JPH0695012A - 温度補正機能つき偏光制御器 - Google Patents
温度補正機能つき偏光制御器Info
- Publication number
- JPH0695012A JPH0695012A JP27088792A JP27088792A JPH0695012A JP H0695012 A JPH0695012 A JP H0695012A JP 27088792 A JP27088792 A JP 27088792A JP 27088792 A JP27088792 A JP 27088792A JP H0695012 A JPH0695012 A JP H0695012A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric actuator
- block
- holding block
- holding
- optical fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000010287 polarization Effects 0.000 title claims abstract description 20
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 18
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims abstract description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 description 17
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical group [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 圧電アクチュエータ２Ａ・２Ｂ、保持ブロッ
ク４Ａ・４Ｂ及び取付台５の熱膨張収縮を相殺し、変調
信号源３からの変調信号だけで光ファイバ１を加圧し、
偏光状態を変化させる。 【構成】 圧電アクチュエータ２Ａ・２Ｂを向い合わせ
て配置し、変調信号源３により圧電アクチュエータ２Ａ
・２Ｂを駆動することにより光ファイバ１の径方向に圧
力を加える。圧電アクチュエータ２Ａ・２Ｂを保持ブロ
ック４Ａ・４Ｂで保持する。保持ブロック４Ａと保持ブ
ロック４Ｂを取付台５に取り付け、圧電アクチュエータ
２Ａと保持ブロック４Ａの間に温度補正ブロック６Ａを
挿入し、圧電アクチュエータ２Ｂと保持ブロック４Ｂの
間に温度補正ブロック６Ｂを挿入する。
ク４Ａ・４Ｂ及び取付台５の熱膨張収縮を相殺し、変調
信号源３からの変調信号だけで光ファイバ１を加圧し、
偏光状態を変化させる。 【構成】 圧電アクチュエータ２Ａ・２Ｂを向い合わせ
て配置し、変調信号源３により圧電アクチュエータ２Ａ
・２Ｂを駆動することにより光ファイバ１の径方向に圧
力を加える。圧電アクチュエータ２Ａ・２Ｂを保持ブロ
ック４Ａ・４Ｂで保持する。保持ブロック４Ａと保持ブ
ロック４Ｂを取付台５に取り付け、圧電アクチュエータ
２Ａと保持ブロック４Ａの間に温度補正ブロック６Ａを
挿入し、圧電アクチュエータ２Ｂと保持ブロック４Ｂの
間に温度補正ブロック６Ｂを挿入する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】偏光制御器は光ファイバの側面を
圧電アクチュエータで挟み、圧電アクチュエータに電圧
を加えて光ファイバに圧力を加え、光弾性効果により伝
搬光の偏光状態を変えるものである。この発明は、圧電
アクチュエータや取付台などによる熱膨張収縮を温度補
正ブロックで相殺し、周囲温度の影響を受けないように
した温度補正機能つき偏光制御器についてのものであ
る。
圧電アクチュエータで挟み、圧電アクチュエータに電圧
を加えて光ファイバに圧力を加え、光弾性効果により伝
搬光の偏光状態を変えるものである。この発明は、圧電
アクチュエータや取付台などによる熱膨張収縮を温度補
正ブロックで相殺し、周囲温度の影響を受けないように
した温度補正機能つき偏光制御器についてのものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】次に、従来技術による偏光制御器の構成
を図２より説明する。図２の１は光ファイバ、２Ａと２
Ｂは圧電アクチュエータ、３は変調信号源、４Ａは圧電
アクチュエータ２Ａを保持する保持ブロック、４Ｂは圧
電アクチュエータ２Ｂを保持する保持ブロック、５は保
持ブロック４Ａ・４Ｂを取り付ける取付台、７は光源で
ある。圧電アクチュエータ２Ａ・２Ｂ、保持ブロック４
Ａ・４Ｂ及び取付台５は金属で構成される。
を図２より説明する。図２の１は光ファイバ、２Ａと２
Ｂは圧電アクチュエータ、３は変調信号源、４Ａは圧電
アクチュエータ２Ａを保持する保持ブロック、４Ｂは圧
電アクチュエータ２Ｂを保持する保持ブロック、５は保
持ブロック４Ａ・４Ｂを取り付ける取付台、７は光源で
ある。圧電アクチュエータ２Ａ・２Ｂ、保持ブロック４
Ａ・４Ｂ及び取付台５は金属で構成される。
【０００３】任意の偏光状態をもつ光源７の出力光１０
は、光ファイバ１に入射される。圧電アクチュエータ２
Ａ・２Ｂは、光ファイバ１を挟む形で向い合わせて配置
され、変調信号源３からの信号で伸びたり縮んだりす
る。圧電アクチュエータ２Ａ・２Ｂに変調信号源３から
の信号を加え、光ファイバ１の径方向に圧力を加えるこ
とにより、出力光１０は光弾性効果を受け、偏光状態を
変化させる。なお、圧電アクチュエ−タによる偏光制御
については、例えば高橋貞行著、電気学会誌昭和61年発
行、 106巻６号p.55〜58、「微小変位制御用圧電セラミ
ックアクチュエ−タ」などに記載されている。
は、光ファイバ１に入射される。圧電アクチュエータ２
Ａ・２Ｂは、光ファイバ１を挟む形で向い合わせて配置
され、変調信号源３からの信号で伸びたり縮んだりす
る。圧電アクチュエータ２Ａ・２Ｂに変調信号源３から
の信号を加え、光ファイバ１の径方向に圧力を加えるこ
とにより、出力光１０は光弾性効果を受け、偏光状態を
変化させる。なお、圧電アクチュエ−タによる偏光制御
については、例えば高橋貞行著、電気学会誌昭和61年発
行、 106巻６号p.55〜58、「微小変位制御用圧電セラミ
ックアクチュエ−タ」などに記載されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図２の構成では、圧電
アクチュエータ２Ａ・２Ｂ、保持ブロック４Ａ・４Ｂ及
び取付台５は周囲温度の変化により熱膨張収縮を生ずる
ので、圧電アクチュエータ２Ａ・２Ｂへの入力信号がな
くても光ファイバ１を加圧したり、圧電アクチュエータ
２Ａ・２Ｂへ信号を入力しても光ファイバ１に適正な圧
力を加えないことがある。
アクチュエータ２Ａ・２Ｂ、保持ブロック４Ａ・４Ｂ及
び取付台５は周囲温度の変化により熱膨張収縮を生ずる
ので、圧電アクチュエータ２Ａ・２Ｂへの入力信号がな
くても光ファイバ１を加圧したり、圧電アクチュエータ
２Ａ・２Ｂへ信号を入力しても光ファイバ１に適正な圧
力を加えないことがある。
【０００５】この発明は、圧電アクチュエータ２Ａと保
持ブロック４Ａの間と、圧電アクチュエータ２Ｂと保持
ブロック４Ｂの間に、それぞれ取付台５及び保持ブロッ
ク４Ａ・４Ｂの線膨張率とは異なる線膨張率をもつ温度
補正ブロックを挿入することにより、圧電アクチュエー
タ２Ａ・２Ｂ、保持ブロック４Ａ・４Ｂ及び取付台５の
熱膨張収縮を相殺し、変調信号源３からの変調信号だけ
で光ファイバ１を加圧し、偏光状態を変化させる偏光制
御器の提供を目的とする。
持ブロック４Ａの間と、圧電アクチュエータ２Ｂと保持
ブロック４Ｂの間に、それぞれ取付台５及び保持ブロッ
ク４Ａ・４Ｂの線膨張率とは異なる線膨張率をもつ温度
補正ブロックを挿入することにより、圧電アクチュエー
タ２Ａ・２Ｂ、保持ブロック４Ａ・４Ｂ及び取付台５の
熱膨張収縮を相殺し、変調信号源３からの変調信号だけ
で光ファイバ１を加圧し、偏光状態を変化させる偏光制
御器の提供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明では、光ファイバ１を挟む形で圧電アクチ
ュエータ２Ａ・２Ｂを向い合わせて配置し、変調信号源
３により圧電アクチュエータ２Ａ・２Ｂを駆動すること
により光ファイバ１の径方向に圧力を加え、圧電アクチ
ュエータ２Ａを保持ブロック４Ａで保持し、圧電アクチ
ュエータ２Ｂを保持ブロック４Ｂで保持し、保持ブロッ
ク４Ａと保持ブロック４Ｂを取付台５に取り付け、圧電
アクチュエータ２Ａと保持ブロック４Ａの間に取付台５
及び保持ブロック４Ａの線膨張率とは異なる線膨張率を
もつ温度補正ブロック６Ａを挿入し、圧電アクチュエー
タ２Ｂと保持ブロック４Ｂの間に取付台５及び保持ブロ
ック４Ｂの線膨張率とは異なる線膨張率をもつ温度補正
ブロック６Ｂを挿入し、温度補正ブロック６Ａ・６Ｂに
より圧電アクチュエータ２Ａ・２Ｂ、保持ブロック４Ａ
・４Ｂ及び取付台５の熱膨張収縮を相殺する。
め、この発明では、光ファイバ１を挟む形で圧電アクチ
ュエータ２Ａ・２Ｂを向い合わせて配置し、変調信号源
３により圧電アクチュエータ２Ａ・２Ｂを駆動すること
により光ファイバ１の径方向に圧力を加え、圧電アクチ
ュエータ２Ａを保持ブロック４Ａで保持し、圧電アクチ
ュエータ２Ｂを保持ブロック４Ｂで保持し、保持ブロッ
ク４Ａと保持ブロック４Ｂを取付台５に取り付け、圧電
アクチュエータ２Ａと保持ブロック４Ａの間に取付台５
及び保持ブロック４Ａの線膨張率とは異なる線膨張率を
もつ温度補正ブロック６Ａを挿入し、圧電アクチュエー
タ２Ｂと保持ブロック４Ｂの間に取付台５及び保持ブロ
ック４Ｂの線膨張率とは異なる線膨張率をもつ温度補正
ブロック６Ｂを挿入し、温度補正ブロック６Ａ・６Ｂに
より圧電アクチュエータ２Ａ・２Ｂ、保持ブロック４Ａ
・４Ｂ及び取付台５の熱膨張収縮を相殺する。
【０００７】
【作用】次に、この発明による偏光制御器の構成を図１
により説明する。図１の６Ａと６Ｂは温度補正ブロック
であり、その他は図２と同じものである。温度補正ブロ
ック６Ａは圧電アクチュエータ２Ａと保持ブロック４Ａ
の間に挿入され、温度補正ブロック６Ｂは圧電アクチュ
エータ２Ｂと保持ブロック４Ｂの間に挿入される。
により説明する。図１の６Ａと６Ｂは温度補正ブロック
であり、その他は図２と同じものである。温度補正ブロ
ック６Ａは圧電アクチュエータ２Ａと保持ブロック４Ａ
の間に挿入され、温度補正ブロック６Ｂは圧電アクチュ
エータ２Ｂと保持ブロック４Ｂの間に挿入される。
【０００８】次に、図１の正面図を図３に示す。図３で
は、圧電アクチュエ−タ２Ａ・２Ｂの圧力付加方向の熱
膨張収縮だけを考え、熱膨張収縮による取付台５の材質
長変位量の基準を図３の光ファイバ１の中心の基準点１
１とする。圧電アクチュエータ２Ａと保持ブロック４Ａ
と温度補正ブロック６Ａの材質長変位量の基準を図３の
左端の基準点１２とし、圧電アクチュエータ２Ｂと保持
ブロック４Ｂと温度補正ブロック６Ｂの材質長変位量の
基準を図３の右端の基準点１３とする。
は、圧電アクチュエ−タ２Ａ・２Ｂの圧力付加方向の熱
膨張収縮だけを考え、熱膨張収縮による取付台５の材質
長変位量の基準を図３の光ファイバ１の中心の基準点１
１とする。圧電アクチュエータ２Ａと保持ブロック４Ａ
と温度補正ブロック６Ａの材質長変位量の基準を図３の
左端の基準点１２とし、圧電アクチュエータ２Ｂと保持
ブロック４Ｂと温度補正ブロック６Ｂの材質長変位量の
基準を図３の右端の基準点１３とする。
【０００９】外気温度が上昇すると、金属は熱膨張を生
じて材質長が変化するが、図３の圧電アクチュエ−タ２
Ａ・２Ｂは金属とは逆に熱収縮を生じ、基準点１１から
遠ざかる向き２１・２２に材質長が変位する。図５は、
圧電アクチュエ−タ２Ａ・２Ｂの外気温度と熱膨張収縮
の関係を示したものであり、温度の上昇にともない、長
さが収縮している状態を示している。
じて材質長が変化するが、図３の圧電アクチュエ−タ２
Ａ・２Ｂは金属とは逆に熱収縮を生じ、基準点１１から
遠ざかる向き２１・２２に材質長が変位する。図５は、
圧電アクチュエ−タ２Ａ・２Ｂの外気温度と熱膨張収縮
の関係を示したものであり、温度の上昇にともない、長
さが収縮している状態を示している。
【００１０】図３の保持ブロック４Ａ・４Ｂは基準点１
１に向かう向き２３・２４に、取付台５は基準点１１か
ら遠ざかる向き２５・２６に、温度補正ブロック６Ａ・
６Ｂは基準点１１に向かう向き２７・２８に式(1) で示
される関係により熱膨張を生じ、材質長を変位させる。 Ｌ2 ＝α・Ｌ1 ・（Ｔ2 −Ｔ1 ）……………(1) ここで、Ｌ2 は温度変化後の変位量、αは線膨張率、Ｌ
1 は初期材質長、Ｔ2は変化後温度、Ｔ1 は初期材質温
度である。
１に向かう向き２３・２４に、取付台５は基準点１１か
ら遠ざかる向き２５・２６に、温度補正ブロック６Ａ・
６Ｂは基準点１１に向かう向き２７・２８に式(1) で示
される関係により熱膨張を生じ、材質長を変位させる。 Ｌ2 ＝α・Ｌ1 ・（Ｔ2 −Ｔ1 ）……………(1) ここで、Ｌ2 は温度変化後の変位量、αは線膨張率、Ｌ
1 は初期材質長、Ｔ2は変化後温度、Ｔ1 は初期材質温
度である。
【００１１】圧電アクチュエ−タ２Ａの熱収縮による変
位量と取付台５の熱膨張による向き２５への変位量の和
と、保持ブロック４Ａと温度補正ブロック６Ａの熱膨張
による変位量の和が等しくなり、圧電アクチュエ−タ２
Ｂの熱収縮による変位量と取付台５の熱膨張による向き
２６への変位量の和と、保持ブロック４Ｂと温度補正ブ
ロック６Ｂの熱膨張による変位量の和が等しくなる線膨
張率をもつ金属を温度補正ブロック６Ａ・６Ｂに使用す
れば、偏光制御器の熱膨張収縮は相殺される。
位量と取付台５の熱膨張による向き２５への変位量の和
と、保持ブロック４Ａと温度補正ブロック６Ａの熱膨張
による変位量の和が等しくなり、圧電アクチュエ−タ２
Ｂの熱収縮による変位量と取付台５の熱膨張による向き
２６への変位量の和と、保持ブロック４Ｂと温度補正ブ
ロック６Ｂの熱膨張による変位量の和が等しくなる線膨
張率をもつ金属を温度補正ブロック６Ａ・６Ｂに使用す
れば、偏光制御器の熱膨張収縮は相殺される。
【００１２】
【実施例】次に、材質温度が５℃上昇した場合に、熱膨
張収縮による材質長の変化を相殺する偏光制御器の構成
を図４に示す。図４は、保持ブロック４Ａ・４Ｂと取付
台５の材質をインバ−ルにし、温度補正ブロック６Ａ・
６Ｂの材質をアルミニウムにした場合の偏光制御器の主
要部の寸法図である。保持ブロック４Ａの初期材質長を
2.2ｍｍとすると、温度上昇により変位する長さは、式
(1) にインバ−ルの線膨張率 1.2×10-6を代入すると
0.013μｍとなり、取付台５の初期材質長を25ｍｍとす
ると、変位する長さは0.15μｍとなる。
張収縮による材質長の変化を相殺する偏光制御器の構成
を図４に示す。図４は、保持ブロック４Ａ・４Ｂと取付
台５の材質をインバ−ルにし、温度補正ブロック６Ａ・
６Ｂの材質をアルミニウムにした場合の偏光制御器の主
要部の寸法図である。保持ブロック４Ａの初期材質長を
2.2ｍｍとすると、温度上昇により変位する長さは、式
(1) にインバ−ルの線膨張率 1.2×10-6を代入すると
0.013μｍとなり、取付台５の初期材質長を25ｍｍとす
ると、変位する長さは0.15μｍとなる。
【００１３】温度補正ブロック６Ａの初期材質長を 3.8
ｍｍとすると、温度上昇により変位する長さは、式(1)
にアルミニウムの線膨張率23×10-6を代入して、 0.437
μｍとなる。圧電アクチュエータ２Ａの初期材質長を18
ｍｍとすると、温度上昇による変位量は、図５の20℃か
ら25℃への変位量を読み取り、 0.3μｍである。したが
って、 0.013μｍ−0.15μｍ＋0.437 μｍ− 0.3μｍ＝
０となる。
ｍｍとすると、温度上昇により変位する長さは、式(1)
にアルミニウムの線膨張率23×10-6を代入して、 0.437
μｍとなる。圧電アクチュエータ２Ａの初期材質長を18
ｍｍとすると、温度上昇による変位量は、図５の20℃か
ら25℃への変位量を読み取り、 0.3μｍである。したが
って、 0.013μｍ−0.15μｍ＋0.437 μｍ− 0.3μｍ＝
０となる。
【００１４】保持ブロック４Ｂと温度補正ブロック６Ｂ
と圧電アクチュエ−タ２Ｂの変位量の計算も同じになる
ので、偏光制御器の熱膨張収縮を相殺することができ
る。図４では、インバールとアルミニウムを使用した場
合を説明したが、温度上昇後の変位量は、使用した金属
の初期材質長に比例するので、式(1) により変位量の和
が０になるように初期材質長を調整すれば、他の金属を
用いてもよい。。
と圧電アクチュエ−タ２Ｂの変位量の計算も同じになる
ので、偏光制御器の熱膨張収縮を相殺することができ
る。図４では、インバールとアルミニウムを使用した場
合を説明したが、温度上昇後の変位量は、使用した金属
の初期材質長に比例するので、式(1) により変位量の和
が０になるように初期材質長を調整すれば、他の金属を
用いてもよい。。
【００１５】インバ−ルとアルミニウムの線膨張率につ
いては、例えば大槻義彦・小出昭一朗共著、共立出版発
行、p.42「新版物理便利帖」などに記載されている。
いては、例えば大槻義彦・小出昭一朗共著、共立出版発
行、p.42「新版物理便利帖」などに記載されている。
【００１６】
【発明の効果】この発明によれば、圧電アクチュエータ
と保持ブロックの間に、取付台及び保持ブロックの線膨
張率とは異なる線膨張率をもつ温度補正ブロックを挿入
するので、圧電アクチュエータ、保持ブロック及び取付
台の熱膨張収縮を相殺し、変調信号源からの変調信号だ
けで光ファイバを加圧し、偏光状態を変化させることが
できる。
と保持ブロックの間に、取付台及び保持ブロックの線膨
張率とは異なる線膨張率をもつ温度補正ブロックを挿入
するので、圧電アクチュエータ、保持ブロック及び取付
台の熱膨張収縮を相殺し、変調信号源からの変調信号だ
けで光ファイバを加圧し、偏光状態を変化させることが
できる。
【図１】この発明による偏光制御器の構成図である。
【図２】従来技術による偏光制御器の構成図である。
【図３】図１の動作説明図である。
【図４】図１の実施例を示す図である。
【図５】圧電アクチュエータの温度対熱膨張収縮特性図
である。
である。
１ 光ファイバ ２Ａ 圧電アクチュエ−タ ２Ｂ 圧電アクチュエ−タ ３ 変調信号源 ４Ａ 保持ブロック ４Ｂ 保持ブロック ５ 取付台 ６Ａ 温度補正ブロック ６Ｂ 温度補正ブロック ７ 光源
Claims (1)
- 【請求項１】 光ファイバ(1) を挟む形で第１の圧電ア
クチュエータ(2A)と第２の圧電アクチュエータ(2B)を向
い合わせて配置し、 変調信号源(3) により第１の圧電アクチュエータ(2A)と
第２の圧電アクチュエータ(2B)を駆動することにより光
ファイバ(1) の径方向に圧力を加え、 第１の圧電アクチュエータ(2A)を第１の保持ブロック(4
A)で保持し、 第２の圧電アクチュエータ(2B)を第２の保持ブロック(4
B)で保持し、 第１の保持ブロック(4A)と第２の保持ブロック(4B)を取
付台(5) に取り付け、 第１の圧電アクチュエータ(2A)と第１の保持ブロック(4
A)の間に取付台(5) 及び保持ブロック(4A)の線膨張率と
は異なる線膨張率をもつ第１の温度補正ブロック(6A)を
挿入し、 第２の圧電アクチュエータ(2B)と第２の保持ブロック(4
B)の間に取付台(5) 及び保持ブロック(4B)の線膨張率と
は異なる線膨張率をもつ第２の温度補正ブロック(6B)を
挿入し、 第１の温度補正ブロック(6A)と第２の温度補正ブロック
(6B)により第１の圧電アクチュエータ(2A)、第２の圧電
アクチュエータ(2B)、第１の保持ブロック(4A)、第２の
保持ブロック(4B)及び取付台(5) の熱膨張収縮を相殺す
ることを特徴とする温度補正機能つき偏光制御器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27088792A JPH0695012A (ja) | 1992-09-14 | 1992-09-14 | 温度補正機能つき偏光制御器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27088792A JPH0695012A (ja) | 1992-09-14 | 1992-09-14 | 温度補正機能つき偏光制御器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0695012A true JPH0695012A (ja) | 1994-04-08 |
Family
ID=17492354
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27088792A Pending JPH0695012A (ja) | 1992-09-14 | 1992-09-14 | 温度補正機能つき偏光制御器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0695012A (ja) |
-
1992
- 1992-09-14 JP JP27088792A patent/JPH0695012A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6900926B2 (en) | Light induced strains in porous crystalline materials and uses thereof | |
| US3904274A (en) | Monolithic piezoelectric wavefront phase modulator | |
| US4280756A (en) | Piezoelectric bi-morph mirror actuator | |
| JPS6223476B2 (ja) | ||
| JP2000131583A (ja) | 光学部材保持構造 | |
| GB2176336A (en) | Ring laser gyro path-length control | |
| US20110317170A1 (en) | Wedge pair for phase shifting | |
| JPH0695012A (ja) | 温度補正機能つき偏光制御器 | |
| JPH05304323A (ja) | 変位拡大機構 | |
| WO1986001887A1 (en) | Stable path length control elements | |
| US6490385B1 (en) | Dimensionally stable device construction | |
| JPH0320910B2 (ja) | ||
| JP2955703B2 (ja) | 光路長制御用圧電アクチュエータ構造体 | |
| JPH04208584A (ja) | レーザ装置 | |
| JPH04139414A (ja) | 宇宙用ミラー駆動機構 | |
| JPH02102897A (ja) | 宇宙用膜面構造物 | |
| JP2514484B2 (ja) | 光路長制御用アクチュエ―タ | |
| JPH09271181A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| SU1737397A1 (ru) | Модул тор | |
| US5646803A (en) | Rotary magnetic head device with head base and transducer having linear expansion coefficients in a similar range | |
| JP2705604B2 (ja) | 空洞共振器の温度補償構造 | |
| JPS63302328A (ja) | 音響センサ | |
| JPH10127067A (ja) | 駆動装置 | |
| JPS6169009A (ja) | レンズ組立体 | |
| JPH03282505A (ja) | 導波路型光デバイス |