JPH0710492Y2

JPH0710492Y2 - ウエーハ反転貼付装置

Info

Publication number: JPH0710492Y2
Application number: JP1991007967U
Authority: JP
Inventors: 木静雄鈴
Original assignee: 株式会社エンヤシステム
Priority date: 1991-01-30
Filing date: 1991-01-30
Publication date: 1995-03-08
Anticipated expiration: 2005-03-08
Also published as: JPH0496843U

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、ウエ−ハを平滑に研磨
するためウエ−ハを支持する貼付板にウエ−ハを接着す
るウエ−ハ反転貼付装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造において、ウエ−ハの表面を
研磨するため接着剤によって研磨機の貼付板にウエ−ハ
を接着することが行われている。この場合、接着剤の層
が不均一に形成されていると、研磨する面にその影響が
生じてウエ−ハを平坦に、高精度に研磨することができ
ない。また、上記の貼付作業を手作業で行ったりしてい
る。

【０００３】出願人は、上記のような実情に鑑み、接着
剤をスピンコ−タ−でウエ−ハの表面に薄く塗布し、こ
れを反転して貼付板上に次々と連続的に接着する方法及
び装置を提案した。図４は、その方法を示し、ウエ−ハ
（１）は、受取装置（２）の保持部（３）を昇降させて
水平状態で搬送手段（４）上に載置され、該搬送手段を
横移動することによりスピンチャック手段（５）の上方
に搬送される。該スピンチャック手段（５）の保持部
（６）は上昇して該ウエ−ハ（１）を接着剤塗布装置
（７）内に搬入して回転し、有機溶剤に希釈されてノズ
ル（８）から滴下する接着剤をウエ−ハの表面に薄く塗
布する。該ウエ−ハ（１）は、上記スピンチャック手段
（５）の保持部（６）が降下することにより上記搬送手
段（４）上に再び載置される。

【０００４】上記搬送手段が横移動する鎖線で示す位置
に対応して、反転貼付装置（９）を設けてある。該反転
貼付装置（９）は、反転ア−ム(10)の先端にチャック(1
1)を有し、該反転ア−ム(10)が矢印(12)のように回転す
るとき、上記搬送手段から上記ウエ−ハを受取り、貼付
板(13)の上面に接着する。該貼付板(13)は、所定温度に
加熱されており、適宜周囲にも加熱手段(14)が設けられ
ていて、上記接着剤中の有機溶剤の蒸発を促進し、接着
剤が固化して早く接着作用を奏するようにしている。ま
た、上記貼付板(13)の上方にはスタンプ手段(15)を設け
てあり、貼付板(13)に接着されたウエ−ハ（１）を貼付
板(13)に押圧する。その後、該貼付板（13）は、割出手
段(16)で所定角度回転し次々とウエ−ハを接着する。複
数枚のウエ−ハを接着したら、該貼付板(13)は割出手段
から次工程へ搬送され、上面の複数のウエ−ハを一緒
に、一様にプレスして接着剤層を均厚にした後、冷却さ
れる。

【０００５】

【考案の解決課題】上記方法中、反転貼付装置（９）に
おいて、反転ア−ム(10)は、図５に示すように、真空吸
着式チャック(11)の支軸(17)を軸受(18)に摺動可能に嵌
挿し、複数のばね(19)・・・でア−ム(10)から離れる方
向へ付勢してあり、貼付板(13)にウエ−ハを接着すると
き、該チャック(11)が緩衝作用をもってウエ−ハを押圧
するようにしてある。上記ばね(19)の強さは、調節ねじ
(20)・・・で調整可能になっているが、この調整は微妙
であり、チャック(11)が斜めになったりすることがあ
る。そのため、チャックによりウエ−ハを貼付板(13)に
均一に押圧することができなくなったり、上記チャック
の支軸(17)と軸受(18)が擦れて微細なごみを発生する。
このようなダストパ−ティクルは、本来クリ−ン乃至超
クリ−ンでなければならない貼付部周辺を汚染し、貼付
板の表面等に付着し、高精度の平坦度を得られない原因
となる。

【０００６】本考案の目的は、上記のようなウエ−ハ反
転貼付装置において、ウエ−ハを均一に貼付板に接着で
きると共にダストパ−ティクルを発生しないようにした
ウエ−ハ反転貼付装置を提供することである。

【０００７】

【課題解決の手段】本考案によれば、接着剤を表面に塗
布したウエ−ハをチャックで支持し反転して貼付板に接
着するウエ−ハ反転貼付装置において、反転ア−ムの先
端にウエ−ハを保持するチャック手段を設け該チャック
手段と上記ア−ムの間に中空のパッドを形成し、該パッ
ド内に加圧流体を導入して該パッド内を定圧に保つよう
加圧手段を具備したウエ−ハ反転貼付装置が提供され、
上記目的が達成される。

【０００８】

【作用】反転ア−ムの先端に設けられたチャック手段
は、加圧手段によって膨らまされ定圧に加圧されたパッ
ドにより全体が弾発的に均質に支承され、ウエ−ハを貼
付板に均一に接着でき、また従来のような軸受部を有し
ないので、ダストパ−ティクルの発生もみられない。

【０００９】

【実施例】以下実施例と共に説明する。図１，図２を参
照し、装置本体(21)は、ガイド杆(22)に案内されてシリ
ンダ（23）により矢印(24)方向へ移動する横移動枠(25)
と、該横移動枠(25)上に設けられ、ガイド杆(26)に案内
されてシリンダ(27)により矢印(28)方向に移動する縦移
動枠(29)を具備し、該縦移動枠(29)にはモ−タ、エアア
クチュエータ等の回転手段(30)により回転するよう軸支
(31)された反転ア−ム(32)が設けられている。なお、上
記装置本体(21)全体を昇降させることもできる。

【００１０】上記反転ア−ム(32)の先端には取付板(33)
をボルト(34)で固着してあり、該取付板(33)にチャック
手段を設けてあるが、取付板(33)を形成せずに上記ア−
ム（32）に直接該チャック手段を設けることもできる。
該チャック手段は、セラミック材料で成形されたチャッ
クヘッド(35)と、該チャックヘッド(35)の上面が真空吸
着作用を奏するよう該ヘッド(35)の軸部(36)に形成した
通孔(37)と別に設けた真空源（図示略）を連結する接続
パイプ(38)等を具備しているが、その他適宜のチャック
方式を採用することもできる。

【００１１】上記チャック手段のヘッド(35)と上記ア−
ム(32)の取付板(33)の間には、中空のパッド(39)を設け
てある。該パッド(39)は、シリコンゴム材料等の耐熱性
を有する弾性材料で、図３に示すように略ド−ナツ状に
形成され、下面が開口した断面略Ｃ字状に作られてい
る。そして、保持板(40)を該開口部から差し込み、下縁
(41)を上記取付板(33)との間に挟着し、ボルト(42)で保
持板(40)を取付板(33)に固着する。

【００１２】なお、上記パッド(39)の上面には、上記チ
ャックヘッド(35)の下面の係合孔（43）に嵌入して横移
動を防止するよう係合突起(44)を設けてあり、また係合
突起(44)間には、ヘッド(35)の下面を支承するよう支持
突条(45)を形成してある。

【００１３】上記チャックヘッド(35)の軸部(36)は、上
記パッド(39)の中央の孔(46)に挿通し、シリコンゴム材
料等の耐熱性を有する弾性材料で作った保持リング(47)
を外周に嵌着し、該保持リング(47)を上記パッド(39)の
下縁に当接し、ストップリング(48)を掛止めることによ
り弾発的に変位可能に取付けられている。

【００１４】上記パッド(39)内に加圧流体を導入し、該
パッド内を定圧に保つよう加圧手段を設けてある。図に
示す加圧手段は、Ｎ₂ガス，エア等の流体（気体）を加
圧流体供給源（図示略）から流体ストップバルブ(49)、
精密レギュレタ−(50)により約0.01〜１Kg／cm²程度の
圧力に調整してパッド内に供給する回路を具備してい
る。なお、シリコンゴム材料等の耐熱性を有する弾性材
料で作った上記回路の端末の接続パイプ(51)は、上記パ
ッドの保持板(40)に取付けたステンレスパイプ等の連結
パイプ(52)に接続されている。

【００１５】上記回路には、デジタルプレッシャ−スイ
ッチ(53)を設けてあり、上記パッド(39)が破裂したり、
接続パイプが外れたりしてパッド(39)の内圧が急減した
とき、その圧力ダウンを検知して上記加圧流体の導入を
停止し、同時に図４に示す装置全体をストップさせるよ
うにしている。

【００１６】また、貼付板の表面にダストパ−ティクル
が付着しないよう上記反転貼付装置をクリ−ン乃至超ク
リ−ン状態において使用する場合は、該装置の近くに周
囲のダストパ−ティクルをカウントするダストカウンタ
（図示略）を設け、上記加圧流体が噴出したりして該カ
ウンタが所定数のダストをカウントしたら、その時点で
上記回路の適所に設けた電磁弁（図示略）を制御し、加
圧流体の導入を停止すると共に装置全体を停止するよう
に上記回路を構成することもできる。

【００１７】而して、図４に示すようにして表面に接着
剤を塗布したウエ−ハ（１）は、上記ウエ−ハ反転貼付
装置の反転ア−ム(32)を矢印(28)方向へ上昇させると上
記チャック手段に保持され、該反転ア−ム(32)が矢印(5
4)方向に回転することにより反転され、貼付板(13)上に
載置される。上記チャック手段は、中空のパッド(39)に
より弾発的に反転ア−ムに取付けられているので、ウエ
−ハ（１）は割れたり、損傷することなく貼付板(13)に
接着される。

【００１８】

【発明の効果】本考案は上記のように構成され、加圧流
体で加圧された中空のパッド及び弾性的な保持リングを
介してチャック手段のチャックヘッドを弾性的に変位可
能に反転アームに支持するようにしたから、該チャック
手段はウエーハを貼付板に貼付ける際に該貼付板に対し
て傾斜したりしないで反転アームに沿って平均した弾発
力で支持され、したがってウエーハを均一に接着するこ
とができ、またチャックヘッドの軸部に弾性的な保持リ
ングを嵌着して該ヘッドの軸部をアームに取付けるよう
にしたので、上記チャックヘッドが移動しても上記反転
アームとの間に摺動部が存在しないようにでき、そのた
め摺動に伴うダストパーティクルの発生もなく、貼付部
周辺の汚染を防止することができ、ウエーハと貼付板の
間にダストを挟着しないように貼付けることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例を示し、主として反転ア−ムの
先端部の拡大断面図。

【図２】本考案のウエ−ハ反転貼付装置の側面図。

【図３】パッドの平面図。

【図４】ウエ−ハを供給し、貼付板に順次貼付ける装置
の説明図。

【図５】従来のウエ−ハ反転貼付装置の反転ア−ムの先
端部の拡大断面図。

【符号の説明】

３２反転ア−ム３５チャックヘッド３９パッド

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】接着剤を表面に塗布したウエーハをチャ
ックで支持し反転して貼付板に接着するウエーハ反転貼
付装置において、反転アームの先端にウエーハを保持す
るチャック手段を設け該チャック手段のチャックヘッド
と上記アームの間に中空のパッドを形成し、該パッド内
に加圧流体を導入し該パッド内を定圧に保つよう加圧手
段を設けると共に上記チャックヘッドの軸部に弾性材料
で作った保持リングを嵌着して該軸部を弾性的に変位可
能に上記アームに取付けたウエーハ反転貼付装置。
【請求項２】上記加圧手段は、上記パッドの内圧が急
減したとき加圧流体の導入を停止する請求項１に記載の
ウエ−ハ反転貼付装置。
【請求項３】上記加圧手段は、ダストパ−ティクルが
急増したとき加圧流体の導入を停止する請求項１又は２
に記載のウエ−ハ反転貼付装置。