JPH0710187B2 - 超音波モ−タ駆動方法 - Google Patents
超音波モ−タ駆動方法Info
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- JPH0710187B2 JPH0710187B2 JP61199634A JP19963486A JPH0710187B2 JP H0710187 B2 JPH0710187 B2 JP H0710187B2 JP 61199634 A JP61199634 A JP 61199634A JP 19963486 A JP19963486 A JP 19963486A JP H0710187 B2 JPH0710187 B2 JP H0710187B2
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- 238000010408 sweeping Methods 0.000 claims 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は圧電体を用いて駆動力を発生する超音波モータ
の駆動方法に関する。
の駆動方法に関する。
従来の技術 近年圧電セラミック等の圧電体を用いた駆動体に弾性振
動を励振し、これを駆動力とした超音波モータが注目さ
れている。
動を励振し、これを駆動力とした超音波モータが注目さ
れている。
以下、図面を参照しながら超音波モータの従来技術につ
いて説明を行う。
いて説明を行う。
第４図は従来の超音波モータの斜視図であり、円環形の
弾性体１の円環面の一方に圧電体として円環形圧電セラ
ミック２を貼合せて圧電駆動体３を構成している。４は
耐磨耗性材料のスライダ、５は弾性体であり、互いに貼
合せられて移動体６を構成している。移動体６はスライ
ダ４を介して駆動体３と接触している。圧電体２に電界
を印加すると駆動体３の周方向に曲げ振動の進行波が励
起され、移動体６を駆動する。尚、同図中の矢印は移動
体６の回転方向を示す。
弾性体１の円環面の一方に圧電体として円環形圧電セラ
ミック２を貼合せて圧電駆動体３を構成している。４は
耐磨耗性材料のスライダ、５は弾性体であり、互いに貼
合せられて移動体６を構成している。移動体６はスライ
ダ４を介して駆動体３と接触している。圧電体２に電界
を印加すると駆動体３の周方向に曲げ振動の進行波が励
起され、移動体６を駆動する。尚、同図中の矢印は移動
体６の回転方向を示す。
第５図は第４図の超音波モータに使用した圧電セラミッ
ク２の電極構造の一例を示している。同図では円周方向
に９波長の弾性波がのるようにしてある。同図におい
て、Ａ、Ｂはそれぞれ２分の１波長相当の小領域から成
る電極で、Ｃは４分の３波長、Ｄは４分の１波長の流さ
の電極である。従って、Ａの電極とＢの電極とは位置的
に４分の１波長（＝90度）の位相ずれがある。電極Ａ、
Ｂ内の隣り合う小電極部は互いに反対に厚み方向に分極
されている。圧電セラミック２の弾性体１との接着面は
第５図に示めされた面と反対の面であり、電極はベタ電
極である。使用時には電極群Ａ、Ｂは第５図に斜線で示
されたように、それぞれ短絡して用いられる。
ク２の電極構造の一例を示している。同図では円周方向
に９波長の弾性波がのるようにしてある。同図におい
て、Ａ、Ｂはそれぞれ２分の１波長相当の小領域から成
る電極で、Ｃは４分の３波長、Ｄは４分の１波長の流さ
の電極である。従って、Ａの電極とＢの電極とは位置的
に４分の１波長（＝90度）の位相ずれがある。電極Ａ、
Ｂ内の隣り合う小電極部は互いに反対に厚み方向に分極
されている。圧電セラミック２の弾性体１との接着面は
第５図に示めされた面と反対の面であり、電極はベタ電
極である。使用時には電極群Ａ、Ｂは第５図に斜線で示
されたように、それぞれ短絡して用いられる。
以上のように構成された超音波モータについて、その動
作を以下に説明する。前記圧電体２の電極Ａに Ｖ＝V1×sin（ωｔ） …（１） で表される電圧を印加すると（ただしV1は電圧の瞬時
値、ωは角周波数、ｔは時間）、駆動体３は円周方向に
曲げ振動をする。
作を以下に説明する。前記圧電体２の電極Ａに Ｖ＝V1×sin（ωｔ） …（１） で表される電圧を印加すると（ただしV1は電圧の瞬時
値、ωは角周波数、ｔは時間）、駆動体３は円周方向に
曲げ振動をする。
第６図は第４図の超音波モータの駆動体を直線近似した
時の斜視図であり、同図（ａ）は圧電体２に電圧を印加
していない時、同図（ｂ）は圧電体２に電圧を印加した
時の様子を示す。
時の斜視図であり、同図（ａ）は圧電体２に電圧を印加
していない時、同図（ｂ）は圧電体２に電圧を印加した
時の様子を示す。
第７図は移動体６と駆動体３の接触状況を拡大して描い
たものである。前記圧電体２の電極ＡにV1×sin（ω
ｔ）、他の電極ＢにV1×cos（ωｔ）の互いに位相がπ/
2だけずれた電圧を印加すれば、駆動体３の円周方向に
曲げ振動の進行波を作ることができる。一般に進行波は
振幅をξとすれば ξ＝ξ１×cos（ωｔ−kx） …（２） ただし ξ1:波の大きさの瞬時値 k:波数（２π／λ） λ：波長 x:位置 で表せる。（２）式は ξ＝ξ１×（cos（ωｔ）×cos（kx） ＋sin（ωｔ）×sin（kx）） …（３） と書き直せ、（３）式は進行波が時間的にπ/2だけ位相
のずれた波cos（ωｔ）とsin（ωｔ）、および位置的に
π/2だけ位相のずれたcos（kx）とsin（kx）との、それ
ぞれの積の和で得られることを示している。前述の説明
により、圧電体２は互いに位置的にπ/2（＝λ/4）だけ
位相のずれた電極群Ａ、Ｂを持っているので、駆動体３
の共振周波数に等しい周波数出力を持つ発振器の出力か
ら、それぞれに時間的に位相のπ/2だけずれた交流電圧
を作り、前記電極群に印加すれば駆動体３に曲げ振動の
進行波を作れる。
たものである。前記圧電体２の電極ＡにV1×sin（ω
ｔ）、他の電極ＢにV1×cos（ωｔ）の互いに位相がπ/
2だけずれた電圧を印加すれば、駆動体３の円周方向に
曲げ振動の進行波を作ることができる。一般に進行波は
振幅をξとすれば ξ＝ξ１×cos（ωｔ−kx） …（２） ただし ξ1:波の大きさの瞬時値 k:波数（２π／λ） λ：波長 x:位置 で表せる。（２）式は ξ＝ξ１×（cos（ωｔ）×cos（kx） ＋sin（ωｔ）×sin（kx）） …（３） と書き直せ、（３）式は進行波が時間的にπ/2だけ位相
のずれた波cos（ωｔ）とsin（ωｔ）、および位置的に
π/2だけ位相のずれたcos（kx）とsin（kx）との、それ
ぞれの積の和で得られることを示している。前述の説明
により、圧電体２は互いに位置的にπ/2（＝λ/4）だけ
位相のずれた電極群Ａ、Ｂを持っているので、駆動体３
の共振周波数に等しい周波数出力を持つ発振器の出力か
ら、それぞれに時間的に位相のπ/2だけずれた交流電圧
を作り、前記電極群に印加すれば駆動体３に曲げ振動の
進行波を作れる。
第７図は駆動体のＡ点が進行波の励起によって、長軸2
w、短軸2uの楕円運動をしている様子を示し、駆動体３
上に置かれた移動体６が楕円の頂点で接触することによ
り、波の進行方向とは逆方向にｖ＝ω×ｕの速度で運動
する様子を示している。即ち移動体６は任意の静圧で駆
動体３に押し付けられて、駆動体３の表面に接触し、移
動体６と駆動体３との摩擦力で波の進行方向と逆方向に
速度ｖで駆動される。
w、短軸2uの楕円運動をしている様子を示し、駆動体３
上に置かれた移動体６が楕円の頂点で接触することによ
り、波の進行方向とは逆方向にｖ＝ω×ｕの速度で運動
する様子を示している。即ち移動体６は任意の静圧で駆
動体３に押し付けられて、駆動体３の表面に接触し、移
動体６と駆動体３との摩擦力で波の進行方向と逆方向に
速度ｖで駆動される。
上記の楕円の短軸（進行方向）は、波の振幅に比例して
いるので、速度を大きくするためには波の振幅を大きく
しなければならない。また、波の振幅を低電圧で大きく
するためには駆動体の共振周波数近傍で駆動しなければ
ならない。ところが駆動体の共振周波数は温度や負荷の
変動によって変化するので、従来のように一定周波数で
駆動したのでは、駆動周波数と共振周波数の相対的関係
が変化して超音波モータの特性が変化してしまう。
いるので、速度を大きくするためには波の振幅を大きく
しなければならない。また、波の振幅を低電圧で大きく
するためには駆動体の共振周波数近傍で駆動しなければ
ならない。ところが駆動体の共振周波数は温度や負荷の
変動によって変化するので、従来のように一定周波数で
駆動したのでは、駆動周波数と共振周波数の相対的関係
が変化して超音波モータの特性が変化してしまう。
発明が解決しようとする問題点 以上、説明した様に従来の超音波モータは、時間的に位
相がπ/2だけ異なる一定周波数の２つの交流電圧を駆動
信号として用いていた。そのため温度や負荷が変動して
駆動体の共振周波数が変化すると、共振周波数と駆動周
波数の関係が変化して、モータの特性が急激に変わって
しまうという問題点があった。
相がπ/2だけ異なる一定周波数の２つの交流電圧を駆動
信号として用いていた。そのため温度や負荷が変動して
駆動体の共振周波数が変化すると、共振周波数と駆動周
波数の関係が変化して、モータの特性が急激に変わって
しまうという問題点があった。
本発明はかかる点に鑑みてなされたもので、温度や負荷
が変化しても、常に安定な動作をする超音波モータを提
供することを目的としている。
が変化しても、常に安定な動作をする超音波モータを提
供することを目的としている。
問題点を解決するための手段 駆動体の共振周波数がその範囲内に含まれるように設定
された周波数可変範囲内を、交流駆動電圧の周波数を低
いほうから高いほうへ掃引して、該駆動体の共振周波数
を検知し、駆動体を構成する圧電体に印加する交流駆動
電圧の駆動周波数が、駆動体の反共振周波数より低く共
振周波数より高くなるように設定する。
された周波数可変範囲内を、交流駆動電圧の周波数を低
いほうから高いほうへ掃引して、該駆動体の共振周波数
を検知し、駆動体を構成する圧電体に印加する交流駆動
電圧の駆動周波数が、駆動体の反共振周波数より低く共
振周波数より高くなるように設定する。
作 用 交流駆動電圧の周波数を低いほうから高いほうへ掃引し
て、駆動体の共振周波数を検知することにより、駆動体
の非線形体による共振周波数のヒステリシスの最大値を
求め、駆動体を構成する圧電体に印加する交流駆動電圧
の駆動周波数が、駆動体の反共振周波数より低く共振周
波数より高くなるように設定することにより、温度や負
荷が変動して駆動体の共振周波数が変化しても、その変
化に対応して駆動周波数を適切な周波数に変えられるの
で、常に安定な動作をする超音波モータを提供すること
ができる。
て、駆動体の共振周波数を検知することにより、駆動体
の非線形体による共振周波数のヒステリシスの最大値を
求め、駆動体を構成する圧電体に印加する交流駆動電圧
の駆動周波数が、駆動体の反共振周波数より低く共振周
波数より高くなるように設定することにより、温度や負
荷が変動して駆動体の共振周波数が変化しても、その変
化に対応して駆動周波数を適切な周波数に変えられるの
で、常に安定な動作をする超音波モータを提供すること
ができる。
実施例 以下、図面に従って本発明の一実施例について詳細な説
明を行う。
明を行う。
第１図は本発明の超音波モータの駆動方法を実現する具
体回路のブロック図である。この回路が動作を開始する
と、掃引制御器12が制御電圧発生器13に電圧を掃引させ
る。この掃引電圧は、電圧制御発振器７の制御端子Ｔに
入力される。すると、電圧制御発振器７の出力周波数は
掃引電圧に従って掃引される。ここで掃引電圧は駆動体
の共振周波数が必ず掃引範囲内に入るように設定する。
電圧制御発振器７の出力は２つに分けられ、一方は90度
位相器８を通して電力増幅器９に、他方はそのまま電力
増幅器10にそれぞれ入力されて、駆動体３を駆動するの
に必要な値にまで増幅される。電力増幅器９、10の出力
は、超音波モータの駆動体３を構成する圧電体２にそれ
ぞれ印加されて、駆動体３を駆動する。
体回路のブロック図である。この回路が動作を開始する
と、掃引制御器12が制御電圧発生器13に電圧を掃引させ
る。この掃引電圧は、電圧制御発振器７の制御端子Ｔに
入力される。すると、電圧制御発振器７の出力周波数は
掃引電圧に従って掃引される。ここで掃引電圧は駆動体
の共振周波数が必ず掃引範囲内に入るように設定する。
電圧制御発振器７の出力は２つに分けられ、一方は90度
位相器８を通して電力増幅器９に、他方はそのまま電力
増幅器10にそれぞれ入力されて、駆動体３を駆動するの
に必要な値にまで増幅される。電力増幅器９、10の出力
は、超音波モータの駆動体３を構成する圧電体２にそれ
ぞれ印加されて、駆動体３を駆動する。
駆動体３の入力端子には抵抗11が接続されており、駆動
体３に流れる電流を抵抗11の両端電圧により、電流検出
器14で検出する。また、電圧検出器15は駆動体３に印加
される駆動電圧を検出する。位相差検出器16は電流検出
器14と電圧検出器15の出力から、電流電圧の位相差に比
例した電圧を発生する。位相差検出器16の出力は、位相
範囲比較器17の１入力と記憶器18にそれぞれ入力され
る。記憶器18には最小値判別器19が接続され、電流電圧
の位相差の最小値を判別して、その時の駆動周波数を駆
動周波数制御器20に記憶させる。共振周波数の検知が終
わると駆動周波数制御器20は既に記憶した共振周波数よ
り、駆動周波数を共振周波数と反共振周波数の間の値に
なるように駆動周波数を設定し、その周波数に対応する
電圧を制御電圧発生器13に発生させる。
体３に流れる電流を抵抗11の両端電圧により、電流検出
器14で検出する。また、電圧検出器15は駆動体３に印加
される駆動電圧を検出する。位相差検出器16は電流検出
器14と電圧検出器15の出力から、電流電圧の位相差に比
例した電圧を発生する。位相差検出器16の出力は、位相
範囲比較器17の１入力と記憶器18にそれぞれ入力され
る。記憶器18には最小値判別器19が接続され、電流電圧
の位相差の最小値を判別して、その時の駆動周波数を駆
動周波数制御器20に記憶させる。共振周波数の検知が終
わると駆動周波数制御器20は既に記憶した共振周波数よ
り、駆動周波数を共振周波数と反共振周波数の間の値に
なるように駆動周波数を設定し、その周波数に対応する
電圧を制御電圧発生器13に発生させる。
位相範囲比較器17の残りの１入力端子には、位相差の許
容範囲に相当する設定電圧Ｐが入力される。温度や負荷
の変動により駆動体の共振周波数が変化して、上記によ
り設定した駆動周波数での位相差に対応する電圧が設定
電圧Ｐの分よりもはずれれば、つまり電流電圧の位相差
が設定された位相差からずれて位相差の許容範囲外にな
れば、論理的Ｈを出力する。この出力は掃引制御器12の
制御端子Ｃに入力され、再び駆動周波数の掃引を開始し
て、上記に述べた駆動周波数の設定をする。
容範囲に相当する設定電圧Ｐが入力される。温度や負荷
の変動により駆動体の共振周波数が変化して、上記によ
り設定した駆動周波数での位相差に対応する電圧が設定
電圧Ｐの分よりもはずれれば、つまり電流電圧の位相差
が設定された位相差からずれて位相差の許容範囲外にな
れば、論理的Ｈを出力する。この出力は掃引制御器12の
制御端子Ｃに入力され、再び駆動周波数の掃引を開始し
て、上記に述べた駆動周波数の設定をする。
第２図は駆動体を一定電圧で駆動したときの電流値、電
圧電流の位相差および移動体の回転数の周波数特性図で
ある。また、第３図は駆動周波数を下から掃引したと
き、および上から掃引したときに示す駆動体の非線形性
に起因するアドミッタンスのヒステリシス曲線である。
圧電流の位相差および移動体の回転数の周波数特性図で
ある。また、第３図は駆動周波数を下から掃引したと
き、および上から掃引したときに示す駆動体の非線形性
に起因するアドミッタンスのヒステリシス曲線である。
第２図より、移動体の回転数は駆動体の共振周波数f1近
傍で大きくなるので、超音波モータはこの共振周波数近
傍で駆動するのがよい。しかし、第３図における駆動周
波数を下から掃引したときの共振周波数f1と、上から掃
引したときの共振周波数f2の間の周波数領域、およびそ
れらの周波数の極近傍では、駆動体のアドミッタンスが
急激に変化するジャンプ現象により動作が非常に不安定
になるので、駆動周波数はこの領域外でなれけばならな
い。この領域より低い周波数では回転数が急に低下する
ので、駆動体の駆動周波数はこの領域より高い周波数
で、反共振周波数f5より低い周波数領域を使用する。
傍で大きくなるので、超音波モータはこの共振周波数近
傍で駆動するのがよい。しかし、第３図における駆動周
波数を下から掃引したときの共振周波数f1と、上から掃
引したときの共振周波数f2の間の周波数領域、およびそ
れらの周波数の極近傍では、駆動体のアドミッタンスが
急激に変化するジャンプ現象により動作が非常に不安定
になるので、駆動周波数はこの領域外でなれけばならな
い。この領域より低い周波数では回転数が急に低下する
ので、駆動体の駆動周波数はこの領域より高い周波数
で、反共振周波数f5より低い周波数領域を使用する。
第２図の周波数f3からf4の範囲で、駆動周波数を上から
掃引し、電圧電流の位相差の設定値を同図のP1にし、許
容位相差範囲の設定値をP2にすれば、移動体の回転数が
同図中のN1の回転数になったときの周波数に駆動周波数
が設定される。ここで電圧電流の位相差の設定値P1およ
び許容位相差範囲の設定値P2は設定後の駆動周波数が駆
動体の共振周波数f1より高いように決めている。また、
温度あるいは負荷が変動して、駆動体の共振周波数が変
化し、その結果、位相差が設定値P1からずれて許容範囲
P2から飛び出たら、再び駆動周波数の掃引を開始する。
従って、移動体の回転数は図中のN1を中心にN2の範囲に
制御される。
掃引し、電圧電流の位相差の設定値を同図のP1にし、許
容位相差範囲の設定値をP2にすれば、移動体の回転数が
同図中のN1の回転数になったときの周波数に駆動周波数
が設定される。ここで電圧電流の位相差の設定値P1およ
び許容位相差範囲の設定値P2は設定後の駆動周波数が駆
動体の共振周波数f1より高いように決めている。また、
温度あるいは負荷が変動して、駆動体の共振周波数が変
化し、その結果、位相差が設定値P1からずれて許容範囲
P2から飛び出たら、再び駆動周波数の掃引を開始する。
従って、移動体の回転数は図中のN1を中心にN2の範囲に
制御される。
尚、本実施例では電圧電流の位相差の検知で制御を行っ
ているが、回転数N1およびN2に対応した電流値、または
回転数自身を採用しても同様である。しかし、回転数の
採用時には、回転数を検出するセンサが必要になる。
ているが、回転数N1およびN2に対応した電流値、または
回転数自身を採用しても同様である。しかし、回転数の
採用時には、回転数を検出するセンサが必要になる。
本実施例の駆動回路によれば、温度や負荷が変動しても
常に超音波モータをあらかじめ設定した範囲の回転数で
安定に駆動できる。
常に超音波モータをあらかじめ設定した範囲の回転数で
安定に駆動できる。
発明の効果 以上述べたように、本発明では温度や負荷が変動して
も、安定な動作をする超音波モータを提供できる。
も、安定な動作をする超音波モータを提供できる。
第１図は本発明の超音波モータの駆動方法を実現する具
体回路のブロック図、第２図は駆動体を一定電圧で駆動
した時の、駆動電流、電圧電流の位相差および移動体の
回転数の周波数特性図、第３図は駆動体のアドミッタン
スの非線形特性図、第４図は従来の超音波モータの斜視
図、第５図は第４図に用いられている圧電体の形状と電
極構造を示す平面図、第６図は超音波モータの駆動体部
の振動状態を示すモデル図、第７図は超音波モータの原
理の説明図である。 ７……電圧制御発振器、８……90度位相器、９、10……
電力増幅器、11……抵抗、12……掃引制御器、13……制
御電圧発生器、14……電流検出器、15……電圧検出器、
16……位相差検出器、17……位相範囲比較器、18……記
憶器、19……最小値判別器、20……駆動周波数制御器。
体回路のブロック図、第２図は駆動体を一定電圧で駆動
した時の、駆動電流、電圧電流の位相差および移動体の
回転数の周波数特性図、第３図は駆動体のアドミッタン
スの非線形特性図、第４図は従来の超音波モータの斜視
図、第５図は第４図に用いられている圧電体の形状と電
極構造を示す平面図、第６図は超音波モータの駆動体部
の振動状態を示すモデル図、第７図は超音波モータの原
理の説明図である。 ７……電圧制御発振器、８……90度位相器、９、10……
電力増幅器、11……抵抗、12……掃引制御器、13……制
御電圧発生器、14……電流検出器、15……電圧検出器、
16……位相差検出器、17……位相範囲比較器、18……記
憶器、19……最小値判別器、20……駆動周波数制御器。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−85684（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−185178（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−202278（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−87078（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−10792（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−154076（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】圧電体を交流電圧で駆動して、該圧電体と
弾性体とから構成される駆動体に弾性進行波を励振する
ことにより、該駆動体上に接触して設置された移動体を
移動させる超音波モータにおいて、少なくとも前記駆動
体の共振周波数がその範囲内に含まれるように設定され
た周波数可変範囲内を、前記交流駆動電圧の周波数を低
いほうから高いほうへ掃引して、該駆動体の共振周波数
を検知し、前記圧電体に印加する交流駆動電圧の駆動周
波数が、該駆動体の反共振周波数より低く該共振周波数
より高くなるように設定することを特徴とする超音波モ
ータ駆動方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61199634A JPH0710187B2 (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 | 超音波モ−タ駆動方法 |
| KR1019870009216A KR900007413B1 (ko) | 1986-08-26 | 1987-08-24 | 초음파 모우터구동 방법 |
| US07/089,334 US4853579A (en) | 1986-08-26 | 1987-08-25 | Drive method for ultrasonic motor providing enhanced stability of rotation |
| DE3751767T DE3751767T2 (de) | 1986-08-26 | 1987-08-26 | Antriebsverfahren eines Ultraschallmotors, das zu einer verbesserten Rotationsstabilität führt |
| EP87307559A EP0261810B1 (en) | 1986-08-26 | 1987-08-26 | Drive method for ultrasonic motor providing enhanced stability of rotation |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61199634A JPH0710187B2 (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 | 超音波モ−タ駆動方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6356179A JPS6356179A (ja) | 1988-03-10 |
| JPH0710187B2 true JPH0710187B2 (ja) | 1995-02-01 |
Family
ID=16411109
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61199634A Expired - Lifetime JPH0710187B2 (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 | 超音波モ−タ駆動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0710187B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2597390B2 (ja) * | 1988-05-17 | 1997-04-02 | オリンパス光学工業株式会社 | 振動波モータ駆動回路 |
| US6288473B1 (en) * | 2000-03-31 | 2001-09-11 | Sandia Corporation | Frequency modulation drive for a piezoelectric motor |
-
1986
- 1986-08-26 JP JP61199634A patent/JPH0710187B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6356179A (ja) | 1988-03-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |