JPH0697651A - 配線板の製造法 - Google Patents

配線板の製造法

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JPH0697651A
JPH0697651A JP24197392A JP24197392A JPH0697651A JP H0697651 A JPH0697651 A JP H0697651A JP 24197392 A JP24197392 A JP 24197392A JP 24197392 A JP24197392 A JP 24197392A JP H0697651 A JPH0697651 A JP H0697651A
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JP
Japan
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hole
copper
preliminary
resin
laminated board
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JP24197392A
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English (en)
Inventor
Akinari Kida
明成 木田
Akishi Nakaso
昭士 中祖
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Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】微細配線形成性に優れ、且つ寸法精度の高い配
線板を製造すること。 【構成】絶縁基板に貫通孔を設け、その予備貫通孔を樹
脂で充填した後、絶縁基板の両側に樹脂シート、銅箔を
順次配置し、それらを加熱加圧して得られた銅張積層板
の予備貫通孔部に予備貫通孔より小さい径の貫通孔を設
けること。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、微細配線形成性及び寸
法精度に優れた配線板の製造法に関する。
【0002】
【従来の技術】QFPなどの表面実装用ICパッケージ
の多端子化、狭ピッチ化、リード面積の縮小化に伴い、
これを実装する配線板には配線の微細化やICリードと
の位置合わせ精度の向上が強く求められている。従来の
配線板の代表的製造法は、ガラス布/エポキシ樹脂より
なる銅張積層板あるいはガラス不織布/エポキシ樹脂よ
りなる銅張積層板にメカニカルドリルで貫通孔を設け、
パネル銅めっきを行った後に回路となる部分にエッチン
グレジスト像を形成し、不要部分の銅をエッチングする
方法であった。銅のエッチングは厚さ方向と同時に横方
向にも進行するため、銅が厚いほど断線しやすくなって
いた。このため、配線を微細化するには銅張積層板の銅
箔やパネルめっき銅の厚さを薄くする必要があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ガラス布を用
いた銅箔積層板の貫通孔内壁には、ガラス布がドリル刃
で堀り起こされて欠落するため、深さ50μm程度の凹
部が生じていた。この凹部をめっき銅で被覆するには厚
さ30μm以上のめっきが必要であった。このため、銅
張積層板に現在最も薄い5μm銅箔を使用した場合で
も、形成できる配線幅/配線間隔は80/80μmが限
界であった。一方、ガラス不織布はガラス布に比べガラ
ス繊維の長さが短いため、ドリル刃による堀り起こしは
浅く、ガラス不織布による銅張積層板の貫通孔内壁の凹
部深さは20μm程度である。このため、パネルめっき
厚さは20μm程度で良く、前述したガラス布による銅
張積層板を使用する場合より配線を微細化しやすかっ
た。しかし、ガラス不織布は連続体でなく、エポキシ樹
脂の動きを拘束する力がガラス布に比べ小さい。このた
め、ガラス不織布による銅張積層板を用いて作製した配
線板は、ICを実装する際のリフローソルダリング時に
寸法変化が大きく、配線板のパッドとICリードとの位
置ずれが生じるという問題があった。本発明の目的は微
細配線形成性に優れ、且つ寸法精度の高い配線板を製造
することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は絶縁基板に貫通
孔(以下、予備貫通孔と記す)を設け、その予備貫通孔
を樹脂(以下、穴うめ樹脂と記す)で充填した後、絶縁
基板の両側に樹脂シート(以下、接着樹脂シートと記
す)、銅箔を順次配置し、それらを加熱加圧して得られ
た銅張積層板の予備貫通孔部に予備貫通孔より小さい径
の貫通孔を設けることを特徴とする配線板の製造法を提
供するものである。
【0005】本発明に適用できる絶縁基板は、ガラス布
/エポキシ樹脂積層板、ガラス布/ポリイミド樹脂積層
板、ガラス布/ビスマレイミドトリアジン樹脂積層板、
ガラス布/ふっ素樹脂積層板、ガラス布/ポリエチレン
樹脂積層板、ガラス布/フェノール樹脂積層板、ガラス
布/ポリエステル樹脂積層板等である。これら積層板の
ガラス布の替わりにアラミド布を用いた積層板でも良
い。また、Al23,AlN,SiC,SiO2等のセ
ラミックス基板でも良い。
【0006】本発明において、前記積層体よりなる絶縁
基板に予備貫通孔を設ける方法には、メカニカルドリ
ル、パンチング、レーザ等がある。
【0007】また、本発明において、前記セラミックス
よりなる絶縁基板に予備貫通孔を設ける方法には、焼成
前のグリーンシートにパンチング、メカニカルドリル、
レーザ等で予備貫通孔を設けた後、グリーンシートを焼
成する方法、あるいは焼成後にレーザを用いる方法があ
る。
【0008】本発明に適用できる穴うめ樹脂はエポキシ
樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、ビスマレイミ
ドトリアジン樹脂、ふっ素樹脂、ポリエチレン樹脂、ポ
リエステル樹脂等である。またこれら樹脂に無機フィラ
ーやゴムを添加しても良い。この無機フィラーには、ガ
ラス短繊維、酸化ケイ素、酸化ジルコニウム、ジルコニ
ウムシリケイト、アルミナ、マイカ、炭酸カルシウム等
がある。また上記ゴムにはアクリロニトリル/ブタジエ
ンゴム、アクリロニトリル/ブタジエン/スチレンゴ
ム、ブタジエンゴム、イソプレンゴム、クロロプレンゴ
ム、ポリエチレンゴム等がある。
【0009】本発明において、穴うめ樹脂を予備貫通孔
に充填する方法には、流動可能状態にした穴うめ樹脂を
印刷する方法、あるいは流動可能状態にしたシート状の
穴うめ樹脂(以下、穴うめ樹脂シートと記す)を平行平
板プレスまたはホットロールラミネータで孔内に充填す
る方法がある。本発明が適用できる接着樹脂シートに
は、エポキシ樹脂シート、ポリイミド樹脂シート、ポリ
エーテルアミド樹脂シート、ポリエーテルイミド樹脂シ
ート、アクリル樹脂シート、エポキシ−アクリロニトリ
ル/ブタジエンゴムシート等がある。
【0010】本発明が適用できる銅箔は、銅単独からな
る箔、あるいはアルミニウム、ニッケル、リン、鉄等と
銅からなる多層構造銅箔である。本発明における銅張積
層板の製造法は、予備貫通孔を充填した絶縁基板の両側
に接着樹脂シートを配置し、更にその両外側に銅箔を配
置して、平行平板プレスあるいはオートクレーブ式プレ
スあるいはホットロールラミネータ等で全体を加熱加圧
する方法である。
【0011】本発明における貫通孔形成法は、前記銅張
積層板の予備貫通孔内部に予備貫通孔よりも小さい径の
貫通孔をメカニカルドリル、パンチング、レーザ等によ
り形成する方法である。貫通孔の径は、予備貫通孔の径
より0.05〜1.0mm小さいことが望ましい。
【0012】本発明における配線形成法には、前記銅箔
積層板に貫通孔を形成後、パネル銅めっきを行った後、
回路となる部分にエッチングレジスト像を形成し、不要
部分の銅をエッチングする方法、あるいは貫通孔形成後
にパネル銅めっきを行い、回路とならない部分にめっき
レジスト像を形成し、回路となる部分にパターン銅めっ
き及びパターンはんだめっきを施し、めっきレジストを
剥離した後に不要部分の銅をエッチングする方法等があ
る。前記はんだは必要となれば、不要部分の銅をエッチ
ングした後に除去しても良い。
【0013】
【作用】本発明による銅張積層板の貫通孔予定部にはガ
ラス布がないため、メカニカルドリルで貫通孔を形成し
ても貫通孔内壁は平滑であり、パネルめっき厚さを従来
技術より薄くできるため、従来技術より配線の微細化が
可能となる。また、本発明による銅張積層板内には、寸
法変化が小さいガラス布あるいはアラミド布あるいはセ
ラミックス基板があるため、リフローソルダリング時に
配線板内にある樹脂の動きを拘束できる。このため、配
線板のパッドとICリードとの位置ずれが生じることは
ない。
【0014】
【実施例】以下、本発明による両面配線板の実施例を図
面に基づき説明する。まず、厚さ1.0mmのガラス布/
エポキシ樹脂積層板1に通常のメカニカルドリルで径
1.2mmの予備貫通孔2を形成した。次に、積層板用ブ
ロム化エポキシ樹脂50重量部、ジシアンジアミド2.
5重量部、AGP−01/BZ(ガラス短繊維、旭シェ
ーベル社製商品名)35重量部、N−1032(アクリ
ロニトリル/ブタジエンゴム、日本ゼオン社製商品名)
8重量部を含むワニスをポリプロピレンフィルム上に塗
布乾燥して得た穴うめ樹脂シート3を図1に示す様にガ
ラス布/エポキシ樹脂積層板1の片側に配置した。そし
て、通常の平行平板プレスを用いて圧力40kgf/cm2
温度130℃で20分間加熱加圧して、穴うめ樹脂シー
ト3を予備貫通孔2に充填した。その後、ガラス布/エ
ポキシ樹脂積層板1の両側に、接着樹脂シート4(AS
−210I,ポリイミド接着シート、日立化成工業製商
品名)及び厚さ18μmの銅箔5を配置して、平行平板
プレスにより圧力40kgf/cm2 、温度200℃で60分
間加熱加圧して、図2に示す銅張積層板を作製した。そ
の後、上記銅張積層板の予備貫通孔部に径1.0mmの貫
通孔6を通常のメカニカルドリルで形成した後、塩化パ
ラジウムを含む処理液に浸漬して銅張積層板表面及び貫
通孔6の内壁にめっき触媒を付着させた後、Cust2
01(無電解銅めっき液、日立化成工業製商品名)に1
5分間浸漬し、引き続きピロリン酸銅電気めっきで厚さ
20μmのめっき銅7を形成し、図3に示す構造体を得
た。その後、めっき銅7の表面にPHT−887AF−
50(ドライフィルムフォトレジスト,日立化成工業製
商品名)をラミネートし、露光・現像して回路となる部
分にエッチングレジスト像を形成した。そして、不要部
分の銅箔5及びめっき銅7を塩化第二銅溶液によりエッ
チングした後、エッチングレジスト像を剥離することに
より、図4に示す両面配線板を得た。
【0015】
【発明の効果】本発明により下記の効果が期待できる。 (1)貫通孔予定部にガラス布がないため、平滑な内壁
を有する貫通孔を形成できる。このため、パネル銅めっ
き厚さが薄くて良く、配線の微細化が容易となる。 (2)配線板内に樹脂の動きを拘束する構造体があるた
め、高い寸法精度が確保できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は本発明の一実施例に用いた予備貫通孔
形成済みガラス布/エポキシ樹脂積層板及び穴うめ樹脂
シートの断面図、(b)は本発明の一実施例の工程の一
部であって、(a)に示した積層板の予備貫通孔を穴う
め樹脂シートで充填し、接着樹脂シートや銅箔を配置し
て両面銅張積層板を形成する工程を示す断面図、(c)
は本発明の一実施例の工程の一部であって、(b)に示
した両面銅張積層板に貫通孔を設け、めっき銅を形成す
る工程を示す断面図、(d)は本発明の一実施例の工程
の一部であって、(c)に示しためっき銅の不要部分を
除去し、両面配線板を形成する工程を示す断面図であ
る。
【符号の説明】
1.ガラス布/エポキシ樹脂積層板 2.予備貫通孔 3.穴うめ樹脂シート 4.接着樹脂シー
ト 5.銅箔 6.貫通孔 7.めっき銅

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】絶縁基板に貫通孔を設け、その貫通孔を樹
    脂で充填した後、絶縁基板の両側に樹脂シート、銅箔を
    順次配置し、それらを加熱加圧して得られた銅張積層板
    の前記貫通孔部に前記貫通孔より小さい径の貫通孔を設
    けることを特徴とする配線板の製造法。
JP24197392A 1992-09-10 1992-09-10 配線板の製造法 Pending JPH0697651A (ja)

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Cited By (5)

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