説明す
る。
る。
第１図は本発明の一実施例であるＸ線CT装置の概略構成
図であり、全体を横から見た状態を示している。本実施
例装置は扇状のＸ線ビームを発生するＸ線管１、被検体
Ａを載置し必要に応じて移動及び回転するステージ２、
扇状のＸ線ビームと平行に配列された多数のＸ線検出素
子によって被検透過後のＸ線を検出するＸ線検出器３、
Ｘ線ビームの経路に対してレーザー光を照射するレーザ
ー光源４、ミラー５、及び被検体に当たったレーザー光
を観測する光学顕微鏡６よりなる。このうちＸ線管１、
ステージ２の回転中心、及びＸ線検出器３の検出中心は
同一直線上にあるよう配置されている。
図であり、全体を横から見た状態を示している。本実施
例装置は扇状のＸ線ビームを発生するＸ線管１、被検体
Ａを載置し必要に応じて移動及び回転するステージ２、
扇状のＸ線ビームと平行に配列された多数のＸ線検出素
子によって被検透過後のＸ線を検出するＸ線検出器３、
Ｘ線ビームの経路に対してレーザー光を照射するレーザ
ー光源４、ミラー５、及び被検体に当たったレーザー光
を観測する光学顕微鏡６よりなる。このうちＸ線管１、
ステージ２の回転中心、及びＸ線検出器３の検出中心は
同一直線上にあるよう配置されている。
矢印付点線10はＸ線管より発せられたＸ線の経路を示
し、ミラー５はこの経路中のＸ線検出器３の前面に配置
されている。このミラー５はレーザー光源４から発され
たレーザー光を反射してその光路（同図中に矢印付実線
で示す。）がＸ線ビームの経路と一致するような角度に
調整されている。また、ミラー５は、レーザー光を反射
しＸ線を透過しなければならないので、アクリル等の軽
元素の素材を基盤として、その表面にアルミニウムなど
の光を反射する数十μｍ程度の金属薄膜を蒸着すること
によって得られる。
し、ミラー５はこの経路中のＸ線検出器３の前面に配置
されている。このミラー５はレーザー光源４から発され
たレーザー光を反射してその光路（同図中に矢印付実線
で示す。）がＸ線ビームの経路と一致するような角度に
調整されている。また、ミラー５は、レーザー光を反射
しＸ線を透過しなければならないので、アクリル等の軽
元素の素材を基盤として、その表面にアルミニウムなど
の光を反射する数十μｍ程度の金属薄膜を蒸着すること
によって得られる。
図中には示されていないが、Ｘ線検出器３の前にはＸ線
ビームをコリメートするコリメート板が設けられてお
り、このコリメート板の間隙を通過したＸ線のみがＸ線
検出器３によって検出される。すなわち、このコリメー
ト板の間隔によって被検体Ａを通過するＸ線のスライス
幅が決定される。産業上のＸ線CT装置の場合には、必要
とされる分解能が数十μｍ程度であるので、コリメート
板の間隔はＸ線管１、被検体Ａ、及びＸ線検出器３の相
互の位置を考慮して被検体位置におけるスライス幅が上
記分解能と同程度となるよう設定される。
ビームをコリメートするコリメート板が設けられてお
り、このコリメート板の間隙を通過したＸ線のみがＸ線
検出器３によって検出される。すなわち、このコリメー
ト板の間隔によって被検体Ａを通過するＸ線のスライス
幅が決定される。産業上のＸ線CT装置の場合には、必要
とされる分解能が数十μｍ程度であるので、コリメート
板の間隔はＸ線管１、被検体Ａ、及びＸ線検出器３の相
互の位置を考慮して被検体位置におけるスライス幅が上
記分解能と同程度となるよう設定される。
図に示すような円柱状の被検体Ａについて、上下方向の
一定範囲にわたってCT断層像を観察するときには、その
断層撮影を行う最初の位置を正確に決定しなければなら
らない。この場合、まず、被検体の撮影開始位置が大体
扇状のＸ線ビームの高さと同同じくなるようステージを
上下に移動させる。ここでＸ線ビームと同一経路になる
ように反射されたレーザー光を被検体Ａに照射すると、
被検体ＡのうちＸ線ビームによってスライスされる部分
にはレーザー光が当たって明るく照射される。
一定範囲にわたってCT断層像を観察するときには、その
断層撮影を行う最初の位置を正確に決定しなければなら
らない。この場合、まず、被検体の撮影開始位置が大体
扇状のＸ線ビームの高さと同同じくなるようステージを
上下に移動させる。ここでＸ線ビームと同一経路になる
ように反射されたレーザー光を被検体Ａに照射すると、
被検体ＡのうちＸ線ビームによってスライスされる部分
にはレーザー光が当たって明るく照射される。
このレーザー光が当たる部分は上述のように10μｍ〜10
0μｍ程度の極めて狭い範囲であるので、光学顕微鏡６
によってこの位置を観察しつつステージ２を上下に微調
整して撮影開始位置を定める。このときの光学顕微鏡６
の倍率は20〜30倍程度とする。
0μｍ程度の極めて狭い範囲であるので、光学顕微鏡６
によってこの位置を観察しつつステージ２を上下に微調
整して撮影開始位置を定める。このときの光学顕微鏡６
の倍率は20〜30倍程度とする。
このように断層撮影の開始位置が決定されたあとは、こ
の位置からステップモーター（図示せず）によってステ
ージ２を所定の間隔で上下に移動させて上記範囲全体に
ついてのCT画像を得ることができる。
の位置からステップモーター（図示せず）によってステ
ージ２を所定の間隔で上下に移動させて上記範囲全体に
ついてのCT画像を得ることができる。
上記の本実施例では、ミラー５とレーザー光源４とが被
検体ＡとＸ線検出器３との間に設けられている場合につ
いて説明したが、本発明はこれに限定されるものではな
く、ミラー５とレーザー光源４とをＸ線源１と被検体Ａ
との間に設ける構成としてもよい。
検体ＡとＸ線検出器３との間に設けられている場合につ
いて説明したが、本発明はこれに限定されるものではな
く、ミラー５とレーザー光源４とをＸ線源１と被検体Ａ
との間に設ける構成としてもよい。
以上説明したように本発明によれば、空間的な広がりが
小さく殆ど平行光線とみなせるレーザー光を用いている
ので、このレーザー光を極めて細く集束させ、その経路
をミラーによりＸ線ビームの経路と一致させることによ
り、Ｘ線のスライス幅が10μｍ〜100μｍ程度の高分解
能なCT画像を得る場合にもそのスライス位置を容易、か
つ高精度に決定することができるＸ線CT装置を提供する
ことができる。
小さく殆ど平行光線とみなせるレーザー光を用いている
ので、このレーザー光を極めて細く集束させ、その経路
をミラーによりＸ線ビームの経路と一致させることによ
り、Ｘ線のスライス幅が10μｍ〜100μｍ程度の高分解
能なCT画像を得る場合にもそのスライス位置を容易、か
つ高精度に決定することができるＸ線CT装置を提供する
ことができる。
第１図は本発明の一実施例であるＸ線CT装置の概略構成
図である。 １……Ｘ線管、２……ステージ、 ３……Ｘ線検出器、４……レーザー光源、 ５……ミラー、６……光学顕微鏡。
図である。 １……Ｘ線管、２……ステージ、 ３……Ｘ線検出器、４……レーザー光源、 ５……ミラー、６……光学顕微鏡。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山地 宏尚 神奈川県相模原市淵野辺５丁目10番１号 新日本製鐵株式會社エレクトロニクス研究 所内 (56)参考文献 特開 平２−241438（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−207042（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】Ｘ線源から発せられ被検体を透過したＸ線
ビームを適当なスライス幅で検出することにより、Ｘ線
透過データを収集しCT画像を再構成するＸ線CT装置にお
いて、 前記Ｘ線ビームの経路に対してレーザー光を照射するレ
ーザー光源を設け、かつ前記Ｘ線ビームの経路中にＸ線
を透過するとともに前記レーザー光の光路が前記Ｘ線ビ
ームの経路と一致するように前記レーザー光を反射する
ミラーを設け、該ミラーによって反射されたレーザー光
を前記被検体に照射することにより、前記Ｘ線ビームが
前記被検体をスライスする位置を決定するようにしたこ
とを特徴とするＸ線CT装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004255A JPH0692885B2 (ja) | 1990-01-10 | 1990-01-10 | Ｘ線ｃｔ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004255A JPH0692885B2 (ja) | 1990-01-10 | 1990-01-10 | Ｘ線ｃｔ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03209116A JPH03209116A (ja) | 1991-09-12 |
| JPH0692885B2 true JPH0692885B2 (ja) | 1994-11-16 |
Family
ID=11579433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004255A Expired - Lifetime JPH0692885B2 (ja) | 1990-01-10 | 1990-01-10 | Ｘ線ｃｔ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0692885B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8804905B2 (en) * | 2004-05-26 | 2014-08-12 | Werth Messtechnik Gmbh | Coordinate measuring apparatus and method for measuring an object |
| JP7168985B2 (ja) * | 2019-04-22 | 2022-11-10 | 株式会社リガク | 微細構造の解析方法、装置およびプログラム |
-
1990
- 1990-01-10 JP JP2004255A patent/JPH0692885B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03209116A (ja) | 1991-09-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10466185B2 (en) | X-ray interrogation system using multiple x-ray beams | |
| US9329141B2 (en) | Large field of view grating interferometers for X-ray phase contrast imaging and CT at high energy | |
| US4825454A (en) | Tomographic imaging with concentric conical collimator | |
| RU2145485C1 (ru) | Ультрамалоугловая рентгеновская томография | |
| US7286636B2 (en) | Flat panel detector based slot scanning configuration | |
| JPH01500968A (ja) | 断層像形成方法及び装置 | |
| JP2001269331A (ja) | 検査域におけるパルス運動量移動スペクトルを決定するコンピュータ断層撮影装置 | |
| JP2009002805A (ja) | 小角広角ｘ線測定装置 | |
| CN1860997B (zh) | X射线摄影装置 | |
| GB1598058A (en) | Apparatus for tomography using penetrating radiation | |
| JP2005509483A (ja) | 撮像方法および装置 | |
| RU2119660C1 (ru) | Устройство для определения состава и структуры неоднородного объекта (варианты) | |
| JP2016509872A (ja) | 高エネルギにおけるｘ線位相コントラストイメージング及びｃｔのための大視野格子干渉計 | |
| CN116548994B (zh) | X射线投影方位指示盘、基于x射线的三维数据采集系统 | |
| JPH0692885B2 (ja) | Ｘ線ｃｔ装置 | |
| RU2164081C2 (ru) | Устройство для малоугловой рентгеновской томографии | |
| JP3880033B2 (ja) | 結晶格子を有する物体の放射線撮影法による検査 | |
| JPS62106352A (ja) | 走査型ｘ線顕微鏡 | |
| JPH02138854A (ja) | Ｘ線断層像撮影装置 | |
| JPH05340894A (ja) | Ｋ吸収端差分法を用いたｘ線画像撮影装置並びにｘ線ｃｔ装置 | |
| JP2981696B2 (ja) | 検体の３次元情報計測方法および装置 | |
| KR102870583B1 (ko) | 멀티 핀홀을 이용한 산란 영상 획득 장치 및 이를 이용한 영상 획득 방법 | |
| RU2293971C2 (ru) | Устройство для радиографии и томографии | |
| RU2173087C2 (ru) | Устройство для малоугловой маммографии (варианты) | |
| WO2006095468A1 (ja) | Ｘ線回折分析装置およびｘ線回折分析方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071116 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081116 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081116 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091116 Year of fee payment: 15 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101116 Year of fee payment: 16 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101116 Year of fee payment: 16 |