JPH0697359A - Lsiチップの実装構造 - Google Patents

Lsiチップの実装構造

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JPH0697359A
JPH0697359A JP4244760A JP24476092A JPH0697359A JP H0697359 A JPH0697359 A JP H0697359A JP 4244760 A JP4244760 A JP 4244760A JP 24476092 A JP24476092 A JP 24476092A JP H0697359 A JPH0697359 A JP H0697359A
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JP
Japan
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lsi chip
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lead
package
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JP4244760A
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Inventor
Masao Mizukami
雅雄 水上
Kanji Otsuka
寛治 大塚
Masayuki Shirai
優之 白井
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/071Connecting or disconnecting
    • H10W72/075Connecting or disconnecting of bond wires
    • H10W72/07551Connecting or disconnecting of bond wires characterised by changes in properties of the bond wires during the connecting
    • H10W72/07554Connecting or disconnecting of bond wires characterised by changes in properties of the bond wires during the connecting changes in dispositions
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/50Bond wires
    • H10W72/541Dispositions of bond wires
    • H10W72/547Dispositions of multiple bond wires

Landscapes

  • Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 放熱性や電気的特性を損なうことなく、容易
に多ピン化を図り得るLSIチップの実装構造を提供す
る。 【構成】 金属でできた矩形皿状のパッケージ本体ケー
ス10の外周縁に、パッケージ1自身を支える脚となる
フランジ部11を設け、LSIチップ20をパッケージ
本体ケース10の裏面に接合させるとともに、複数のリ
ード30をフィルム状に形成し、このリード30をパッ
ケージ本体ケース10の裏面に絶縁シート40を介して
取り付けることによってリード部分をマイクロストリッ
プ線路構造とし、さらにパッケージ本体ケース10の四
隅部に、実装ボードの電源供給電極又は接地電極などに
電気的に接続可能な接続端子部12を設けた構造とし
た。 【効果】 必要とするリードの数が増え、発熱による高
温化をともない、動作速度が高速化する高性能LSIチ
ップの実装に有効である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体技術さらにはL
SIチップのパッケージへの実装に適用して特に有効な
技術に関し、例えば数百ピンを四辺に有するQFP(q
uad flat package)にLSIチップを
実装する場合に利用して有用な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、LSIチップの集積密度が益々向
上しているため、シングルチップパッケージの場合に
は、パッケージのピン数も数百ピンにならざるを得ない
が、パッケージを大きくすることなくその外周縁に数百
ピンを配設させるため、従来限界とされてきたピン・ピ
ッチ0.5〜0.65mmよりも更に微細化した0.3mmピ
ッチ〜0.15mmピッチのQFPの開発が嘱望されてい
る(「0.3mmピッチを前倒し、セット側が強く要求」
日経マイクロデバイス 1991年7月号)。また、L
SIチップの高集積化及び動作速度(すなわち、動作周
波数)の高速化によって、LSIチップの消費電力が上
がり、従来のプラスチックモールドQFPの限界を超え
ようとしている。これに対処するため、パッケージの熱
抵抗を下げる、すなわち放熱性を上げるような構造の高
放熱パッケージが種々検討されている(「本格化するA
SPACの普及」日経マイクロデバイス 1991年5
月号)。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た技術には、次のような問題のあることが本発明者らに
よってあきらかとされた。すなわち、上記の高放熱パッ
ケージは何れも、実装ボードに実装したパッケージ自身
をピンで支えるため、ピン及びピン・ピッチの微細化に
よってピン自体の機械的強度が弱くなり、ピンが変形し
たり、パッケージを支えきれなくなる虞があるだけでな
く、ピン及びピン・ピッチの微細化によって高周波特性
が劣化し、高速動作のLSIチップの性能低下を招く虞
もあるというものである。
【0004】本発明はかかる事情に鑑みてなされたもの
で、放熱性や電気的特性を損なうことなく、容易に多ピ
ン化を図り得るLSIチップの実装構造を提供すること
を主たる目的としている。この発明の前記ならびにその
ほかの目的と新規な特徴については、本明細書の記述及
び添附図面から明らかになるであろう。
【0005】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、下記のと
おりである。すなわち、本発明のLSIチップの実装構
造においては、金属でできた矩形皿状のパッケージ本体
ケースの外周縁に、パッケージ自身を支える脚となるフ
ランジ部を設け、LSIチップをパッケージ本体ケース
の裏面に接合させるとともに、複数のリードをフィルム
状に形成し、このリードをパッケージ本体ケースの裏面
に絶縁シートを介して取り付けることによってリード部
分をマイクロストリップ線路構造とし、さらにパッケー
ジ本体ケースの四隅部に、実装ボードの電源供給電極又
は接地電極などに電気的に接続させる接続端子部を設け
た構造としたものである。上記構造のリードにさらに絶
縁シートを介して導電シートを取り付けることによっ
て、リード部分をストリップ線路構造としてもよい。ま
た、LSIチップと各リードとのボンディング部分を、
信号線群と絶縁層と導電層とを積層させてなるマイクロ
ストリップ線路構造又はストリップ線路構造としたもの
である。
【0006】
【作用】上記した手段によれば、パッケージ本体ケース
にパッケージ自身を支える脚となるフランジ部を設けた
ことにより、パッケージ本体ケースでパッケージ自身を
支えるため、リード(すなわちピン)にはパッケージ自
身を支え得る程度の機械的強度は不要となり、実装ボー
ドの電極に電気的に接続可能な程度の機械的強度を持た
せるだけでよく、ピン幅及びピン・ピッチを微細化する
ことができる。また、リード部分やボンディング部分を
マイクロストリップ線路構造又はストリップ線路構造に
することにより、特性インピーダンスの整合が取り易い
ため、高周波特性が良好となり、電気的特性が良くな
る。さらに、パッケージ本体ケースを金属製にし、その
裏面にLSIチップを接合させることにより、パッケー
ジの熱抵抗が小さくなり、優れた放熱性が得られるだけ
でなく、放熱フィンの取付けも容易であるため、更に熱
抵抗を下げることができ、消費電力の大きい高集積及び
高性能LSIチップの実装が可能となる。
【0007】
【実施例】(第1実施例)本発明に係るLSIチップの
実装構造の第1実施例を図1乃至図3に示し、以下に説
明する。それらのうち、図1はパッケージの外観を示す
全体斜視図、図2は図1のII-IIにおけるパッケージの
縦断面図、図3はそのパッケージの底面図である。
【0008】このLSIチップの実装構造は、QFPに
おいて、図乃1至図3に示すように、導電材料で形成さ
れた矩形皿状のパッケージ本体ケース10の側面すなわ
ち外周縁にフランジ部11が設けられ、このパッケージ
本体ケース10の裏面にLSIチップ20が接着されて
いるとともに、複数のリード30がパッケージ本体ケー
ス10の裏面に絶縁シート40(第1の絶縁シート)を
介して接合されているものである。そして、パッケージ
本体ケース10の四隅部には、例えばフランジ部11に
凹みを形成することにより、図示省略する実装ボード
の、電源電圧VDD用の電源供給電極又はアースGND用
の接地電極などに電気的に接続可能にされた接続端子部
12が設けられている。
【0009】パッケージ本体ケース10は、例えば金属
でできていて、接続端子部12を介して実装ボードよ
り、電源電圧VDDを印加させられるか又はアースGND
に落とされる。また、フランジ部11は、パッケージ1
を実装ボードに実装した場合に、パッケージ1自身を支
える脚となるものである。フランジ部11及び接続端子
部12はともにリード30とは電気的に絶縁されてい
る。なお、接続端子部12は四箇所の隅部のうち少なく
とも一箇所設けられていればよい。
【0010】前記LSIチップ20は、パッケージ本体
ケース10の中央部に直接フェースダウンさせられた状
態、すなわちLSIチップ20の、素子の形成されてい
ない裏面を接合させた状態で取り付けられている。LS
Iチップ20に形成された電極部、すなわちボンディン
グパッド(図示省略)と各リード30,…とは夫々ボン
ディングワイヤ50,…を介して電気的に接続されてい
る。また、LSIチップ20のボンディングパッドのう
ち電源電圧VDD用のパッド(パッケージ本体ケース10
が電源電圧VDDレベルの場合)又はアースGND用のパ
ッド(パッケージ本体ケース10がアースGNDレベル
の場合)の何れか一方のパッドとパッケージ本体ケース
10とがボンディングワイヤ51を介して電気的に接続
されている。
【0011】前記リード30は、例えば電気的絶縁体で
できたフィルム(図示省略)の裏面に金属薄膜として形
成され、所定のパターンを成している。そして、各リー
ド30の先端部(すなわち、外部リード部)におけるピ
ッチは、特に限定しないが、例えば0.3mmや0.15mm
や0.1mmなどとなっている。また、リードフレームの
微細パターンの形成技術が進歩することによって、更な
る微細ピッチ、例えば0.01mmオーダーのピッチも可
能である。
【0012】また、リード部分は、リード30と絶縁シ
ート40とパッケージ本体ケース10の3層からなるマ
イクロストリップ線路構造となっている。そのため、リ
ード30における特性インピーダンスと実装ボードの特
性インピーダンスとの整合が取り易い。
【0013】ここで、リード30の構成要素である上記
フィルムは薄膜状のリード30を支えるためのものであ
るが、前記絶縁シート40を兼ねさせてもよい。この場
合には、フィルムの表面(金属薄膜の形成されていない
側の面)をパッケージ本体ケース10の裏面に直接貼着
すればよい。
【0014】上記のように構成されたパッケージ1の、
LSIチップ20、リード30の基端側半部(すなわ
ち、内部リード部)、ボンディングワイヤ50,51
は、信頼度を確保するために樹脂により気密封止されて
いる。ここでは、コストを抑えるために、簡便で且つ高
信頼度の得られるポッティング法により樹脂封止部60
(図3では二点鎖線で示した。)が形成されている。
【0015】以上、詳述したように、第1実施例によれ
ば、パッケージ本体ケース10でパッケージ1自身を支
えるため、リード30にパッケージ1自身を支え得る程
度の機械的強度を持たせずに済み、リード30の幅やピ
ッチをさらに微細化することが可能となり、従って、パ
ッケージ1を大型化することなくその四辺に極めて多数
のリードを配設させることができる。また、リード部分
がマイクロストリップ線路構造になっているため、実装
ボードの特性インピーダンスとの整合が取り易く、高周
波特性が良好となり、電気的特性が良くなる。さらに、
パッケージ本体ケース10が金属製であるため、パッケ
ージ1の熱抵抗が小さくなり、優れた放熱性が得られる
だけでなく、放熱フィンの取付けも容易であるため、更
に熱抵抗を下げることができ、消費電力の大きい高集積
及び高性能LSIチップの実装が可能となる。
【0016】(第2実施例)本発明に係るLSIチップ
の実装構造の第2実施例を図4及び図5に示し、以下に
説明する。それらのうち、図4はパッケージの縦断面
図、図5はそのパッケージの底面図である。なお、第1
実施例と同一の部材等については同一の符号を付し、そ
の説明を省略する。
【0017】第2実施例のパッケージ1が第1実施例と
異なるのは、以下の点である。すなわち、LSIチップ
20のボンディングパッド(図示省略)と各リード3
0,…とのボンディング構造を、ワイヤボンディング構
造によらず、マイクロストリップ線路構造とした点であ
る。
【0018】具体的に説明すると、図4に示すように、
LSIチップ20の各ボンディングパッドと各リード3
0とが信号線群70で電気的に接続されているととも
に、絶縁層71(第1の絶縁層)を介して、導電材料で
できた導電層72(第1の導電層)が信号線群70に対
向して設けられている。そして、導電層72は前記パッ
ケージ本体ケース10に電気的に接続されている。
【0019】信号線群70は、上述したリード30と同
様に、電気的絶縁体でできたフィルム73の表面に金属
薄膜として形成され、所定のパターンを成している。ま
た、導電層72は、絶縁層71の表面に形成された金属
薄膜である。これらフィルム73、信号線群70、絶縁
層71及び導電層72を4層構造をなす一枚のシートに
してもよい。このようにすれば、ボンディングに要する
時間が大幅に短縮される。
【0020】第2実施例によれば、第1実施例における
効果に加えて、リード30における特性インピーダンス
と信号線群70の特性インピーダンスの整合が取り易
く、高周波特性がより一層良好になる。
【0021】(第3実施例)本発明に係るLSIチップ
の実装構造の第3実施例を図6及び図7に示し、以下に
説明する。それらのうち、図6はパッケージの縦断面
図、図7はそのパッケージの底面図である。なお、第1
実施例と同一の部材等については同一の符号を付し、そ
の説明を省略する。
【0022】第3実施例のパッケージ1が第1実施例と
異なるのは、以下の点である。すなわち、LSIチップ
20のボンディングパッド(図示省略)と各リード3
0,…とのボンディング構造を、ワイヤボンディング構
造によらず、ストリップ線路構造とするとともに、リー
ド部分に付いてもストリップ線路構造とした点である。
【0023】ボンディング部分に付いて具体的に説明す
ると、図6に示すように、LSIチップ20の各ボンデ
ィングパッドと各リード30とが信号線群80で電気的
に接続されている。この信号線群80を挟むように、絶
縁層81(第1の絶縁層)及び絶縁層83(第2の絶縁
層)を介して、導電材料でできた導電層82(第1の導
電層)及び導電層84(第2の導電層)が対向して設け
られている。そして、導電層82は前記パッケージ本体
ケース10に電気的に接続されている。
【0024】信号線群80は、上述したリード30と同
様に、絶縁層83の表面に金属薄膜として形成され、所
定のパターンを成している。導電層82は、絶縁層81
の表面に形成された金属薄膜である。また、導電層84
は、電気的絶縁体でできたフィルム85の表面に形成さ
れた金属薄膜である。これらフィルム85、導電層8
4、絶縁層83、信号線群80、絶縁層81及び導電層
82を6層構造をなす一枚のシートにしてもよい。
【0025】次に、リード部分に付いて具体的に説明す
ると、図6に示すように、パッケージ本体ケース10と
ともにリード30を挟むように、絶縁シート90(第2
の絶縁シート)を介して、導電シート91が設けられて
いる。そして、導電シート91は前記導電層84に電気
的に接続されているとともに、実装ボードの電源電圧V
DD用の電源供給電極(パッケージ本体ケース10がアー
スGNDレベルの場合)又はアースGND用の接地電極
(パッケージ本体ケース10が電源電圧VDDレベルの場
合)に電気的に接続される。
【0026】導電シート91は、電気的絶縁体でできた
フィルム92の表面に形成された金属薄膜である。これ
ら絶縁シート90、導電シート91及びフィルム92を
3層構造をなす一枚のシートにしてもよい。
【0027】以上説明したように、信号伝送に供せられ
るリード30及びこれに電気的に接続された信号線群8
0が、例えば、パッケージ本体ケース10及びこれに同
電位の導電層82からなるアースGNDレベルの導電層
と、導電シート91及びこれに電気的に接続された導電
層84からなる電源電圧VDDレベルの導電層とで挟まれ
ることによって、パッケージ1全体がストリップ線路構
造となっている。なお、パッケージ本体ケース10側を
電源電圧VDDレベルとし、導電層84,91側をアース
GNDレベルとしてもよい。
【0028】第3実施例によれば、第1実施例における
効果に加えて、リード30における特性インピーダンス
と信号線群80の特性インピーダンスの整合が取り易
く、高周波特性がより一層良好になる。
【0029】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。例えば、パ
ッケージ本体ケース10は金属でできているとしたが、
導電性を有し、パッケージ1自身を支える程度の機械的
強度を確保することができ、且つ放熱性に優れれば、金
属に限らない。また、パッケージ1の気密封止としてポ
ッティング法による樹脂封止を行っているが、キャステ
ィング法やトランスファモールド法で行ってもよいし、
樹脂封止に限らずその他の封止形式でもよい。
【0030】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるLSI
チップを実装したパッケージに適用した場合について説
明したが、この発明はそれに限定されるものではない。
【0031】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば下記
のとおりである。すなわち、極めて熱抵抗が小さく、優
れた放熱性を有し、且つ、電気的特性、特に高周波特性
が良好であるとともに、リードの微細化が容易であるの
で、パッケージを大型化せずに、放熱性や電気的特性を
損なうことなく、容易にリードの数を増やすことができ
る。従って、今後益々高集積化及び高性能化して、必要
とするリードの数が増え、発熱による高温化をともな
い、動作速度が高速化するLSIチップの実装に優れた
効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施例におけるLSIチップの実装構造に
よるパッケージの外観を示す全体斜視図である。
【図2】図1のII-IIにおけるパッケージの縦断面図で
ある。
【図3】そのパッケージの底面図である。
【図4】第2実施例におけるLSIチップの実装構造に
よるパッケージの縦断面図である。
【図5】そのパッケージの底面図である。
【図6】第3実施例におけるLSIチップの実装構造に
よるパッケージの縦断面図である。
【図7】そのパッケージの底面図である。
【符号の説明】
10 パッケージ本体ケース 11 フランジ部 12 接続端子部 20 LSIチップ 30 リード 40 絶縁シート(第1の絶縁シート) 70,80 信号線群 71,81 絶縁層(第1の絶縁層) 72,82 導電層(第1の導電層) 83 絶縁層(第2の絶縁層) 84 導電層(第2の導電層) 90 絶縁シート(第2の絶縁シート) 91 導電シート

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 側面にフランジ部を有し、導電材料から
    なる矩形皿状のパッケージ本体ケースの裏面にLSIチ
    ップが実装され、該LSIチップの近傍から前記フラン
    ジ部に至るまで、前記パッケージ本体ケースとの間に第
    1の絶縁シートを介して、複数のリードが放射状に延設
    されているとともに、パッケージ本体ケースの四隅部
    に、実装ボードに設けられた電極に電気的に接続可能な
    接続端子部が形成されていることを特徴とするLSIチ
    ップの実装構造。
  2. 【請求項2】 前記LSIチップと前記リードとの間に
    は、前記パッケージ本体ケースの裏面に導電接触される
    よう形成された第1の導電層と、LSIチップとリード
    間で電気信号を伝送させる信号線群とが第1の絶縁層を
    挟んで積層されてなるマイクロストリップ線路構造が設
    けられていることを特徴とする請求項1記載のLSIチ
    ップの実装構造。
  3. 【請求項3】 前記リードの裏面には、第2の絶縁シー
    トを挟んで、実装ボードに設けられた他の電極に電気的
    に接続可能な導電シートが積層され、一方、前記LSI
    チップとリードとの間には、前記パッケージ本体ケース
    の裏面に導電接触されるよう形成された第1の導電層
    と、LSIチップとリード間で電気信号を伝送させる信
    号線群とが第1の絶縁層を挟んで積層され、さらに上記
    信号線群に第2の絶縁層を挟んで対向するように第2の
    導電層が積層されてなるストリップ線路構造が設けら
    れ、第2の導電層が前記導電シートに電気的に接続され
    ていることを特徴とする請求項1記載のLSIチップの
    実装構造。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100426499B1 (ko) * 1995-12-29 2004-05-31 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 반도체패키지의구조
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