JPH07108465A - 研磨布 - Google Patents
研磨布Info
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- JPH07108465A JPH07108465A JP27753793A JP27753793A JPH07108465A JP H07108465 A JPH07108465 A JP H07108465A JP 27753793 A JP27753793 A JP 27753793A JP 27753793 A JP27753793 A JP 27753793A JP H07108465 A JPH07108465 A JP H07108465A
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Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 金属、半導体基盤、ガラス等の精密表面研磨
に使用される研磨布の品質改良を目的とする。 【構成】 ビニロン繊維又はビニロン繊維とセルローズ
系繊維とよりなる不織布を、ポリウレタン樹脂溶液に含
浸し、湿式凝固、水洗脱溶媒、乾燥して微多孔構造のポ
リウレタン樹脂で不織布繊維を結合、固定化した研磨
布。 【効果】 研磨工程で、研磨布が砥粒によって摩耗され
る過程で、繊維と樹脂が同じ程度に摩耗されるため、研
磨作用面が繊維のみになることがなく、砥粒の目づまり
が発生せず、それによる研磨性能の低下、研磨傷の発生
がなく、生産性の改善、製品歩溜を向上することが出来
る。
に使用される研磨布の品質改良を目的とする。 【構成】 ビニロン繊維又はビニロン繊維とセルローズ
系繊維とよりなる不織布を、ポリウレタン樹脂溶液に含
浸し、湿式凝固、水洗脱溶媒、乾燥して微多孔構造のポ
リウレタン樹脂で不織布繊維を結合、固定化した研磨
布。 【効果】 研磨工程で、研磨布が砥粒によって摩耗され
る過程で、繊維と樹脂が同じ程度に摩耗されるため、研
磨作用面が繊維のみになることがなく、砥粒の目づまり
が発生せず、それによる研磨性能の低下、研磨傷の発生
がなく、生産性の改善、製品歩溜を向上することが出来
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は金属、半導体基盤、ガラ
ス等の表面精密研磨に使用される、研磨布の品質改良に
関するものである。
ス等の表面精密研磨に使用される、研磨布の品質改良に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、金属、シリコン、ガリウム・砒素
等の半導体基盤、ガラス、セラミックス等の表面を、超
精密に研磨するために、一次研磨及び二次研磨にポリエ
ステル繊維よりなる不織布に、ポリウレタン樹脂溶液を
含浸し、次で非溶媒である水に浸漬し湿式凝固、脱溶
媒、乾燥させることにより、無数の細孔が内在する、微
多孔構造のポリウレタン樹脂で、不織布繊維を結合、固
定化した研磨布が使用されている。この研磨布と砥粒ス
ラリーで研磨加工する場合、研磨作用面で、微多孔構造
のポリウレタン樹脂の摩耗強度が不織布を構成している
ポリエステル繊維の摩耗強度より低いため、研磨加工に
よりポリウレタン樹脂が摩耗され、ポリエステル繊維の
みとなるため、砥粒の目づまりの発生、それによる研磨
性能の低下、研磨傷の発生等の欠点があり改良を必要と
されていた。
等の半導体基盤、ガラス、セラミックス等の表面を、超
精密に研磨するために、一次研磨及び二次研磨にポリエ
ステル繊維よりなる不織布に、ポリウレタン樹脂溶液を
含浸し、次で非溶媒である水に浸漬し湿式凝固、脱溶
媒、乾燥させることにより、無数の細孔が内在する、微
多孔構造のポリウレタン樹脂で、不織布繊維を結合、固
定化した研磨布が使用されている。この研磨布と砥粒ス
ラリーで研磨加工する場合、研磨作用面で、微多孔構造
のポリウレタン樹脂の摩耗強度が不織布を構成している
ポリエステル繊維の摩耗強度より低いため、研磨加工に
よりポリウレタン樹脂が摩耗され、ポリエステル繊維の
みとなるため、砥粒の目づまりの発生、それによる研磨
性能の低下、研磨傷の発生等の欠点があり改良を必要と
されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は研磨布を構成
している、不織布繊維と微多孔構造のポリウレタン樹脂
との摩耗強度を同等、或は繊維の摩耗強度を樹脂の摩耗
強度より低くすることによって研磨加工に於て研磨作用
面での繊維による、砥粒の目づまりがなく、従ってそれ
による研磨性能の低下、研磨傷の発生がない研磨布を提
供するものである。
している、不織布繊維と微多孔構造のポリウレタン樹脂
との摩耗強度を同等、或は繊維の摩耗強度を樹脂の摩耗
強度より低くすることによって研磨加工に於て研磨作用
面での繊維による、砥粒の目づまりがなく、従ってそれ
による研磨性能の低下、研磨傷の発生がない研磨布を提
供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
にビニロン繊維よりなる不織布に例えばジメチルホルム
アミド等の有機溶媒にポリウレタンを溶解した樹脂溶液
を含浸し、ついで非溶媒である水中に浸漬、凝固するこ
とにより形成される無数の微細孔を有する多孔質のポリ
ウレタン樹脂にて、一体的に結合し、固定化して構成し
ている。本発明に使用されるビニロン繊維はビニールア
ルコール単位（−ＣＨ2 ＣＨＯＨ−）を重量割合で６５
％以上含む長鎖状合成高分子からなる繊維、ウレタン樹
脂を有する重合体でエステルタイプ、エーテルタイプ等
のポリウレタン樹脂が使用出来る。本発明の一つの実施
態様ではビニロン繊維とセルローズ系繊維よりなる不織
布を使用している。セルローズ系繊維は綿等の天然繊
維、及び再生繊維であるレーヨン、キュプラ繊維が使用
出来る。
にビニロン繊維よりなる不織布に例えばジメチルホルム
アミド等の有機溶媒にポリウレタンを溶解した樹脂溶液
を含浸し、ついで非溶媒である水中に浸漬、凝固するこ
とにより形成される無数の微細孔を有する多孔質のポリ
ウレタン樹脂にて、一体的に結合し、固定化して構成し
ている。本発明に使用されるビニロン繊維はビニールア
ルコール単位（−ＣＨ2 ＣＨＯＨ−）を重量割合で６５
％以上含む長鎖状合成高分子からなる繊維、ウレタン樹
脂を有する重合体でエステルタイプ、エーテルタイプ等
のポリウレタン樹脂が使用出来る。本発明の一つの実施
態様ではビニロン繊維とセルローズ系繊維よりなる不織
布を使用している。セルローズ系繊維は綿等の天然繊
維、及び再生繊維であるレーヨン、キュプラ繊維が使用
出来る。
【０００５】
【作用】上記のように、ビニロン繊維で構成された不織
布を、微多孔構造のポリウレタン樹脂で結合、固定化し
た構造の研磨布であるため、ビニロン繊維の摩耗強度が
ポリエステル繊維に比べて低く、微多孔構造のポリウレ
タン樹脂の摩耗強度と同等か若干低いため、研磨加工で
繊維と樹脂が同程度に摩耗され、研磨作用面に、従来の
研磨布の様に、樹脂が磨耗し、繊維がのこることがない
ため繊維による砥粒の目づまりがなく、研磨性能の低
下、研磨傷の発生もなく、更に研磨作用面をリフレッシ
ュする作業の必要もなく、生産性の向上と製品歩溜率を
改善することが出来る。さらにビニロン繊維の摩耗強度
と同等又は若干低いセルローズ系繊維をビニロン繊維と
混用した不織布を使用することにより、不織布の摩耗強
度をコントロールすることが出来、微多孔構造のポリウ
レタン樹脂の種類等による摩耗強度と調整することが出
来る。
布を、微多孔構造のポリウレタン樹脂で結合、固定化し
た構造の研磨布であるため、ビニロン繊維の摩耗強度が
ポリエステル繊維に比べて低く、微多孔構造のポリウレ
タン樹脂の摩耗強度と同等か若干低いため、研磨加工で
繊維と樹脂が同程度に摩耗され、研磨作用面に、従来の
研磨布の様に、樹脂が磨耗し、繊維がのこることがない
ため繊維による砥粒の目づまりがなく、研磨性能の低
下、研磨傷の発生もなく、更に研磨作用面をリフレッシ
ュする作業の必要もなく、生産性の向上と製品歩溜率を
改善することが出来る。さらにビニロン繊維の摩耗強度
と同等又は若干低いセルローズ系繊維をビニロン繊維と
混用した不織布を使用することにより、不織布の摩耗強
度をコントロールすることが出来、微多孔構造のポリウ
レタン樹脂の種類等による摩耗強度と調整することが出
来る。
【０００６】
［実施例１］繊維織度３デニールのビニロン短繊維より
なる、ニードリング不織布（重量２３０ｇ／ｍ2 、厚さ
１．２０ｍｍ、密度０．１９ｇ／ｃｍ3 ）をエステル系
ポリウレタン樹脂をジメチルホルムアミド（Ｄ．Ｍ．
Ｆ）に溶解した樹脂溶液（樹脂固型分２０％重量比）に
含浸し、樹脂付着量を１００％重量比とした。この樹脂
含浸不織布を非溶媒である水中に浸漬し、完全に樹脂を
凝固させた后、水洗脱溶媒、乾燥して、多孔構造のエス
テル系ポリウレタン樹脂でビニロン不織布を結合、固定
化したシートを得た。このシートの表皮層をバフ加工で
除去し、厚さ１．０ｍｍ、重量３８０ｇ／ｍ2 、密度
０．３８ｇ／ｃｍ3 の研磨布を作製した。この研磨布を
使用し平均粒子径１．３μｍのアルミナパウダーを含む
研磨液でアルミニウムディスクを研磨した結果、研磨傷
の発生による不良率が従来のポリエステル繊維不織布に
よる研磨布の場合に比べ少なく、製品歩溜を３０％以上
向上することが出来、且つ稼働率を１０％アップするこ
とが出来た。
なる、ニードリング不織布（重量２３０ｇ／ｍ2 、厚さ
１．２０ｍｍ、密度０．１９ｇ／ｃｍ3 ）をエステル系
ポリウレタン樹脂をジメチルホルムアミド（Ｄ．Ｍ．
Ｆ）に溶解した樹脂溶液（樹脂固型分２０％重量比）に
含浸し、樹脂付着量を１００％重量比とした。この樹脂
含浸不織布を非溶媒である水中に浸漬し、完全に樹脂を
凝固させた后、水洗脱溶媒、乾燥して、多孔構造のエス
テル系ポリウレタン樹脂でビニロン不織布を結合、固定
化したシートを得た。このシートの表皮層をバフ加工で
除去し、厚さ１．０ｍｍ、重量３８０ｇ／ｍ2 、密度
０．３８ｇ／ｃｍ3 の研磨布を作製した。この研磨布を
使用し平均粒子径１．３μｍのアルミナパウダーを含む
研磨液でアルミニウムディスクを研磨した結果、研磨傷
の発生による不良率が従来のポリエステル繊維不織布に
よる研磨布の場合に比べ少なく、製品歩溜を３０％以上
向上することが出来、且つ稼働率を１０％アップするこ
とが出来た。
【０００７】［実施例２］繊維織度３デニールのビニロ
ン繊維７５％、３デニールのレーヨン２５％（重量比）
よりなるニードリング不織布（重量２２０ｇ／ｍ2 、厚
さ１．２ｍｍ、密度０．１８ｇ／ｃｍ3 ）をエーテル系
ポリウレタン樹脂を、ジメチルホルムアミド（Ｄ．Ｍ．
Ｆ）に溶解した樹脂溶液（樹脂固型分１８％重量比）に
含浸し、樹脂付着量を１１０％重量比とした。この樹脂
含浸不織布を水中に浸漬し、完全に樹脂を凝固させた
后、水洗脱溶媒、乾燥してシートを得た。このシートの
表皮層をスライサーで除去し、厚さ０．９ｍｍ、重量３
８０ｇ／ｍ2 、密度０．４２ｇ／ｃｍ3 の研磨布を作成
した。この研磨布を使用し、コロイダルシリカを含む研
磨液でシリコンウエハーを研磨した結果、砥粒の目づま
り、研磨傷による不良率が従来品に比べ製品歩溜を２０
％以上向上することが出来た。
ン繊維７５％、３デニールのレーヨン２５％（重量比）
よりなるニードリング不織布（重量２２０ｇ／ｍ2 、厚
さ１．２ｍｍ、密度０．１８ｇ／ｃｍ3 ）をエーテル系
ポリウレタン樹脂を、ジメチルホルムアミド（Ｄ．Ｍ．
Ｆ）に溶解した樹脂溶液（樹脂固型分１８％重量比）に
含浸し、樹脂付着量を１１０％重量比とした。この樹脂
含浸不織布を水中に浸漬し、完全に樹脂を凝固させた
后、水洗脱溶媒、乾燥してシートを得た。このシートの
表皮層をスライサーで除去し、厚さ０．９ｍｍ、重量３
８０ｇ／ｍ2 、密度０．４２ｇ／ｃｍ3 の研磨布を作成
した。この研磨布を使用し、コロイダルシリカを含む研
磨液でシリコンウエハーを研磨した結果、砥粒の目づま
り、研磨傷による不良率が従来品に比べ製品歩溜を２０
％以上向上することが出来た。
【発明の効果】本発明は不織布を構成している繊維がビ
ニロン繊維で、微多孔構造のポリウレタン樹脂で不織布
を結合、固定化した研磨布である。研磨工程で研磨布が
砥粒によって摩耗される過程で、繊維と樹脂が同じ程度
に摩耗するため、研磨作用面が繊維のみになることがな
いため、砥粒が目づまりすることがないため、それによ
る研磨性能の低下、研磨傷の発生がない、生産性の改善
と高い品質と製品歩溜を向上することが出来る。
ニロン繊維で、微多孔構造のポリウレタン樹脂で不織布
を結合、固定化した研磨布である。研磨工程で研磨布が
砥粒によって摩耗される過程で、繊維と樹脂が同じ程度
に摩耗するため、研磨作用面が繊維のみになることがな
いため、砥粒が目づまりすることがないため、それによ
る研磨性能の低下、研磨傷の発生がない、生産性の改善
と高い品質と製品歩溜を向上することが出来る。
Claims (2)
- 【請求項１】 ビニロン繊維よりなる不織布に、ポリウ
レタン樹脂溶液を含浸し、湿式凝固、脱溶媒、乾燥し
て、微細気孔が内在する、ポリウレタン樹脂多孔体で不
織布を結合、固定化することを特徴とする研磨布。 - 【請求項２】 ビニロン繊維とセルローズ系繊維からな
る不織布を使用することを特徴とする請求項１記載の研
磨布。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27753793A JPH07108465A (ja) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | 研磨布 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27753793A JPH07108465A (ja) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | 研磨布 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07108465A true JPH07108465A (ja) | 1995-04-25 |
Family
ID=17584939
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27753793A Pending JPH07108465A (ja) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | 研磨布 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07108465A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114406915A (zh) * | 2022-02-22 | 2022-04-29 | 阳江市伟艺抛磨材料有限公司 | 一种用于陶瓷抛亚光的无纺布磨块及其制作方法 |
-
1993
- 1993-10-07 JP JP27753793A patent/JPH07108465A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114406915A (zh) * | 2022-02-22 | 2022-04-29 | 阳江市伟艺抛磨材料有限公司 | 一种用于陶瓷抛亚光的无纺布磨块及其制作方法 |
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