JPH0692945B2 - Ｘ線マイクロアナライザ等における微量元素検出方法 - Google Patents
Ｘ線マイクロアナライザ等における微量元素検出方法Info
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- JPH0692945B2 JPH0692945B2 JP63301995A JP30199588A JPH0692945B2 JP H0692945 B2 JPH0692945 B2 JP H0692945B2 JP 63301995 A JP63301995 A JP 63301995A JP 30199588 A JP30199588 A JP 30199588A JP H0692945 B2 JPH0692945 B2 JP H0692945B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はＸ線マイクロアナライザ等における微量元素の
検出方法に関するものである。
検出方法に関するものである。
従来、試料に電子線あるいはＸ線を照射し、試料から発
生する特性Ｘ線を分光結晶により検出し、元素分析を行
うＸ線マイクロアナライザが知られているが、このよう
な検出装置において未知試料に或る指定された微量元素
が含まれているかどうか判定するためには、指定された
微量元素を検出できる分光結晶波長付近で分光結晶を走
査し、そのＸ線スペクトル波形データを収集し、Ｘ線ス
ペクトル波形が局所的に上に凸のピークを有しているか
どうかを見て微量元素の存在、非存在を決定していた。
生する特性Ｘ線を分光結晶により検出し、元素分析を行
うＸ線マイクロアナライザが知られているが、このよう
な検出装置において未知試料に或る指定された微量元素
が含まれているかどうか判定するためには、指定された
微量元素を検出できる分光結晶波長付近で分光結晶を走
査し、そのＸ線スペクトル波形データを収集し、Ｘ線ス
ペクトル波形が局所的に上に凸のピークを有しているか
どうかを見て微量元素の存在、非存在を決定していた。
しかしながら、Ｘ線スペクトルの波形が局所的にピーク
を有しているかどかで微量元素の存在、非存在を判定す
る方法では、判定に対する定量性に乏しく、また存在す
ることが確認された場合にもその概算の濃度を測定する
ことができなかった。
を有しているかどかで微量元素の存在、非存在を判定す
る方法では、判定に対する定量性に乏しく、また存在す
ることが確認された場合にもその概算の濃度を測定する
ことができなかった。
本発明は上記課題を解決するためのもので、微量元素の
存在、非存在の判定の正確度、信頼性を向上させ、微量
元素が存在する場合にその濃度まで測定することができ
るＸ線マイクロアナライザ等における微量元素検出方法
を提供することを目的とする。
存在、非存在の判定の正確度、信頼性を向上させ、微量
元素が存在する場合にその濃度まで測定することができ
るＸ線マイクロアナライザ等における微量元素検出方法
を提供することを目的とする。
そのために本発明のＸ線マイクロアナライザ等における
微量元素検出方法は、指定した微量元素の特性Ｘ線のう
ち最大強度の特性Ｘ線と、２番目の強度の特性Ｘ線を含
む分光器の走査範囲を設定してＸ線スペクトルを収集す
る段階、Ｘ線スペクトルの最大強度の特性Ｘ線の有無に
ついて判定を行う段階、第１次判定により最大強度の特
性Ｘ線が存在すると判定した時に２番目の強度の特性Ｘ
線について第２次判定を行う意義があるか否か純試料デ
ータを参照してチェックする段階、チェックの結果第２
次判定の意義がある場合、２番目の強度の特定Ｘ線の存
在の有無について第２次判定を行う段階、第１次判定結
果、チェック結果、第２次判定結果に基づき指定した元
素の存在の有無を判定する段階、当該元素が存在すると
判定したとき、純試料データを参照して濃度を算出する
段階からなることを特長とする。
微量元素検出方法は、指定した微量元素の特性Ｘ線のう
ち最大強度の特性Ｘ線と、２番目の強度の特性Ｘ線を含
む分光器の走査範囲を設定してＸ線スペクトルを収集す
る段階、Ｘ線スペクトルの最大強度の特性Ｘ線の有無に
ついて判定を行う段階、第１次判定により最大強度の特
性Ｘ線が存在すると判定した時に２番目の強度の特性Ｘ
線について第２次判定を行う意義があるか否か純試料デ
ータを参照してチェックする段階、チェックの結果第２
次判定の意義がある場合、２番目の強度の特定Ｘ線の存
在の有無について第２次判定を行う段階、第１次判定結
果、チェック結果、第２次判定結果に基づき指定した元
素の存在の有無を判定する段階、当該元素が存在すると
判定したとき、純試料データを参照して濃度を算出する
段階からなることを特長とする。
本発明は指定した微量元素の特性Ｘ線のうち最大強度の
特性Ｘ線と、２番目の強度の特性Ｘ線を含む分光結晶の
走査波長範囲を設定してＸ線スペクトルデータを収集
し、収集したＸ線スペクトルについてまず最大強度の特
性Ｘ線の有無について第１次判定を行い、ピークが存在
しないと判定した場合は当該元素は存在しないものと結
論し、第１次判定によりピークが存在する判定した場合
には２番目の強度の特性Ｘ線について第２次判定を行う
意義があるか否かのチェックを純試料のデータを参照し
て行い、第２次判定を行う意義がないとした場合には第
１次判定結果を信頼して当該元素が存在するものと結論
し、第２次判定の意義があるとした場合には第２次判定
を行い、第２次判定結果に基づき当該元素が存在するか
否か判定し、当該元素が存在すると結論した場合には、
純試料データとの比により濃度を算出するようにしたも
のであり、第１次判定、第２次判定を行って総合的に微
量元素の存在、非存在を判定するため、検出の正確度、
信頼性が向上し、また濃度まで測定することが可能とな
る。
特性Ｘ線と、２番目の強度の特性Ｘ線を含む分光結晶の
走査波長範囲を設定してＸ線スペクトルデータを収集
し、収集したＸ線スペクトルについてまず最大強度の特
性Ｘ線の有無について第１次判定を行い、ピークが存在
しないと判定した場合は当該元素は存在しないものと結
論し、第１次判定によりピークが存在する判定した場合
には２番目の強度の特性Ｘ線について第２次判定を行う
意義があるか否かのチェックを純試料のデータを参照し
て行い、第２次判定を行う意義がないとした場合には第
１次判定結果を信頼して当該元素が存在するものと結論
し、第２次判定の意義があるとした場合には第２次判定
を行い、第２次判定結果に基づき当該元素が存在するか
否か判定し、当該元素が存在すると結論した場合には、
純試料データとの比により濃度を算出するようにしたも
のであり、第１次判定、第２次判定を行って総合的に微
量元素の存在、非存在を判定するため、検出の正確度、
信頼性が向上し、また濃度まで測定することが可能とな
る。
以下、実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本発明による微量元素検出方法のシステム構成
を示すブロック図、第２図はＸ線スペクトル波形を示す
図、第３図は本発明の微量元素処理フローを示す図であ
る。図中、１は波長分散型Ｘ線分光器、２は元素名入力
部、３はデータ収集部、４は特性Ｘ線抽出部、５は判定
処理部、６は純試料データ、７は濃度算出処理部、８は
表示部である。
を示すブロック図、第２図はＸ線スペクトル波形を示す
図、第３図は本発明の微量元素処理フローを示す図であ
る。図中、１は波長分散型Ｘ線分光器、２は元素名入力
部、３はデータ収集部、４は特性Ｘ線抽出部、５は判定
処理部、６は純試料データ、７は濃度算出処理部、８は
表示部である。
或る指定された微量元素A,B,C……が未知試料中に存在
するかどうかを判定する場合に、元素A,B,C……の純試
料（濃度100％）について予め数種類の加速電圧で電子
ビームを照射し、各元素の特性Ｘ線が検出される指定さ
れた分光結晶によって測定された値から元素の原子番号
依存性、加速電圧依存性を考慮して特性Ｘ線Ｋα,Kβ,L
α,Lβ,Mα,Mβの強度を算出する。
するかどうかを判定する場合に、元素A,B,C……の純試
料（濃度100％）について予め数種類の加速電圧で電子
ビームを照射し、各元素の特性Ｘ線が検出される指定さ
れた分光結晶によって測定された値から元素の原子番号
依存性、加速電圧依存性を考慮して特性Ｘ線Ｋα,Kβ,L
α,Lβ,Mα,Mβの強度を算出する。
この場合、特性Ｘ線の波長をλ、光束をＣ、原子番号
Ｚ、σを定数とした時に、波長λと原子番号との間には
(1)式のような関係が存在する。
Ｚ、σを定数とした時に、波長λと原子番号との間には
(1)式のような関係が存在する。
C/λ∝（Ｚ−σ）2 ……………(1) また、加速電圧をＥ、臨界励起電圧をEc、Ｘ線強度をXi
とした時に、Ｘ線強度と加速電圧との間には次の(2)式
のような関係が成立する。
とした時に、Ｘ線強度と加速電圧との間には次の(2)式
のような関係が成立する。
Xi∝(E-Ec)1.67 ……………(2) 分光結晶により特性Ｘ線の波長λを検出することにより
(1)式により元素が特定され、また加速電圧Ｅが臨界励
起電圧Ecより小さいとＸ線は発生せず、また加速電圧を
変えるとＸ線強度は変化するので、加速電圧を指定して
特性Ｘ線の強度を算出する。
(1)式により元素が特定され、また加速電圧Ｅが臨界励
起電圧Ecより小さいとＸ線は発生せず、また加速電圧を
変えるとＸ線強度は変化するので、加速電圧を指定して
特性Ｘ線の強度を算出する。
これは第１図において元素名入力部２により元素名を入
力すると、適当な分光結晶範囲を選択され、同時に加速
電圧が指定されてデータ収集部３によりＸ線スペクトル
を求めることにより行われる。
力すると、適当な分光結晶範囲を選択され、同時に加速
電圧が指定されてデータ収集部３によりＸ線スペクトル
を求めることにより行われる。
これらの特性Ｘ線のうち最大強度になるＸ線名をＮ
α（Ｎ＝K,L,M）とし、特性Ｘ線抽出部４により元素A,
B,C……についてそれぞれ最大強度の特性Ｘ線▲ＮＡ α
▼，▲ＮＢ α▼，▲ＮＣ α▼……を求め、次に２番目の
強度の特性Ｘ線▲ＮＡ β▼，▲ＮＢ β▼，▲ＮＣ β▼…
…の強度を求める。なお、これらのうち発生しないＸ線
は強度０とする。こうして純試料により特性Ｘ線▲ＮＡ
α▼，▲ＮＢ α▼，▲ＮＣ α▼……▲ＮＡ β▼，▲ＮＢ
β▼，▲ＮＣ β▼……が定まり、これを検出する分光結
晶も定まればＸ線波長から分光結晶位置も定まる。
α（Ｎ＝K,L,M）とし、特性Ｘ線抽出部４により元素A,
B,C……についてそれぞれ最大強度の特性Ｘ線▲ＮＡ α
▼，▲ＮＢ α▼，▲ＮＣ α▼……を求め、次に２番目の
強度の特性Ｘ線▲ＮＡ β▼，▲ＮＢ β▼，▲ＮＣ β▼…
…の強度を求める。なお、これらのうち発生しないＸ線
は強度０とする。こうして純試料により特性Ｘ線▲ＮＡ
α▼，▲ＮＢ α▼，▲ＮＣ α▼……▲ＮＡ β▼，▲ＮＢ
β▼，▲ＮＣ β▼……が定まり、これを検出する分光結
晶も定まればＸ線波長から分光結晶位置も定まる。
そこで元素名入力部２より元素名を入力すると、対応す
る分光結晶が選択され、Ｎα,Nβを含み、これらＸ線の
前後スペクトルの半値幅の数倍程度の分光結晶の走査を
行ってデータ収集部３に未知試料のＸ線スペクトルが収
集される。存在元素は微量であり、通常ＮαとＮβの距
離は短いので、走査距離も短く、通常この走査において
は数回以上の積算を行っても分析時間が10分以上と長く
なることはない。なお、Ｎβが存在しない場合にはＮα
のみでよい。
る分光結晶が選択され、Ｎα,Nβを含み、これらＸ線の
前後スペクトルの半値幅の数倍程度の分光結晶の走査を
行ってデータ収集部３に未知試料のＸ線スペクトルが収
集される。存在元素は微量であり、通常ＮαとＮβの距
離は短いので、走査距離も短く、通常この走査において
は数回以上の積算を行っても分析時間が10分以上と長く
なることはない。なお、Ｎβが存在しない場合にはＮα
のみでよい。
こうして第２図に示すような形状のＸ線スペクトルが得
られる。
られる。
次に特性Ｘ線抽出部４によりＮα線、Ｎβ線を抽出し、
判定処理部５により純試料データ６を参照しながら、微
量元素の存在、非存在の判定を行う。
判定処理部５により純試料データ６を参照しながら、微
量元素の存在、非存在の判定を行う。
第２図において、Ａ元素から発生する特性Ｘ線▲ＮＡ α
▼，▲ＮＡ β▼線のＸ線強度について、Ａ元素が純元素
とした時の理論的Ｘ線強度（正味）を▲ＩＯ Ａ α▼，▲
ＩＯ Ａ β▼とする。そして、実際に観測されるＸ線ピー
ク、およびバックグラウンド強度を、それぞれ▲ＩＰ Ａ
α▼，▲ＩＢ Ａ α▼とする。ここで、バックグラウンド
強度▲ＩＢ Ａ α▼は▲ＮＡ α▼線のピーク位置から両サ
イドの半値幅の数倍程度の距離だけ離れたＸ線強度の平
均値をもってこれにあてるものとする。
▼，▲ＮＡ β▼線のＸ線強度について、Ａ元素が純元素
とした時の理論的Ｘ線強度（正味）を▲ＩＯ Ａ α▼，▲
ＩＯ Ａ β▼とする。そして、実際に観測されるＸ線ピー
ク、およびバックグラウンド強度を、それぞれ▲ＩＰ Ａ
α▼，▲ＩＢ Ａ α▼とする。ここで、バックグラウンド
強度▲ＩＢ Ａ α▼は▲ＮＡ α▼線のピーク位置から両サ
イドの半値幅の数倍程度の距離だけ離れたＸ線強度の平
均値をもってこれにあてるものとする。
次に、 ▲ＩＡ α▼＝▲ＩＰ Ａ α▼−▲ＩＢ Ａ α▼ とし、分散をσαとすると、 となる。
▲ＩＡ α▼＜２σα であれば▲ＮＡ α▼線のピークはないと判定するのが妥
当であり、この微量元素は存在しないと結論することが
できる。次に、 ▲ＩＡ α▼≧２σα であれば、▲ＮＡ α▼に対して予想される▲ＮＡ β▼線
の強度を▲Ｉ′Ａ β▼とすると純元素に帯する値から、 ▲Ｉ′Ａ β▼＝▲ＩＡ α▼・▲ＩＯ Ａ β▼／▲ＩＯ Ａ α
▼ として求められる。もし、 ▲Ｉ′Ａ β▼＜２σα であれば、▲ＮＡ β▼線を測定する意義はないと判断す
るのが妥当であり、▲ＮＡ α▼線ピークを信頼してこの
微量元素は存在すると結論する。もし、 ▲Ｉ′Ａ β▼≧２σα ならば▲ＮＡ β▼を測定する意義があると考えられるの
で、▲ＮＡ β▼線のピークおよびバックグラウンドを測
定して、測定のＸ線強度をそれぞれ▲ＩＰ Ａ β▼，▲Ｉ
Ｂ Ａ β▼とする。
当であり、この微量元素は存在しないと結論することが
できる。次に、 ▲ＩＡ α▼≧２σα であれば、▲ＮＡ α▼に対して予想される▲ＮＡ β▼線
の強度を▲Ｉ′Ａ β▼とすると純元素に帯する値から、 ▲Ｉ′Ａ β▼＝▲ＩＡ α▼・▲ＩＯ Ａ β▼／▲ＩＯ Ａ α
▼ として求められる。もし、 ▲Ｉ′Ａ β▼＜２σα であれば、▲ＮＡ β▼線を測定する意義はないと判断す
るのが妥当であり、▲ＮＡ α▼線ピークを信頼してこの
微量元素は存在すると結論する。もし、 ▲Ｉ′Ａ β▼≧２σα ならば▲ＮＡ β▼を測定する意義があると考えられるの
で、▲ＮＡ β▼線のピークおよびバックグラウンドを測
定して、測定のＸ線強度をそれぞれ▲ＩＰ Ａ β▼，▲Ｉ
Ｂ Ａ β▼とする。
そして▲ＮＡ α▼の場合と同様に次の判断を行う。
▲ＩＡ β▼＝▲ＩＰ Ａ β▼−▲ＩＢ Ａ β▼ として、 ならば、▲ＮＡ β▼線のピークはないと判断し、この微
量元素は存在しないと結論する。この場合▲ＮＡ α▼と
して観測されたピークは他の元素の高次線であることに
なる。
量元素は存在しないと結論する。この場合▲ＮＡ α▼と
して観測されたピークは他の元素の高次線であることに
なる。
▲ＩＡ β▼≧２σβ の時はこの微量元素は存在すると結論する。
こうして元素が存在すると結論された場合には、濃度算
出処理部７により、 ｋ＝▲ＩＡ α▼／▲ＩＯ Ａ α▼ を算出し、この値をＡ元素の濃度として表示部８にその
濃度を表示する。
出処理部７により、 ｋ＝▲ＩＡ α▼／▲ＩＯ Ａ α▼ を算出し、この値をＡ元素の濃度として表示部８にその
濃度を表示する。
以上のような検出手順を第３図のフローにより説明す
る。
る。
まず元素名を入力し（ステップ）、次に最適特性Ｘ線
Ｎα,Nβを検出する分光結晶、分光チャンネル、分光走
査範囲および純試料の特性Ｘ線強度ＩＯα,IＯβの算出
を行う（ステップ）。次に未知試料のＸ線スペクトル
データを収集し（ステップ）、Ｎα線のピークがある
かないか判断し（ステップ）、ピークがある場合には
Ｎβ線のピーク判定の意義があるか否か判断し（ステッ
プ）、その意義がある場合にはＮβ線のピークがある
か否か判断する（ステップ）。そしてステップで意
義がないと判断した場合、ステップでＮβ線のピーク
があると判断した場合にはそれぞれ当該元素は存在する
と結論し（ステップ）、ステップでＮα線のピーク
がないと判断した場合、またステップでＮβ線のピー
クがないと判断した場合には、それぞれ元素は存在しな
いと結論する（ステップ）。そして元素が存在すると
結論した場合には、Ｉα/IＯαを計算し、濃度表示する
（ステップ）。
Ｎα,Nβを検出する分光結晶、分光チャンネル、分光走
査範囲および純試料の特性Ｘ線強度ＩＯα,IＯβの算出
を行う（ステップ）。次に未知試料のＸ線スペクトル
データを収集し（ステップ）、Ｎα線のピークがある
かないか判断し（ステップ）、ピークがある場合には
Ｎβ線のピーク判定の意義があるか否か判断し（ステッ
プ）、その意義がある場合にはＮβ線のピークがある
か否か判断する（ステップ）。そしてステップで意
義がないと判断した場合、ステップでＮβ線のピーク
があると判断した場合にはそれぞれ当該元素は存在する
と結論し（ステップ）、ステップでＮα線のピーク
がないと判断した場合、またステップでＮβ線のピー
クがないと判断した場合には、それぞれ元素は存在しな
いと結論する（ステップ）。そして元素が存在すると
結論した場合には、Ｉα/IＯαを計算し、濃度表示する
（ステップ）。
なお、上記実施例ではＮα線とＮβ線とについて判定す
るようにしたが、Ｎβ線の代わりに同じＮα線でも異な
る分光結晶で検出した強度の小さいＮα線を使用しても
よい。これは、例えばベリリゥム（Be）〜ふっ素（Ｆ）
ではＫαのみ、Na〜TiではＫα,Kβ、Ｃｒ以上では
Ｋα,Kβ,Lα,Lβがそれぞれ検出され、Be〜ＦではＮβ
が存在せず、これを使用することができないのでこのよ
うな場合に適用すればよい。
るようにしたが、Ｎβ線の代わりに同じＮα線でも異な
る分光結晶で検出した強度の小さいＮα線を使用しても
よい。これは、例えばベリリゥム（Be）〜ふっ素（Ｆ）
ではＫαのみ、Na〜TiではＫα,Kβ、Ｃｒ以上では
Ｋα,Kβ,Lα,Lβがそれぞれ検出され、Be〜ＦではＮβ
が存在せず、これを使用することができないのでこのよ
うな場合に適用すればよい。
以上のように本発明によれば、ある微量元素の存在、非
存在を決定するために当該元素名を入力することによ
り、それらを最も効果的に検出し得る最大強度の特性Ｘ
線名Ｎα（Ｎ＝K,LまたはＭ）とその分光位置および２
番目の強度の特性Ｘ線Ｎβを含む分光器走査位置を設定
でき、数回の積算によってＸ線スペクトル波形を収集で
きるため、短時間に必要充分のデータの収集ができる。
また、得られたＸ線スペクトルから当該元素の存在有無
を判定するために一番強度の強いＮα線について第１次
判定を行うことにより、ノイズ等の影響のない効果的な
判断が可能である。
存在を決定するために当該元素名を入力することによ
り、それらを最も効果的に検出し得る最大強度の特性Ｘ
線名Ｎα（Ｎ＝K,LまたはＭ）とその分光位置および２
番目の強度の特性Ｘ線Ｎβを含む分光器走査位置を設定
でき、数回の積算によってＸ線スペクトル波形を収集で
きるため、短時間に必要充分のデータの収集ができる。
また、得られたＸ線スペクトルから当該元素の存在有無
を判定するために一番強度の強いＮα線について第１次
判定を行うことにより、ノイズ等の影響のない効果的な
判断が可能である。
次に第１次判定に合格した場合には第２次判定を行う意
義があるかどうか、純試料のデータをもとにチェック
し、第２次判定を行う意義がなければ、第１次判定結果
のみで判断し、第２次判定を行う意義がある場合にはＮ
β線についての第２次判定を行い、総合的に微量元素の
存在、非存在を判断しているので、判定の正確度、信頼
性が飛躍的に高まり、また微量元素の濃度まで検出する
ことが可能となる。
義があるかどうか、純試料のデータをもとにチェック
し、第２次判定を行う意義がなければ、第１次判定結果
のみで判断し、第２次判定を行う意義がある場合にはＮ
β線についての第２次判定を行い、総合的に微量元素の
存在、非存在を判断しているので、判定の正確度、信頼
性が飛躍的に高まり、また微量元素の濃度まで検出する
ことが可能となる。
第１図は本発明による微量元素検出方法のシステム構成
を示すブロック図、第２図はＸ線スペクトル波形を示す
図、第３図は本発明の微量元素処理フローを示す図であ
る。 １……波長分散型Ｘ線分光器、２……元素名入力部、３
……データ収集部、４……特性Ｘ線抽出部、５……判定
処理部、６……純試料データ、７……濃度算出処理部、
８……表示部。
を示すブロック図、第２図はＸ線スペクトル波形を示す
図、第３図は本発明の微量元素処理フローを示す図であ
る。 １……波長分散型Ｘ線分光器、２……元素名入力部、３
……データ収集部、４……特性Ｘ線抽出部、５……判定
処理部、６……純試料データ、７……濃度算出処理部、
８……表示部。
フロントページの続き (72)発明者 田島 博 東京都昭島市武蔵野３丁目１番２号 日本 電子株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−236949（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−314956（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】指定した微量元素の特性Ｘ線のうち最大強
度の特性Ｘ線と、２番目の強度の特性Ｘ線を含む分光器
の走査範囲を設定してＸ線スペクトルを収集する段階、
Ｘ線スペクトルの最大強度の特性Ｘ線の有無について判
定を行う段階、第１次判定により最大強度の特性Ｘ線が
存在すると判定した時に２番目の強度の特性Ｘ線につい
て第２次判定を行う意義があるか否か純試料データを参
照してチェックする段階、チェックの結果第２次判定の
意義がある場合、２番目の強度の特定Ｘ線の存在の有無
について第２次判定を行う段階、第１次判定結果、チェ
ック結果、第２次判定結果に基づき指定した元素の存在
の有無を判定する段階、当該元素が存在すると判定した
とき、純試料データを参照して濃度を算出する段階から
なるＸ線マイクロアナライザ等における微量元素検出方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63301995A JPH0692945B2 (ja) | 1988-11-29 | 1988-11-29 | Ｘ線マイクロアナライザ等における微量元素検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63301995A JPH0692945B2 (ja) | 1988-11-29 | 1988-11-29 | Ｘ線マイクロアナライザ等における微量元素検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02147849A JPH02147849A (ja) | 1990-06-06 |
| JPH0692945B2 true JPH0692945B2 (ja) | 1994-11-16 |
Family
ID=17903617
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63301995A Expired - Fee Related JPH0692945B2 (ja) | 1988-11-29 | 1988-11-29 | Ｘ線マイクロアナライザ等における微量元素検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0692945B2 (ja) |
-
1988
- 1988-11-29 JP JP63301995A patent/JPH0692945B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02147849A (ja) | 1990-06-06 |
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