JPH07104151A - 光結合装置 - Google Patents

光結合装置

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JPH07104151A
JPH07104151A JP25265493A JP25265493A JPH07104151A JP H07104151 A JPH07104151 A JP H07104151A JP 25265493 A JP25265493 A JP 25265493A JP 25265493 A JP25265493 A JP 25265493A JP H07104151 A JPH07104151 A JP H07104151A
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JP
Japan
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optical
element array
optical fiber
substrate
optical element
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Application number
JP25265493A
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English (en)
Inventor
Hideyuki Takahara
秀行 高原
Akira Morita
明 森田
Yoshimitsu Arai
芳光 新井
Yukio Irita
幸男 入田
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NTT Inc
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 光通信装置等に用いられる光結合装置におい
て、先端を球状加工した光ファイバを、1本1本細管に
挿入して結合位置で固定する必要がなく、実装時間を短
縮することのできる光結合装置を提供することを目的と
する。 【構成】 一定の長さの光ファイバ17を細管16内に
挿入して光結合部品15を作製し、その後、この光結合
部品15を、発光素子アレイ14の搭載された基板11
に整列して固定し、光結合部品15の細管16内に光フ
ァイバアレイ19を挿入して、光ファイバ17に押し付
けて光結合させるので、光ファイバアレイ19には先球
加工を施す必要がなくなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光通信装置等に用いら
れる光結合装置に関するものである。
【0002】
【背景技術】光素子アレイと光ファイバアレイを結合し
たアレイモジュールは、多軸に渡る高精度な位置合わせ
技術が必要なため、調整、組立工程に多大な時間を要し
ている。モジュールの低価格化、量産化の為には、光軸
調整、組立工程の簡略化が必要である。そこで、部品の
加工精度及び実装精度の向上を図り、無調整化の検討が
進められている。
【0003】図4はこの一例を示す。この例は、光素子
アレイとして端面型発光素子アレイと光ファイバアレイ
を同一基板上に実装したものである。図中に示すよう
に、Si基板41上の所定位置には、高精度ボンディン
グ装置により、発光素子アレイ44がμmオーダ以下の
精度で固定され、フォトリソ技術及び異方性エッチング
により、発光素子アレイ44の光軸に平行で、且つ、発
光面に対向するように複数のV溝42がμmオーダ以下
の精度で形成されている。これらV溝42に内径が光フ
ァイバ45の外径と等しく、且つ、外径寸法精度がμm
オーダ以下の精度で形成された細管43がそれぞれ固定
され、これらの細管43には光ファイバ45がそれぞれ
挿入され、発光素子アレイ44と光結合されている。
【0004】発光素子アレイ44と光ファイバ45の光
軸高さ調整は、発光素子アレイ44の発光面中心に対応
する高さに光ファイバ45が位置決めできるような細管
43の外径寸法を選択することにより容易に調整可能で
ある。この方法は、幅、深さの寸法精度がμmオーダ以
下のV溝42と、外径、内径の寸法精度がμmオーダ以
下のV溝42と、外径、内径寸法精度がμmオーダ以下
の細管43を使用することで、基板41の表面に対して
垂直方向(Y軸方向)及び水平方法(X方向)の位置合
わせが不要となるため、調整は光軸方向(Z方向)だけ
となり、組み立て工程の簡略化が可能である。
【0005】上述の発光素子アレイ44−光ファイバア
レイ45の間の光結合において、光ファイバアレイ45
のスポット径、各々例えば、9μm(シングルモードフ
ァイバ)と1μmの差を小さくして結合効率を高めるに
は、光ファイバの先端を球状に加工して集光させ、発光
素子アレイ44のスポット径に近づける方法が行なわれ
る。この方法では、球状レンズが光ファイバに一体化し
ているため、別に集光レンズを実装する必要がなく、光
結合系の構成及び位置合わせが簡略化できる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、集光効
果を高めるために、先球径を小さく、且つ、高精度に先
球ファイバに加工するには、ファイバを回転させながら
1本1本研磨しなければならないため、例えば、4芯の
光ファイバがアレイ化されたリボンファイバを一括加工
することができず、上述した光結合装置には使用できか
った。従って、先端を球状加工した光ファイバ(以後、
先球ファイバと呼ぶ)は、1本1本細管に挿入して結合
位置で固定しなければならず、ファイバアレイ数が増加
すると実装時間が長くなるという問題がある。
【0007】
【課題を解決するための手段】斯かる目的を達成する本
発明の第一の構成は基板上に搭載された光素子アレイと
光ファイバアレイとを結合させる光結合装置において、
該基板には該光素子アレイのアレイピッチに等しいピッ
チで複数の溝が形成されると共に該溝に細管が夫々整列
して配置される一方、該細管に該細管の内径と外径が等
しく、端面形状が各々等しい光ファイバが挿入されて光
結合部品が構成され、且つ、該基板には該光素子アレイ
からの一定距離離れた位置にマーカが形成され、該マー
カに合わせて該光素子アレイに対向する側の該光ファイ
バの先端中心が一直線上に配列され、また、該光素子ア
レイに対向しない側の該光ファイバの後端は該細管の中
央に位置して固定される一方、該細管の該光素子アレイ
に対向しない管端には、該光ファイバと等しい外径を有
する該光ファイバアレイが各々挿入され、該細管内で該
光ファイバに押し付けて固定されることを特徴とする。
【0008】また、上記目的を達成する本発明の第二の
構成は基板上に搭載された光素子アレイと光ファイバア
レイとを結合させる光結合装置において、該基板には該
光素子アレイのアレイピッチに等しいピッチで複数の溝
が形成されると共に該溝の該光素子アレイに対向する部
分には第一の細管が夫々整列して配置される一方、該第
一の細管に該第一の細管の内径と外径が等しく、端面形
状が各々等しい光ファイバが挿入されて光結合部品が構
成され、且つ、該基板には該光素子アレイから一定距離
離れた位置にマーカが形成され、該マーカに合わせて該
光素子アレイに対向する側の該光ファイバの先端中心が
一直線上に配列され、また、該光素子アレイに対向しな
い側の該光ファイバの後端は該第一の細管該光素子アレ
イに対向しない側の管端と同一面に位置して或いは該管
端より外側に位置して固定される一方、該溝の前記光素
子アレイに対向しない部分には、光ファイバ接続部とし
て該光ファイバの光軸と内径中心が一致する第二の細管
が各々整列して配置されると共に該第二の細管に該光素
子アレイに対向しない側から該光ファイバアレイが各々
挿入され、該光ファイバに押し付けて固定されることを
特徴とする。
【0009】上記目的を達成する本発明の第三の構成は
第一の基板上に搭載された光素子アレイと光ファイバア
レイとを結合させる光結合装置において、該第一の基板
には該光素子アレイのアレイピッチに等しいピッチで複
数の第一の溝が形成されると共に該第一の基板には該第
一の溝と等しいピッチで向かい合う第二の溝を有する第
二の基板が固定され、該第一の溝と該第二の溝の間に細
管が夫々整列して配置される一方、該細管に該細管の内
径と外径が等しく、端面形状が各々等しい光ファイバが
挿入されて光結合部品が構成され、且つ、該第一の基板
には該光素子アレイからの一定距離離れた位置にマーカ
が形成され、該マーカに合わせて該光素子アレイに対向
する側の該光ファイバの先端中心が一直線上に配列さ
れ、また、該光素子アレイに対向しない側の該光ファイ
バの後端は該細管の中央に位置して固定される一方、該
細管の該光素子アレイに対向しない管端には、該光ファ
イバと等しい外径を有する該光ファイバアレイが各々挿
入され、該細管内で該光ファイバに押し付けて固定され
ることを特徴とする。
【0010】
【作用】本発明では、一定の長さの光ファイバを細管に
挿入して光結合部品を別に作製し、その後、この光結合
部品を、光素子アレイの搭載された基板に整列して配置
し、光結合部品の細管に光ファイバアレイを挿入して、
光ファイバ端に押し付けて光結合させることにより、光
ファイバアレイには先球加工を施す必要がなくなり、従
って、先端を通常の多芯用カッター等で切断したリボン
ファイバが使用でき、先球ファイバを1本1本結合させ
ずとも一括して結合させることができる。
【0011】
【実施例】以下、本発明について、図面に示す実施例を
参照して詳細に説明する。図1に本発明の第一の実施例
を示す。本実施例は、請求項1に関し、光素子アレイと
して端面発光素子アレイを使用したものである。図1に
おいて、11は第一の基板、12は第一の基板11に設
けた第一のV溝、13はマーカ、14は発光素子アレ
イ、15は光結合部品、16は細管、17は先球ファイ
バ、19はリボンファイバの芯線である。
【0012】第一の基板11としては、例えば、幅5m
m×長さ10mm、厚さ450μmのSi基板を用い
る。第一の基板11上には、薄膜技術により、発光素子
アレイ搭載部及びマーカ13が、更に、フォトリソ、異
方性エッチングによりμmオーダ以下の精度で、例え
ば、178μm、深さ123μmの第一のV溝12がピ
ッチ250μmで4本形成されている。発光素子アレイ
搭載部には、発光素子アレイ14を固定するため、例え
ば、AuSnを所定量蒸着してある。第一のV溝12のピ
ッチは、発光素子アレイ14のアレイピッチに合わせ
た。
【0013】第一のV溝12には、第一の細管16が各
々整列して配置されると共にこれらの第一の細管16に
は先球ファイバ17が各々挿入されて光結合部材15が
構成されている。第一の細管16は、例えば、内径12
6μm±1μm、外径249μm±1μm、長さ7mm
である。但し、第一の細管16の発光素子アレイ14に
対向しない側の内径はコーン状に拡がり、最大180μ
m±5μmである。先球ファイバ17は、いずれも、発
光素子アレイ14に対向する側の端面形状を球状加工し
た光ファイバであり、例えば、曲率半径50μm、外径
125μm、長さ5mmのマルチモード先球ファイバが
使用される。
【0014】第一の基板11には、発光素子アレイ14
から一定距離離れた位置に、先球ファイバ17の先端位
置を示すマーカ13が形成されている。このマーカ13
に合わせて先球ファイバ17の発光素子アレイ14に対
向する側の球状加工された先端中心が一直線上に配列さ
れている。一方、先球ファイバ17の発光素子アレイ1
4に対向しない側の後端は、第一の細管16に挿入され
た状態で、第一の細管16の発光素子アレイ14に対向
しない側の管端から3mm中に入ったところで固定され
ている。尚、図1(a)において、先球ファイバ17に
は、他と区別するため、ハッチングを入れて示す。
【0015】第一の細管16の発光素子アレイ14に対
向しない管端には、リボンファイバの芯線19が挿入さ
れ、細管16内で先球ファイバ17の後端に押し付けら
れて固定されている。リボンファイバは、例えば、ピッ
チ250μmの4芯マルチモードファイバであり、芯線
19を剥ぎ出して市販の多芯用ファイバカッタにより端
面カットしてある。尚、必要により、端面を一括研磨し
ても良い。
【0016】上記構成を有する本実施例の光結合装置
は、次のようにして組み立てる。先ず、第一の基板11
に、図示しない高精度ボンディング装置にて発光素子ア
レイ14をμmオーダ以下の精度で位置合わせし固定し
た。尚、発光素子アレイ14を固定するため、前もっ
て、発光素子アレイ搭載部に、例えば、AuSnを所定量
蒸着しておく。次に、図示しない治具を用いて光結合部
品15を第一の溝12に挿入し、マーカ13に先球ファ
イバ16の先球端が一致する位置で、μmオーダ以下の
精度で接着により固定する。
【0017】引き続き、第一の細管16内に、リボンフ
ァイバの芯線19を挿入し、光結合部品15内の先球フ
ァイバ17の後端に押し付けることにより、本実施例の
光結合装置を完成させる。尚、必要に応じて、リボンフ
ァイバの芯線19は、図示しない基板に接着し固定して
も良い。また、発光素子アレイ14と第一の基板11は
一体化されていても良い。更に、第一のV溝12は、高
精度切削加工でU溝に加工されていても良い。
【0018】本発明の第二の実施例を図2に示す。本実
施例は、請求項2に関する。図2において、11は第一
の基板、12は第一の基板11に設けた第一のV溝、1
3はマーカ、14は発光素子アレイ、15は光結合部
品、16は細管、17は先球ファイバ、18は光ファイ
バ接続部である第二の細管、19はリボンファイバの芯
線である。
【0019】第一の基板11としては、例えば、幅5m
m×長さ10mm、厚さ450μmのSi基板を用い
る。第一の基板11上には、薄膜技術により、発光素子
アレイ搭載部及びマーカ13が、更に、フォトリソ、異
方性エッチングによりμmオーダ以下の精度で、例え
ば、178μm、深さ123μmの第一のV溝12がピ
ッチ250μmで4本形成されている。発光素子アレイ
搭載部には、発光素子アレイ14を固定するため、例え
ば、AuSnを所定量蒸着してある。第一のV溝12のピ
ッチは、発光素子アレイ14のアレイピッチに合わせ
た。
【0020】第一のV溝12の発光素子アレイ14に対
向する部分には、第一の細管16が各々整列して配置さ
れると共にこれらの第一の細管16には先球ファイバ1
7が各々挿入されて光結合部材15が構成されている。
第一の細管16は、例えば、内径126μm±1μm、
外径249μm±1μm、長さ2mmである。先球ファ
イバ17は、いずれも、発光素子アレイ14に対向する
側の端面形状を球状加工した光ファイバであり、例え
ば、曲率半径50μm、外径125μm、長さ5mmの
マルチモード先球ファイバが使用される。
【0021】第一の基板11には、発光素子アレイ14
から一定距離離れた位置に、先球ファイバ17の先端位
置を示すマーカ13が形成されている。このマーカ13
に合わせて先球ファイバ17の発光素子アレイ14に対
向する側の球状加工された先端中心が一直線上に配列さ
れている。一方、先球ファイバ17の発光素子アレイ1
4に対向しない側の後端は、第一の細管16の発光素子
アレイ14に対向しない側の管端と一致するところで固
定されている。尚、図1(a)において、先球ファイバ
17には、他と区別するため、ハッチングを入れて示
す。
【0022】第一のV溝12の発光素子アレイ14に対
向しない部分には、光ファイバ接続部として第二の細管
18が各々整列して配列されると共に第二の細管18に
は、リボンファイバの芯線19が挿入され、先球ファイ
バ17の後端に押し付けられて固定されている。第一の
細管16は、例えば、内径126μm±1μm、外径2
49μm±1μm、長さ5mmである。但し、第一の細
管18の発光素子アレイ14は反対側の内径はコーン状
に拡がり、最大180μm±5μmである。リボンファ
イバは、例えば、ピッチ250μmの4芯マルチモード
ファイバであり、芯線19を剥ぎ出して市販の多芯用フ
ァイバカッタにより端面カットしてある。尚、必要によ
り、端面を一括研磨しても良い。
【0023】上記構成を有する本実施例の光結合装置
は、次のようにして組み立てる。先ず、第一の基板11
に、図示しない高精度ボンディング装置にて発光素子ア
レイ14をμmオーダ以下の精度で位置合わせし固定し
た。尚、発光素子アレイ14を固定するため、前もっ
て、発光素子アレイ搭載部に、例えば、AuSnを所定量
蒸着しておく。次に、図示しない治具を用いて光結合部
品15を第一の溝12の発光素子アレイ14に対向する
部分に挿入し、マーカ13に先球ファイバ16の先球端
が一致する位置で、μmオーダ以下の精度で接着により
固定する。
【0024】引き続き、図示していない治具を用いて第
二の細管18を第一の溝12の発光素子アレイ14に対
向しない部分に挿入し、第二の細管18を第一の細管1
6に押し付けながら、μmオーダ以下の精度で接着によ
り固定する。その後、第二の細管18内に、リボンファ
イバの芯線19を挿入し、光結合部品15内の先球ファ
イバ17の後端に押し付けることにより、本実施例の光
結合装置を完成させる。尚、必要に応じて、リボンファ
イバの芯線19は、図示しない基板に接着し固定しても
良い。また、発光素子アレイ14と第一の基板11は一
体化されていても良い。更に、第一のV溝12は、高精
度切削加工でU溝に加工されていても良い。
【0025】本発明の第三の実施例を図3に示す。本実
施例は、請求項3に関し、光結合部品15を第二の基板
21で固定したものであり、その他の構成は前述した第
一の実施例と同様である。図3において、21は第二の
基板、22は第二の基板21に形成された第二のV溝で
ある。
【0026】第一の基板11には、第二の基板21が固
定され、第二の基板21としては、例えば、幅3mm×
長さ2mm、厚さ450μmのSi基板を用いる。第二
の基板21上には、第一の基板11に設けられた第一の
V溝12と等しいピッチ、幅及び深さの第二のV溝22
が、それぞれ第一のV溝12と向かい合わせて形成され
ている。第一のV溝12と第二のV溝22の間には、第
一の細管16が各々整列して配置されると共にこれらの
第一の細管16には先球ファイバ17が各々挿入されて
光結合部材15が構成されている。
【0027】上記構成を有する本実施例の光結合装置
は、次のようにして組み立てる。先ず、光結合部品15
を、図示しない治具を用いて第二の基板21の第二のV
溝22に挿入し、先球ファイバ16の先球端が各々光軸
に垂直で一直線上に一致するように、整列して接着によ
り固定する。次に、第二の基板21に固定された光結合
部品15を、図示しない治具を用いて、第一の基板11
の第二のV溝22に挿入し、先球ファイバ17の先球端
がマーカ13に一致する位置で接着により固定する。
【0028】これにより、光結合部品15を一括して第
一の基板21に整列して固定することができる。引き続
き、第一の細管16内に、リボンファイバの芯線19を
挿入し、光結合部品15内の先球ファイバ17の後端に
押し付けることにより、本実施例の光結合装置を完成さ
せる。尚、光結合部品15とリボンファイバの芯線19
との間の機械的強度を強化する必要がある場合には、図
示しない基板に光結合部品15とリボンファイバの芯線
19の双方を固定しても良い。
【0029】
【発明の効果】以上、実施例に基づいて具体的に説明し
たように、本発明の光結合装置では、先球ファイバのよ
うに端面を加工した光ファイバを所定の長さに切断し、
光ファイバの外径に等しい内径を持つ細管内に挿入して
固定することにより光結合部品を作製し、この光結合部
品を、発光素子アレイの搭載された基板に整列して固定
し、その後、光結合部品の細管内に光ファイバアレイを
挿入して、光ファイバに押し付けて光結合させることに
より、光ファイバアレイには先球加工を施す必要がなく
なる。従って、光ファイバアレイとしては、市販の多芯
用カッターで先端を切断したリボンファイバが使用で
き、先球ファイバを1本1本結合させずとも、多芯を一
括して結合させることができ、この為、結合に要する時
間を短縮することができる。また、光結合部品に固定す
る光ファイバとして、予め曲率が一定な先球ファイバを
選別することができ、且つ、光結合部品に固定する基板
上には光素子アレイ−光ファイバの間の距離を一定する
ためのマーカを設けているため、チャンネル間の光結合
効率を一定にすることができる。更に、光結合が光ファ
イバアレイ端と光結合部品の光ファイバ端との押し付け
により行なわれるので、光結合装置を完成した後で光フ
ァイバアレイに亀裂等が生じても、光ファイバアレイを
交換すれば、新たな光結合装置を組み立てる必要がない
といったメリットがある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一の実施例に係り、同図(a)は光
結合部品及びリボンファイバ芯線の拡大図、同図(b)
は光結合装置の斜視図である。
【図2】本発明の第二の実施例に係り、同図(a)は光
ファイバ接続部、光結合部品及びリボンファイバ芯線の
拡大図、同図(b)は光結合装置の斜視図である。
【図3】本発明の第三の実施例に係り、同図(a)は光
結合部品及びリボンファイバ芯線の拡大図、同図(b)
は光結合装置の斜視図である。。
【図4】従来の光結合装置の概略図である。
【符号の説明】
11 第一の基板 12 第一のV溝 13 マーカ 14 発光素子アレイ 15 光結合部品 16 細管 17 先球ファイバ 18 第二の細管 19 リボンファイバの芯線 21 第二の基板 22 第二のV溝 41 基板 42 V溝 43 細管 44 発光素子アレイ 45 光ファイバアレイ
フロントページの続き (72)発明者 入田 幸男 東京都武蔵野市御殿山一丁目1番3号 エ ヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株 式会社内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上に搭載された光素子アレイと光フ
    ァイバアレイとを結合させる光結合装置において、 該基板には該光素子アレイのアレイピッチに等しいピッ
    チで複数の溝が形成されると共に該溝に細管が夫々整列
    して配置される一方、該細管に該細管の内径と外径が等
    しく、端面形状が各々等しい光ファイバが挿入されて光
    結合部品が構成され、且つ、該基板には該光素子アレイ
    からの一定距離離れた位置にマーカが形成され、該マー
    カに合わせて該光素子アレイに対向する側の該光ファイ
    バの先端中心が一直線上に配列され、また、該光素子ア
    レイに対向しない側の該光ファイバの後端は該細管の中
    央に位置して固定される一方、 該細管の該光素子アレイに対向しない管端には、該光フ
    ァイバと等しい外径を有する該光ファイバアレイが各々
    挿入され、該細管内で該光ファイバに押し付けて固定さ
    れることを特徴とする光結合装置。
  2. 【請求項2】 基板上に搭載された光素子アレイと光フ
    ァイバアレイとを結合させる光結合装置において、 該基板には該光素子アレイのアレイピッチに等しいピッ
    チで複数の溝が形成されると共に該溝の該光素子アレイ
    に対向する部分には第一の細管が夫々整列して配置され
    る一方、該第一の細管に該第一の細管の内径と外径が等
    しく、端面形状が各々等しい光ファイバが挿入されて光
    結合部品が構成され、且つ、該基板には該光素子アレイ
    から一定距離離れた位置にマーカが形成され、該マーカ
    に合わせて該光素子アレイに対向する側の該光ファイバ
    の先端中心が一直線上に配列され、また、該光素子アレ
    イに対向しない側の該光ファイバの後端は該第一の細管
    該光素子アレイに対向しない側の管端と同一面に位置し
    て或いは該管端より外側に位置して固定される一方、 該溝の前記光素子アレイに対向しない部分には、光ファ
    イバ接続部として該光ファイバの光軸と内径中心が一致
    する第二の細管が各々整列して配置されると共に該第二
    の細管に該光素子アレイに対向しない側から該光ファイ
    バアレイが各々挿入され、該光ファイバに押し付けて固
    定されることを特徴とする光結合装置。
  3. 【請求項3】 第一の基板上に搭載された光素子アレイ
    と光ファイバアレイとを結合させる光結合装置におい
    て、 該第一の基板には該光素子アレイのアレイピッチに等し
    いピッチで複数の第一の溝が形成されると共に該第一の
    基板には該第一の溝と等しいピッチで向かい合う第二の
    溝を有する第二の基板が固定され、該第一の溝と該第二
    の溝の間に細管が夫々整列して配置される一方、該細管
    に該細管の内径と外径が等しく、端面形状が各々等しい
    光ファイバが挿入されて光結合部品が構成され、且つ、
    該第一の基板には該光素子アレイからの一定距離離れた
    位置にマーカが形成され、該マーカに合わせて該光素子
    アレイに対向する側の該光ファイバの先端中心が一直線
    上に配列され、また、該光素子アレイに対向しない側の
    該光ファイバの後端は該細管の中央に位置して固定され
    る一方、 該細管の該光素子アレイに対向しない管端には、該光フ
    ァイバと等しい外径を有する該光ファイバアレイが各々
    挿入され、該細管内で該光ファイバに押し付けて固定さ
    れることを特徴とする光結合装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6053443A (en) * 1997-04-11 2000-04-25 Daiwa Seiko, Inc. Display for a fishing reel
KR100379044B1 (ko) * 1999-09-30 2003-04-07 스미토모덴키고교가부시키가이샤 광학 장치용 위치 결정 기판 및 상기 기판을 사용하는 위치 결정 방법

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