JPH07106288B2 - 金属フィルタの製造方法 - Google Patents
金属フィルタの製造方法Info
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- JPH07106288B2 JPH07106288B2 JP1765888A JP1765888A JPH07106288B2 JP H07106288 B2 JPH07106288 B2 JP H07106288B2 JP 1765888 A JP1765888 A JP 1765888A JP 1765888 A JP1765888 A JP 1765888A JP H07106288 B2 JPH07106288 B2 JP H07106288B2
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D39/00—Filtering material for liquid or gaseous fluids
- B01D39/14—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material
- B01D39/20—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material of inorganic material, e.g. asbestos paper, metallic filtering material of non-woven wires
- B01D39/2027—Metallic material
- B01D39/2041—Metallic material the material being filamentary or fibrous
- B01D39/2044—Metallic material the material being filamentary or fibrous sintered or bonded by inorganic agents
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- Filtering Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、各種油類やガス類の濾過に使用する金属フィ
ルタ及びその製造方法に関する。
ルタ及びその製造方法に関する。
（従来技術とその問題点） 各種油類やガス類の濾過には、紙や樹脂製のフィルタが
使用されてきた。しかし特に微細で精密な濾過を必要と
する場合や圧力や熱が掛かる場合等の過酷な条件下での
濾過には前記紙や樹脂製のフィルタでは不十分であり、
又これらのフィルタは濾過孔が不規則であったり吸着が
生ずるといった欠点を有していた。これらの問題を解決
するために金属フィルタが使用されている。該金属フィ
ルタを使用する場合、約40μｍ以上の粒子に対しては金
網が用いられるが該金網は濾過通路が直線的であり不規
則形状の粒子が通過してしまうという欠点を有し、又目
開き10μｍ以下の金網は製造が困難であるだけでなく圧
力損失が大きく実用的でないという問題を有していた。
使用されてきた。しかし特に微細で精密な濾過を必要と
する場合や圧力や熱が掛かる場合等の過酷な条件下での
濾過には前記紙や樹脂製のフィルタでは不十分であり、
又これらのフィルタは濾過孔が不規則であったり吸着が
生ずるといった欠点を有していた。これらの問題を解決
するために金属フィルタが使用されている。該金属フィ
ルタを使用する場合、約40μｍ以上の粒子に対しては金
網が用いられるが該金網は濾過通路が直線的であり不規
則形状の粒子が通過してしまうという欠点を有し、又目
開き10μｍ以下の金網は製造が困難であるだけでなく圧
力損失が大きく実用的でないという問題を有していた。
一方1930年代に開発された焼結フィルタは三次元的広が
りを持つフィルタであり、前述の欠点がなく現在広く使
用されている。該焼結フィルタは、球形粉を焼結して該
球形粉の積み重なりの間隙をフィルタの目とするもの
で、該球形粉の粒径が揃っていればほぼ理論的な目開き
を得ることができる。即ち理論的な目開きは粉末粒子径
の15.5〜41.4％の範囲、実際には16.3〜20％の範囲であ
り、工業的利用では18％程度とされている。これらの値
は前記球形粉が当初の大きさを保持していることを前提
とするため、通常の焼結フィルタ製造の場合には粒子径
変化が起こらないようにいわゆるルースシンタリングと
いう手法が採用される。このルースシンタリングとは、
粒子が潰れないように又焼結による粒子間の結合を最小
にするために前記球形粉の成形に際しては該球形粉に圧
力を掛けず、バインダ等によって成形を行い、又焼結も
低い温度で短時間内に終了させる方法である。この手法
では、十分なフィルタ性能を有する機械的強度が不十分
なフィルタが得られるのみである。粗粒子用のフィルタ
では十分に焼結を行っても目開き径の変化は誤差範囲内
に抑えることができ実質的には問題は生じないが、微細
孔用フィルタでは、当初の粒子そのものが小さいため強
い焼結を行うことができず、機械的強度を十分向上させ
ることができないため、実用的に使用できるものは存在
しない。特に１μｍ以下の微細孔用フィルタは半導体ガ
ス用としての需要が大きいにもかかわらず、従来法では
得ることができないという問題点を有している。
りを持つフィルタであり、前述の欠点がなく現在広く使
用されている。該焼結フィルタは、球形粉を焼結して該
球形粉の積み重なりの間隙をフィルタの目とするもの
で、該球形粉の粒径が揃っていればほぼ理論的な目開き
を得ることができる。即ち理論的な目開きは粉末粒子径
の15.5〜41.4％の範囲、実際には16.3〜20％の範囲であ
り、工業的利用では18％程度とされている。これらの値
は前記球形粉が当初の大きさを保持していることを前提
とするため、通常の焼結フィルタ製造の場合には粒子径
変化が起こらないようにいわゆるルースシンタリングと
いう手法が採用される。このルースシンタリングとは、
粒子が潰れないように又焼結による粒子間の結合を最小
にするために前記球形粉の成形に際しては該球形粉に圧
力を掛けず、バインダ等によって成形を行い、又焼結も
低い温度で短時間内に終了させる方法である。この手法
では、十分なフィルタ性能を有する機械的強度が不十分
なフィルタが得られるのみである。粗粒子用のフィルタ
では十分に焼結を行っても目開き径の変化は誤差範囲内
に抑えることができ実質的には問題は生じないが、微細
孔用フィルタでは、当初の粒子そのものが小さいため強
い焼結を行うことができず、機械的強度を十分向上させ
ることができないため、実用的に使用できるものは存在
しない。特に１μｍ以下の微細孔用フィルタは半導体ガ
ス用としての需要が大きいにもかかわらず、従来法では
得ることができないという問題点を有している。
（発明の目的） 本発明は、叙上の問題点を解決するためになされたもの
で、工作性が良好で機械的強度の大きい微細孔用焼結金
属フィルタを提供することを目的とする。
で、工作性が良好で機械的強度の大きい微細孔用焼結金
属フィルタを提供することを目的とする。
（問題点を解決するための手段） 本発明は、比較的目開きの大きい第１の金属フィルタ層
を予め第１の金属粉末の焼結により形成し、次いで該表
面に前記金属粉末より微細な粒径を有する第２の金属粉
末を含む懸濁液又はペーストを塗布し焼結することによ
り、目開きが前記第１の金属フィルタ層より小さい第２
の金属フィルタ層を形成する金属フィルタの製造方法に
おいて、前記焼結としてルースシンタリングを使用し、
及び／又は前記第１の金属粉末の焼結の際に有機金属塩
をバインダとして使用することを特徴とする金属フィル
タの製造方法である。
を予め第１の金属粉末の焼結により形成し、次いで該表
面に前記金属粉末より微細な粒径を有する第２の金属粉
末を含む懸濁液又はペーストを塗布し焼結することによ
り、目開きが前記第１の金属フィルタ層より小さい第２
の金属フィルタ層を形成する金属フィルタの製造方法に
おいて、前記焼結としてルースシンタリングを使用し、
及び／又は前記第１の金属粉末の焼結の際に有機金属塩
をバインダとして使用することを特徴とする金属フィル
タの製造方法である。
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明では、目開きの大きい第１の金属フィルタ層によ
り良好な成形性（工作性）と機械的強度を得るとともに
圧力損失を減少させ、該金属フィルタ層上に所望の目開
きを有する第２の金属フィルタ層を形成することにより
所定の濾過性能を有する金属フィルタを得ることがで
き、更に焼結をルースシンタリングにより行ない、及び
／又は第１の金属粉末の焼結にバインダとして有機金属
塩を使用すると、高性能の金属フィルタを製造できる。
り良好な成形性（工作性）と機械的強度を得るとともに
圧力損失を減少させ、該金属フィルタ層上に所望の目開
きを有する第２の金属フィルタ層を形成することにより
所定の濾過性能を有する金属フィルタを得ることがで
き、更に焼結をルースシンタリングにより行ない、及び
／又は第１の金属粉末の焼結にバインダとして有機金属
塩を使用すると、高性能の金属フィルタを製造できる。
本発明では金属フィルタの一部を構成する基材を使用し
ないが、製造工程において素焼板等の補助板を使用し、
該補助板上に両フィルタ層を形成し、形成後前記補助板
から剥離して金属フィルタとしてもよい。
ないが、製造工程において素焼板等の補助板を使用し、
該補助板上に両フィルタ層を形成し、形成後前記補助板
から剥離して金属フィルタとしてもよい。
前記目開きの大きい第１の金属フィルタ層は球形の金属
粒子を焼結することにより形成する。該形成方法は特に
限定されないが、例えば目開き５μｍの金属フィルタを
形成するには、粒径25〜30μｍの金属粒子、バインダ及
び少量の水とを混練してペーストとし、該ペーストを素
焼板等に塗布し、更に該成形体を50〜100℃で乾燥後焼
結する。焼結条件は使用する金属粒子によって異なり焼
結温度は300〜1100℃、焼結時間は10分〜数時間が適当
である。例えば金属粒子としてニッケルを使用する場合
には、600〜1000℃で10〜60分間焼結するのが適当であ
る。又焼結の雰囲気も使用する金属粒子によって異な
り、銅や銅合金では窒素やアルゴン等の不活性雰囲気
中、ニッケルの場合は窒素やアルゴンに10〜50％の水素
を添加した雰囲気、チタンではヘリウムやアルゴンガス
又は真空中が好ましい。
粒子を焼結することにより形成する。該形成方法は特に
限定されないが、例えば目開き５μｍの金属フィルタを
形成するには、粒径25〜30μｍの金属粒子、バインダ及
び少量の水とを混練してペーストとし、該ペーストを素
焼板等に塗布し、更に該成形体を50〜100℃で乾燥後焼
結する。焼結条件は使用する金属粒子によって異なり焼
結温度は300〜1100℃、焼結時間は10分〜数時間が適当
である。例えば金属粒子としてニッケルを使用する場合
には、600〜1000℃で10〜60分間焼結するのが適当であ
る。又焼結の雰囲気も使用する金属粒子によって異な
り、銅や銅合金では窒素やアルゴン等の不活性雰囲気
中、ニッケルの場合は窒素やアルゴンに10〜50％の水素
を添加した雰囲気、チタンではヘリウムやアルゴンガス
又は真空中が好ましい。
該焼結のみでもある程度の強度を得ることはできるが、
バインダとして有機金属塩を添加すると、より強度を向
上させることができる。該有機金属塩としては、例えば
前記金属粒子がニッケルや銅の場合にはそれぞれのナフ
テン酸塩、２−エチルヘンサン酸塩及び金属アルコキシ
ド等が好ましく、該有機金属塩の添加により目開きの大
きさは実質的に変化しないが、該有機金属塩の分解によ
り粒子間全体を金属の薄層で被覆することになり更に該
有機金属塩が焼結助剤として機能することにより、より
強度の大きき金属フィルタを得ることができる。該有機
金属塩を添加する場合の焼結条件は添加しない場合と同
様で良い。
バインダとして有機金属塩を添加すると、より強度を向
上させることができる。該有機金属塩としては、例えば
前記金属粒子がニッケルや銅の場合にはそれぞれのナフ
テン酸塩、２−エチルヘンサン酸塩及び金属アルコキシ
ド等が好ましく、該有機金属塩の添加により目開きの大
きさは実質的に変化しないが、該有機金属塩の分解によ
り粒子間全体を金属の薄層で被覆することになり更に該
有機金属塩が焼結助剤として機能することにより、より
強度の大きき金属フィルタを得ることができる。該有機
金属塩を添加する場合の焼結条件は添加しない場合と同
様で良い。
又この焼結条件下で化学反応により又は物理的な揮発に
より揮散する粒子をペースト中に混合して焼結し、多孔
質層を形成することも可能である。この場合は多孔性で
ある焼結による欠点は生じないため、十分な焼結が進行
する条件で焼結を行うことができる。このような多孔質
層形成物質としては炭素粉末やマグネシウム粉末等があ
り、炭素粉末を使用する場合には前記ペーストに該炭素
粉末を混合し700〜1200℃で焼結する。700℃未満では炭
素の揮散が不十分である。
より揮散する粒子をペースト中に混合して焼結し、多孔
質層を形成することも可能である。この場合は多孔性で
ある焼結による欠点は生じないため、十分な焼結が進行
する条件で焼結を行うことができる。このような多孔質
層形成物質としては炭素粉末やマグネシウム粉末等があ
り、炭素粉末を使用する場合には前記ペーストに該炭素
粉末を混合し700〜1200℃で焼結する。700℃未満では炭
素の揮散が不十分である。
次いでこのように作製した第１の金属フィルタ層の表面
に目的の目開きを有する第２の金属フィルタの薄層を形
成する。該第２層もルースシンタリング等の前記第１層
とほぼ同用の条件で形成することができるが、目開きが
小さいためそれに合わせて粒径の小さい粒子を使用こと
が必要である。例えば目的とする目開きが0.1μｍ程度
である場合は0.4〜0.7μｍ程度の金属粉末を使用し、0.
01μｍ程度である場合には0.04〜0.07μｍ程度の金属粉
末を使用する。そして使用する粒子の粒径が１μｍ以下
となる場合には焼結温度を低くする必要がある。粒径が
小さいと焼結温度が低下し同一条件下での焼結の度合が
大きくなり、温度が高いと目的とする目開きが得らえな
いことがあるからである。
に目的の目開きを有する第２の金属フィルタの薄層を形
成する。該第２層もルースシンタリング等の前記第１層
とほぼ同用の条件で形成することができるが、目開きが
小さいためそれに合わせて粒径の小さい粒子を使用こと
が必要である。例えば目的とする目開きが0.1μｍ程度
である場合は0.4〜0.7μｍ程度の金属粉末を使用し、0.
01μｍ程度である場合には0.04〜0.07μｍ程度の金属粉
末を使用する。そして使用する粒子の粒径が１μｍ以下
となる場合には焼結温度を低くする必要がある。粒径が
小さいと焼結温度が低下し同一条件下での焼結の度合が
大きくなり、温度が高いと目的とする目開きが得らえな
いことがあるからである。
以上の操作により２種類の目開きの異なる層を積層する
ことにより、十分な強度を有ししかも所定の微細な目開
きを有する金属フィルタを得ることができる。又上記し
た２種類の層の形成はほぼ同一条件で行うことができる
ので、２種の金属粉末を積層しておき、両金属粉末を同
時に焼結するようにしてもよい。この方法によるとき
は、予め第１の金属フィルタ層用塗布物質を塗布後乾燥
しその上に第２の金属フィルタ層用塗布物質を塗布する
ことにより第１及び第２の両金属フィルタ層が混合しな
いようにしてから一度の加熱により同時に加熱するよう
にすることが好ましい。
ことにより、十分な強度を有ししかも所定の微細な目開
きを有する金属フィルタを得ることができる。又上記し
た２種類の層の形成はほぼ同一条件で行うことができる
ので、２種の金属粉末を積層しておき、両金属粉末を同
時に焼結するようにしてもよい。この方法によるとき
は、予め第１の金属フィルタ層用塗布物質を塗布後乾燥
しその上に第２の金属フィルタ層用塗布物質を塗布する
ことにより第１及び第２の両金属フィルタ層が混合しな
いようにしてから一度の加熱により同時に加熱するよう
にすることが好ましい。
又これらの２種の金属フィルタ層を複数層積層、例えば
両フィルタ層を交互に積層したり、一方のフィルタ層を
複数層形成した上に他方のフィルタ層を複数層形成する
ようにしてもよい。
両フィルタ層を交互に積層したり、一方のフィルタ層を
複数層形成した上に他方のフィルタ層を複数層形成する
ようにしてもよい。
（実施例） 以下本発明を実施例により、より詳細に説明するが、該
実施例は本発明を限定するものではない。
実施例は本発明を限定するものではない。
実施例１ カルボニル法によるニッケル粉（タイプ255）30gをメチ
ルセルロース3gとともに純水50ml中に加え混練してニッ
ケルペーストを作製した。該ペーストを厚さ10mm、縦横
それぞれ50mmの素焼板上に厚さ1mmとなるように塗布し
た。室温で30分間乾燥後60℃で更に１時間乾燥した。
ルセルロース3gとともに純水50ml中に加え混練してニッ
ケルペーストを作製した。該ペーストを厚さ10mm、縦横
それぞれ50mmの素焼板上に厚さ1mmとなるように塗布し
た。室温で30分間乾燥後60℃で更に１時間乾燥した。
このペーストを塗布した素焼板をアルゴン80％−水素20
％から成るガス雰囲気中に300℃で10分間保持し、その
後750℃に昇温して30分間保持した。冷却後取り出した
ところ厚さ約0.5mmのニッケル多孔体（第１の金属フィ
ルタ層）が得られた。
％から成るガス雰囲気中に300℃で10分間保持し、その
後750℃に昇温して30分間保持した。冷却後取り出した
ところ厚さ約0.5mmのニッケル多孔体（第１の金属フィ
ルタ層）が得られた。
この多孔体の表面に粒径200Åのニッケル超微粉をエチ
ルアルコールと混練して得たペーストを塗布した。乾燥
後上記と同じ雰囲気中500℃で30分間焼結し第２の金属
フィルタ層を形成した、この操作により表面が金属光沢
を有する目開きが40〜60Åの微細金属フィルタが得られ
た。
ルアルコールと混練して得たペーストを塗布した。乾燥
後上記と同じ雰囲気中500℃で30分間焼結し第２の金属
フィルタ層を形成した、この操作により表面が金属光沢
を有する目開きが40〜60Åの微細金属フィルタが得られ
た。
比較用として粒径200Åの超微粉のみで第１の金属フィ
ルタ層なしに焼結を試みたが、物理強度が弱く、素焼板
から引き剥がすことができなかった。
ルタ層なしに焼結を試みたが、物理強度が弱く、素焼板
から引き剥がすことができなかった。
（実施例２） 実施例１と同様にしてカルボニル法ニッケル粉（タイプ
255）を原料として厚さ約0.5mmの多孔体ニッケルフィル
タ（第１の金属フィルタ層）を作製した。該フィルタの
表面の両側に実施例１と同様にして粒径500Åのニッケ
ル超微粉ペーストを塗布し、室温で30分間乾燥後70℃で
１時間乾燥した。この表面の両側に保護層としてカルボ
ニル法ニッケル粉（タイプ255）のペーストを厚さ約1mm
となるように塗布した。これを室温で30分間保持後、70
℃で１時間乾燥した。
255）を原料として厚さ約0.5mmの多孔体ニッケルフィル
タ（第１の金属フィルタ層）を作製した。該フィルタの
表面の両側に実施例１と同様にして粒径500Åのニッケ
ル超微粉ペーストを塗布し、室温で30分間乾燥後70℃で
１時間乾燥した。この表面の両側に保護層としてカルボ
ニル法ニッケル粉（タイプ255）のペーストを厚さ約1mm
となるように塗布した。これを室温で30分間保持後、70
℃で１時間乾燥した。
更にアルゴン80％−水素20％から成る混合ガス雰囲気中
300℃で１時間保持し、その後650℃に昇温して１時間保
持した。これにより厚さ約１〜1.5mm、目開き約100Åの
ニッケル金属フィルタが得られた。
300℃で１時間保持し、その後650℃に昇温して１時間保
持した。これにより厚さ約１〜1.5mm、目開き約100Åの
ニッケル金属フィルタが得られた。
（実施例３） 粒径10μｍのチタン粉末30g、メチルセルロース1.5g、
純水50ml及び消泡剤1mlを混練してペーストを作製し
た。該ペーストを実施例１と同様にして素焼板上に厚さ
約1mmとなるように塗布した。室温に15分間保持した
後、60℃で30分間乾燥した。更に真空炉（10-6mmHg）に
入れ900℃で30分間焼結し、厚さ約0.7mmのチタン金属フ
ィルタを得た。このようにして得られたフィルタは目開
きが約２μｍであった。
純水50ml及び消泡剤1mlを混練してペーストを作製し
た。該ペーストを実施例１と同様にして素焼板上に厚さ
約1mmとなるように塗布した。室温に15分間保持した
後、60℃で30分間乾燥した。更に真空炉（10-6mmHg）に
入れ900℃で30分間焼結し、厚さ約0.7mmのチタン金属フ
ィルタを得た。このようにして得られたフィルタは目開
きが約２μｍであった。
この表面に粒径1000Åのチタ超微粉15g、メチセルロー
ス0.7g、純水50mlを混練して得たペーストを厚さ約0.5m
mとなるように塗布した。15分間室温に保持した後、60
℃で１時間乾燥した。更に前記真空炉に入れ600℃で30
分間焼結した。この操作により目開き約200Åのチタン
製金属フィルタを得ることができた。
ス0.7g、純水50mlを混練して得たペーストを厚さ約0.5m
mとなるように塗布した。15分間室温に保持した後、60
℃で１時間乾燥した。更に前記真空炉に入れ600℃で30
分間焼結した。この操作により目開き約200Åのチタン
製金属フィルタを得ることができた。
（実施例４） 実施例３と同様にしてチタンペーストを作製した。該ペ
ーストに体積で２倍量の粒径10〜30μｍのマグネシウム
粉末を添加し、更にこれを厚さ約2mmなるように素焼板
に塗布し室温で30分間乾燥後、100℃で２時間乾燥し
た。該素焼板を真空炉（10-6mmHg）に入れ400℃で30分
間、次いで1100℃で３時間焼結した。マグネシウムが揮
散して厚さ約1.5mmの多孔質チタンが形成された。
ーストに体積で２倍量の粒径10〜30μｍのマグネシウム
粉末を添加し、更にこれを厚さ約2mmなるように素焼板
に塗布し室温で30分間乾燥後、100℃で２時間乾燥し
た。該素焼板を真空炉（10-6mmHg）に入れ400℃で30分
間、次いで1100℃で３時間焼結した。マグネシウムが揮
散して厚さ約1.5mmの多孔質チタンが形成された。
該多孔質チタンが形成された素焼板に、粒径１μｍのチ
タン粉末とメチルセルロース、純水及び消泡剤を実施例
３と同じ割合で添加して形成したペーストを塗布し乾燥
後、アルゴン雰囲気中700℃で２時間焼結した。この操
作により目開き約0.2μｍのチタン製金属フィルタを得
ることができた。
タン粉末とメチルセルロース、純水及び消泡剤を実施例
３と同じ割合で添加して形成したペーストを塗布し乾燥
後、アルゴン雰囲気中700℃で２時間焼結した。この操
作により目開き約0.2μｍのチタン製金属フィルタを得
ることができた。
（発明の効果） 本発明は、比較的目開きの大きい第１の金属フィルタ層
を予め第１の金属粉末の焼結により形成し、次いで該表
面に前記金属粉末より微細な粒径を有する第２の金属粉
末を含む懸濁液又はペーストを塗布し焼結することによ
り、目開きが前記第１の金属フィルタ層より小さい第２
の金属フィルタ層を形成する金属フィルタの製造方法に
おいて、前記焼結としてルースシンタリングを使用し、
及び／又は前記第１の金属粉末の焼結の際に有機金属塩
をバインダとして使用することを特徴とする金属フィル
タの製造方法である。
を予め第１の金属粉末の焼結により形成し、次いで該表
面に前記金属粉末より微細な粒径を有する第２の金属粉
末を含む懸濁液又はペーストを塗布し焼結することによ
り、目開きが前記第１の金属フィルタ層より小さい第２
の金属フィルタ層を形成する金属フィルタの製造方法に
おいて、前記焼結としてルースシンタリングを使用し、
及び／又は前記第１の金属粉末の焼結の際に有機金属塩
をバインダとして使用することを特徴とする金属フィル
タの製造方法である。
従って前記第１の金属フィルタ層により金属フィルタ全
体に機械的強度を与え、かつ通常は微細な目開きのため
大きな圧力損失を生じやすい所望の目開きを有する金属
フィルタ層つまり前記第２の金属フィルタ層の厚さを薄
くすることができるため、圧力損失を最小限に抑えるこ
とが可能になる。又微粒子金属は粒径が小さくなるほど
加速度的に高価になるが、該微粒子金属の使用量を最小
限とすることができるので、より安価な極微細粒子から
成る金属フィルタを得ることができ、ルースシンタリン
グを使用すると金属粉末相互の結合強度が改善され、有
機金属塩の使用により、該塩の分解により粒子間全体を
金属の薄層で被覆することになり更に該塩が焼結助剤と
して機能し強度の大きい金属フィルタを得ることができ
る。
体に機械的強度を与え、かつ通常は微細な目開きのため
大きな圧力損失を生じやすい所望の目開きを有する金属
フィルタ層つまり前記第２の金属フィルタ層の厚さを薄
くすることができるため、圧力損失を最小限に抑えるこ
とが可能になる。又微粒子金属は粒径が小さくなるほど
加速度的に高価になるが、該微粒子金属の使用量を最小
限とすることができるので、より安価な極微細粒子から
成る金属フィルタを得ることができ、ルースシンタリン
グを使用すると金属粉末相互の結合強度が改善され、有
機金属塩の使用により、該塩の分解により粒子間全体を
金属の薄層で被覆することになり更に該塩が焼結助剤と
して機能し強度の大きい金属フィルタを得ることができ
る。
Claims (3)
- 【請求項１】比較的目開きの大きい第１の金属フィルタ
層を予め第１の金属粉末のルースシンタリングにより形
成し、次いで該表面に前記金属粉末より微細な粒径を有
する第２の金属粉末を含む懸濁液又はペーストを塗布し
ルースシンタリングすることにより、目開きが前記第１
の金属フィルタ層より小さい第２の金属フィルタ層を形
成することを特徴とする金属フィルタの製造方法。 - 【請求項２】比較的目開きの大きい第１の金属フィルタ
層を予め有機金属塩をバインダとして用い第１の金属粉
末の焼結により形成し、次いで該表面に前記金属粉末よ
り微細な粒径を有する第２の金属粉末を含む懸濁液又は
ペーストを塗布し焼結することにより、目開きが前記第
１の金属フィルタ層より小さい第２の金属フィルタ層を
形成することを特徴とする金属フィルタの製造方法。 - 【請求項３】比較的目開きの大きい第１の金属フィルタ
層を予め有機金属塩をバインダとして用い第１の金属粉
末のルースシンタリングにより形成し、次いで該表面に
前記金属粉末より微細な粒径を有する第２の金属粉末を
含む懸濁液又はペーストを塗布しルースシンタリングす
ることにより、目開きが前記第１の金属フィルタ層より
小さい第２の金属フィルタ層を形成することを特徴とす
る金属フィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1765888A JPH07106288B2 (ja) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | 金属フィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1765888A JPH07106288B2 (ja) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | 金属フィルタの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01194914A JPH01194914A (ja) | 1989-08-04 |
| JPH07106288B2 true JPH07106288B2 (ja) | 1995-11-15 |
Family
ID=11949950
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1765888A Expired - Lifetime JPH07106288B2 (ja) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | 金属フィルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07106288B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104906872A (zh) * | 2015-06-24 | 2015-09-16 | 常州博美新材料科技有限公司 | 切粒水过滤网 |
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|---|---|---|---|---|
| JP4556699B2 (ja) * | 2005-02-15 | 2010-10-06 | セイコーエプソン株式会社 | フィルタの製造方法およびフィルタ、これを装着した液体噴射ヘッドならびに液体噴射装置 |
| JP4576531B2 (ja) * | 2005-05-24 | 2010-11-10 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | フィルタ及びその製造方法 |
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| CN115487604A (zh) * | 2022-09-23 | 2022-12-20 | 东莞市名创传动科技有限公司 | 一种复合烧结过滤材料 |
-
1988
- 1988-01-28 JP JP1765888A patent/JPH07106288B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN104906872A (zh) * | 2015-06-24 | 2015-09-16 | 常州博美新材料科技有限公司 | 切粒水过滤网 |
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| Publication number | Publication date |
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