JPH07109912B2 - ガスレーザ装置 - Google Patents
ガスレーザ装置Info
- Publication number
- JPH07109912B2 JPH07109912B2 JP59016574A JP1657484A JPH07109912B2 JP H07109912 B2 JPH07109912 B2 JP H07109912B2 JP 59016574 A JP59016574 A JP 59016574A JP 1657484 A JP1657484 A JP 1657484A JP H07109912 B2 JPH07109912 B2 JP H07109912B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- control circuit
- gas laser
- constant current
- detection circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims description 24
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 20
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/131—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
- H01S3/134—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation in gas lasers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は加工用、医療用としてのガスレーザ装置に関す
る。
る。
従来例の構成とその問題点 従来のガスレーザ発振装置は、第１図に示すように整流
器Ｄで構成した高圧直流電源（１）の２次側出力端の高
圧側端子Ｈをレーザ管（２）のアノード（３）と抵抗
（４）を通じてカソード（６）と、かつ抵抗（５）を通
してアースに接続するとともに定電流制御回路（７）に
接続され、定常放電電流は定電流制御回路を介して接地
され、定電流制御回路内に設けられた電流検出回路
（８）により異常電流を検出し、高圧直流電源（１）の
１次側Ｐを切り、異常時に放電を停止させる構成であっ
た。この場合は定電流制御回路（７）の電流検出回路
（８）を通じて流れた異常電流は検出できるが、ガスレ
ーザ装置の絶縁不良、短絡、第２図に示すようレーザ管
の接地などによる異常電流、過電流などは検出すること
ができず、異常電流、過電流により各部品及び構成回路
を損傷するとともに安全性に問題を有していた。
器Ｄで構成した高圧直流電源（１）の２次側出力端の高
圧側端子Ｈをレーザ管（２）のアノード（３）と抵抗
（４）を通じてカソード（６）と、かつ抵抗（５）を通
してアースに接続するとともに定電流制御回路（７）に
接続され、定常放電電流は定電流制御回路を介して接地
され、定電流制御回路内に設けられた電流検出回路
（８）により異常電流を検出し、高圧直流電源（１）の
１次側Ｐを切り、異常時に放電を停止させる構成であっ
た。この場合は定電流制御回路（７）の電流検出回路
（８）を通じて流れた異常電流は検出できるが、ガスレ
ーザ装置の絶縁不良、短絡、第２図に示すようレーザ管
の接地などによる異常電流、過電流などは検出すること
ができず、異常電流、過電流により各部品及び構成回路
を損傷するとともに安全性に問題を有していた。
発明の目的 本発明は前記従来の欠点を除去するもので、定電流制御
回路または定電流制御回路を通らないガスレーザ装置内
の短絡事故、レーザ管の地絡などの異常電流、過電流も
検出し、高圧直流電源の１次側を切り、異常時に放電を
停止させることを目的とする。
回路または定電流制御回路を通らないガスレーザ装置内
の短絡事故、レーザ管の地絡などの異常電流、過電流も
検出し、高圧直流電源の１次側を切り、異常時に放電を
停止させることを目的とする。
発明の構成 そのための構成としては、本発明は、放電電流を供給す
る高圧直流電源にレーザ管を接続し、前記レーザ管のカ
ソードに電流検出回路を具備する定電流制御回路を接続
したガスレーザ装置において、電流検出用抵抗と直流電
磁リレーを並列に接続した異常電流検出回路を構成し、
前記高圧直流電源の２次側低圧端子側に、接続し定電流
制御回路または定電流制御回路を通らないガスレーザ装
置内の短絡事故、レーザ管の接地などの異常電流、過電
流も検出し、１次側を切るようにしたものである。
る高圧直流電源にレーザ管を接続し、前記レーザ管のカ
ソードに電流検出回路を具備する定電流制御回路を接続
したガスレーザ装置において、電流検出用抵抗と直流電
磁リレーを並列に接続した異常電流検出回路を構成し、
前記高圧直流電源の２次側低圧端子側に、接続し定電流
制御回路または定電流制御回路を通らないガスレーザ装
置内の短絡事故、レーザ管の接地などの異常電流、過電
流も検出し、１次側を切るようにしたものである。
この構成により、正常な定電流制御回路を介して流れた
過電流のみならず、定電流制御回路を介さない、短絡等
による異常電流、過電流も検出し、高圧直流電源を停止
することにより、各部品及び構成回路の損傷を防止する
ことができる。
過電流のみならず、定電流制御回路を介さない、短絡等
による異常電流、過電流も検出し、高圧直流電源を停止
することにより、各部品及び構成回路の損傷を防止する
ことができる。
実施例の説明 本発明のガスレーザ装置を図面に基いて説明する。
第３図に本発明のガスレーザ装置の一実施例を示す。図
において、第１図と同一符号は同一部品を示す。
において、第１図と同一符号は同一部品を示す。
図において、（９）は異常電流検出回路である。
本発明の異常電流検出回路の一実施例としての（９）は
第３図のように抵抗（10）と直流電磁リレー（11）を並
列に接続して構成する。定電流制御回路（７）の絶縁不
良、短絡レーザ管の接地などによる異常電流が流れた場
合、抵抗（10）を介して流れる異常電流によるインピー
ダンス電圧降下を直流電磁リレー（11）の動作電圧に設
定することにより、直流電磁リレーの接点を図示されて
いないが直流高圧電源（１）の１次側Ｐの動作シーケン
ス回路内に入れておくことにより、異常時にすみやかに
高圧直流電源（１）を切り、異常を検出し、放電停止を
することができる。本実施例では異常電流検出回路
（９）は電圧検出回路により構成されたが、変流器など
を用いることにより電流検出回路として構成することも
できる。
第３図のように抵抗（10）と直流電磁リレー（11）を並
列に接続して構成する。定電流制御回路（７）の絶縁不
良、短絡レーザ管の接地などによる異常電流が流れた場
合、抵抗（10）を介して流れる異常電流によるインピー
ダンス電圧降下を直流電磁リレー（11）の動作電圧に設
定することにより、直流電磁リレーの接点を図示されて
いないが直流高圧電源（１）の１次側Ｐの動作シーケン
ス回路内に入れておくことにより、異常時にすみやかに
高圧直流電源（１）を切り、異常を検出し、放電停止を
することができる。本実施例では異常電流検出回路
（９）は電圧検出回路により構成されたが、変流器など
を用いることにより電流検出回路として構成することも
できる。
電流検出回路８は地絡等の事故ではないがレーザ管内の
ガス混合比が異常をきたしたり、レーザ管内のガス圧が
変化することにより設定電流より多く流れ事故につなが
る危険性を防止するために異常電流検出回路と併用する
ことが必要である。
ガス混合比が異常をきたしたり、レーザ管内のガス圧が
変化することにより設定電流より多く流れ事故につなが
る危険性を防止するために異常電流検出回路と併用する
ことが必要である。
発明の効果 本発明によれば、正常な定電流制御回路を介して流れた
過電流のみならず、短絡などによる定電流制御回路を介
さない異常電流をも検出し、高圧直流電源の１次側電圧
を切り、高圧を停止することにより異常放電をすみやか
に停止させ、各部品及び構成回路の損傷をなくすことが
でき、安全で信頼性が高い、などの効果を生ずる。
過電流のみならず、短絡などによる定電流制御回路を介
さない異常電流をも検出し、高圧直流電源の１次側電圧
を切り、高圧を停止することにより異常放電をすみやか
に停止させ、各部品及び構成回路の損傷をなくすことが
でき、安全で信頼性が高い、などの効果を生ずる。
第１図は従来のガスレーザ装置における定電流回路を含
む回路図、第２図はレーザ管の接地状態を示す図、第３
図は本発明のガスレーザ装置の一実施例の回路図、第４
図は本発明の異常電流検出回路の一実施例図を示す。 1:高圧直流電源、2:レーザ管、3:アノード、4,5:抵抗、
6:カソード、7:定電流制御回路、8:電流検出回路、9:異
常電流検出回路、10:異常電流検出用抵抗、11:異常電流
検出用直流電磁リレー
む回路図、第２図はレーザ管の接地状態を示す図、第３
図は本発明のガスレーザ装置の一実施例の回路図、第４
図は本発明の異常電流検出回路の一実施例図を示す。 1:高圧直流電源、2:レーザ管、3:アノード、4,5:抵抗、
6:カソード、7:定電流制御回路、8:電流検出回路、9:異
常電流検出回路、10:異常電流検出用抵抗、11:異常電流
検出用直流電磁リレー
Claims (1)
- 【請求項１】放電電流を供給する高圧直流電源にレーザ
管を接続し、前記レーザ管のカソードに電流検出回路を
具備する定電流制御回路を接続したガスレーザ装置にお
いて、電流検出用抵抗と直流電磁リレーを並列に接続し
た異常電流検出回路を構成し、前記高圧直流電源の２次
側低圧端子側に、定電流制御回路または定電流制御回路
を通らないガスレーザ装置内の短絡事故、レーザ管の地
絡などの異常電流、過電流も検出し、１次側を切る前記
異常電流検出回路を接続したガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59016574A JPH07109912B2 (ja) | 1984-01-31 | 1984-01-31 | ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59016574A JPH07109912B2 (ja) | 1984-01-31 | 1984-01-31 | ガスレーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60160679A JPS60160679A (ja) | 1985-08-22 |
| JPH07109912B2 true JPH07109912B2 (ja) | 1995-11-22 |
Family
ID=11920055
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59016574A Expired - Lifetime JPH07109912B2 (ja) | 1984-01-31 | 1984-01-31 | ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07109912B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5093181B2 (ja) * | 2009-04-13 | 2012-12-05 | 三菱電機株式会社 | ガスレーザ発振器 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55160483A (en) * | 1979-05-31 | 1980-12-13 | Nippon Sekigaisen Kogyo Kk | Laser device |
| JPS58124283A (ja) * | 1982-01-20 | 1983-07-23 | Nec Corp | ガスレ−ザ装置 |
-
1984
- 1984-01-31 JP JP59016574A patent/JPH07109912B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60160679A (ja) | 1985-08-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4574324A (en) | Ground fault circuit interrupter | |
| JP3338587B2 (ja) | 漏電検出器 | |
| JPH07109912B2 (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JP3208868B2 (ja) | 電力供給システム | |
| US20250131812A1 (en) | Ion Pump Monitored Vacuum Interrupter | |
| JP3041449U (ja) | 電源切替器 | |
| JPH04105559A (ja) | 異常電圧保護回路 | |
| KR970005104Y1 (ko) | 과전류보호장치 및 이를 이용한 전원공급장치 | |
| JPS61208798A (ja) | Ｘ線高電圧装置 | |
| JPS5931309B2 (ja) | インバ−タ装置の並列運転保護方式 | |
| JPH03195320A (ja) | 電力供給装置 | |
| SU1001279A1 (ru) | Устройство дл дифференциальной защиты и узел контрол исправности съемных кассет защиты | |
| JPH0815668B2 (ja) | プラズマ切断装置 | |
| JPH0577896U (ja) | 放電灯点灯装置 | |
| JPH0514687Y2 (ja) | ||
| JPH06225447A (ja) | コンデンサバンクの保護装置 | |
| JPS6125325Y2 (ja) | ||
| KR840002083Y1 (ko) | 전류 제한 장치의 순간 정지회로 | |
| JPS60133976A (ja) | ア−ク溶接電源の安全装置 | |
| JPH01312613A (ja) | スイッチング電源回路 | |
| JPS59127579A (ja) | 並列冗長方式の電源装置 | |
| JPH0340576B2 (ja) | ||
| JPH06252470A (ja) | レーザ発振器 | |
| JPH0993952A (ja) | Ｐｗｍインバータ装置の保護方式 | |
| JPH0159822B2 (ja) |