JPH0694278A - クリーンルーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 クリーンルーム内に虫などが侵入するのを防
止する。 【構成】 クリーンルーム内に清浄化空気を送り込んで
室内を通常よりも高い４ｍｍＡｑ前後の圧力状態に保持
させる。これにより、室内の空気が扉およびその他の隙
間から外部に吹き出すことになり、同隙間からの虫など
の侵入を防止することができるようになった。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルームに関
し、特に外部からの虫などの侵入を防止するためのもの
である。

【０００２】

【従来の技術】従来のクリーンルームにおいては、出入
口にエアーカーテン又はエアーシャワーを設けるなどし
て塵埃の侵入を防いでいた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、建物には窓
や扉の他にも壁、床、天井などに微小な隙間があった
り、あるいは、電気配線の設営の関係上、どうしても多
少の隙間ができる。しかし、前記出入口のエアーカーテ
ンやエアーシャワーの他にもクリーンルーム内には常に
ある程度の清浄化された空気が送り込まれており、該室
内は室外に比べれば幾分なりとも高い圧力下にあるた
め、余程のことで室内外の圧力が逆転しない限り、該隙
間より塵埃が入り込む恐れはなかった。ところが、この
ような状態にも拘わらず飛来して来た虫などは前記隙間
からも侵入することがあり、改善が望まれていた。

【０００４】

【課題を解決するための手段】そこで、従来のクリーン
ルームにおいて、出入口のエアーカーテンやエアーシャ
ワーの他、室内には常に換気用に空気を送り込んでいる
にも拘わらず、何故虫が侵入するかを検討した結果、従
来の室内の圧力は１〜２ｍｍＡｑで、出入口などの隙間
における外出風速は２〜３ｍ／ｓｅｃ以下であること。
そして、この程度の外出空気の抵抗下では飛来して来た
虫などは隙間から室内に入り込むことも判った。そこ
で、室内の圧力を次第に高くして隙間部の通過風速を上
げる実験をした結果、隙間部の通過風速が１０ｍ／ｓｅ
ｃ程度になると、虫の侵入を十分に阻止できることが判
った。そして、この時の室内圧力は略４ｍｍＡｑであっ
た。すなわち、本発明は、室内の圧力を４ｍｍＡｑ前後
に調節保持することによって虫の侵入を防止することに
あり、その作用は次のとおりである。

【０００５】

【作用】つまり、室内に清浄化された空気を従来の量以
上に送り込むことにより、室内の圧力を高くすると、そ
の結果として隙間部における室内から室外への外出空気
の勢いを増すことができる。そして、この外出空気の通
過風速を１０ｍ／ｓｅｃ程度まで上げてやると、虫など
も容易に室内に侵入することができなくなる。この時の
室内の圧力が略４ｍｍＡｑであり、言換えれば、室内の
圧力を４ｍｍＡｑにすれば外出空気の通過風速を１０ｍ
／ｓｅｃ程度にすることができ、出入口の隙間部からの
虫の侵入を十分阻止することができるわけである。但
し、室内の圧力を４ｍｍＡｑを大幅に越えるほど高くす
る必要はなく、むしろ高くすることによって、エネルギ
ー消費や送風に伴う騒音を増すことにもなるので、室内
の圧力は４ｍｍＡｑ前後に保持するのが望ましい。ま
た、出入口、その他の隙間部はできる限り小さくして置
く方が所要空気量を少なく、送風機を小型にでき、かつ
塵埃や虫などの侵入を確実に防止する上でも有効であ
る。

【０００６】

【発明の効果】このように、室内の圧力を高めることに
よって、窓や扉の隙間からの塵埃や虫の侵入を防止する
ことができる。また、気付かなかった壁、床、天井、換
気口、照明器具やコンセントなどの隅に隠れたわずかな
隙間からの塵埃や虫の侵入をも阻止することができるよ
うになった。

【０００７】

【実施例】次に、第１図により実施例を説明する。作業
用のクリーンルーム１内の出入口は内開きで自動閉鎖式
の扉１１によって略密閉されるようになっており、天井
には清浄化された空気の吹出口８を設けている。該吹出
口８からの空気は送風機４から送風ダクト１２を介して
送り込まれるが、送風ダクト１２の途中には高性能フイ
ルタ３を付設したフイルタユニット２を設けている。ま
た、送風機４への外気の取入口７には防虫網６と一次フ
イルタ５とを順に設けている。なお、送風機４はクリー
ンルーム１内に設けられた圧力センサー９からの検出信
号により、制御盤１０を介して回転数をインバータ制御
させ、送風量を調整して室内の圧力を常時４ｍｍＡｑ前
後に維持すべく構成させている。

【０００８】したがって、扉１１及びその他のすべての
隙間からは常に室内と室外の圧力差に伴い１０ｍ／ｓｅ
ｃ程度の空気が吹き出ている状態となり、該隙間からの
塵埃や虫の侵入は確実に阻止することができる。また、
作業者や物品の搬入出時に扉１１を開くと空気が流出し
室内の圧力が低下するため、これを検知して室内を所定
圧力に速やかに復帰させるべく送風機４の回転数を上
げ、吹出口８からの送風量を増加させる。そして、室内
の圧力が４ｍｍＡｑに達すると、送風機４の回転数を下
げ、この圧力状態に維持させるように運転を継続する。

【０００９】なお、当該隙間は少ない方が所要風量の低
減および設備面での小型化が図れ、経費面において有利
なことは当然のことである。そのためにも、できる限り
隙間部を塞ぐと共に、特に扉１１部はシール性に優れ、
かつ圧力に対してある程度堅牢なものが望ましい。

【００１０】

【別実施例】扉１１部には開閉時の排出空気の不足を補
うため、エアーシャワーやエアーカーテンを併用すると
更に効果が大きい。

【００１１】また、既設室内に空調を設置している場合
は、供給空気の空調処理が必要となるため、負荷に応じ
た空調機を新設し、室内温度センサーにより個別に運転
するか、あるいは当該設備の前記フイルタユニット２内
の高性能フイルタ３よりも上手側に冷温水コイル及び加
湿用ノズルを付設し、別途室内に設けた温度センサー及
び湿度センサーにより調整制御させて行う。

【００１２】

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の概要を示す説明図である。

【００１３】

【符号の説明】 １ クリーンルーム ２ フイルタユニット ３ 高性能フイルタ ４ 送風機 ５ 一次フイルタ ６ 防虫網 ７ 外気取入口 ８ 吹出口 ９ 圧力センサー １０ 操作盤 １１ 扉 １２ 送風ダクト

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被清浄室内に清浄化された空気を送り込
   み、該室内の圧力を略４ｍｍＡｑ以上に保持することに
   より、塵埃や虫などの侵入を防止することを特徴とした
   クリーンルーム。