JPH069644B2 - ガス分離方法 - Google Patents
ガス分離方法Info
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- JPH069644B2 JPH069644B2 JP60259344A JP25934485A JPH069644B2 JP H069644 B2 JPH069644 B2 JP H069644B2 JP 60259344 A JP60259344 A JP 60259344A JP 25934485 A JP25934485 A JP 25934485A JP H069644 B2 JPH069644 B2 JP H069644B2
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/04—Purification or separation of nitrogen
- C01B21/0405—Purification or separation processes
- C01B21/0433—Physical processing only
- C01B21/045—Physical processing only by adsorption in solids
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Organic Chemistry (AREA)
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- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、吸着法を用いて混合ガス中の着目成分を空
着剤に吸着させ、これを高純度の製品ガスとして系外に
取り出すためのガス分離方法に関する。
着剤に吸着させ、これを高純度の製品ガスとして系外に
取り出すためのガス分離方法に関する。
従来技術 混合ガス中の着目成分を分離する方法としては、一般に
精留法、吸収法、吸着法、膜法等がある。このうち吸着
法を用いて混合ガス中の着目成分を吸着剤に吸着させて
非着目成分と分離し、これを脱着回収することにより製
品ガスを得る方法は、製鉄所副生ガスからのＣＯガス分
離等に応用されつつある。
精留法、吸収法、吸着法、膜法等がある。このうち吸着
法を用いて混合ガス中の着目成分を吸着剤に吸着させて
非着目成分と分離し、これを脱着回収することにより製
品ガスを得る方法は、製鉄所副生ガスからのＣＯガス分
離等に応用されつつある。
上記吸着法に使用される吸着剤としては、着目成分に対
して選択吸着性を有する吸着剤が使用される。
して選択吸着性を有する吸着剤が使用される。
吸着剤の選択吸着性を大きくするため、公知の吸着剤、
例えば活性炭に金属塩を担持する等の種々の改善が行な
われている。
例えば活性炭に金属塩を担持する等の種々の改善が行な
われている。
しかし、上記吸着法においては、使用する吸着剤と圧
力、温度によつて定まる着目成分の吸着限界までは、回
収ガス中の着目成分の濃度は上昇するが、これを超える
と着目成分は一定となり、それ以上は上昇しない。
力、温度によつて定まる着目成分の吸着限界までは、回
収ガス中の着目成分の濃度は上昇するが、これを超える
と着目成分は一定となり、それ以上は上昇しない。
このため、混合ガス中の着目成分を高純度で回収しなけ
れば利用価値が高い場合、例えば製鉄所副生ガスの一つ
である転炉ガスから合成化学原料としてＣＯガスを回収
するときには、ＣＯガスを単に吸着剤に吸着させて脱着
するだけでは、目的とする純度のＣＯガスを回収するこ
とはできない。
れば利用価値が高い場合、例えば製鉄所副生ガスの一つ
である転炉ガスから合成化学原料としてＣＯガスを回収
するときには、ＣＯガスを単に吸着剤に吸着させて脱着
するだけでは、目的とする純度のＣＯガスを回収するこ
とはできない。
この対策として、第３図に示すように、ＣＯガスを吸着
した吸着塔内に高純度のＣＯガスを供給し吸着塔内に残
存する非着目成分ガスをパージし、その後吸着塔内を減
圧することによつて吸着剤に吸着されていたＣＯガスを
高純度で回収する転炉ガス中の有用成分分離法（特開昭
59−26121）や、第４図に示すように、吸着塔出口にお
ける易吸着成分の濃度が吸着塔入口おける易吸着成分の
濃度に達するまで原料ガスを供給し、その後吸着塔と真
空脱着が終つた吸着塔とを連結し、前者の吸着塔からガ
スを後者の吸着塔に導入し、前者の吸着塔の圧力を大気
圧又は大気圧近くまで降下させるという減圧工程を設
け、次に減圧した吸着塔に製品ガスを導入して難吸着成
分をパージすると共に、吸着塔上部より流出してくるガ
スを前記減圧工程で発生したガスを導入した吸着塔に加
圧し、パージ工程が終了した吸着塔を大気圧以下に排気
して、吸着剤に吸着されている易吸着成分を脱着させ製
品ガスを回収するという吸着法を使用して一酸化炭素を
含む混合ガスより一酸化炭素を精製する方法（特開昭60
−5012）が提案されている。
した吸着塔内に高純度のＣＯガスを供給し吸着塔内に残
存する非着目成分ガスをパージし、その後吸着塔内を減
圧することによつて吸着剤に吸着されていたＣＯガスを
高純度で回収する転炉ガス中の有用成分分離法（特開昭
59−26121）や、第４図に示すように、吸着塔出口にお
ける易吸着成分の濃度が吸着塔入口おける易吸着成分の
濃度に達するまで原料ガスを供給し、その後吸着塔と真
空脱着が終つた吸着塔とを連結し、前者の吸着塔からガ
スを後者の吸着塔に導入し、前者の吸着塔の圧力を大気
圧又は大気圧近くまで降下させるという減圧工程を設
け、次に減圧した吸着塔に製品ガスを導入して難吸着成
分をパージすると共に、吸着塔上部より流出してくるガ
スを前記減圧工程で発生したガスを導入した吸着塔に加
圧し、パージ工程が終了した吸着塔を大気圧以下に排気
して、吸着剤に吸着されている易吸着成分を脱着させ製
品ガスを回収するという吸着法を使用して一酸化炭素を
含む混合ガスより一酸化炭素を精製する方法（特開昭60
−5012）が提案されている。
前者は、吸着終了後その内部に残存している不純ＣＯガ
スを含むガスを高純度のＣＯガスの吹き込みによつてパ
ージしておりＣＯ収率が低い。
スを含むガスを高純度のＣＯガスの吹き込みによつてパ
ージしておりＣＯ収率が低い。
又、後者は原料ガス吸着工程において、吸着塔上部から
排ガスを放出しているが、この排ガス中には易吸着成分
が多く含まれる。なぜなら、真空引きをして製品を回収
した吸着塔に他の吸着塔の減圧工程とパージ工程で発生
するガスを吸着塔下部から導入しているため、吸着塔内
に回収工程終了後残留する高濃度の易吸着成分を吸着塔
上部に押し上げ、吸着塔内の上部は易吸着成分の濃度が
高くなるからである。したがつて、次に原料ガスを吸着
塔に供給したとき、易吸着成分を多く含むガスが排出さ
れる。そのため収率が低い。
排ガスを放出しているが、この排ガス中には易吸着成分
が多く含まれる。なぜなら、真空引きをして製品を回収
した吸着塔に他の吸着塔の減圧工程とパージ工程で発生
するガスを吸着塔下部から導入しているため、吸着塔内
に回収工程終了後残留する高濃度の易吸着成分を吸着塔
上部に押し上げ、吸着塔内の上部は易吸着成分の濃度が
高くなるからである。したがつて、次に原料ガスを吸着
塔に供給したとき、易吸着成分を多く含むガスが排出さ
れる。そのため収率が低い。
発明の目的 この発明は、混合ガス中の着目成分を製品ガスとして回
収する際の着目成分の収率を向上させることを目的とす
る。
収する際の着目成分の収率を向上させることを目的とす
る。
着目成分に対する選択吸着生を有する吸着剤を充填した
吸着塔に原料ガスを供給して着目成分を分離する方法に
おいて、高純度の着目成分を製品ガスとして回収する収
率を向上させるには、系外に放出する排ガス中に含まれ
る着目成分の量をいかに低く押えるかにかかつている。
吸着塔に原料ガスを供給して着目成分を分離する方法に
おいて、高純度の着目成分を製品ガスとして回収する収
率を向上させるには、系外に放出する排ガス中に含まれ
る着目成分の量をいかに低く押えるかにかかつている。
排ガス中に含まれる着目成分の量を低く押えるには、排
ガス放出時の着目塔気相の着目成分の濃度分布が必要で
あり、排ガス放出直前の吸着塔出口側での着目成分の濃
度を薄くすることが必要である。
ガス放出時の着目塔気相の着目成分の濃度分布が必要で
あり、排ガス放出直前の吸着塔出口側での着目成分の濃
度を薄くすることが必要である。
そこで原料ガス吸着工程のオフガス、パージ工程のオフ
ガス及び回収後吸着塔内に残存するガスの着目成分の濃
度について調査すると共に、上記３種類のオフガスを回
収工程終了後の吸着塔に充圧する方法について種々の研
究をおこなつた結果、この発明がもたらされたのであ
る。
ガス及び回収後吸着塔内に残存するガスの着目成分の濃
度について調査すると共に、上記３種類のオフガスを回
収工程終了後の吸着塔に充圧する方法について種々の研
究をおこなつた結果、この発明がもたらされたのであ
る。
すなわち、上記３種類のオフガスのうち着目成分が最も
低濃度であるところの原料ガス吸着工程時のオフガスを
回収工程終了後の吸着塔出口側より、原料ガス供給とは
向流して充圧することによつて上記吸着塔出口側の気相
の着目成分を低濃度にすることを可能とし、さらに上記
吸着塔への原料充圧前に系外へ放出する排ガス中の着目
成分を極めて低い状態にすることを可能にしたガス分離
方法を提案するものである。
低濃度であるところの原料ガス吸着工程時のオフガスを
回収工程終了後の吸着塔出口側より、原料ガス供給とは
向流して充圧することによつて上記吸着塔出口側の気相
の着目成分を低濃度にすることを可能とし、さらに上記
吸着塔への原料充圧前に系外へ放出する排ガス中の着目
成分を極めて低い状態にすることを可能にしたガス分離
方法を提案するものである。
発明の構成 この発明は、着目成分に対する選択吸着性を有する吸着
剤を充填した吸着塔に原料ガス供給して着目成分を濃縮
分離する方法において、 ２つの吸着塔を一対として用い、一方の吸着塔１で
は原料ガスを吸着塔下部から供給した後、濃縮操作を行
ない、他方の吸着塔２では吸着塔１への原料供給時に発
生するオフガスの全量を吸着塔上部から供給した後、吸
着塔１での濃縮操作の際に発生するオフガスの全量を吸
着塔下部から供給し、オフガス中の着目成分を捕集し、
非着目成分を主とした排ガスを吸着塔１での濃縮操作の
終了直前に放出するガス分離方法。
剤を充填した吸着塔に原料ガス供給して着目成分を濃縮
分離する方法において、 ２つの吸着塔を一対として用い、一方の吸着塔１で
は原料ガスを吸着塔下部から供給した後、濃縮操作を行
ない、他方の吸着塔２では吸着塔１への原料供給時に発
生するオフガスの全量を吸着塔上部から供給した後、吸
着塔１での濃縮操作の際に発生するオフガスの全量を吸
着塔下部から供給し、オフガス中の着目成分を捕集し、
非着目成分を主とした排ガスを吸着塔１での濃縮操作の
終了直前に放出するガス分離方法。
上記に記載した操作を１サイクルとして、サイク
ル毎に吸着塔１と吸着塔２の機能を切替えて交互に行な
うガス分離方法。
ル毎に吸着塔１と吸着塔２の機能を切替えて交互に行な
うガス分離方法。
２つの吸着塔と１つのガス貯留塔を用い、一方の吸着
塔１では原料ガスを吸着塔下部から供給した後、吸着塔
内のガスを一部放出して減圧し、さらにその状態の吸着
塔１内を高純度の着目成分でパージする濃縮操作を行な
い、吸着塔１への原料供給時に発生するオフガスの全量
をガス貯留塔に収容し、他方の吸着塔２では上記減圧時
に発生するオフガスの全量を吸着塔上部から供給し、さ
らに上記ガス貯留塔に収容したオフガスを吸着塔上部か
ら供給し、次いで上記パージする際に発生するオフガス
の全量を吸着塔下部から供給し、オフガス中の着目成分
を捕集し、非着目成分を主とした排ガスを吸着塔１にお
ける濃縮操作終了直前に放出するガス分離方法。
塔１では原料ガスを吸着塔下部から供給した後、吸着塔
内のガスを一部放出して減圧し、さらにその状態の吸着
塔１内を高純度の着目成分でパージする濃縮操作を行な
い、吸着塔１への原料供給時に発生するオフガスの全量
をガス貯留塔に収容し、他方の吸着塔２では上記減圧時
に発生するオフガスの全量を吸着塔上部から供給し、さ
らに上記ガス貯留塔に収容したオフガスを吸着塔上部か
ら供給し、次いで上記パージする際に発生するオフガス
の全量を吸着塔下部から供給し、オフガス中の着目成分
を捕集し、非着目成分を主とした排ガスを吸着塔１にお
ける濃縮操作終了直前に放出するガス分離方法。
上記に記載した操作を１サイクルとして、サイク
ル毎に吸着塔１と吸着塔２の機能を切替えて交互に行な
うガス分離方法。
ル毎に吸着塔１と吸着塔２の機能を切替えて交互に行な
うガス分離方法。
である。
この発明において、原料供給時に発生するオフガスは、
他方の吸着塔上部に直接又はガス貯留塔に一旦収容して
供給され、濃縮操作時に発生するオフガスは吸着塔下部
に供給されるが、これは吸着塔上部は濃度が低いという
効果が得られ、濃縮操作の終了直前に排ガスを放出する
際、着目成分の流出を低く押えることができるためであ
る。
他方の吸着塔上部に直接又はガス貯留塔に一旦収容して
供給され、濃縮操作時に発生するオフガスは吸着塔下部
に供給されるが、これは吸着塔上部は濃度が低いという
効果が得られ、濃縮操作の終了直前に排ガスを放出する
際、着目成分の流出を低く押えることができるためであ
る。
次に、この発明の詳細を転炉ガスを原料ガスとしてＣＯ
ガスを分離回収する場合について説明する。
ガスを分離回収する場合について説明する。
第１図の工程図は、前記に記載した発明を実施する場
合であつて、例えば合成ゼオライトを吸着剤として充填
し、塔内を最高圧３kg/cm3、最低圧0.2kg/cm3として吸
着塔１に原料ガス（ＣＯ74.2％、Ｎ３25.8％）を送入
し、吸着工程時に発生するオフガスＩは製品回収を終つ
た塔上部から吸着塔２に供給し、さらに減圧工程で発生
するオフガスII、及び製品ＣＯガスをパージガスとして
使用するパージ工程で発生するオフガスIIIは、共に塔
下部より吸着塔２に供給し、パージ工程が終了する直前
に吸着塔２の上部より排ガスを排出した。
合であつて、例えば合成ゼオライトを吸着剤として充填
し、塔内を最高圧３kg/cm3、最低圧0.2kg/cm3として吸
着塔１に原料ガス（ＣＯ74.2％、Ｎ３25.8％）を送入
し、吸着工程時に発生するオフガスＩは製品回収を終つ
た塔上部から吸着塔２に供給し、さらに減圧工程で発生
するオフガスII、及び製品ＣＯガスをパージガスとして
使用するパージ工程で発生するオフガスIIIは、共に塔
下部より吸着塔２に供給し、パージ工程が終了する直前
に吸着塔２の上部より排ガスを排出した。
以上の一連の工程を１サイクルとして、吸着塔１には高
純度のＣＯガスが分離され、又ＣＯを含むオフガスは全
て吸着塔２に供給される。
純度のＣＯガスが分離され、又ＣＯを含むオフガスは全
て吸着塔２に供給される。
次いで、吸着塔１から製品ＣＯガスを回収する間、オフ
ガスを吸着している吸着塔２には原料ガスを充填し、前
記ＣＯ分離回収工程の全てを吸着塔２で行なつて製品Ｃ
Ｏガスを分離し、他方の吸着塔１は、その間オフガス吸
着工程に使用し、さらに最初のサイクルにもどつて吸着
塔２から製品ＣＯガスを回収する。
ガスを吸着している吸着塔２には原料ガスを充填し、前
記ＣＯ分離回収工程の全てを吸着塔２で行なつて製品Ｃ
Ｏガスを分離し、他方の吸着塔１は、その間オフガス吸
着工程に使用し、さらに最初のサイクルにもどつて吸着
塔２から製品ＣＯガスを回収する。
以上のＣＯガス分離回収サイクルを吸収塔１と吸着塔２
を交互に使用して実施することにより連続的に生産がで
きる。
を交互に使用して実施することにより連続的に生産がで
きる。
上記ＣＯガス分離回収工程におけるオフガスの濃度は次
のとおりである。
のとおりである。
吸着塔１に原料ガスを塔下部から供給したときのオフガ
スＩの平均ＣＯ濃度は20％であつた。又、原料ガス吸着
工程に引き続く減圧工程でのオフガスIIの平均ＣＯ濃度
は35％であり、次のパージ工程で発生するオフガスIII
の平均ＣＯ濃度は77％であつた。又、吸着塔２から放出
された排ガス中のＣＯは14％という低い濃度になつた。
スＩの平均ＣＯ濃度は20％であつた。又、原料ガス吸着
工程に引き続く減圧工程でのオフガスIIの平均ＣＯ濃度
は35％であり、次のパージ工程で発生するオフガスIII
の平均ＣＯ濃度は77％であつた。又、吸着塔２から放出
された排ガス中のＣＯは14％という低い濃度になつた。
又、第２図の工程図は、前記の発明を実施する場合で
あつて、吸着剤として合成ゼオライトを充填し、塔内を
最高圧３kg/cm3、最低圧0.2kg/cm3として吸着塔１に原
料ガス（ｃｏ74.2％、Ｎ３25.8％）を送入し、吸着工程
時に発生するオフガスＩはガス貯留塔に収容し、次いで
減圧工程で発生するオフガスIIは塔上部から吸着塔２に
供給し、引き続きガス貯留塔に収容したオフガスＩを塔
上部から吸着塔２に供給し、さらにパージ工程で発生す
るオフガスIIIは吸着塔下部より吸着塔２に供給し、パ
ージ工程が終了する直前に吸着塔２の上部より排ガスを
放出する。
あつて、吸着剤として合成ゼオライトを充填し、塔内を
最高圧３kg/cm3、最低圧0.2kg/cm3として吸着塔１に原
料ガス（ｃｏ74.2％、Ｎ３25.8％）を送入し、吸着工程
時に発生するオフガスＩはガス貯留塔に収容し、次いで
減圧工程で発生するオフガスIIは塔上部から吸着塔２に
供給し、引き続きガス貯留塔に収容したオフガスＩを塔
上部から吸着塔２に供給し、さらにパージ工程で発生す
るオフガスIIIは吸着塔下部より吸着塔２に供給し、パ
ージ工程が終了する直前に吸着塔２の上部より排ガスを
放出する。
以上の一連の工程を１サイクルとして吸着塔１には高純
度のＣＯガスが分離され、又ＣＯを含むオフガスは全て
吸着塔２に供給される。そして、上記第１図の実施例と
同様にして製品ＣＯガス分離回収が繰返されるのであ
る。
度のＣＯガスが分離され、又ＣＯを含むオフガスは全て
吸着塔２に供給される。そして、上記第１図の実施例と
同様にして製品ＣＯガス分離回収が繰返されるのであ
る。
上記実施例におけるオフガスの濃度は次のとおりであ
る。
る。
吸着塔１に原料ガスを塔下部から供給したとき、ガス貯
留塔に収容したオフガスＩの平均ＣＯ濃度は7.5％であ
つた。又、原料ガス吸着工程に引き続く減圧工程てのオ
フガスIIの平均ＣＯ濃度は9.4％であり、次のパージ工
程で発生するオフガスIIIの平均ＣＯ濃度は21.1％であ
つた。又、吸着塔２から放出された排ガス中のＣＯは1
0.8％含という低い濃度となつた。
留塔に収容したオフガスＩの平均ＣＯ濃度は7.5％であ
つた。又、原料ガス吸着工程に引き続く減圧工程てのオ
フガスIIの平均ＣＯ濃度は9.4％であり、次のパージ工
程で発生するオフガスIIIの平均ＣＯ濃度は21.1％であ
つた。又、吸着塔２から放出された排ガス中のＣＯは1
0.8％含という低い濃度となつた。
次に、上記実施例によるこの発明法と、発明法と同じ原
料ガスを使つて行なつた第３図に示す従来法Ｉ及び第４
図に示す従来法IIと比較して製品ガス中のＣＯ純度、Ｃ
Ｏ収率を調べた。その結果を第１表に示す。
料ガスを使つて行なつた第３図に示す従来法Ｉ及び第４
図に示す従来法IIと比較して製品ガス中のＣＯ純度、Ｃ
Ｏ収率を調べた。その結果を第１表に示す。
この結果、製品純度はいずれも同じ程度であるが、この
発明は収率が93.8％、95.7％と高いが、従来法は78.0％
以下でいずれも低いことがわかる。
発明は収率が93.8％、95.7％と高いが、従来法は78.0％
以下でいずれも低いことがわかる。
発明の効果 この発明は、上記のごとく、２つの吸着塔を用いて、一
の吸着塔に原料ガスを供給して、原料ガス中の着目成分
の濃縮操作を行なうと共に、他の吸着塔に上記濃縮操作
中に発生するオフガスを塔上部が低濃度となるように供
給して吸着させ、系外へ放出する排ガス中の着目成分を
極力低い状態にすることにより、製品ガスの収率の向上
を図ることができる。
の吸着塔に原料ガスを供給して、原料ガス中の着目成分
の濃縮操作を行なうと共に、他の吸着塔に上記濃縮操作
中に発生するオフガスを塔上部が低濃度となるように供
給して吸着させ、系外へ放出する排ガス中の着目成分を
極力低い状態にすることにより、製品ガスの収率の向上
を図ることができる。
第１図及び第２図はこの発明の実施おける工程図、第３
図及び第４図は従来法による工程図である。
図及び第４図は従来法による工程図である。
Claims (4)
- 【請求項１】着目成分に対する選択吸着性を有する吸着
剤を充填した吸着塔に原料ガスを供給して着目成分を濃
縮分離する方法において、２つの吸着塔を一対として用
い、一方の吸着塔１では原料ガスを吸着塔下部から供給
した後、濃縮操作を行ない、他方の吸着塔２では吸着塔
１への原料供給時に発生するオフガスの全量を吸着塔上
部から供給した後、吸着塔１での濃縮操作の際に発生す
るオフガスの全量を吸着塔下部から供給し、オフガス中
の着目成分を捕集し、非着目成分を主とした排ガスを吸
着塔１での濃縮操作の終了直前に放出することを特徴と
するガス分離方法。 - 【請求項２】着目成分に対する選択吸着性を有する吸着
剤を充填した吸着塔に原料ガスを供給して着目成分を濃
縮分離する方法において、２つの吸着塔を一対として用
い、一方の吸着塔１で原料ガス供給、濃縮操作、回収操
作を行なうと共に、他方の吸着塔２で吸着塔１から発生
するオフガス中の着目成分の捕集操作を行ない、非着目
成分を主体とする排ガスを吸着塔１の濃縮操作の終了直
前に放出する操作をサイクル毎に吸着塔１と吸着塔２の
機能を切替えて交互に行なうことを特徴とするガス分離
方法。 - 【請求項３】着目成分に対する選択吸着性を有する吸着
剤を充填した吸着塔に原料ガスを供給して着目成分を濃
縮分離する方法において、２つの吸着塔と１つのガス貯
留塔を用い、１方の吸着塔１では原料ガスを吸着塔下部
から供給した後、吸着塔内のガスを一部放出して減圧
し、さらにその状態の吸着塔１内を高純度の着目成分で
パージする濃縮操作を行ない、吸着塔１への原料供給時
に発生するオフガスの全量をガス貯留塔に収容し、他方
の吸着塔２では上記減圧時に発生するオフガスの全量を
吸着塔上部から供給し、さらに上記ガス貯留塔に収容し
たオフガスを吸着塔上部から供給し、次いで上記パージ
する際に発生するオフガスの全量を吸着塔下部から供給
し、オフガス中の着目成分を捕集し、非着目成分を主と
した排ガスを吸着塔１の濃縮操作終了直前に放出するこ
とを特徴とするガス分離方法。 - 【請求項４】着目成分に対する選択吸着性を有する吸着
剤を充填した吸着塔に原料ガスを供給して着目成分を濃
縮分離する方法において、２つの吸着塔と１つのガス貯
留塔を用い、一方の吸着塔１で原料ガス供給、濃縮操
作、回収操作を行なうと共に、他方の吸着塔２で吸着塔
１から発生するオフガス中の着目成分の捕集操作を行な
い、非着目成分を主体とする排ガスを吸着塔１の濃縮操
作の終了直前に放出する操作をサイクル毎に吸着塔１と
吸着塔２の機能を切替えて交互に行なうことを特徴とす
るガス分離方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60259344A JPH069644B2 (ja) | 1985-11-19 | 1985-11-19 | ガス分離方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60259344A JPH069644B2 (ja) | 1985-11-19 | 1985-11-19 | ガス分離方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62121615A JPS62121615A (ja) | 1987-06-02 |
| JPH069644B2 true JPH069644B2 (ja) | 1994-02-09 |
Family
ID=17332802
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60259344A Expired - Lifetime JPH069644B2 (ja) | 1985-11-19 | 1985-11-19 | ガス分離方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH069644B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6397213A (ja) * | 1986-10-15 | 1988-04-27 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 圧力変動吸着分離方法 |
| US8956704B2 (en) * | 2012-05-21 | 2015-02-17 | Novellus Systems, Inc. | Methods for modulating step coverage during conformal film deposition |
-
1985
- 1985-11-19 JP JP60259344A patent/JPH069644B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62121615A (ja) | 1987-06-02 |
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