JPH069329B2 - 表面弾性波デバイス - Google Patents
表面弾性波デバイスInfo
- Publication number
- JPH069329B2 JPH069329B2 JP23894684A JP23894684A JPH069329B2 JP H069329 B2 JPH069329 B2 JP H069329B2 JP 23894684 A JP23894684 A JP 23894684A JP 23894684 A JP23894684 A JP 23894684A JP H069329 B2 JPH069329 B2 JP H069329B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- surface acoustic
- acoustic wave
- electrode fingers
- wave device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
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- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、通信機器等に用いられる表面弾性波デバイス
に関するものである。
に関するものである。
従来例の構成とその問題点 近年、通信機器等の部品点数削減、高品質化のために、
表面弾性波デバイスが多く用いられるようになってきて
いるが、さらに高性能化、低コスト化への要望が高まっ
てきている。
表面弾性波デバイスが多く用いられるようになってきて
いるが、さらに高性能化、低コスト化への要望が高まっ
てきている。
このような従来の表面弾性波デバイスについて、第４図
を用いて説明する。第４図は従来の表面弾性波デバイス
におけるフィルタ素子の平面図で、１は圧電基板、２は
重み付け電極、３はダミー電極である。
を用いて説明する。第４図は従来の表面弾性波デバイス
におけるフィルタ素子の平面図で、１は圧電基板、２は
重み付け電極、３はダミー電極である。
しかしながらこのような従来構成では、重み付け電極２
全体にわたって等ピッチの電極指が存在するため、特に
重み付け電極２の対数が多いときには、電極指による反
射のため、通過帯域内にリップルを生じる。すなわち、
スプリット型電極の場合、反射波の位相は90゜ずれてい
るため、キャンセルされてリップルは生じないはずであ
るが、現実には対数が多くなると電極指の反射によるリ
ップルも大きくなる。一方、ダミー電極３を設けない構
造では、中心軸近くを伝播する波とエッジ部分を伝播す
る波とでは、伝播速度がちがうため、波面の歪みを生
じ、周波数特性が劣化する。またスプリット型電極にす
ると、電極指の幅がλ／８になるため、断線しやすくな
り、歩留りが低下する。
全体にわたって等ピッチの電極指が存在するため、特に
重み付け電極２の対数が多いときには、電極指による反
射のため、通過帯域内にリップルを生じる。すなわち、
スプリット型電極の場合、反射波の位相は90゜ずれてい
るため、キャンセルされてリップルは生じないはずであ
るが、現実には対数が多くなると電極指の反射によるリ
ップルも大きくなる。一方、ダミー電極３を設けない構
造では、中心軸近くを伝播する波とエッジ部分を伝播す
る波とでは、伝播速度がちがうため、波面の歪みを生
じ、周波数特性が劣化する。またスプリット型電極にす
ると、電極指の幅がλ／８になるため、断線しやすくな
り、歩留りが低下する。
発明の目的 本発明は上記従来の欠点を解消するもので、電極指の反
射によって生じるリップルを低減し、かつ波面の歪みに
よる周波数特性の劣化をなくし、さらに歩留りを向上さ
せることのできる表面弾性波デバイスを提供することを
目的とする。
射によって生じるリップルを低減し、かつ波面の歪みに
よる周波数特性の劣化をなくし、さらに歩留りを向上さ
せることのできる表面弾性波デバイスを提供することを
目的とする。
発明の構成 上記目的を達成するため、本発明の表面弾性波デバイス
は、圧電基板上に少なくともスプリット型のアポダイズ
型重み付け電極を備え、この重み付け電極の交叉してい
ない分の電極指の幅をλ／２とし、かつ前記電極指の交
叉していない部分の電極指間隔を３λ／８と５λ／８と
の交互の繰り返しとしたものである。
は、圧電基板上に少なくともスプリット型のアポダイズ
型重み付け電極を備え、この重み付け電極の交叉してい
ない分の電極指の幅をλ／２とし、かつ前記電極指の交
叉していない部分の電極指間隔を３λ／８と５λ／８と
の交互の繰り返しとしたものである。
実施例の説明 以下、本発明の一実施例について、図面に基づいて説明
する。
する。
第１図は本発明の一実施例における表面弾性波デバイス
のフィルタ素子の平面図、第２図は同要部拡大平面図
で、11は圧電基板、12は重み付け電極、13は幅がλ／２
の電極指である。
のフィルタ素子の平面図、第２図は同要部拡大平面図
で、11は圧電基板、12は重み付け電極、13は幅がλ／２
の電極指である。
まず、ダミー電極を設けないと、電極内の反射は少なく
なるが、波面の歪みが生じるので、それを補償するため
に、交叉していない部分での電極指13の幅をλ／２にし
ている。このようにすると、電極指が交叉している部分
も交叉していない部分も、金属薄膜におおわれている部
分とおおわれていない部分との比が１：１になるので、
波の伝播速度は一様になり、波面の歪みは生じない。し
かしながら、λ／２の幅の電極指13が等間隔で並んでい
ると、その反射波は同位相となるので、リップルが生じ
やすい。そこで、交叉していない部分での電極指１３と
電極指１３との間隔が３λ／８と５λ／８との交互の繰
り返しになるように配置している。このようにすれば、
反射波の位相が90゜ずれるので、互いにキャンセルされ
てリップルが小さくなる。スプリット型のダミー電極で
も位相は90゜ずれるが、λ／２の線幅の電極に対して本
数が４倍になるので、リップルが生じやすい。またスプ
リット型電極にくらべて４倍の線幅になるので、それだ
け断線しにくくなり、歩留りが向上すると同時に、電気
抵抗も小さくなるので挿入損失も小さくなる。
なるが、波面の歪みが生じるので、それを補償するため
に、交叉していない部分での電極指13の幅をλ／２にし
ている。このようにすると、電極指が交叉している部分
も交叉していない部分も、金属薄膜におおわれている部
分とおおわれていない部分との比が１：１になるので、
波の伝播速度は一様になり、波面の歪みは生じない。し
かしながら、λ／２の幅の電極指13が等間隔で並んでい
ると、その反射波は同位相となるので、リップルが生じ
やすい。そこで、交叉していない部分での電極指１３と
電極指１３との間隔が３λ／８と５λ／８との交互の繰
り返しになるように配置している。このようにすれば、
反射波の位相が90゜ずれるので、互いにキャンセルされ
てリップルが小さくなる。スプリット型のダミー電極で
も位相は90゜ずれるが、λ／２の線幅の電極に対して本
数が４倍になるので、リップルが生じやすい。またスプ
リット型電極にくらべて４倍の線幅になるので、それだ
け断線しにくくなり、歩留りが向上すると同時に、電気
抵抗も小さくなるので挿入損失も小さくなる。
また電極指を間引く場合、第３図に破線で示すように、
電極指が交叉していない部分で相隣接する２本の電極指
を含む電極指対を一組として間引く。このようにする
と、中心軸付近を通過する波とエッジ部分を通過する波
とで波面の歪みが生ずることもなく、また電極指が交叉
していない部分ではそれぞれの電極指で反射される波の
位相は互いに90゜ずれているので、リップルは少なくな
る。
電極指が交叉していない部分で相隣接する２本の電極指
を含む電極指対を一組として間引く。このようにする
と、中心軸付近を通過する波とエッジ部分を通過する波
とで波面の歪みが生ずることもなく、また電極指が交叉
していない部分ではそれぞれの電極指で反射される波の
位相は互いに90゜ずれているので、リップルは少なくな
る。
発明の効果 以上説明したように本発明によれば、スプリット型の重
み付け電極の交叉していない部分の電極指の幅をλ／２
にし、その電極指の間隔を３λ／８と５λ／８との交互
の繰り返しにしたので、波面の歪みを生ずることなく、
リップルを低減することができ、交叉していない部分で
は電極指の幅が太くなるための断線しにくくなって歩留
りが向上し、また電気抵抗も小さくなるため挿入損失も
小さくなる。
み付け電極の交叉していない部分の電極指の幅をλ／２
にし、その電極指の間隔を３λ／８と５λ／８との交互
の繰り返しにしたので、波面の歪みを生ずることなく、
リップルを低減することができ、交叉していない部分で
は電極指の幅が太くなるための断線しにくくなって歩留
りが向上し、また電気抵抗も小さくなるため挿入損失も
小さくなる。
第１図は本発明の一実施例における表面弾性波デバイス
のフィルタ素子の平面図、第２図は同要部拡大平面図、
第３図は同フィルタ素子の電極指を間引いた状態の要部
の平面図、第４図は従来の表面弾性波デバイスにおける
フィルタ素子の平面図である。 11…圧電基板、12…重み付け電極、13……幅がλ／２の
電極指
のフィルタ素子の平面図、第２図は同要部拡大平面図、
第３図は同フィルタ素子の電極指を間引いた状態の要部
の平面図、第４図は従来の表面弾性波デバイスにおける
フィルタ素子の平面図である。 11…圧電基板、12…重み付け電極、13……幅がλ／２の
電極指
Claims (2)
- 【請求項１】圧電基板上に少なくともスプリット型のア
ポダイズ型重み付け電極を備え、この重み付け電極の交
叉していない部分の電極指の幅をλ／２（λは表面弾性
波の波長）とし、かつ前記電極指の交叉していない部分
の電極指間隔を３λ／８と５λ／８との交互の繰り返し
とした表面弾性波デバイス。 - 【請求項２】電極指が交叉していない部分で、少なくと
も相隣り合う２本の電極指を含む電極指対を一組として
間引いた特許請求の範囲第１項記載の表面弾性波デバイ
ス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23894684A JPH069329B2 (ja) | 1984-11-13 | 1984-11-13 | 表面弾性波デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23894684A JPH069329B2 (ja) | 1984-11-13 | 1984-11-13 | 表面弾性波デバイス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61117912A JPS61117912A (ja) | 1986-06-05 |
| JPH069329B2 true JPH069329B2 (ja) | 1994-02-02 |
Family
ID=17037631
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23894684A Expired - Lifetime JPH069329B2 (ja) | 1984-11-13 | 1984-11-13 | 表面弾性波デバイス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH069329B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5051644A (en) * | 1990-04-19 | 1991-09-24 | R. F. Monolithics, Inc. | Electrode structure with constant velocity and predetermined reflectivity |
-
1984
- 1984-11-13 JP JP23894684A patent/JPH069329B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61117912A (ja) | 1986-06-05 |
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