JPH0695722A - 設備機械制御シーケンスの作成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 チェック測定法を試行錯誤を重ねて確立する
ような場合、極めて短時間の内にそれを可能とする設備
機械制御シーケンスの作成方法を提供する。 【構成】 複数の位置決め制御ユニット部７、８と複数
の計測制御ユニット部９、１０の動作や処理内容を示す
リスト番号と、各リスト番号毎に任意の値が格納できる
複数のパラメータとを備えたリスト群を予め定めてお
き、操作者が選択したリスト番号とパラメータとを順次
マンマシンインタフェース部１３に入力すると、これに
基きマンマシンインタフェース部１３のメモリにはテー
ブル化された制御シーケンスが作成される。主制御部１
２はテーブル化された制御シーケンスのリスト番号とパ
ラメータを解釈し、リスト毎に順次その内容を実行す
る。動作後の内容で予め決められた必要なデータもテー
ブル化された制御シーケンスの所定パラメータに送られ
て格納され、主制御部１２は前記制御シーケンスを実行
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はアライメント装置のよう
に、複数の位置決め制御ユニット部と、複数の計測制御
ユニット部と、両制御ユニット部を集中制御するための
主制御部と、書換え可能なメモリを有するマンマシンイ
ンタフェース部とを備えた設備機械制御シーケンスの作
成方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】アライメント装置は、装置全体を制御す
る主制御シーケンスの外に、設備機械の位置決め精度の
測定、計測精度の測定等を行うためのチェック用制御シ
ーケンスが必要である。

【０００３】このため従来はソフト作成専門技術者が、
主制御シーケンスは勿論、チエック用制御シーケンスを
も作成しているのが一般であった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来法で
あると、位置決めの精度の測定方法や計測精度の測定方
法が確定されていず、最初に設定されたチェック用制御
シーケンスに基いて測定を行った結果、その測定法に不
具合いが見い出され、別の手順に従って測定を行う必要
が生ずる場合に、これに適するようにチェック用制御シ
ーケンスを作成する必要に迫られるが、ソフト作成専門
技術者にその作成を依頼すると、時間を要し、迅速に事
態に対応できないという問題があり、又費用も嵩むとい
う問題がある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
消するため、複数の位置決め制御ユニット部と、複数の
計測制御ユニット部と、両制御ユニット部を集中制御す
るための主制御部と、書換え可能なメモリを有するマン
マシンインタフェース部とを備えた設備機械における制
御シーケンスの作成方法において、各制御ユニット部の
動作や処理内容を示すリスト番号と、各リスト番号毎に
任意の値が格納できる複数のパラメータとを備えたリス
ト群を予め定めておき、操作者が選択したリスト番号と
パラメータとを順次マンマシンインタフェース部に入力
すると、これに基きマンマシンインタフェース部のメモ
リにはテーブル化された制御シーケンスが作成され、主
制御部はテーブル化された制御シーケンスのリスト番号
とパラメータを解釈し、リスト毎に順次その内容を実行
し、各制御ユニット部は主制御部からの動作指令に基き
動作し、動作後の内容で予め決められた必要なデータ
は、マンマシンインタフェース部のテーブル化された制
御シーケンスの所定パラメータに送られてここで格納さ
れ、主制御部は以降のリスト番号で必要であれば前記格
納されたデータを参照して前記制御シーケンスを実行す
るように構成されたことを特徴とする。

【０００６】

【作用】本発明によると、設備機械の位置決めの精度の
測定などを行なうとき、装置使用者が上記リスト群から
測定等に必要なリスト番号を選択し、順序付けすると共
に、そのリスト番号の一連の動作等に必要なパラメータ
の値等を決定し、これらのデータをマンマシンインタフ
ェース部に入力すると、これに基きマンマシンインタフ
ェース部のメモリには位置決め制御ユニット部及び計測
制御ユニット部を制御するシーケンスがテーブル化され
て自動的に作成される。

【０００７】主制御部は、前記テーブル内のリスト番号
とパラメータとを解釈し、各制御ユニット部に動作指令
を与え、チェック用制御シーケンスを実行する。

【０００８】このように、装置使用者はマンマシンイン
タフェース部を通じてリスト番号とパラメータとを入力
するという簡単な操作により、最善と思われる位置決め
の精度等に対するチェック測定の制御シーケンスを作成
し、これに基き装置にこれを実行させることができる。
従って前記チェック測定法を試行錯誤を重ねて確立して
いくような場合、極めて短時間の内にそれを確立するこ
とが可能となる。そして一連の操作は、装置使用者自ら
が簡単に行うことができ、ソフト作成専門技術者の手を
煩わすことがないので、時間的及びコスト的に有利とな
る。

【０００９】本発明によれば、上記作用に加え、マンマ
シンインタフェース部のテーブルに、或るリスト番号に
対応する動作の後の内容で予め決めた必要なデータを格
納し、以降のリスト番号で必要に応じて前記格納された
データ内容を用いて各制御ユニットの制御を行うことが
できるので、より適切なチェック用制御シーケンスに基
いて位置決め精度の測定等を行うことができる。

【００１０】

【実施例】以下アライメント装置の制御シーケンス作成
法についての実施例を図面を参照しつつ説明する。

【００１１】図１に示すアライメント装置において、１
は露光装置、２はパターン、３はレチクルステージ、４
は投影レンズ、５はワーク、６はＸＹステージである。
７はＸ軸位置決め制御ユニット部（位置決め制御ユニッ
ト部）で、Ｘ軸駆動手段７ａに駆動指令を与え、Ｘ軸セ
ンサ７ｂから駆動量データを入力する。８はＹ軸位置決
め制御ユニット部（位置決め制御ユニット部）で、Ｙ軸
駆動手段８ａに駆動指令を与え、Ｙ軸センサ８ｂから駆
動量データを入力する。９はワーク５の位置を計測する
位置認識制御ユニット部（計測制御ユニット部）で、レ
ーザ９ａからのレーザ光を用い、ワーク５に付されたマ
ークＭの位置を投影レンズ４を通して認識部９ｂで認識
することでワーク５の位置を計測するように構成されて
いる。１０は気圧測定制御ユニット部（計測制御ユニッ
ト部）で、気圧を測定する。

【００１２】Ｘ軸位置決め制御ユニット部７、Ｙ軸位置
決め制御ユニット部８、位置認識制御ユニット部９及び
気圧測定制御ユニット部１０は、バス１１を介して主制
御部１２に接続されている。又主制御部１２には前記バ
ス１１を介してマンマシンインタフェース部１３が接続
されている。１３ｂは入力部となる操作盤、１３ａはＣ
ＲＴからなる表示部、１３ｃは外部記憶装置で、いずれ
もマンマシンインタフェース部１３に接続されている。
又その他の位置決め制御ユニット部１４、１４……及び
その他の計測制御ユニット部１５、１５……もバス１１
を介して主制御部１２に接続されている。

【００１３】次にＸＹステージ６の位置決めの際の気圧
補正を例として、そのチェック用制御シーケンスの作成
方法について具体的に説明する。

【００１４】設計上は、ＸＹステージ６を原点位置から
Ｘ軸方向にｘ移動させたときに、ワーク５のマークＭが
Ｘ軸方向の所定位置にあることを位置認識制御ユニット
部９の認識部９ｂによって認識されるとする。ＸＹステ
ージ６のＸ軸方向の移動はＸ軸位置決め制御ユニット部
７によって制御され、駆動手段７ａ及びセンサ７ｂによ
って、ＸＹステージ６はＸ軸方向にｘ移動される。そし
てその結果、ワーク５のマークＭがＸ軸方向の所定位置
にあるか、或いは誤差はどれだけあるかが位置認識制御
ユニット部９によって認識計測される。気圧（実際には
ＸＹステージ６の機械的誤差、ワーク５の取付誤差、位
置認識制御ユニット部９の測定誤差、温度、湿度など様
々の誤差要因が考えられ、計測方法の確立が非常に困難
である。

【００１５】）の影響を考慮し、気圧補正された上で、
前記ｘは定められているが、その補正係数を装置の実情
に合致するように定めることは容易ではない。前記マー
クＭが所定位置に合致せず、Ｘ軸方向に誤差が計測され
るときは、前記補正係数を適正値に変更することが必要
である。

【００１６】図２は、上記気圧補正とＸ軸移動とに関し
てのリスト及びパラメータについてのリスト群を示して
いる。このリスト群は予め表に作成されており、操作者
がこの表を見ながら必要と思われるリスト番号とパラメ
ータとをマンマシンインタフェース部１３に入力するの
である。リスト群の作成に当っては、設備機械の制御ソ
フト設計時に位置決め制御ユニット部及び計測制御ユニ
ット部の機能を分析し、リスト単位で分類し、かつ各リ
ストに対する各パラメータを分類して、図２に示すよう
なリスト群とする（図２にはリスト群の僅かな部分しか
示されていない）。

【００１７】図２のリストＮＯ．１の機能は気圧読込み
であり、気圧測定制御ユニット部１０で測定された気圧
値ｐがパラメータ４に格納される。

【００１８】図２のリストＮＯ．２の機能はＸ軸移動で
あって、Ｘ軸位置決め制御ユニット部７に指令を与え、
ＸＹステージ６をＸ軸方向に移動させる。このときのＸ
軸移動量ｘがパラメータ１に、移動速度Ｖがパラメータ
ｚに示されるようにしている。

【００１９】図２のリストＮＯ．３の機能は認識位置読
込みであって、位置認識制御ユニット部９で認識計測し
た前記マークＭの誤差量を読み込む。パラメータ４には
Ｘ軸方向誤差量Δｘが、パラメータ５にはＹ軸方向誤差
量Δｙが格納される。

【００２０】図２のリストＮＯ．４の機能は気圧補正係
数表示であって、パラメータ１にＸ軸方向の補正係数ｋ
ｘが、パラメータ２にＹ軸方向の補正係数ｋｙが表示さ
れる。

【００２１】図２のリストＮＯ．５の機能は、所定の演
算を行って、補正係数計算を行うものであって、パラメ
ータ１のＬ（リストＮＯ．）、Ｐ（パラメータＮＯ．）
で示されるデータ、パラメータ２のＬ、Ｐで示されるデ
ータ及びパラメータ３のＬ、Ｐで示されるデータに基い
て所定の演算を行って、補正係数ｋを算出し、これをパ
ラメータ４に格納する。前記Ｘ軸方向の補正係数ｋｘを
求めるときは、データとして気圧値ｐ（パラメータ１に
Ｌ＝１、Ｐ＝４），Ｘ軸移動量ｘ（パラメータ２にＬ＝
２、Ｐ＝１），Ｘ軸方向誤差量Δｘ（パラメータ３にＬ
＝３、Ｐ＝４）が与えられ、これに基きＸ軸方向の補正
係数ｋｘが求められて、これがパラメータ４に格納され
る。

【００２２】図２のリストＮＯ．６の機能は、Ｘ軸移動
量計算であって、設計上のＸ軸移動量ｘ₀ が与えられた
ときにこれを補正計算して、前記Ｘ軸移動量ｘを計算す
るものである。パラメータ１に設計上のＸ軸移動量ｘ₀
が、パラメータ２に気圧値ｐ（実際にはＬ＝１、Ｐ＝４
となる。）が、パラメータ３にＸ軸方向の補正係数ｋｘ
が与えられ、これらに基き所定の演算が行われてＸ軸移
動量ｘが求められ、パラメータ４に格納される。

【００２３】図２のリストＮＯ．７の機能は、パラメー
タ移行を行うものであって、パラメータ１のＬ、Ｐのデ
ータをパラメータ２のＬ、Ｐに移行する。例えばパラメ
ータ１にＬ＝６、Ｐ＝４、パラメータ２にＬ＝２、Ｐ＝
１を夫々設定すると、Ｘ軸移動量計算によって得られた
Ｘ軸移動量ｘが、Ｘ軸移動の際のデータとしてそのまま
使えることを意味する。

【００２４】上記リスト群のリスト番号（ＮＯ．）やそ
の機能、パラメータＮＯ．とその指定内容等は制御ソフ
ト設計時に任意に定めることができる。又パラメータ長
の単位をワード（１６ビット）とすると好適であるが、
バイト（８ビット）やダブルワード（３２ビット）でも
よい。

【００２５】次にＸ軸移動に関する気圧補正係数ｋｘ
を、アライメント装置の実際に適応させて定めるチェッ
ク用制御シーケンスの作成方法について述べる。

【００２６】マンマシンインタフェース部１３のＣＲＴ
１３ａ上には、図３に示すようなテーブル記入欄が表示
される。ＣＲＴ１３ａ上にはリストＮＯ．の記入欄、図
２のパラメータ１〜パラメータ３（パラメータ４及びパ
ラメータ５は記入される必要のないものであるので省略
される。）に対応するパラメータ記入欄及び繰返し回数
の記入欄が示されている。

【００２７】アライメント装置使用者は図２のリスト群
を見ながら、上記チェック用制御シーケンス作成に必要
なリストをステップ順に選択し、各パラメータの内容を
決定しながら、操作盤１３ｂより必要なデータをマンマ
シンインタフェース部１３に入力し、テーブル記入欄を
埋めていく。

【００２８】具体的には図４に示すように、テーブル記
入欄が埋められる。

【００２９】マンマシンインタフェース部１３への上記
入力が完了すると、マンマシンインタフェース部１３の
メモリにはテーブル化された制御シーケンスが作成さ
れ、主制御部１２はテーブル化された制御シーケンスの
リスト番号とパラメータを解釈し、リスト毎に順次その
内容を実行していく。各制御ユニット部７、８、９、１
０、１４、……、１５、……は主制御部１２からの動作
指令に基き動作し、動作後の内容で予め決められた必要
なデータは、マンマシンインタフェース部１３のテーブ
ル化された制御シーケンスの所定パラメータに送られて
ここで格納される。主制御部１２は以降のリスト番号で
必要であれば前記格納されたデータを参照して前記制御
シーケンスを実行する。

【００３０】図５は主制御部１２の上記一連の処理を示
すフローチャートである。

【００３１】ステップ＃１で主制御部１２が起動され、
ステップ＃２でリストＮＯ．の確認を行い、ステップ＃
３で当該リストの内容を各パラメータの内容に基き実行
し、各制御ユニット部を動作させたり、演算などを行
う。ステップ＃４で動作結果の格納が必要か否かを判断
するが、これはリストＮＯ．によって予め定まっており
（図２においてパラメータ４、パラメータ５を有するも
のが必要）、必要がある場合にはステップ＃５に進み、
動作結果を前記パラメータ４、パラメータ５に格納す
る。ステップ＃４で格納の必要のない場合及びステップ
＃５で格納が終了した場合には、ステップ＃６で全ての
リストＮＯ．が完了したか否かを判断し、終了していな
ければ次のリストＮＯ．についてステップ＃２より上記
同様の処理を実行する。ステップ＃６で全てのリストＮ
Ｏ．が終了したと判断されると、次のステップ＃７で繰
返し回数分完了すれば主制御部１の実行を終了する。

【００３２】次に図４に示す場合について具体的に説明
する。ステップ１において、気圧補正係数がＣＲＴ１３
ａに表示されるようにリストＮＯ．４を選定し、装置使
用者は前回の補正係数にｋｘ、ｋｙを確認することがで
きるようにする（ｋｘ、ｋｙに具体的設定値を入力する
ことも可能である。）。ステップ２において、気圧読込
みを行う指令を与えるようにリストＮＯ．１を選定す
る。ステップ３において気圧値ｐ（１、４）がＸ軸移動
量計算の際の気圧データ（６、２）として利用されるよ
うに、リストＮＯ．７のパラメータ移行を選定すると共
に、パラメータの内容を入力する。ステップ４におい
て、ＣＲＴ１３ａに表示される補正係数ｋｘがＸ軸移動
量計算に利用されるように、リストＮＯ．７のパラメー
タ移行を選定し、前記ｋｘ（４、１）をＸ軸移動量計算
の基礎データ（６、３）として利用する。ステップ５に
おいて、リストＮＯ．６を選定しＸ軸移動量の計算を行
わせるようにし、その基礎データを与える。パラメータ
１には設計上のＸ軸移動量ｘ_０を入力し（入力しない場
合には前回のものが用いられる。）、パラメータ２、パ
ラメータ３にはそれぞれ移行された圧力値ｐ、補正係数
ｋｘが用いられる（これらの値を更新することも可能で
ある。）。そして上記基礎データに基いてＸ軸移動量ｘ
が算出される（図２参照、パラメータ４）。ステップ６
において、リストＮＯ．７のパラメータ移行を選定し、
前記Ｘ軸移動量ｘ（６、４）をリストＮＯ．２のＸ軸移
動のデータ（２、１）とする。ステップ７においてリス
トＮＯ．２のＸ軸移動を選定し、パラメータにＸ軸移動
量ｘ（すでに移行されているデータを用いる）、パラメ
ータ２に移動スピードＶを設定する。ステップ８におい
て、リストＮＯ．３を選定し、認識位置読込みを実行さ
せ、Ｘ軸移動量ｘに対してのＸ軸方向誤差量Δｘを測定
させる（図２参照、パラメータ４）。ステップ９におい
て、リストＮＯ．５を選定し、補正係数計算を行わせ
る。その基礎データとしてパラメータ１に気圧値ｐ
（１、４）、Ｘ軸移動量ｘ（２、１）、Ｘ軸方向誤差量
Δｘ（３、４）が移行されるように、Ｌ、Ｐを夫々に設
定する。ステップ１０において、リストＮＯ．７のパラ
メータ移行を選定し、前記補正係数ｋｘ（５、４）がリ
ストＮＯ．４の気圧補正係数表示のデータ（４、１）と
なるようにする。ステップ１１において、リストＮＯ．
４の気圧補正係数表示を選定し、パラメータ１のＸ軸方
向補正係数ｋｘ、パラメータＺのＹ軸方向補正係数ｋｙ
がＣＲＴ１３ａに表示されるようにする。前記補正係数
ｋｘは新たに計算したものが表示され、ステップ１にお
いて表示された補正係数ｋｘとＣＲＴ１３ａ上で比較で
きるようになっている。

【００３３】繰返し回数は１回と設定している。

【００３４】上記のチェック用制御シーケンスは図５に
示すフローチャートに従って、主制御部１２によって実
行される。

【００３５】

【発明の効果】本発明によれば、装置使用者がマンマシ
ンインタフェース部を通じてリスト番号とパラメータと
を入力するという簡単な操作によりチェック用の制御シ
ーケンスを作成できる。従ってチェック測定法を試行錯
誤を重ねて確立していくような場合、極めて短時間の内
にそれを確立することが可能である。

【００３６】更に本発明によればマンマシンインタフェ
ース部のテーブルに、或るリスト番号に対応する動作の
後の内容で予め決めた必要なデータを格納し、以降のリ
スト番号で必要に応じて前記格納されたデータ内容を用
いて各制御ユニットの制御を行うことができるので、よ
り適切なチェック用制御シーケンスに基いて位置決めの
精度の測定等を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を実施するために用いる装置の１例を示
すブロック図。

【図２】リスト群の１例を示す説明図。

【図３】ＣＲＴに表示されるテーブルの１例を示す説明
図。

【図４】ＣＲＴに表示されるテーブルの完成例を示す説
明図。

【図５】本発明方法を実施する制御フローの１例を示す
流れ図。

【符号の説明】

７、８、９、１０ 制御ユニット部 １２ 主制御部 １３ マンマシンインタフェース部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の位置決め制御ユニット部と、複数
   の計測制御ユニット部と、両制御ユニット部を集中制御
   するための主制御部と、書換え可能なメモリを有するマ
   ンマシンインタフェース部とを備えた設備機械における
   制御シーケンスの作成方法において、各制御ユニット部
   の動作や処理内容を示すリスト番号と、各リスト番号毎
   に任意の値が格納できる複数のパラメータとを備えたリ
   スト群を予め定めておき、操作者が選択したリスト番号
   とパラメータとを順次マンマシンインタフェース部に入
   力すると、これに基きマンマシンインタフェース部のメ
   モリにはテーブル化された制御シーケンスが作成され、
   主制御部はテーブル化された制御シーケンスのリスト番
   号とパラメータを解釈し、リスト毎に順次その内容を実
   行し、各制御ユニット部は主制御部からの動作指令に基
   き動作し、動作後の内容で予め決められた必要なデータ
   は、マンマシンインタフェース部のテーブル化された制
   御シーケンスの所定パラメータに送られてここで格納さ
   れ、主制御部は以降のリスト番号で必要であれば前記格
   納されたデータを参照して前記制御シーケンスを実行す
   るように構成されたことを特徴とする設備機械制御シー
   ケンスの作成方法。