JPH0710322B2 - 真空ポンプ用微粒子収集装置 - Google Patents
真空ポンプ用微粒子収集装置Info
- Publication number
- JPH0710322B2 JPH0710322B2 JP62020382A JP2038287A JPH0710322B2 JP H0710322 B2 JPH0710322 B2 JP H0710322B2 JP 62020382 A JP62020382 A JP 62020382A JP 2038287 A JP2038287 A JP 2038287A JP H0710322 B2 JPH0710322 B2 JP H0710322B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum pump
- flow path
- wall
- container
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B39/00—Component parts, details, or accessories, of pumps or pumping systems specially adapted for elastic fluids, not otherwise provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B37/00
- F04B39/16—Filtration; Moisture separation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Compressor (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、真空室と真空ポンプとの間に設置され、該真
空室に存するダスト等の微粒子を真空ポンプに到達する
以前に収集する真空ポンプ用の微粒子収集装置に関す
る。
空室に存するダスト等の微粒子を真空ポンプに到達する
以前に収集する真空ポンプ用の微粒子収集装置に関す
る。
（従来の技術） 従来、例えばダストを多量に発生する成膜装置の真空室
を真空ポンプにより真空排気する場合、真空ポンプの保
護のために排気通路にメツシユを介在させて該メツシユ
に排気ガス中のダストを付着させるか、或は該排気通路
に油の中を回転するドラムを設け、該ドラムの表面又は
ドラム内に収めた小物体の表面に排気ガス中のダストを
付着させることが行なわれている。また超微粒子製造装
置では生成した超微粒子を捕集室に堆積させて収集して
いる。
を真空ポンプにより真空排気する場合、真空ポンプの保
護のために排気通路にメツシユを介在させて該メツシユ
に排気ガス中のダストを付着させるか、或は該排気通路
に油の中を回転するドラムを設け、該ドラムの表面又は
ドラム内に収めた小物体の表面に排気ガス中のダストを
付着させることが行なわれている。また超微粒子製造装
置では生成した超微粒子を捕集室に堆積させて収集して
いる。
（発明が解決しようとする問題点） 前記のようにメツシユや油中を回転するドラムに排気ガ
スを通過させるものでは、排気ガスが低圧であるためレ
イノルズ数は小さく、流れの状態は層流で乱流拡散は期
待できず、主としてブラウン拡散効果の作用に頼つてい
る。
スを通過させるものでは、排気ガスが低圧であるためレ
イノルズ数は小さく、流れの状態は層流で乱流拡散は期
待できず、主としてブラウン拡散効果の作用に頼つてい
る。
この場合、十分ダストを取り除くためには、排気通路を
狭く形成して排気ガスを流す必要があり、その結果排気
ガスの通過のために大きな圧力差が必要になる。この圧
力差は成膜装置の真空室の圧力が上がる不利をもたらす
ので、あまり圧力差を大きくすることのないように排気
通路は比較的大きく形成され、そのため排気ガス中のダ
ストを十分に除去することが困難となる。また圧力差が
あるので排気用に連結される真空ポンプは低真空用のも
のに制限され、真空室内に高真空状態を得ることが出来
なくなる不都合がある。更にダスト除去のために油を用
いた場合、油成分が真空室へと流れ、成膜装置に悪影響
を及ぼして好ましくない。
狭く形成して排気ガスを流す必要があり、その結果排気
ガスの通過のために大きな圧力差が必要になる。この圧
力差は成膜装置の真空室の圧力が上がる不利をもたらす
ので、あまり圧力差を大きくすることのないように排気
通路は比較的大きく形成され、そのため排気ガス中のダ
ストを十分に除去することが困難となる。また圧力差が
あるので排気用に連結される真空ポンプは低真空用のも
のに制限され、真空室内に高真空状態を得ることが出来
なくなる不都合がある。更にダスト除去のために油を用
いた場合、油成分が真空室へと流れ、成膜装置に悪影響
を及ぼして好ましくない。
また超微粒子はガスと共に真空ポンプに吸引され、収集
性が悪い欠点がある。
性が悪い欠点がある。
本発明は、上記のような従来のもののもつ問題点を解決
し、低圧のガス中のダスト等の微粒子を圧力差を高める
ことなく十分に収集し得、製作容易で比較的高い真空度
が得られる真空ポンプを使用出来、しかも保守の容易な
真空ポンプ用の微粒子収集装置を提供することを目的と
する。
し、低圧のガス中のダスト等の微粒子を圧力差を高める
ことなく十分に収集し得、製作容易で比較的高い真空度
が得られる真空ポンプを使用出来、しかも保守の容易な
真空ポンプ用の微粒子収集装置を提供することを目的と
する。
（問題点を解決するための手段） 本発明では、真空室へ接続される流入管と、真空ポンプ
へ接続される流出管とを備えた容器内の該流入管から流
出管への流路に、高温壁と低温壁とを交互に間隔を存し
て設けることにより該流路を蛇行させ且つ流入管の面積
よりも大きい流路面積を有する蛇行流路に形成して前記
問題点を解決するようにした。
へ接続される流出管とを備えた容器内の該流入管から流
出管への流路に、高温壁と低温壁とを交互に間隔を存し
て設けることにより該流路を蛇行させ且つ流入管の面積
よりも大きい流路面積を有する蛇行流路に形成して前記
問題点を解決するようにした。
（作 用） 該流入管は例えば成膜装置の真空室に接続され、該流出
管は低真空または中真空を形成し得る真空ポンプに接続
される。該真空ポンプが作動されると、真空室内のガス
は容器内の流路を介して真空ポンプへと吸引されるが、
該流路は高温壁と低温壁とを交互に設けて蛇行させられ
ている共に流入管よりも面積を大きく形成されているの
で、真空ポンプで吸引されるガス中のダスト等の微粒子
は高温壁と低温壁の温度勾配を有する流路中で高温側か
ら低温側へと熱泳動現象によりある速度で移動して低温
壁に付着する。この微粒子の移動速度は圧力が低い程小
さい温度勾配で同一の速度となるから、高温壁と低温壁
の間隔を大きく取り温度勾配が小さくなつた場合即ち流
路面積を大きくした場合であつても十分にガス中の微粒
子を低温壁に吸着して収集することが出来る。しかも該
流路は容器内を蛇行して形成されているので小型の容器
内で微粒子を取り去るに十分な長い流路を確保すること
が出来、流路面積は流入管の面積よりも大きいので、微
粒子収集のための圧力差が小さくて済み、比較的高い真
空度が得られる真空ポンプにも使用出来、可及的に真空
室内の圧力を低くすることが可能になる。
管は低真空または中真空を形成し得る真空ポンプに接続
される。該真空ポンプが作動されると、真空室内のガス
は容器内の流路を介して真空ポンプへと吸引されるが、
該流路は高温壁と低温壁とを交互に設けて蛇行させられ
ている共に流入管よりも面積を大きく形成されているの
で、真空ポンプで吸引されるガス中のダスト等の微粒子
は高温壁と低温壁の温度勾配を有する流路中で高温側か
ら低温側へと熱泳動現象によりある速度で移動して低温
壁に付着する。この微粒子の移動速度は圧力が低い程小
さい温度勾配で同一の速度となるから、高温壁と低温壁
の間隔を大きく取り温度勾配が小さくなつた場合即ち流
路面積を大きくした場合であつても十分にガス中の微粒
子を低温壁に吸着して収集することが出来る。しかも該
流路は容器内を蛇行して形成されているので小型の容器
内で微粒子を取り去るに十分な長い流路を確保すること
が出来、流路面積は流入管の面積よりも大きいので、微
粒子収集のための圧力差が小さくて済み、比較的高い真
空度が得られる真空ポンプにも使用出来、可及的に真空
室内の圧力を低くすることが可能になる。
（実施例） 本発明の実施例を別紙図面に基づき説明すると、図面に
於て符号（１）は成膜装置等の真空室（11）に接続され
た流入管（３）とメカニカルブースタポンプ等の真空ポ
ンプ（２）に接続された流出管（４）を備えた容器、
（５）は該容器（１）内の流入管（３）から流出管
（４）への流路を示す。該流路（５）には高温壁（６）
と低温壁（７）とを交互に間隔（８）を存して設け、該
流路（５）を蛇行させ且つ該流入管（３）の面積よりも
大きい流路面積を有する蛇行流路に形成するようにし
た。更に該容器（１）を容器本体（1a）と蓋体（1b）と
に分割して構成し、該容器本体（1a）の内面に間隔を存
して板状の低温壁（７）を設けると共に該蓋体（1b）の
内面に各低温壁（７）（７）間に介入する板状の高温壁
（６）を設けるようにした。また、該容器本体（1a）の
外側には冷却液の流通する冷却槽（９）を設けて低温壁
（７）を冷却するように構成すると共に該蓋体（1b）の
外側にヒータ（10）を設けて高温壁（６）を加熱するよ
うに構成した。尚、高温壁（６）の加熱手段、低温壁
（７）の冷却手段は任意であり、例えば高温壁（６）内
に直接ヒータを埋設することも可能である。（12）はバ
イパス、（13）（13）はバルブ、（14）（15）は冷却液
の流入管と流出管を示す。
於て符号（１）は成膜装置等の真空室（11）に接続され
た流入管（３）とメカニカルブースタポンプ等の真空ポ
ンプ（２）に接続された流出管（４）を備えた容器、
（５）は該容器（１）内の流入管（３）から流出管
（４）への流路を示す。該流路（５）には高温壁（６）
と低温壁（７）とを交互に間隔（８）を存して設け、該
流路（５）を蛇行させ且つ該流入管（３）の面積よりも
大きい流路面積を有する蛇行流路に形成するようにし
た。更に該容器（１）を容器本体（1a）と蓋体（1b）と
に分割して構成し、該容器本体（1a）の内面に間隔を存
して板状の低温壁（７）を設けると共に該蓋体（1b）の
内面に各低温壁（７）（７）間に介入する板状の高温壁
（６）を設けるようにした。また、該容器本体（1a）の
外側には冷却液の流通する冷却槽（９）を設けて低温壁
（７）を冷却するように構成すると共に該蓋体（1b）の
外側にヒータ（10）を設けて高温壁（６）を加熱するよ
うに構成した。尚、高温壁（６）の加熱手段、低温壁
（７）の冷却手段は任意であり、例えば高温壁（６）内
に直接ヒータを埋設することも可能である。（12）はバ
イパス、（13）（13）はバルブ、（14）（15）は冷却液
の流入管と流出管を示す。
図示の実施例のものの作動を説明するに、真空ポンプ
（２）を作動させると、流入管（３）に接続された真空
室（11）からガスが該流入管（３）及び蛇行した流路
（５）を介して流出管（４）へと流れ、真空ポンプ
（２）に吸引される。該流路（５）には例えば120℃の
高温壁（６）と20℃の低温壁（７）とが交互に介在する
ので、該流路（５）を流れるガスには両壁（６）（７）
に直角の温度勾配を生じ、ガス中の微粒子は高温側から
低温側へある速度で熱泳動により移動し、低温壁に付着
する。この場合、流路（５）内の圧力が低くなればなる
程、小さい温度勾配で微粒子の移動速度が同一になる。
従つて低圧で流れるガスから微粒子を収集するために高
温壁（６）と低温壁（７）との間隔（８）をある程度大
きくでき、このことは容器の横幅が自由にとれる点と相
俟つて流路（５）の面積を流入管（３）の流路面積より
も任意に大きくすることが可能になる。そのためガスを
流路（５）に流すために必要な圧力差が十分小さくな
り、低真空用の真空ポンプのみならず比較的高い真空度
の得られる真空ポンプが使用できる。しかも、これらの
真空ポンプの性能を十分生かすことができるから真空室
（11）の圧力を比較的高い真空度とすることが可能にな
る。
（２）を作動させると、流入管（３）に接続された真空
室（11）からガスが該流入管（３）及び蛇行した流路
（５）を介して流出管（４）へと流れ、真空ポンプ
（２）に吸引される。該流路（５）には例えば120℃の
高温壁（６）と20℃の低温壁（７）とが交互に介在する
ので、該流路（５）を流れるガスには両壁（６）（７）
に直角の温度勾配を生じ、ガス中の微粒子は高温側から
低温側へある速度で熱泳動により移動し、低温壁に付着
する。この場合、流路（５）内の圧力が低くなればなる
程、小さい温度勾配で微粒子の移動速度が同一になる。
従つて低圧で流れるガスから微粒子を収集するために高
温壁（６）と低温壁（７）との間隔（８）をある程度大
きくでき、このことは容器の横幅が自由にとれる点と相
俟つて流路（５）の面積を流入管（３）の流路面積より
も任意に大きくすることが可能になる。そのためガスを
流路（５）に流すために必要な圧力差が十分小さくな
り、低真空用の真空ポンプのみならず比較的高い真空度
の得られる真空ポンプが使用できる。しかも、これらの
真空ポンプの性能を十分生かすことができるから真空室
（11）の圧力を比較的高い真空度とすることが可能にな
る。
該真空ポンプ（２）の運転、停止がしばしば行なわれる
場合には、流入管（３）、流出管（４）のバルブ（13）
（13）を閉じ、バイパス（12）のバルブ（13）（13）を
開いてガスを流路（５）を迂回するように流し、容器
（１）内から収集した微粒子がポンプ（２）の運転、停
止による圧力変動で舞い上り、流出することを防ぐ。該
低温壁（７）及び容器（１）の壁に付着した微粒子は、
上蓋（1b）を取り外し、簡単に取り出すことが出来る。
場合には、流入管（３）、流出管（４）のバルブ（13）
（13）を閉じ、バイパス（12）のバルブ（13）（13）を
開いてガスを流路（５）を迂回するように流し、容器
（１）内から収集した微粒子がポンプ（２）の運転、停
止による圧力変動で舞い上り、流出することを防ぐ。該
低温壁（７）及び容器（１）の壁に付着した微粒子は、
上蓋（1b）を取り外し、簡単に取り出すことが出来る。
該容器（１）の寸法は、流通するガスの流量によつて変
更されるが、SiH4ガスを流量5SlM、該容器内の圧力１〜
10Torrの条件で流すプラズマCVD装置の場合、該容器
（１）の長さｌは約50cm、高さ55cm、横幅55cmに形成さ
れ、高温壁（６）は高さ50cm、横幅48cmの板状のものを
５枚設け、約120℃程度に加熱される。また低温壁
（７）は高さ50cm、横幅50cmの板状のものを４枚設け、
20℃に冷却され、高温壁（６）と低温壁（７）の間隔
（８）は4cmに設定される。この場合該容器内の圧力が5
Torrであるとき、流入管（３）と流出管（４）の圧力差
は10-2Torr以下になる。
更されるが、SiH4ガスを流量5SlM、該容器内の圧力１〜
10Torrの条件で流すプラズマCVD装置の場合、該容器
（１）の長さｌは約50cm、高さ55cm、横幅55cmに形成さ
れ、高温壁（６）は高さ50cm、横幅48cmの板状のものを
５枚設け、約120℃程度に加熱される。また低温壁
（７）は高さ50cm、横幅50cmの板状のものを４枚設け、
20℃に冷却され、高温壁（６）と低温壁（７）の間隔
（８）は4cmに設定される。この場合該容器内の圧力が5
Torrであるとき、流入管（３）と流出管（４）の圧力差
は10-2Torr以下になる。
尚、超微粒子製造装置では、流入管（３）を超微粒子が
生成する真空室へ接続し、流出管（４）を真空ポンプに
接続して使用される。
生成する真空室へ接続し、流出管（４）を真空ポンプに
接続して使用される。
（発明の効果） 以上のように本発明に於ては、真空室へ接続される流入
管と真空ポンプへ接続される流出管を備えた容器内に、
高温壁と低温壁を交互に設け、流入管の面積よりも大き
い流路面積を有する蛇行流路を形成するようにしたの
で、流入管から流入するガス中の微粒子を低温壁に付着
させて効率良く収集することが出来、収集のために圧力
差が生ずることがないので真空ポンプのもつ性能を劣化
させることなく真空室内を高真空化するとが可能にな
り、油を使用せずに乾式で微粒子を収集出来るので真空
室が汚れることがなく、しかも製作容易で保守も簡単に
行なえる等の効果がある。
管と真空ポンプへ接続される流出管を備えた容器内に、
高温壁と低温壁を交互に設け、流入管の面積よりも大き
い流路面積を有する蛇行流路を形成するようにしたの
で、流入管から流入するガス中の微粒子を低温壁に付着
させて効率良く収集することが出来、収集のために圧力
差が生ずることがないので真空ポンプのもつ性能を劣化
させることなく真空室内を高真空化するとが可能にな
り、油を使用せずに乾式で微粒子を収集出来るので真空
室が汚れることがなく、しかも製作容易で保守も簡単に
行なえる等の効果がある。
図面は本発明の実施例の截断側面図である。 （１）……容器、（1a）……容器本体 （1b）……蓋体、（２）……真空ポンプ （３）……流入管、（４）……流出管 （５）……流路、（６）……高温壁 （７）……低温壁、（８）……間隔 （９）……冷却槽、（10）……ヒータ
Claims (2)
- 【請求項１】真空室へ接続される流入管と、真空ポンプ
へ接続される流出管とを備えた容器内の流入管から流出
管への流路に、高温壁と低温壁とを交互に間隔を存して
設けることにより該流路を蛇行させ且つ流入管の面積よ
りも大きい流路面積を有する蛇行流路に形成したことを
特徴とする真空ポンプ用微粒子収集装置。 - 【請求項２】前記容器を容器本体と蓋体に分割して構成
し、該容器本体の内面に間隔を存して板状の低温壁を設
けると共に該蓋体の内面に各低温壁間に介入する板状の
高温壁を設け、該容器本体の外側に冷却槽を、また該蓋
体の外側にヒータを設けたことを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の真空ポンプ用微粒子収集装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62020382A JPH0710322B2 (ja) | 1987-02-02 | 1987-02-02 | 真空ポンプ用微粒子収集装置 |
| US07/149,014 US4832715A (en) | 1987-02-02 | 1988-01-27 | Fine particle collector arrangement for vacuum pumps |
| EP88101379A EP0277615B1 (en) | 1987-02-02 | 1988-02-01 | Fine particle collector arrangement for vacuum pumps |
| DE88101379T DE3882241T2 (de) | 1987-02-02 | 1988-02-01 | Feinteilekollektoranordnung für Vakuumpumpen. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62020382A JPH0710322B2 (ja) | 1987-02-02 | 1987-02-02 | 真空ポンプ用微粒子収集装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63190614A JPS63190614A (ja) | 1988-08-08 |
| JPH0710322B2 true JPH0710322B2 (ja) | 1995-02-08 |
Family
ID=12025487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62020382A Expired - Lifetime JPH0710322B2 (ja) | 1987-02-02 | 1987-02-02 | 真空ポンプ用微粒子収集装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4832715A (ja) |
| EP (1) | EP0277615B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0710322B2 (ja) |
| DE (1) | DE3882241T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100806271B1 (ko) * | 2007-07-24 | 2008-02-22 | 주식회사 엠아이 | 반도체 반응부산물 트랩장치 |
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