JPH0694429A - 表面実装部品半田付外観検査方法 - Google Patents
表面実装部品半田付外観検査方法Info
- Publication number
- JPH0694429A JPH0694429A JP3180196A JP18019691A JPH0694429A JP H0694429 A JPH0694429 A JP H0694429A JP 3180196 A JP3180196 A JP 3180196A JP 18019691 A JP18019691 A JP 18019691A JP H0694429 A JPH0694429 A JP H0694429A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- visual inspection
- fiberscope
- optical system
- camera
- halogen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 狭小スペースにおける半田接合部の外観検査
を光学系により容易に実現することを目的とする。 【構成】 ハロゲン照明８とカメラ９とファイバースコ
ープ１０を一体に取付けた光学系のシステムを用いて外
観検査を行うものであり、即ち、ファイバースコープ１
０の先端より外観検査の対象であるフリップチップ１の
バンプ部２へハロゲンが照射され、その反射光をファイ
バースコープ１０の先端より取り込み画像処理にて良否
の判定を行うようにしたものである。 【効果】 狭い部分の画像取り込みが出来るようになっ
たため、光学系による外観検査が可能となる。これによ
り検査判定基準のバラツキが少なくなり、品質が均一化
する。
を光学系により容易に実現することを目的とする。 【構成】 ハロゲン照明８とカメラ９とファイバースコ
ープ１０を一体に取付けた光学系のシステムを用いて外
観検査を行うものであり、即ち、ファイバースコープ１
０の先端より外観検査の対象であるフリップチップ１の
バンプ部２へハロゲンが照射され、その反射光をファイ
バースコープ１０の先端より取り込み画像処理にて良否
の判定を行うようにしたものである。 【効果】 狭い部分の画像取り込みが出来るようになっ
たため、光学系による外観検査が可能となる。これによ
り検査判定基準のバラツキが少なくなり、品質が均一化
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、表面実装部品の光学
系の半田付外観検査方法に関するものである。
系の半田付外観検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３と図４は従来のこの種の外観検査方
法を示す概略図であり、図３において、１は外観検査の
対象となるバンプ部２をもつフリップチップ、３は表面
実装部品（抵抗、コンデンサ等）、４はこれらが実装さ
れるセラミック基板、５はＸ線装置本体、６はＸ線照射
ユニット、７は透過画像入力用カメラである。図４にお
いて、８はハロゲン照明、９はカメラである。
法を示す概略図であり、図３において、１は外観検査の
対象となるバンプ部２をもつフリップチップ、３は表面
実装部品（抵抗、コンデンサ等）、４はこれらが実装さ
れるセラミック基板、５はＸ線装置本体、６はＸ線照射
ユニット、７は透過画像入力用カメラである。図４にお
いて、８はハロゲン照明、９はカメラである。
【０００３】次にフリップチップ１のバンプ部２の外観
検査方法について説明する。図３の例においては、まず
Ｘ線装置本体５の検査部へ外観検査の対象となるワーク
（図中の１〜３）をセットする。次にＸ線照射ユニット
６よりＸ線を照射し、半田接合部の透過画像をカメラ７
でとらえる。そしてこの画像をモニター画面へ表示さ
せ、作業者の目視検査により良否の判定を行う。また図
４の例においては、外観検査の対象となるワークへハロ
ゲン照明８によりスポット光を照射し、その反射光をカ
メラ９でとらえ、画像処理により良否の判定を行う。
検査方法について説明する。図３の例においては、まず
Ｘ線装置本体５の検査部へ外観検査の対象となるワーク
（図中の１〜３）をセットする。次にＸ線照射ユニット
６よりＸ線を照射し、半田接合部の透過画像をカメラ７
でとらえる。そしてこの画像をモニター画面へ表示さ
せ、作業者の目視検査により良否の判定を行う。また図
４の例においては、外観検査の対象となるワークへハロ
ゲン照明８によりスポット光を照射し、その反射光をカ
メラ９でとらえ、画像処理により良否の判定を行う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが図３の例で
は、Ｘ線を使うため、装置の取扱いに十分注意する必要
があると同時に、大型になり、又、良否の判定基準が作
業者によりバラックなどの問題があった。また図４の例
では、表面実装部品３がフリップチップ１へ接近してい
るため、画像処理に必要な画像処理が不十分であった。
は、Ｘ線を使うため、装置の取扱いに十分注意する必要
があると同時に、大型になり、又、良否の判定基準が作
業者によりバラックなどの問題があった。また図４の例
では、表面実装部品３がフリップチップ１へ接近してい
るため、画像処理に必要な画像処理が不十分であった。
【０００５】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、図４の例をもとに画像入力の手
段を変更し、画像処理に必要な情報を得ることを目的と
している。
ためになされたもので、図４の例をもとに画像入力の手
段を変更し、画像処理に必要な情報を得ることを目的と
している。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明に係る画像入力
の手段としカメラレンズの先端へファイバースコープを
取付けたものである。
の手段としカメラレンズの先端へファイバースコープを
取付けたものである。
【０００７】
【作用】この発明におけるファイバースコープは先端外
径が細く狭いスペースでの画像の取り込みも可能であ
る。またファイバースコープの先端が斜視タイプであ
り、フリップチップ１のバンプ部２など、隠れた、若し
くは入り込んだ部分の画像取り込みも容易になる。
径が細く狭いスペースでの画像の取り込みも可能であ
る。またファイバースコープの先端が斜視タイプであ
り、フリップチップ１のバンプ部２など、隠れた、若し
くは入り込んだ部分の画像取り込みも容易になる。
【０００８】
【実施例】以下この発明の一実施例を図について説明す
る。図１において、１〜４は上記従来例に示したものと
同様のものである。８はハロゲン照明、９はカメラ、１
０は先端が斜視タイプのファイバースコープであり、こ
れら８，９，１０が一体で光学系のシステムを構成す
る。
る。図１において、１〜４は上記従来例に示したものと
同様のものである。８はハロゲン照明、９はカメラ、１
０は先端が斜視タイプのファイバースコープであり、こ
れら８，９，１０が一体で光学系のシステムを構成す
る。
【０００９】次にフリップチップ１、バンプ部２の外観
検査方法について説明する。まずファイバースコープ１
０の先端部を検査の対象となるバンプ部２へセットす
る。次にハロゲン照明８がファイバースコープ１０の先
端部からバンプ部２へ照射される。その反射光をファイ
バースコープ１０の先端部より取り込み、画像処理にて
良否の判定を行う。又、バンプ部２が図２の様に存在す
るため、画像を取り込む方向を変えながら（４方向）上
記動作を繰り返し、１個のフリップチップの外観検査を
終了する。
検査方法について説明する。まずファイバースコープ１
０の先端部を検査の対象となるバンプ部２へセットす
る。次にハロゲン照明８がファイバースコープ１０の先
端部からバンプ部２へ照射される。その反射光をファイ
バースコープ１０の先端部より取り込み、画像処理にて
良否の判定を行う。又、バンプ部２が図２の様に存在す
るため、画像を取り込む方向を変えながら（４方向）上
記動作を繰り返し、１個のフリップチップの外観検査を
終了する。
【００１０】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、狭い部
分や隠れた部分の画像取り込みができるようになり、光
学系による外観検査が可能となる。これにより検査判定
基準のバラツキが少なくなり、品質が均一化する。ま
た、装置も小型になると同時に安価にできるなどのすぐ
れた効果がある。
分や隠れた部分の画像取り込みができるようになり、光
学系による外観検査が可能となる。これにより検査判定
基準のバラツキが少なくなり、品質が均一化する。ま
た、装置も小型になると同時に安価にできるなどのすぐ
れた効果がある。
【図１】この発明の一実施例を示した光学系システムの
構成図である。
構成図である。
【図２】フリップチップ、バンプ部の位置を示した斜視
図である。
図である。
【図３】従来の外観検査方法を示したもので、Ｘ線装置
の構成図である。
の構成図である。
【図４】従来の外観検査方法を示したもので、光学系シ
ステムの構成図である。
ステムの構成図である。
１ フリップチップ ２ バンプ部 ３ 表面実装部品 ４ セラミック基板 ８ ハロゲン照明 ９ カメラ １０ ファイバースコープ
Claims (2)
- 【請求項１】 表面実装されたプリップチップのバンプ
部など隠れた接合部の外観検査において、画像取り込み
の手段としてハロゲン照明とカメラとファイバースコー
プとを一体に取付けた光学系のシステムを用い、ファイ
バースコープの先端より外観検査の対象物へハロゲンを
照射し、その反射光をファイバースコープの先端よりカ
メラに取り込み、その画像処理により良否の判定を行う
ようにしたことを特徴とする表面実装部品半田付外観検
査方法。 - 【請求項２】 ファイバースコープはその先端が斜視タ
イプである請求項１記載の表面実装部品半田付外観検査
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3180196A JPH0694429A (ja) | 1991-06-24 | 1991-06-24 | 表面実装部品半田付外観検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3180196A JPH0694429A (ja) | 1991-06-24 | 1991-06-24 | 表面実装部品半田付外観検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0694429A true JPH0694429A (ja) | 1994-04-05 |
Family
ID=16079081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3180196A Pending JPH0694429A (ja) | 1991-06-24 | 1991-06-24 | 表面実装部品半田付外観検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0694429A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6580501B2 (en) | 1998-10-19 | 2003-06-17 | Ersa Gmbh | Apparatus and method for the visual inspection in particular of concealed soldered joints |
| KR100487423B1 (ko) * | 1994-08-06 | 2005-08-01 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치모듈의실장방법 |
-
1991
- 1991-06-24 JP JP3180196A patent/JPH0694429A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100487423B1 (ko) * | 1994-08-06 | 2005-08-01 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치모듈의실장방법 |
| US6580501B2 (en) | 1998-10-19 | 2003-06-17 | Ersa Gmbh | Apparatus and method for the visual inspection in particular of concealed soldered joints |
| DE19847913B4 (de) * | 1998-10-19 | 2005-09-22 | Ersa Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur optischen Inspektion insbesondere verdeckter Lötverbindungen |
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