JPH0697551A - レーザ装置 - Google Patents
レーザ装置Info
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- JPH0697551A JPH0697551A JP24631192A JP24631192A JPH0697551A JP H0697551 A JPH0697551 A JP H0697551A JP 24631192 A JP24631192 A JP 24631192A JP 24631192 A JP24631192 A JP 24631192A JP H0697551 A JPH0697551 A JP H0697551A
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- Japan
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- laser
- laser light
- light
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 複数の発振波長のレーザ光が複数の増幅器に
よって段階的に増幅されてなるレーザ装置において、増
幅効率が向上するとともにレーザ出力が安定しさらに光
学部品の寿命が延びる装置を得る。 【構成】 複数の発振波長を有するレーザ光２を発振す
るレーザ発振器１と、レーザ発振器１の後方に複数配置
されレーザ光２を段階的に増幅するレーザ増幅器３と、
レーザ増幅器３のレーザ光入力側に位置しレーザ光及び
増幅されたレーザ光の発振波長の内必要波長２ａをそれ
ぞれ選択する波長選択手段７とで構成したものである。
よって段階的に増幅されてなるレーザ装置において、増
幅効率が向上するとともにレーザ出力が安定しさらに光
学部品の寿命が延びる装置を得る。 【構成】 複数の発振波長を有するレーザ光２を発振す
るレーザ発振器１と、レーザ発振器１の後方に複数配置
されレーザ光２を段階的に増幅するレーザ増幅器３と、
レーザ増幅器３のレーザ光入力側に位置しレーザ光及び
増幅されたレーザ光の発振波長の内必要波長２ａをそれ
ぞれ選択する波長選択手段７とで構成したものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はレーザ装置に関し、特
にレーザ増幅器に入力するレーザ光の改良に関するもの
である。
にレーザ増幅器に入力するレーザ光の改良に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】図３はこの種の例えば銅蒸気レーザにお
けるレーザ装置の構成を示す模式図である。図におい
て、１は複数の発振波長をもつレーザ光２を発振するレ
ーザ発振器で２ａは必要波長の必要レーザ光を２ｂは不
要波長の不要レーザ光を示している。３，４は発振器１
の後方にそれぞれ光軸調整ミラー５を介して複数が直列
に配置されレーザ光２を段階的に増幅するレーザ増幅器
で内４が最終段レーザ増幅器、６は最終段レーザ増幅器
４の後方に配置されレーザ光２から２ａ，２ｂの選択を
するダイクロイックミラー又は波長選択素子でなる波長
選択手段、２ｃは選択された最終のレーザ光である。な
お、光軸調整ミラー５の概略構成は図４に示すとおりで
５ａは全反射ミラー、５ｂはビームスプリッタ、５ｃは
モニター用パワーメータである。
けるレーザ装置の構成を示す模式図である。図におい
て、１は複数の発振波長をもつレーザ光２を発振するレ
ーザ発振器で２ａは必要波長の必要レーザ光を２ｂは不
要波長の不要レーザ光を示している。３，４は発振器１
の後方にそれぞれ光軸調整ミラー５を介して複数が直列
に配置されレーザ光２を段階的に増幅するレーザ増幅器
で内４が最終段レーザ増幅器、６は最終段レーザ増幅器
４の後方に配置されレーザ光２から２ａ，２ｂの選択を
するダイクロイックミラー又は波長選択素子でなる波長
選択手段、２ｃは選択された最終のレーザ光である。な
お、光軸調整ミラー５の概略構成は図４に示すとおりで
５ａは全反射ミラー、５ｂはビームスプリッタ、５ｃは
モニター用パワーメータである。
【０００３】次に動作について説明する。レーザ発振器
１から発振したレーザ光２は光軸調整ミラー５を介して
各レーザ増幅器３に入力し段階的に増幅される。最終段
レーザ増幅器４より出力されたレーザ光２は使用目的に
よりダイクロイックミラー又は波長選択素子の波長選択
手段６により最終レーザ光２ｃが出力するものである。
なお、多段増幅する場合にはレーザ発振器１，レーザ増
幅器３最終段レーザ増幅器４のパルスタイミングを各段
において所定の時間のみ遅らせてレーザ増幅する。又一
般的にはレーザ発振器１は小口径、レーザ増幅器３，最
終段レーザ増幅器４は大口径のレーザ装置が用いられ
る。よって各段階には光学部品として口径変更，光軸調
整可能な部品が備えられている。
１から発振したレーザ光２は光軸調整ミラー５を介して
各レーザ増幅器３に入力し段階的に増幅される。最終段
レーザ増幅器４より出力されたレーザ光２は使用目的に
よりダイクロイックミラー又は波長選択素子の波長選択
手段６により最終レーザ光２ｃが出力するものである。
なお、多段増幅する場合にはレーザ発振器１，レーザ増
幅器３最終段レーザ増幅器４のパルスタイミングを各段
において所定の時間のみ遅らせてレーザ増幅する。又一
般的にはレーザ発振器１は小口径、レーザ増幅器３，最
終段レーザ増幅器４は大口径のレーザ装置が用いられ
る。よって各段階には光学部品として口径変更，光軸調
整可能な部品が備えられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】以上のように構成され
た従来のレーザ装置について、複数段の構成による多段
増幅システムの場合、レーザ発振器から発振されるレー
ザ光の光の性質がそのまま増幅される特性がある。又、
光の偏光には垂直偏光と水平偏光がありレーザ発振器か
ら発振されるレーザ光には両方の偏光が含まれその含有
率は常に変化している。又、レーザ光との間には時間づ
れで１０〜１５ｎｓｅｃ程度の発振遅れがある。今、レ
ーザ発振器から発振したレーザ光がレーザ増幅器へ導入
されると、レーザ増幅器で増幅されたレーザ光は不要レ
ーザも増幅されるために各光学部品に過大なレーザ光が
照射されることにより光学損失が増加する。又、偏光成
分も同様比率が変化したものとなる。各段増幅量増加に
ともない増幅されたレーザ光の変化が大きくなり最終レ
ーザ光の出力の不安定となって現れる。又、レーザ光の
間には遅れ時間差があるためパルスタイミングを不要レ
ーザ光に一致させてしまうかまたはその中途半端な値に
合わせてしまうおそれがある。このようにレーザ出力の
不安定性，増幅効率の低下，光学部品の短寿命につなが
るなど問題点があった。
た従来のレーザ装置について、複数段の構成による多段
増幅システムの場合、レーザ発振器から発振されるレー
ザ光の光の性質がそのまま増幅される特性がある。又、
光の偏光には垂直偏光と水平偏光がありレーザ発振器か
ら発振されるレーザ光には両方の偏光が含まれその含有
率は常に変化している。又、レーザ光との間には時間づ
れで１０〜１５ｎｓｅｃ程度の発振遅れがある。今、レ
ーザ発振器から発振したレーザ光がレーザ増幅器へ導入
されると、レーザ増幅器で増幅されたレーザ光は不要レ
ーザも増幅されるために各光学部品に過大なレーザ光が
照射されることにより光学損失が増加する。又、偏光成
分も同様比率が変化したものとなる。各段増幅量増加に
ともない増幅されたレーザ光の変化が大きくなり最終レ
ーザ光の出力の不安定となって現れる。又、レーザ光の
間には遅れ時間差があるためパルスタイミングを不要レ
ーザ光に一致させてしまうかまたはその中途半端な値に
合わせてしまうおそれがある。このようにレーザ出力の
不安定性，増幅効率の低下，光学部品の短寿命につなが
るなど問題点があった。
【０００５】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、レーザ出力が安定するとともに
増幅効率も向上しさらに光学部品の寿命が延びるレーザ
装置を得ることを目的とする。
ためになされたもので、レーザ出力が安定するとともに
増幅効率も向上しさらに光学部品の寿命が延びるレーザ
装置を得ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明に係るレーザ装
置は、請求項１で、複数の発振波長を有するレーザ光を
発振するレーザ発振器と、レーザ発振器の後方に複数配
置されレーザ光を段階的に増幅するレーザ増幅器と、レ
ーザ増幅器のレーザ光入力側に位置しレーザ光及び増幅
されたレーザ光の発振波長の内必要波長をそれぞれ選択
する波長選択手段とで構成したものである。
置は、請求項１で、複数の発振波長を有するレーザ光を
発振するレーザ発振器と、レーザ発振器の後方に複数配
置されレーザ光を段階的に増幅するレーザ増幅器と、レ
ーザ増幅器のレーザ光入力側に位置しレーザ光及び増幅
されたレーザ光の発振波長の内必要波長をそれぞれ選択
する波長選択手段とで構成したものである。
【０００７】又、請求項２で、レーザ光を発振するレー
ザ発振器と、レーザ発振器の後方に配置されレーザ光を
増幅するレーザ増幅器と、レーザ増幅器とレーザ発振器
間に設けられレーザ光の偏光方向を直線偏向に固定する
偏光手段とで構成したものである。
ザ発振器と、レーザ発振器の後方に配置されレーザ光を
増幅するレーザ増幅器と、レーザ増幅器とレーザ発振器
間に設けられレーザ光の偏光方向を直線偏向に固定する
偏光手段とで構成したものである。
【０００８】
【作用】この発明におけるレーザ装置は、波長選択手段
によってレーザ光の内必要波長のみが増幅され増幅効率
が向上する。
によってレーザ光の内必要波長のみが増幅され増幅効率
が向上する。
【０００９】又、偏光手段によってレーザ光が直線偏光
に固定され光学部での反射率，透過率を固定したものと
する。
に固定され光学部での反射率，透過率を固定したものと
する。
【００１０】
【実施例】実施例１．以下この発明の実施例１を図につ
いて説明する。図１はこの発明における実施例１のレー
ザ装置の構成を示す模式図である。図において、１ない
し６は従来と同様であるためその説明は省略する。７は
レーザ増幅器２それぞれで光学部品５の前段に配置され
た波長選択手段で例えばダイクロイックミラー又は波長
選択素子である。
いて説明する。図１はこの発明における実施例１のレー
ザ装置の構成を示す模式図である。図において、１ない
し６は従来と同様であるためその説明は省略する。７は
レーザ増幅器２それぞれで光学部品５の前段に配置され
た波長選択手段で例えばダイクロイックミラー又は波長
選択素子である。
【００１１】次に動作について説明する。レーザ発振器
１から発振された各波長のレーザ光２はダイクロイック
ミラー又は波長選択素子７により必要レーザ光２ａと不
要レーザ光２ｂに選択され、必要レーザ光２ａだけが光
学部品５を介してレーザ増幅器３に導かれ増幅される。
レーザ増幅器３から出力されたレーザ光は増幅された必
要レーザ光２ａとレーザ増幅器３で自己発振した不要レ
ーザ光２ｄであるために再びダイクロイックミラー又は
波長選択素子７により不要レーザ光２ｄを除去し次段の
レーザ増幅器３へ導かれる。最終レーザ増幅器４の出力
に於いても同様であり、ダイクロイックミラー又は波長
選択素子６により不要レーザ光２ｄは除去される。この
ように必要レーザ光２ａのみを増幅させることによりそ
れぞれのレーザ増幅器３，４の出力レーザを少なくする
ことができ光学部品への光学損失も減少する。
１から発振された各波長のレーザ光２はダイクロイック
ミラー又は波長選択素子７により必要レーザ光２ａと不
要レーザ光２ｂに選択され、必要レーザ光２ａだけが光
学部品５を介してレーザ増幅器３に導かれ増幅される。
レーザ増幅器３から出力されたレーザ光は増幅された必
要レーザ光２ａとレーザ増幅器３で自己発振した不要レ
ーザ光２ｄであるために再びダイクロイックミラー又は
波長選択素子７により不要レーザ光２ｄを除去し次段の
レーザ増幅器３へ導かれる。最終レーザ増幅器４の出力
に於いても同様であり、ダイクロイックミラー又は波長
選択素子６により不要レーザ光２ｄは除去される。この
ように必要レーザ光２ａのみを増幅させることによりそ
れぞれのレーザ増幅器３，４の出力レーザを少なくする
ことができ光学部品への光学損失も減少する。
【００１２】実施例２．以下この発明の実施例２を図に
ついて説明する。図２はこの発明における実施例２のレ
ーザ装置の構成を示す模式図である。図において、１〜
７は実施例１と同様であるためその説明は省略する。８
はレーザ発振器１の後方に設けられ発振したレーザ光２
の偏光方向を直線偏光に固定する例えば偏光素子でなる
偏光手段である。
ついて説明する。図２はこの発明における実施例２のレ
ーザ装置の構成を示す模式図である。図において、１〜
７は実施例１と同様であるためその説明は省略する。８
はレーザ発振器１の後方に設けられ発振したレーザ光２
の偏光方向を直線偏光に固定する例えば偏光素子でなる
偏光手段である。
【００１３】次に動作について説明する。レーザ発振器
１から発振されたレーザ光２は偏光素子８により偏光方
向を直線偏光に固定されることにより光軸調整ミラー５
などの光学部品の反射率，透過率が固定され安定的な増
幅効果が生じる。その他の動作は実施例１と同様であ
る。なお、偏光素子８はレーザ発振器１の出力窓をブリ
ュースタ角に保つことにより代用できる。
１から発振されたレーザ光２は偏光素子８により偏光方
向を直線偏光に固定されることにより光軸調整ミラー５
などの光学部品の反射率，透過率が固定され安定的な増
幅効果が生じる。その他の動作は実施例１と同様であ
る。なお、偏光素子８はレーザ発振器１の出力窓をブリ
ュースタ角に保つことにより代用できる。
【００１４】実施例３．上記実施例２で偏光素子８と波
長選択手段７とを装置上に併用して設置したものを示し
たが、これを偏光素子８のみを設置する装置としても良
い。特に発振波長が統一している場合に採用することが
望ましい。
長選択手段７とを装置上に併用して設置したものを示し
たが、これを偏光素子８のみを設置する装置としても良
い。特に発振波長が統一している場合に採用することが
望ましい。
【００１５】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、複数の
発振波長を有するレーザ光を発振するレーザ発振器と、
レーザ発振器の後方に複数配置されレーザ光を段階的に
増幅するレーザ増幅器と、レーザ増幅器のレーザ光入力
側に位置しレーザ光及び増幅されたレーザ光の発振波長
の内必要波長をそれぞれ選択する波長選択手段とで構成
したので必要波長のレーザ光のみが増幅されることにな
り光学損失が減り増幅効率が向上するとともにレーザ出
力が安定しさらに光学部品寿命が延びるレーザ装置が得
られる効果がある。
発振波長を有するレーザ光を発振するレーザ発振器と、
レーザ発振器の後方に複数配置されレーザ光を段階的に
増幅するレーザ増幅器と、レーザ増幅器のレーザ光入力
側に位置しレーザ光及び増幅されたレーザ光の発振波長
の内必要波長をそれぞれ選択する波長選択手段とで構成
したので必要波長のレーザ光のみが増幅されることにな
り光学損失が減り増幅効率が向上するとともにレーザ出
力が安定しさらに光学部品寿命が延びるレーザ装置が得
られる効果がある。
【００１６】又、レーザ光を発振するレーザ発振器と、
レーザ発振器の後方に配置されレーザ光を増幅するレー
ザ増幅器と、レーザ増幅器とレーザ発振器間に設けられ
レーザ光の偏光方向を直線偏向に固定する偏光手段とで
構成したので、レーザ光が直線偏光に固定され光軸調整
ミラーなどの光学部の反射率，透過率が固定されて安定
的な増幅効果が生じる。
レーザ発振器の後方に配置されレーザ光を増幅するレー
ザ増幅器と、レーザ増幅器とレーザ発振器間に設けられ
レーザ光の偏光方向を直線偏向に固定する偏光手段とで
構成したので、レーザ光が直線偏光に固定され光軸調整
ミラーなどの光学部の反射率，透過率が固定されて安定
的な増幅効果が生じる。
【図１】この発明の実施例１におけるレーザ装置の構成
を示す模式図である。
を示す模式図である。
【図２】この発明の実施例２におけるレーザ装置の構成
を示す模式図である。
を示す模式図である。
【図３】従来のレーザ装置の構成を示す模式図である。
【図４】光軸調整ミラーの概略構成図である。
１ レーザ発振器 ２ レーザ光 ２ａ 必要レーザ光（必要波長） ２ｂ 不要レーザ光（不要波長） ３ レーザ増幅器 ７ 波長選択手段（ダイクロイックミラー又は波長選択
素子） ８ 偏光手段（偏光素子）
素子） ８ 偏光手段（偏光素子）
Claims (2)
- 【請求項１】 複数の発振波長を有するレーザ光を発振
するレーザ発振器と、該レーザ発振器の後方に複数配置
され上記レーザ光を段階的に増幅するレーザ増幅器と、
該レーザ増幅器の上記レーザ光入力側に位置し上記レー
ザ光及び増幅されたレーザ光の発振波長の内必要波長を
それぞれ選択する波長選択手段とを備えたことを特徴と
するレーザ装置。 - 【請求項２】 レーザ光を発振するレーザ発振器と、該
レーザ発振器の後方に配置され上記レーザ光を増幅する
レーザ増幅器と、該レーザ増幅器と上記レーザ発振器間
に設けられ上記レーザ光の偏光方向を直線偏向に固定す
る偏光手段とを備えたことを特徴とするレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24631192A JP3091027B2 (ja) | 1992-09-16 | 1992-09-16 | レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24631192A JP3091027B2 (ja) | 1992-09-16 | 1992-09-16 | レーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0697551A true JPH0697551A (ja) | 1994-04-08 |
| JP3091027B2 JP3091027B2 (ja) | 2000-09-25 |
Family
ID=17146670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24631192A Expired - Fee Related JP3091027B2 (ja) | 1992-09-16 | 1992-09-16 | レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3091027B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011155345A1 (ja) * | 2010-06-08 | 2011-12-15 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥検査方法および欠陥検査装置 |
-
1992
- 1992-09-16 JP JP24631192A patent/JP3091027B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011155345A1 (ja) * | 2010-06-08 | 2011-12-15 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥検査方法および欠陥検査装置 |
| JP2011257222A (ja) * | 2010-06-08 | 2011-12-22 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査方法および欠陥検査装置 |
| US9535013B2 (en) | 2010-06-08 | 2017-01-03 | Hitachi High-Technologies Corporation | Method and apparatus for inspecting defect |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3091027B2 (ja) | 2000-09-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |