JPH0697271A - ウェーハキャリヤ - Google Patents
ウェーハキャリヤInfo
- Publication number
- JPH0697271A JPH0697271A JP24813192A JP24813192A JPH0697271A JP H0697271 A JPH0697271 A JP H0697271A JP 24813192 A JP24813192 A JP 24813192A JP 24813192 A JP24813192 A JP 24813192A JP H0697271 A JPH0697271 A JP H0697271A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- carrier
- wafer carrier
- rear side
- side walls
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体ウェーハに薬液処理等のバッチ処理を
実施するときに、複数枚のウェーハを垂直方向に並べて
格納するのに使用されるウェーハキャリヤに関し、ウェ
ット処理槽の幅を小さくして処理液の使用量を少なくす
ることができるように改良されたウェーハキャリヤを提
供することを目的とする。 【構成】 複数のウェーハ２を垂直方向に並べて格納す
るウェーハキャリヤにおいて、格納されるウェーハ２の
面に平行する前後部側壁４の上端に沿って設けられるキ
ャリヤ移動用把手３の長さＷはウェーハ２の直径より小
さいように構成されている。
実施するときに、複数枚のウェーハを垂直方向に並べて
格納するのに使用されるウェーハキャリヤに関し、ウェ
ット処理槽の幅を小さくして処理液の使用量を少なくす
ることができるように改良されたウェーハキャリヤを提
供することを目的とする。 【構成】 複数のウェーハ２を垂直方向に並べて格納す
るウェーハキャリヤにおいて、格納されるウェーハ２の
面に平行する前後部側壁４の上端に沿って設けられるキ
ャリヤ移動用把手３の長さＷはウェーハ２の直径より小
さいように構成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウェーハに薬液
処理等のバッチ処理を実施するときに、複数枚のウェー
ハを垂直方向に並べて格納するのに使用されるウェーハ
キャリヤに関する。
処理等のバッチ処理を実施するときに、複数枚のウェー
ハを垂直方向に並べて格納するのに使用されるウェーハ
キャリヤに関する。
【０００２】
【従来の技術】図３と図４とに従来のウェーハキャリヤ
の斜視図を示す。両図において、４は格納されるウェー
ハ２の面に平行する前後部側壁であり、図３の例におい
ては板状でなくフレーム構造となっている。１は前後部
側壁４を相互に連結する連結部材であり、ウェーハ２が
一定間隔で垂直に挿入される溝が形成されており、図４
の例においては連結部材１は板状体よりなっている。３
は前後部側壁４の上端に沿って設けられたキャリヤ移動
用の把手であり、ロボットの爪によりこの把手を保持し
てウェーハキャリヤを移動する。通常、ウェーハキャリ
ヤの上面と底面とは開放されており、材料としては石英
が使用される。
の斜視図を示す。両図において、４は格納されるウェー
ハ２の面に平行する前後部側壁であり、図３の例におい
ては板状でなくフレーム構造となっている。１は前後部
側壁４を相互に連結する連結部材であり、ウェーハ２が
一定間隔で垂直に挿入される溝が形成されており、図４
の例においては連結部材１は板状体よりなっている。３
は前後部側壁４の上端に沿って設けられたキャリヤ移動
用の把手であり、ロボットの爪によりこの把手を保持し
てウェーハキャリヤを移動する。通常、ウェーハキャリ
ヤの上面と底面とは開放されており、材料としては石英
が使用される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】図３と図４とに示すよ
うに、従来のウェーハキャリヤは、キャリヤ移動用の把
手３の端部が前後部側壁４または連結部材１より突出し
て設けられているため、ウェーハキャリヤの幅がウェー
ハ２の直径よりかなり大きくなっている。したがって処
理槽の大きさとしては、このキャリヤを完全に収容で
き、しかも図５に示すように、キャリヤ移動用のロボッ
トの爪５の開閉が可能となるような幅Ｗ1が必要であ
り、ウェーハ２の直径に比べてかなり大きなものにな
る。そのため、ウェット処理の薬液の使用量も多くな
り、また、当然のことながら装置全体の大きさも大きく
なる。
うに、従来のウェーハキャリヤは、キャリヤ移動用の把
手３の端部が前後部側壁４または連結部材１より突出し
て設けられているため、ウェーハキャリヤの幅がウェー
ハ２の直径よりかなり大きくなっている。したがって処
理槽の大きさとしては、このキャリヤを完全に収容で
き、しかも図５に示すように、キャリヤ移動用のロボッ
トの爪５の開閉が可能となるような幅Ｗ1が必要であ
り、ウェーハ２の直径に比べてかなり大きなものにな
る。そのため、ウェット処理の薬液の使用量も多くな
り、また、当然のことながら装置全体の大きさも大きく
なる。
【０００４】本発明の目的は、この欠点を解消すること
にあり、ウェット処理槽の幅を小さくして処理液の使用
量を少なくすることができるように改良されたウェーハ
キャリヤを提供することにある。
にあり、ウェット処理槽の幅を小さくして処理液の使用
量を少なくすることができるように改良されたウェーハ
キャリヤを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、複数のウ
ェーハ（２）を垂直方向に並べて格納するウェーハキャ
リヤにおいて、前記の格納されるウェーハ（２）の面に
平行する前後部側壁（４）の上端に沿って設けられるキ
ャリヤ移動用把手（３）の長さ（Ｗ）は前記のウェーハ
（２）の直径より小さいウェーハキャリヤによって達成
される。なお、前記の前後部側壁（４）はフレーム構造
よりなり、このフレーム構造に前記のキャリヤ移動用把
手（３）が固着されるようにしてもよい。
ェーハ（２）を垂直方向に並べて格納するウェーハキャ
リヤにおいて、前記の格納されるウェーハ（２）の面に
平行する前後部側壁（４）の上端に沿って設けられるキ
ャリヤ移動用把手（３）の長さ（Ｗ）は前記のウェーハ
（２）の直径より小さいウェーハキャリヤによって達成
される。なお、前記の前後部側壁（４）はフレーム構造
よりなり、このフレーム構造に前記のキャリヤ移動用把
手（３）が固着されるようにしてもよい。
【０００６】
【作用】図２に示すように、格納されるウェーハ２の面
に平行する前後部側壁４の上端に設けられたウェーハキ
ャリヤ移動用把手３の幅Ｗがウェーハ２の直径より小さ
く形成されているので、ロボットの爪５の開閉を考慮し
たウェーハキャリヤの占める最大幅Ｗ2 をウェーハ２の
直径と同等程度に小さくすることができる。この結果、
ウェーハキャリヤを浸漬するウェット処理槽の幅をこれ
までより小さくすることが可能である。
に平行する前後部側壁４の上端に設けられたウェーハキ
ャリヤ移動用把手３の幅Ｗがウェーハ２の直径より小さ
く形成されているので、ロボットの爪５の開閉を考慮し
たウェーハキャリヤの占める最大幅Ｗ2 をウェーハ２の
直径と同等程度に小さくすることができる。この結果、
ウェーハキャリヤを浸漬するウェット処理槽の幅をこれ
までより小さくすることが可能である。
【０００７】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の一実施例に
係るウェーハキャリヤについて説明する。
係るウェーハキャリヤについて説明する。
【０００８】図１参照 ウェーハキャリヤの斜視図を図１に示す。図において、
４は格納されるウェーハ２の面に平行する前後部側壁で
あり、３は前後部側壁４の上端に設けられたキャリヤ移
動用把手であり、このキャリヤ移動用把手の長さＷはウ
ェーハ２の直径より小さく形成されている。１はウェー
ハ２が挿入される溝が形成された連結部材であり、両端
が前後部側壁４に固定されている。なお、前後部側壁４
は必ずしも板状体である必要はなく、図３に示すよう
に、フレーム構造であってもよく、また、連結部材１は
図４に示すように板状体で構成されていてもよい。要
は、前後部側壁４の幅がウェーハ２の直径と同程度の大
きさに形成され、キャリヤ移動用把手３の長さＷがウェ
ーハ２の直径より小さく形成されていればよい。
４は格納されるウェーハ２の面に平行する前後部側壁で
あり、３は前後部側壁４の上端に設けられたキャリヤ移
動用把手であり、このキャリヤ移動用把手の長さＷはウ
ェーハ２の直径より小さく形成されている。１はウェー
ハ２が挿入される溝が形成された連結部材であり、両端
が前後部側壁４に固定されている。なお、前後部側壁４
は必ずしも板状体である必要はなく、図３に示すよう
に、フレーム構造であってもよく、また、連結部材１は
図４に示すように板状体で構成されていてもよい。要
は、前後部側壁４の幅がウェーハ２の直径と同程度の大
きさに形成され、キャリヤ移動用把手３の長さＷがウェ
ーハ２の直径より小さく形成されていればよい。
【０００９】図２参照 キャリヤ移動用の把手３にロボットの爪５をかけた時と
外した時との図を図２に示す。前後部側壁４の幅Ｗ2 の
範囲内でロボットの爪５の開閉が可能となり、ウェット
処理槽の幅を小さくすることが可能である。具体的に
は、８インチのウェーハを処理する場合、これまで２９
０ｍｍ必要であった処理槽の幅を２４５ｍｍ程度に小さ
くすることができ、その結果、処理槽の容量も１槽あた
り約６リットル減少させることができた。
外した時との図を図２に示す。前後部側壁４の幅Ｗ2 の
範囲内でロボットの爪５の開閉が可能となり、ウェット
処理槽の幅を小さくすることが可能である。具体的に
は、８インチのウェーハを処理する場合、これまで２９
０ｍｍ必要であった処理槽の幅を２４５ｍｍ程度に小さ
くすることができ、その結果、処理槽の容量も１槽あた
り約６リットル減少させることができた。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明に係るウェ
ーハキャリヤにおいては、格納されるウェーハ２の面に
平行する前後部側壁の大きさがウェーハの大きさと同程
度であり、前後部側壁の上端に設けられたキャリヤ移動
用把手の長さがウェーハの直径より小さく形成されてい
るので、処理槽の大きさをこれまでより小さくすること
ができ、したがって処理液の量を低減することができ
る。また、ウェット処理装置全体の大きさも処理槽の幅
に対応して小さくすることができる。
ーハキャリヤにおいては、格納されるウェーハ２の面に
平行する前後部側壁の大きさがウェーハの大きさと同程
度であり、前後部側壁の上端に設けられたキャリヤ移動
用把手の長さがウェーハの直径より小さく形成されてい
るので、処理槽の大きさをこれまでより小さくすること
ができ、したがって処理液の量を低減することができ
る。また、ウェット処理装置全体の大きさも処理槽の幅
に対応して小さくすることができる。
【図１】本発明に係るウェーハキャリヤの斜視図であ
る。
る。
【図２】処理槽の必要幅を説明する図である。
【図３】従来技術に係るウェーハキャリヤの斜視図であ
る。
る。
【図４】従来技術に係るウェーハキャリヤの斜視図であ
る。
る。
【図５】処理槽の必要幅を説明する図である（従来技
術）。
術）。
１ 連結部材 ２ ウェーハ ３ キャリヤ移動用把手 ４ 前後部側壁 ５ ロボット爪
Claims (1)
- 【請求項１】 複数のウェーハ（２）を垂直方向に並べ
て格納するウェーハキャリヤにおいて、 前記格納されるウェーハ（２）の面に平行する前後部側
壁（４）の上端に沿って設けられるキャリヤ移動用把手
（３）の長さ（Ｗ）は前記ウェーハ（２）の直径より小
さいことを特徴とするウェーハキャリヤ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24813192A JPH0697271A (ja) | 1992-09-17 | 1992-09-17 | ウェーハキャリヤ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24813192A JPH0697271A (ja) | 1992-09-17 | 1992-09-17 | ウェーハキャリヤ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0697271A true JPH0697271A (ja) | 1994-04-08 |
Family
ID=17173694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24813192A Withdrawn JPH0697271A (ja) | 1992-09-17 | 1992-09-17 | ウェーハキャリヤ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0697271A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100246593B1 (ko) * | 1996-08-26 | 2000-04-01 | 가네꼬 히사시 | 반도체 웨이퍼 캐리어 |
-
1992
- 1992-09-17 JP JP24813192A patent/JPH0697271A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100246593B1 (ko) * | 1996-08-26 | 2000-04-01 | 가네꼬 히사시 | 반도체 웨이퍼 캐리어 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991130 |