JPH0697601B2 - 円筒鏡面型エネルギ―分析器 - Google Patents
円筒鏡面型エネルギ―分析器Info
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- JPH0697601B2 JPH0697601B2 JP4059832A JP5983292A JPH0697601B2 JP H0697601 B2 JPH0697601 B2 JP H0697601B2 JP 4059832 A JP4059832 A JP 4059832A JP 5983292 A JP5983292 A JP 5983292A JP H0697601 B2 JPH0697601 B2 JP H0697601B2
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- slit
- energy
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はオ―ジェ分析等に使用さ
れる円筒鏡面型エネルギ―分析器に関し、特にエネルギ
―分解能の向上を図った装置に関する。
れる円筒鏡面型エネルギ―分析器に関し、特にエネルギ
―分解能の向上を図った装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】オ―ジェ分析等に使用されるエネルギ―
分析器としては、被分析電子を分析器内に導入する開口
部の立体角が大きく取れることから、円筒鏡面型エネル
ギ―分析器（以下ＣＭＡと略する）が使用されている。
図５は従来の全円筒鏡面型ＣＭＡの要部を示す概略図
で、図５においては、説明を簡単にするため後述する内
円筒電極と外円筒電極等の片側は省略されている。図に
おいて、１は試料であり、この試料１には図示外の電子
線源より電子線２が照射される。この結果、試料１の表
面よりオ―ジェ電子３が発生する。４は接地された内円
筒電極であり、この内円筒電極４と同軸に外円筒電極５
が設けられており、外円筒電極５には図示しない可変電
源より負（−）の電位が与えられている。ここで、４ａ
は試料１より発生したオ―ジェ電子３を内円筒電極４と
外円筒電極５との間に形成された電界中に導くための内
円筒電極４に形成された入射開口部であり、４ｂは前記
電界内に導かれたオ―ジェ電子３の内、特定の軌道をと
ったもののみを選択通過させるための出射開口部であ
る。６は例えば連続ダイノ―ド型の電子線検出器で、７
は該電子線検出器６の前面に配置されたスリット幅可変
スリットで、該可変スリット７のスリット幅ｌは大気側
より可変できるように構成されており、その結果この可
変スリット７を通過するオ―ジェ電子３の電子線検出器
６へのエネルギ―分解能と入射量を可変できるようにな
っている。
分析器としては、被分析電子を分析器内に導入する開口
部の立体角が大きく取れることから、円筒鏡面型エネル
ギ―分析器（以下ＣＭＡと略する）が使用されている。
図５は従来の全円筒鏡面型ＣＭＡの要部を示す概略図
で、図５においては、説明を簡単にするため後述する内
円筒電極と外円筒電極等の片側は省略されている。図に
おいて、１は試料であり、この試料１には図示外の電子
線源より電子線２が照射される。この結果、試料１の表
面よりオ―ジェ電子３が発生する。４は接地された内円
筒電極であり、この内円筒電極４と同軸に外円筒電極５
が設けられており、外円筒電極５には図示しない可変電
源より負（−）の電位が与えられている。ここで、４ａ
は試料１より発生したオ―ジェ電子３を内円筒電極４と
外円筒電極５との間に形成された電界中に導くための内
円筒電極４に形成された入射開口部であり、４ｂは前記
電界内に導かれたオ―ジェ電子３の内、特定の軌道をと
ったもののみを選択通過させるための出射開口部であ
る。６は例えば連続ダイノ―ド型の電子線検出器で、７
は該電子線検出器６の前面に配置されたスリット幅可変
スリットで、該可変スリット７のスリット幅ｌは大気側
より可変できるように構成されており、その結果この可
変スリット７を通過するオ―ジェ電子３の電子線検出器
６へのエネルギ―分解能と入射量を可変できるようにな
っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このように
構成された従来装置において、試料１より放射されたオ
―ジェ電子３は、図５に示すような電子軌道をとって再
び円筒軸上に収束される。図６は、この試料１より放射
されたオ―ジェ電子３が、半開口角Δα＝８°で分光さ
れ、例えばエネルギ―５００±０．８ｅＶで出射開口部
４ｂを出射した場合の可変スリット７付近における電子
軌道を示したもので、実線（イ）内はエネルギ―５００
ｅＶの電子軌道であり、点線（ロ）内は５００＋０．８
ｅＶの電子軌道、一点破線（ハ）内は５００−０．８ｅ
Ｖの電子軌道を示している。この図６からも明らかなよ
うに、このような装置では、可変スリット７付近におけ
る電子軌道が大きく広がり、電子軌道の収差が比較的大
きくなっている。図７は、可変スリット７のスリット幅
ｌ＝０．４５ｍｍでアナライザ―のエネルギ―値を５０
０ｅＶに設定した場合のスペクトル波形であり、この場
合のエネルギ―分解能は２．８９ｅＶである。又、図８
はスリット幅ｌを０．２ｍｍとした場合のスペクトル波
形を示すもので、この場合のエネルギ―分解能は２．０
３ｅＶであった。従って、このような従来装置において
は、可変スリット７のスリット幅ｌを変化させてもエネ
ルギ―分解能はあまり向上せず、高分解能によるエネル
ギ分析を行なうことができなかった。
構成された従来装置において、試料１より放射されたオ
―ジェ電子３は、図５に示すような電子軌道をとって再
び円筒軸上に収束される。図６は、この試料１より放射
されたオ―ジェ電子３が、半開口角Δα＝８°で分光さ
れ、例えばエネルギ―５００±０．８ｅＶで出射開口部
４ｂを出射した場合の可変スリット７付近における電子
軌道を示したもので、実線（イ）内はエネルギ―５００
ｅＶの電子軌道であり、点線（ロ）内は５００＋０．８
ｅＶの電子軌道、一点破線（ハ）内は５００−０．８ｅ
Ｖの電子軌道を示している。この図６からも明らかなよ
うに、このような装置では、可変スリット７付近におけ
る電子軌道が大きく広がり、電子軌道の収差が比較的大
きくなっている。図７は、可変スリット７のスリット幅
ｌ＝０．４５ｍｍでアナライザ―のエネルギ―値を５０
０ｅＶに設定した場合のスペクトル波形であり、この場
合のエネルギ―分解能は２．８９ｅＶである。又、図８
はスリット幅ｌを０．２ｍｍとした場合のスペクトル波
形を示すもので、この場合のエネルギ―分解能は２．０
３ｅＶであった。従って、このような従来装置において
は、可変スリット７のスリット幅ｌを変化させてもエネ
ルギ―分解能はあまり向上せず、高分解能によるエネル
ギ分析を行なうことができなかった。
【０００４】本発明は以上の点に鑑みなされたもので、
オ―ジェ分析等において高分解能によるエネルギ―分析
と高感度分析とを選択的に切換え可能にした円筒鏡面型
エネルギ―分析器を提供することを目的としている。
オ―ジェ分析等において高分解能によるエネルギ―分析
と高感度分析とを選択的に切換え可能にした円筒鏡面型
エネルギ―分析器を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本目的を達成するための
本発明は、荷電粒子線の試料への照射により発生する電
子を同軸上に配置された内円筒電極と外円筒電極間に導
き、該両電極によってエネルギ―分析された電子を前記
内円筒電極に形成された開口部と電子線検出器の間に設
けられたスリットによって制限して検出するように構成
された装置において、前記開口部と前記スリットの間に
第２のスリットを配置すると共に、該第２のスリットを
電子線軌道中に挿脱するための操作手段を大気側に設け
たことを特徴としている。
本発明は、荷電粒子線の試料への照射により発生する電
子を同軸上に配置された内円筒電極と外円筒電極間に導
き、該両電極によってエネルギ―分析された電子を前記
内円筒電極に形成された開口部と電子線検出器の間に設
けられたスリットによって制限して検出するように構成
された装置において、前記開口部と前記スリットの間に
第２のスリットを配置すると共に、該第２のスリットを
電子線軌道中に挿脱するための操作手段を大気側に設け
たことを特徴としている。
【０００６】
【作用】高分解能によるエネルギー分析時、第２のスリ
ットをスリット移動棒によって電子軌道上に挿入し、出
射開口部４ｂを出射したオージェ電子の可変スリット付
近における軌道収差を小さくする。この状態で、可変ス
リットのスリット幅を小さく設定して、分解能が飛躍的
に向上させる。分解能をあまり要求されない高感度のエ
ネルギ―分析時には、該第２のスリット１０を電子軌道
上から外す。
ットをスリット移動棒によって電子軌道上に挿入し、出
射開口部４ｂを出射したオージェ電子の可変スリット付
近における軌道収差を小さくする。この状態で、可変ス
リットのスリット幅を小さく設定して、分解能が飛躍的
に向上させる。分解能をあまり要求されない高感度のエ
ネルギ―分析時には、該第２のスリット１０を電子軌道
上から外す。
【０００７】
【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づき詳述す
る。
る。
【０００８】図１は本発明の一実施例のＣＭＡの要部を
示す概略図であり、図５に示す従来装置と同一構成要素
には同一番号を付してその説明を省略する。図１におい
て、１０は内円筒電極４の出射開口部４ｂと可変スリッ
ト７との間で、且つ出射開口部４ｂの近傍に配置された
第２のスリットで、該第２のスリット１０はスリット移
動棒１１に取り付けられている。このスリット移動棒１
１は、ベロ―ズ１２により真空を保持してケ―ス１３を
貫通しており、該スリット移動棒１１を矢印Ｒ又はＬの
向きに移動させることにより、前記第２のスリット１０
を電子軌道上に挿脱、つまり、電子軌道上に位置させた
り、電子軌道上から外したりすることができる。
示す概略図であり、図５に示す従来装置と同一構成要素
には同一番号を付してその説明を省略する。図１におい
て、１０は内円筒電極４の出射開口部４ｂと可変スリッ
ト７との間で、且つ出射開口部４ｂの近傍に配置された
第２のスリットで、該第２のスリット１０はスリット移
動棒１１に取り付けられている。このスリット移動棒１
１は、ベロ―ズ１２により真空を保持してケ―ス１３を
貫通しており、該スリット移動棒１１を矢印Ｒ又はＬの
向きに移動させることにより、前記第２のスリット１０
を電子軌道上に挿脱、つまり、電子軌道上に位置させた
り、電子軌道上から外したりすることができる。
【０００９】この様に構成された装置において、従来装
置と同一条件で測定した場合について、電子軌道の収差
とエネルギ―分解能がどの程度向上したかを説明する。
先ず、試料１より放射されたオ―ジェ電子３は、出射開
口部４ｂまでの経路を通過するまでに半開口角Δα＝８
°で分光され、エネルギ―値が５００±０．８ｅＶのオ
―ジェ電子３となってこの出射開口部４ｂを出射する。
そこで、第２のスリット１０をスリット移動棒１１によ
って電子軌道上に挿入する。このようにすると、可変ス
リット７付近における電子軌道は図２に示すようにな
る。図２において、実線（イ）内はエネルギ―５００ｅ
Ｖの電子軌道であり、点線（ロ）内は５００＋０．８ｅ
Ｖの電子軌道、一点破線（ハ）内は５００−０．８ｅＶ
の電子軌道である。図２からも明らかなように、可変ス
リット７付近における電子軌道は、第２のスリット１０
を電子軌道上に挿入したことにより、半開口角Δα＝８
°で分光された場合でも、出射開口部４ｂ側では実質的
にΔα´＝２°となり、図５に示す従来装置に比較して
電子軌道の収差が小さくなっている。図３は、このよう
な装置で、可変スリット７のスリット幅ｌ＝０．４５ｍ
ｍでアナライザ―のエネルギ―値を５００ｅＶに設定し
た場合のスペクトル波形であり、この場合のエネルギ―
分解能は２．９５ｅＶである。又、図４は前記可変スリ
ット７のスリット幅ｌを０．２ｍｍとした場合のスペク
トル波形を示すもので、この場合のエネルギ―分解能は
１．３４ｅＶであった。従って、前記出射開口部４ｂと
可変スリット７の間に第２のスリット１０を配置し、可
変スリット７のスリット幅ｌを小さく設定すれば、分解
能が飛躍的に向上するため、高分解能によるエネルギ―
分析を行なうことができる。もちろん、前記第２のスリ
ット１０をスリット移動棒１１によって電子軌道上に位
置させたり、電子軌道上から外したりすることができる
ため、分解能をあまり要求されない場合には、前記第２
のスリット１０を電子軌道上から外すことにより、高感
度のエネルギ―分析も可能である。
置と同一条件で測定した場合について、電子軌道の収差
とエネルギ―分解能がどの程度向上したかを説明する。
先ず、試料１より放射されたオ―ジェ電子３は、出射開
口部４ｂまでの経路を通過するまでに半開口角Δα＝８
°で分光され、エネルギ―値が５００±０．８ｅＶのオ
―ジェ電子３となってこの出射開口部４ｂを出射する。
そこで、第２のスリット１０をスリット移動棒１１によ
って電子軌道上に挿入する。このようにすると、可変ス
リット７付近における電子軌道は図２に示すようにな
る。図２において、実線（イ）内はエネルギ―５００ｅ
Ｖの電子軌道であり、点線（ロ）内は５００＋０．８ｅ
Ｖの電子軌道、一点破線（ハ）内は５００−０．８ｅＶ
の電子軌道である。図２からも明らかなように、可変ス
リット７付近における電子軌道は、第２のスリット１０
を電子軌道上に挿入したことにより、半開口角Δα＝８
°で分光された場合でも、出射開口部４ｂ側では実質的
にΔα´＝２°となり、図５に示す従来装置に比較して
電子軌道の収差が小さくなっている。図３は、このよう
な装置で、可変スリット７のスリット幅ｌ＝０．４５ｍ
ｍでアナライザ―のエネルギ―値を５００ｅＶに設定し
た場合のスペクトル波形であり、この場合のエネルギ―
分解能は２．９５ｅＶである。又、図４は前記可変スリ
ット７のスリット幅ｌを０．２ｍｍとした場合のスペク
トル波形を示すもので、この場合のエネルギ―分解能は
１．３４ｅＶであった。従って、前記出射開口部４ｂと
可変スリット７の間に第２のスリット１０を配置し、可
変スリット７のスリット幅ｌを小さく設定すれば、分解
能が飛躍的に向上するため、高分解能によるエネルギ―
分析を行なうことができる。もちろん、前記第２のスリ
ット１０をスリット移動棒１１によって電子軌道上に位
置させたり、電子軌道上から外したりすることができる
ため、分解能をあまり要求されない場合には、前記第２
のスリット１０を電子軌道上から外すことにより、高感
度のエネルギ―分析も可能である。
【００１０】尚、上述した実施例は例示であり変形して
実施することができる。上記実施例では、１個のスリッ
トを設けた第２のスリット１０を使用したが、スリット
幅の異なる複数のスリットが設けられたものを用いて適
宜スリット幅を選択して分析するようにしても良い。
実施することができる。上記実施例では、１個のスリッ
トを設けた第２のスリット１０を使用したが、スリット
幅の異なる複数のスリットが設けられたものを用いて適
宜スリット幅を選択して分析するようにしても良い。
【００１１】又、本実施例では、全円筒鏡面型エネルギ
―分析器を例にして説明したが、これに限定されるもの
ではなく本発明を半円筒鏡面型エネルギ―分析器に適用
するようにしても良い。
―分析器を例にして説明したが、これに限定されるもの
ではなく本発明を半円筒鏡面型エネルギ―分析器に適用
するようにしても良い。
【００１２】
【発明の効果】以上詳述したように本発明装置によれ
ば、ＣＭＡにおいて、内円筒電極に形成された出射開口
部と可変スリットの間に第２のスリットを配置して、こ
の第２のスリットを大気側よりの操作により電子線軌道
中に挿脱できるようにしたため、オ―ジェ分析等におい
て高分解能によるエネルギ―分析と、高感度によるエネ
ルギ―分析を選択的に切り換え可能にした円筒鏡面型エ
ネルギ―分析器が提供される。
ば、ＣＭＡにおいて、内円筒電極に形成された出射開口
部と可変スリットの間に第２のスリットを配置して、こ
の第２のスリットを大気側よりの操作により電子線軌道
中に挿脱できるようにしたため、オ―ジェ分析等におい
て高分解能によるエネルギ―分析と、高感度によるエネ
ルギ―分析を選択的に切り換え可能にした円筒鏡面型エ
ネルギ―分析器が提供される。
【図１】本発明の一実施例のＣＭＡの要部を示す概略
図。
図。
【図２】実施例装置の可変スリット近傍における電子線
軌道を説明するための図。
軌道を説明するための図。
【図３】本実施例装置で可変スリットのスリット幅ｌを
変化させた場合のエネルギ―分解能を説明するための
図。
変化させた場合のエネルギ―分解能を説明するための
図。
【図４】本実施例装置で可変スリットのスリット幅ｌを
変化させた場合のエネルギ―分解能を説明するための
図。
変化させた場合のエネルギ―分解能を説明するための
図。
【図５】従来装置のＣＭＡの要部を示す概略図。
【図６】従来装置の可変スリット近傍における電子線軌
道を説明するための図。
道を説明するための図。
【図７】従来装置で可変スリットのスリット幅ｌを変化
させた場合のエネルギ―分解能を説明するための図。
させた場合のエネルギ―分解能を説明するための図。
【図８】従来装置で可変スリットのスリット幅ｌを変化
させた場合のエネルギ―分解能を説明するための図。
させた場合のエネルギ―分解能を説明するための図。
１ 試料 ２ 電子線 ３ オ―ジェ電子 ４ 内円筒電極 ５ 外円筒電極 ６ 電子線検出器 ７ 可変スリット １０ 第２のスリット １１ スリット移動棒 １２ ベロ―ズ １３ ケ―ス
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｊ 49/06 4230−5Ｅ // Ｇ０１Ｎ 23/227 7172−2Ｊ
Claims (1)
- 【請求項１】荷電粒子線の試料への照射により発生する
電子を同軸上に配置された内円筒電極と外円筒電極間に
導き、該両電極によってエネルギ―分析された電子を前
記内円筒電極に形成された開口部と電子線検出器の間に
設けられたスリットによって制限して検出するように構
成された装置において、前記開口部と前記スリットの間
に第２のスリットを配置すると共に、該第２のスリット
を電子線軌道中に挿脱するための操作手段を大気側に設
けたことを特徴とする円筒鏡面型エネルギ―分析器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4059832A JPH0697601B2 (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | 円筒鏡面型エネルギ―分析器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4059832A JPH0697601B2 (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | 円筒鏡面型エネルギ―分析器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06162991A JPH06162991A (ja) | 1994-06-10 |
| JPH0697601B2 true JPH0697601B2 (ja) | 1994-11-30 |
Family
ID=13124599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4059832A Expired - Fee Related JPH0697601B2 (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | 円筒鏡面型エネルギ―分析器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0697601B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3721287B2 (ja) * | 1999-09-01 | 2005-11-30 | 日本電子株式会社 | エネルギ選択スリット幅設定装置 |
| EP2454749A4 (en) | 2009-07-17 | 2013-09-04 | Kla Tencor Corp | ENERGY ANALYZER OF CHARGED PARTICLES |
-
1992
- 1992-02-14 JP JP4059832A patent/JPH0697601B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06162991A (ja) | 1994-06-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19950516 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |