JPH0710552U - エアースピンドル通電機構 - Google Patents

エアースピンドル通電機構

Info

Publication number
JPH0710552U
JPH0710552U JP4407593U JP4407593U JPH0710552U JP H0710552 U JPH0710552 U JP H0710552U JP 4407593 U JP4407593 U JP 4407593U JP 4407593 U JP4407593 U JP 4407593U JP H0710552 U JPH0710552 U JP H0710552U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
air
air spindle
spindle
blade
shaft
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP4407593U
Other languages
English (en)
Other versions
JP2597808Y2 (ja
Inventor
信彦 脇田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Disco Corp
Original Assignee
Disco Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Disco Corp filed Critical Disco Corp
Priority to JP1993044075U priority Critical patent/JP2597808Y2/ja
Publication of JPH0710552U publication Critical patent/JPH0710552U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2597808Y2 publication Critical patent/JP2597808Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡単な機構でブラシ手段の摩耗を最小限に抑
えられるようにした、エアースピンドルの通電機構を得
る。 【構成】 チャックテーブルとブレードとの通電により
ブレードの基準位置を設定するエアースピンドル通電機
構であって、エアースピンドルの所要部に接触して電流
検出回路を構成するブラシ手段と、このブラシ手段のス
ピンドルシャフトに対する押圧力をエアスピンドルに供
給されたエアーの排気圧を調整することで自在に変化さ
せる圧力手段と、が少なくとも含まれる。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本考案は、エアースピンドルの通電機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
精密切削装置例えばダイシング装置においては、ウェーハをダイシングする ブレードの基準位置設定（セットアップ）はエアースピンドル通電機構を用い、 即ちウェーハを載置するチャックテーブルとブレードとの通電によりなされ、そ のためブレードを装着したエアースピンドルのシャフトにブラシ手段（セットア ップ用電極）を接触させて電流検出回路を構成している。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】
前記従来のブラシ手段は、通常カーボンブラシ片で形成されているが、常時エ アースピンドルのシャフトに接触状態にあるためカーボンブラシ片の摩耗が激し く、定期的にしかも早めに交換せざるを得ない。セットアップ時以外はカーボン ブラシ片を完全に引き離し、シャフトに対し非接触状態にする機構を備えたもの もあるが、その機構が複雑で高価になる問題点がある。 本考案は、このような従来の問題点を解決するためになされ、簡単な機構でブ ラシ手段の摩耗を最小限に抑えられるようにした、エアースピンドルの通電機構 を提供することを課題としたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
前記課題を技術的に解決するための手段として、本考案は、チャックテーブル とブレードとの通電によりブレードの基準位置を設定するエアースピンドル通電 機構であって、エアースピンドルの所要部に接触して電流検出回路を構成するブ ラシ手段と、このブラシ手段のスピンドルシャフトに対する押圧力をエアースピ ンドルに供給されたエアーの排気圧を調整することで自在に変化させる圧力手段 とが少なくとも含まれるエアースピンドル通電機構を要旨とするものである。
【０００５】
【作 用】
エアースピンドルに供給されたエアーの排気圧を圧力手段で調整することによ り、セットアップ時にエアースピンドルの内部圧力を小にしてブラシ手段の接触 圧力を高めると共に、通常使用時にはエアースピンドルの内部圧力を大にしてブ ラシ手段の接触圧力を弱め、これによりブラシ手段の摩耗を最小限に抑えること が出来る。
【０００６】
【実施例】
以下、本考案の実施例を添付図面に基づいて詳説する。 図１において、１はダイシング装置の基台であり、その上面にチャックテーブル ２がＸ軸駆動機構３によりＸ軸方向に移動可能に形成され、エアースピンドルユ ニット４はＹ軸駆動機構５により支持台６を介してＸ軸方向に移動可能に形成さ れ、且つ支持台６に設けたＺ軸駆動機構７により取付台８を介してＺ軸方向に移 動可能に形成されている。
【０００７】 ９はダイヤモンド砥粒をニッケルメッキによって形成された導電性のブレード であり、前記エアースピンドルユニット４のシャフト４ａの先端部に着脱可能に 取り付けられ、このブレード９のＺ軸方向の基準位置を設定するには二点鎖線で 示したウェーハ１０を保持する前記チャックテーブル２との通電によりなされ、 そのためエアースピンドル通電機構１１を形成し、その回路に設けられた第１の 電流検出手段１２により電流を検出する。
【０００８】 エアースピンドル通電機構１１は、第２の電流検出手段１３、切り換えスイッ チ１４、電源１５を有し、更に図２に示すブラシ手段１６、圧力手段１７とを含 んでいる。
【０００９】 前記ブラシ手段１６は、スピンドルユニット４の背圧室２０内に設けられてお り、一対のカーボンブラシ片１６ａが絶縁体４ｆで形成された取付孔４ｂに導電 性のスプリング１６ｂを介して装着され、そのスプリング１６ｂにより付勢され てシャフト４ａの後端部に接触している。取付孔４ｂの端部には導電性のばね受 片１６ｃが固定され、このばね受片１６ｃの一方は前記電源１５に至るリード線 Ａと、他方は前記第２の電流検出手段１３に至るリード線Ｂとそれぞれ接続され 、前記ブレード９の基準位置設定時にシャフト４ａに通電出来るようにしてある 。又、一対の取付孔４ｂにはほぼ中間部で連通すると共に、エアースピンドルユ ニット４の後端に抜ける小孔４ｃが設けられている。
【００１０】 前記圧力手段１７は、背圧室２０の排気管１８に設けられた絞り弁１７ａと、 排気管１８から分岐させた太目の分岐管１８ａに設けた電磁弁１７ｂとを備え、 背圧室２０の排気圧を調整することで前記カーボンブラシ片１６ａに作用する押 圧力を自在に変えられるようにしてある。
【００１１】 尚、エアースピンドルユニット４には給気管１９が接続され内部の給気路４ｄ に圧縮エアーを供給出来るようにしてあり、又後部要所にはシャフト４ａを高速 回転させるモーター４ｅが取り付けられている。
【００１２】 次に、ブラシ手段１６の作用を圧力手段１７に関連させて図１及び図２に基づ いて説明する。 先ずセットアップ時つまりブレード９の基準位置を設定する時は、マニュアルで 又はＣＰＵの指令により電磁弁１７ｂを開く。すると、供給されたエアーが多量 に排気されて背圧室２０の内部圧力が小（ほぼ大気圧に等しい）となる。そして 、前記カーボンブラシ片１６ａはスプリング１６ｂの押圧力によってエアースピ ンドル４のシャフト４ａの後端部に強く接触する。
【００１３】 この接触が確実になされたかを確認するために、切り換えスイッチ１４を接点 １４ａ側に切り換える。すると、一対のカーボンブラシ片１６ａのいずれもがシ ャフト４ａに接触している場合は電源１５からシャフト４ａに通電され、その電 流は第２の電流検出手段１３により検出される。
【００１４】 この確認後に、切り換えスイッチ１４を接点１４ｂ側に切り換え、前記Ｚ軸駆 動機構７によりエアースピンドル４を少しずつ下降させると、ブレード９がチャ ックテーブル２に接触するまでは通電しないが接触した瞬間に回路に電流が流れ 、その電流は第１の電流検出手段１２により検出される。これにより、ブレード ９の基準位置を設定することが出来る。
【００１５】 次に、稼働時つまりブレード９でウェーハ１０を切断する時について説明する 。ブレード９の基準位置設定後、電磁弁１７ｂを閉めるとエアースピンドル４の 排気は絞り弁１７ａを通って外部に少し排気されるため背圧室２０の内部圧力が 大となり、スプリング１６ｂの押圧力に打ち勝ってカーボンブラシ片１６ａを押 し戻す。この結果、カーボンブラシ片１６ａはシャフト４ａに対する接触圧力が 弱められ、カーボンブラシ片１６ａの後退により取付孔４ｂ内の空気の一部は小 孔４ｃから外部に逃がされる。
【００１６】 この際、カーボンブラシ片１６ａの移動量は背圧室２０の内部圧力により定ま り、その内部圧力は絞り弁１７ａにより調整され、つまり絞り弁１７ａによる排 気量によってカーボンブラシ片１６ａの接触圧力を自在に調節することが可能で ある。カーボンブラシ片１６ａをシャフト４ａから完全に離脱するように構成し ても良いが、シャフト４ａに接触させておけばシャフト４ａに帯電する静電気を 放電させる（リード線Ｂを通じてアースされる）ことが出来るので好都合である 。
【００１７】 このようにして、カーボンブラシ片１６ａのシャフト４ａに対する接触圧力を 弱めた又は無圧の状態でモーター４ｅを駆動し、シャフト４ａを回転させてウェ ーハ１０を切断（ダイシング）すればカーボンブラシ片１６ａの摩耗を最小限に 抑えることが出来る。
【００１８】 前記ウェーハ１０のダイシング工程は、Ｙ軸駆動装置５により切断すべきライ ン（ストリート）を割り出し、Ｘ軸駆動機構３によりチャックテーブル２をＸ軸 方向に移動させながら高速回転するブレード９によって遂行される。
【００１９】
【考案の効果】
以上説明したように、本考案によれば、ダイシング装置等のエアースピンドル 通電機構において、エアースピンドルに供給されたエアーの排気圧を調整するこ とによりブレードの基準位置決め設定時にはカーボンブラシ片をシャフトに接触 させ、使用時にはカーボンブラシ片を押し戻してシャフトに対する接触圧力を減 少させるようにしたので、簡単な機構によりカーボンブラシ片の摩耗を最小限に 抑えることが出来、ブラシ手段を長持ちさせると共に交換回数が少なくなって作 業性を向上させる等の優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本考案の実施例を示す全体の構成図である。
【図２】 同、概略断面図である。
【符号の説明】
１…基台 ２…チャックテーブル ３…Ｘ軸駆動機
構 ４…エアースピンドルユニット ４ａ…シャフ
ト ４ｂ…取付孔 ４ｃ…小孔 ４ｄ…給気路
４ｅ…モーター ４ｆ…絶縁体 ５…Ｙ軸駆動機
構 ６…支持台 ７…Ｚ軸駆動機構 ８…取付台
９…ブレード １０…ウェーハ １１…エアースピンドル通電機構 １２…第１の電流
検出手段 １３…第２の電流検出手段 １４…切り
換えスイッチ １４ａ、１４ｂ…接点 １５…電源
１６…ブラシ手段 １６ａ…カーボンブラシ片
１６ｂ…スプリング １６ｃ…ばね受片 １７…
圧力手段 １７ａ…絞り弁 １７ｂ…電磁弁 １
８…排気管 １８ａ…分岐管 １９…給気管 ２
０…背圧室

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】 チャックテーブルとブレードとの通電に
    よりブレードの基準位置を設定するエアースピンドル通
    電機構であって、エアースピンドルの所要部に接触して
    電流検出回路を構成するブラシ手段と、このブラシ手段
    のスピンドルシャフトに対する押圧力をエアースピンド
    ルに供給されたエアーの排気圧を調整することで自在に
    変化させる圧力手段とが少なくとも含まれるエアースピ
    ンドル通電機構。
JP1993044075U 1993-07-20 1993-07-20 エアースピンドル通電機構 Expired - Fee Related JP2597808Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1993044075U JP2597808Y2 (ja) 1993-07-20 1993-07-20 エアースピンドル通電機構

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1993044075U JP2597808Y2 (ja) 1993-07-20 1993-07-20 エアースピンドル通電機構

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0710552U true JPH0710552U (ja) 1995-02-14
JP2597808Y2 JP2597808Y2 (ja) 1999-07-19

Family

ID=12681510

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1993044075U Expired - Fee Related JP2597808Y2 (ja) 1993-07-20 1993-07-20 エアースピンドル通電機構

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2597808Y2 (ja)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5070559U (ja) * 1973-10-31 1975-06-21
JPS52127359U (ja) * 1976-03-25 1977-09-28
JP2010251577A (ja) * 2009-04-17 2010-11-04 Disco Abrasive Syst Ltd 切削装置
JP2012136319A (ja) * 2010-12-27 2012-07-19 Ube Machinery Corporation Ltd スクリュコンベヤ
JP2012232357A (ja) * 2011-04-28 2012-11-29 Disco Corp 電極ユニット
JP2013237129A (ja) * 2012-05-16 2013-11-28 Disco Corp 切削装置
KR101492438B1 (ko) * 2013-08-07 2015-02-11 (주)하이드롬 Atc 에어스핀들 구동용 에어터빈 제어시스템
JP2015174205A (ja) * 2014-03-18 2015-10-05 株式会社ディスコ 検出方法
CN109278205A (zh) * 2017-07-21 2019-01-29 株式会社迪思科 切削装置和电极端子组件
KR20250001327A (ko) * 2023-06-28 2025-01-06 에프엠이 주식회사 전류 전달 시스템을 이용한 공구 길이 자동 측정 시스템 및 측정 방법

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5406497B2 (ja) * 2008-09-29 2014-02-05 株式会社ディスコ 切削装置
JP2013258204A (ja) * 2012-06-11 2013-12-26 Disco Abrasive Syst Ltd 切削装置
JP6059931B2 (ja) * 2012-09-24 2017-01-11 株式会社ディスコ 切削装置
JP7650140B2 (ja) 2020-09-04 2025-03-24 株式会社ディスコ 加工装置

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5070559U (ja) * 1973-10-31 1975-06-21
JPS52127359U (ja) * 1976-03-25 1977-09-28
JP2010251577A (ja) * 2009-04-17 2010-11-04 Disco Abrasive Syst Ltd 切削装置
JP2012136319A (ja) * 2010-12-27 2012-07-19 Ube Machinery Corporation Ltd スクリュコンベヤ
JP2012232357A (ja) * 2011-04-28 2012-11-29 Disco Corp 電極ユニット
JP2013237129A (ja) * 2012-05-16 2013-11-28 Disco Corp 切削装置
KR101492438B1 (ko) * 2013-08-07 2015-02-11 (주)하이드롬 Atc 에어스핀들 구동용 에어터빈 제어시스템
JP2015174205A (ja) * 2014-03-18 2015-10-05 株式会社ディスコ 検出方法
CN109278205A (zh) * 2017-07-21 2019-01-29 株式会社迪思科 切削装置和电极端子组件
CN109278205B (zh) * 2017-07-21 2022-02-11 株式会社迪思科 切削装置和电极端子组件
KR20250001327A (ko) * 2023-06-28 2025-01-06 에프엠이 주식회사 전류 전달 시스템을 이용한 공구 길이 자동 측정 시스템 및 측정 방법

Also Published As

Publication number Publication date
JP2597808Y2 (ja) 1999-07-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0710552U (ja) エアースピンドル通電機構
KR950034662A (ko) 워크피 스위치 결정방법 및 그 장치
CA1196413A (en) Apparatus for and method of controlling lathed contact lens thickness
EP0078027A3 (en) A datum point locator
EP1043117A3 (en) Work position adjusting apparatus and adjusting method
US5893793A (en) Process and apparatus for chucking and machining an elongated cylindrical article made of a ceramic material
EP1338367A3 (en) A fixture for securing a workpiece
JP4421021B2 (ja) 放電成形ユニット及び切削装置
JPS6471656A (en) Mirror polishing device for wafer
DE60034882D1 (de) Werkzeugpositioniermethode, werkzeugpositioniervorrichtung und mechanische zuführeinrichtung zum positionieren eines werkzeuges
JP2849904B2 (ja) ワークの面取加工装置、外周加工装置及び面取・外周加工装置
JPH10138095A (ja) 粗度センサ付寸法測定装置
JPH08197309A (ja) イオン注入したダイヤモンド切削工具
JP3472336B2 (ja) ダイシング装置及びダイシング方法
JP2005118981A (ja) 円形研削を行う方法及び装置
CN213904076U (zh) 一种钟表摆轮加工仪器
JPS6048257A (ja) マシニングセンタによる研削若しくは研摩加工方法
JP3584058B2 (ja) ウェーハノッチ部の鏡面研摩方法およびその装置
JPS5548527A (en) Electrode feed system of electric spark machine
JPS6440274A (en) Turning center with electric discharge truing/dressing device
SU595130A1 (ru) Устройство дл обработки поверхностей
JP4224735B2 (ja) レーザ加工機のフォーカスヘッド
JPS63256349A (ja) 内面研削盤
JPS63256324A (ja) 長尺ワ−ク加工装置の自動ワ−クレスト
SU971607A1 (ru) Люнет

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080514

Year of fee payment: 9

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees