JPH07110278A - 圧力伝送器 - Google Patents
圧力伝送器Info
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- JPH07110278A JPH07110278A JP25320693A JP25320693A JPH07110278A JP H07110278 A JPH07110278 A JP H07110278A JP 25320693 A JP25320693 A JP 25320693A JP 25320693 A JP25320693 A JP 25320693A JP H07110278 A JPH07110278 A JP H07110278A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】圧力伝送器のダイアフラム取付け部１０をダイ
ヤフラムの外周部に設け、その外側に、溝１１を設け
た。この溝１１の幅は、すきま腐食発生の限界すきま幅
より大きくした。また、ダイアフラム取付け部及びその
近傍に高耐食性の材料をめっき、スパッタ又は蒸着によ
り被覆してもよく、さらに、ダイアフラムの取付け部１
０をダイアフラムの外周部とその内側の２箇所に設けて
も良い。 【効果】上記構成を採ることにより、溝の中を測定流体
が流動できるため、すきま腐食の発生を長期間抑制する
ことができ、圧力伝送器の信頼性向上、寿命延長、低級
材料の使用によるコストダウン等に効果が期待できる。
ヤフラムの外周部に設け、その外側に、溝１１を設け
た。この溝１１の幅は、すきま腐食発生の限界すきま幅
より大きくした。また、ダイアフラム取付け部及びその
近傍に高耐食性の材料をめっき、スパッタ又は蒸着によ
り被覆してもよく、さらに、ダイアフラムの取付け部１
０をダイアフラムの外周部とその内側の２箇所に設けて
も良い。 【効果】上記構成を採ることにより、溝の中を測定流体
が流動できるため、すきま腐食の発生を長期間抑制する
ことができ、圧力伝送器の信頼性向上、寿命延長、低級
材料の使用によるコストダウン等に効果が期待できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、絶対圧又は２つの媒体
の圧力の差を測定して、その検出信号を伝送する圧力伝
送器に関する。
の圧力の差を測定して、その検出信号を伝送する圧力伝
送器に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧力伝送器は、ダイアフラムで受けた圧
力をセンサで検出し、センサで検出された電気信号を外
部へ伝送するものであり、絶対圧を測定するものと、２
つの媒体の圧力の差を、即ち差圧を測定するものがあ
る。例えば、特開平5-72073号公報に記載のようにダイ
アフラムで仕切られた受圧室と隔離室を導圧路で連結
し、導圧路にセンサを備えた構成のものが開示されてい
る。また、受圧部とダイアフラムの結合構造としては、
隔離室を形成する部材の一壁に円板状のダイアフラムの
外周部を溶接したものが一般的である。例えば、特公平
3-39624号公報に記載のように、ダイアフラムの外周部
にリングを設置してダイアフラムと被接合材とをリング
ごと溶接した構造が開示されている。
力をセンサで検出し、センサで検出された電気信号を外
部へ伝送するものであり、絶対圧を測定するものと、２
つの媒体の圧力の差を、即ち差圧を測定するものがあ
る。例えば、特開平5-72073号公報に記載のようにダイ
アフラムで仕切られた受圧室と隔離室を導圧路で連結
し、導圧路にセンサを備えた構成のものが開示されてい
る。また、受圧部とダイアフラムの結合構造としては、
隔離室を形成する部材の一壁に円板状のダイアフラムの
外周部を溶接したものが一般的である。例えば、特公平
3-39624号公報に記載のように、ダイアフラムの外周部
にリングを設置してダイアフラムと被接合材とをリング
ごと溶接した構造が開示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような従来技術の
圧力伝送器を海水環境及び塩素を含有する水溶液を取扱
う環境で使用する場合、ダイアフラムと受圧部の結合部
について細かな配慮が欠けているため、すきま腐食を発
生しやすい欠点があった。たとえば、結合部がダイアフ
ラムの外周部より若干内側の場合、ダイアフラムの外周
部にすきまが形成されすきま腐食を発生することがあっ
た。さらに、ダイアフラムの外周部はダイアフラムを設
置した受圧室の周辺部に位置するため、測定流体の流動
が少なく溶存成分の濃淡電池作用が起こりやすくなり、
すきま腐食を発生する場合があった。 特に、受圧部を
ステンレス鋼とした圧力伝送器を塩素が多く含有する水
溶液に用いた場合、短時間ですきま腐食を生じてしまう
という問題があった。そのため、定期、不定期の検査、
保守整備を行なわなければならず、機器の可動能率を低
下させ、ランニングコストを高くする欠点があった。
圧力伝送器を海水環境及び塩素を含有する水溶液を取扱
う環境で使用する場合、ダイアフラムと受圧部の結合部
について細かな配慮が欠けているため、すきま腐食を発
生しやすい欠点があった。たとえば、結合部がダイアフ
ラムの外周部より若干内側の場合、ダイアフラムの外周
部にすきまが形成されすきま腐食を発生することがあっ
た。さらに、ダイアフラムの外周部はダイアフラムを設
置した受圧室の周辺部に位置するため、測定流体の流動
が少なく溶存成分の濃淡電池作用が起こりやすくなり、
すきま腐食を発生する場合があった。 特に、受圧部を
ステンレス鋼とした圧力伝送器を塩素が多く含有する水
溶液に用いた場合、短時間ですきま腐食を生じてしまう
という問題があった。そのため、定期、不定期の検査、
保守整備を行なわなければならず、機器の可動能率を低
下させ、ランニングコストを高くする欠点があった。
【０００４】本発明の目的は、圧力伝送器のダイアフラ
ム結合部に発生しやすいすきま腐食を長期間防止し、高
寿命の圧力伝送器を提供することにある。
ム結合部に発生しやすいすきま腐食を長期間防止し、高
寿命の圧力伝送器を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的は、一壁がダイ
アフラムからなる受圧室一対と、受圧室のダイアフラム
を介して圧力が伝達される隔離室一対と、隔離室の圧力
を伝達する導圧路と導圧路に設け前記一対の受圧室の夫
々に伝達された圧力の差を電気信号として取りだすため
のセンサと、センサの信号を伝える伝達回路を備え、前
記ダイアフラムに印加された圧力の差を検出する差圧伝
送器において、前記受圧室のダイアフラム取付部の外周
側に、受圧室のダイアフラム取付部によって形成される
平面に対し掘り下げた空間部を設けることにより達成さ
れる。
アフラムからなる受圧室一対と、受圧室のダイアフラム
を介して圧力が伝達される隔離室一対と、隔離室の圧力
を伝達する導圧路と導圧路に設け前記一対の受圧室の夫
々に伝達された圧力の差を電気信号として取りだすため
のセンサと、センサの信号を伝える伝達回路を備え、前
記ダイアフラムに印加された圧力の差を検出する差圧伝
送器において、前記受圧室のダイアフラム取付部の外周
側に、受圧室のダイアフラム取付部によって形成される
平面に対し掘り下げた空間部を設けることにより達成さ
れる。
【０００６】前記空間部は前記平面方向の幅が受圧室及
び隔離室を形成する材料のすきま腐食発生の限界すきま
幅より大きくする。
び隔離室を形成する材料のすきま腐食発生の限界すきま
幅より大きくする。
【０００７】受圧室の内壁面又はダイアフラム外周部に
高耐食性の材料を被覆する。
高耐食性の材料を被覆する。
【０００８】高耐食性の材料はめっき、スパッタ又は蒸
着のいずれかにより被覆する。
着のいずれかにより被覆する。
【０００９】また上記目的は、一壁がダイアフラムから
なる受圧室一対と、受圧室のダイアフラムを介して圧力
が伝達される隔離室一対と、隔離室の圧力を伝達する導
圧路と導圧路に設け前記一対の受圧室の夫々に伝達され
た圧力の差を電気信号として取りだすためのセンサと、
センサの信号を伝える伝達回路を備え、前記ダイアフラ
ムに印加された圧力の差を検出する差圧伝送器におい
て、前記受圧室のダイアフラム取付部近傍に溝を設ける
ことにより達成される。
なる受圧室一対と、受圧室のダイアフラムを介して圧力
が伝達される隔離室一対と、隔離室の圧力を伝達する導
圧路と導圧路に設け前記一対の受圧室の夫々に伝達され
た圧力の差を電気信号として取りだすためのセンサと、
センサの信号を伝える伝達回路を備え、前記ダイアフラ
ムに印加された圧力の差を検出する差圧伝送器におい
て、前記受圧室のダイアフラム取付部近傍に溝を設ける
ことにより達成される。
【００１０】前記溝は、前記ダイアフラム取付け部の外
周側に設ける。
周側に設ける。
【００１１】前記溝の幅は、受圧室及び隔離室を形成す
る材料のすきま腐食発生の限界すきま幅より大きくす
る。
る材料のすきま腐食発生の限界すきま幅より大きくす
る。
【００１２】受圧室の内壁面又はダイアフラム外周部に
高耐食性の材料を被覆する。
高耐食性の材料を被覆する。
【００１３】高耐食性の材料はめっき、スパッタ又は蒸
着のいずれかにより被覆する。
着のいずれかにより被覆する。
【００１４】また、上記目的は、一壁がダイアフラムか
らなる受圧室一対と、受圧室のダイアフラムを介して圧
力が伝達される隔離室一対と、隔離室の圧力を伝達する
導圧路と導圧路に設け前記一対の受圧室の夫々に伝達さ
れた圧力の差を電気信号として取りだすためのセンサ
と、センサの信号を伝える伝達回路を備え、前記ダイア
フラムに印加された圧力の差を検出する差圧伝送器にお
いて、前記受圧室を構成するダイアフラムはダイアフラ
ムの外周部を接合し、前記受圧室のダイアフラム接合部
の外周側に、受圧室のダイアフラム取付部によって形成
される平面に対し掘り下げた空間部を設けることにより
達成される。
らなる受圧室一対と、受圧室のダイアフラムを介して圧
力が伝達される隔離室一対と、隔離室の圧力を伝達する
導圧路と導圧路に設け前記一対の受圧室の夫々に伝達さ
れた圧力の差を電気信号として取りだすためのセンサ
と、センサの信号を伝える伝達回路を備え、前記ダイア
フラムに印加された圧力の差を検出する差圧伝送器にお
いて、前記受圧室を構成するダイアフラムはダイアフラ
ムの外周部を接合し、前記受圧室のダイアフラム接合部
の外周側に、受圧室のダイアフラム取付部によって形成
される平面に対し掘り下げた空間部を設けることにより
達成される。
【００１５】また、上記目的は、一壁がダイアフラムか
らなる受圧室一対と、受圧室のダイアフラムを介して圧
力が伝達される隔離室一対と、隔離室の圧力を伝達する
導圧路と導圧路に設け前記一対の受圧室の夫々に伝達さ
れた圧力の差を電気信号として取りだすためのセンサ
と、センサの信号を伝える伝達回路を備え、前記ダイア
フラムに印加された圧力の差を検出する差圧伝送器にお
いて、前記受圧室を構成するダイアフラムはダイアフラ
ムの外周部と外周部の内周側を接合することにより達成
される。
らなる受圧室一対と、受圧室のダイアフラムを介して圧
力が伝達される隔離室一対と、隔離室の圧力を伝達する
導圧路と導圧路に設け前記一対の受圧室の夫々に伝達さ
れた圧力の差を電気信号として取りだすためのセンサ
と、センサの信号を伝える伝達回路を備え、前記ダイア
フラムに印加された圧力の差を検出する差圧伝送器にお
いて、前記受圧室を構成するダイアフラムはダイアフラ
ムの外周部と外周部の内周側を接合することにより達成
される。
【００１６】前記ダイアフラム外周部の内周側に設けた
接合部を複数個所に設ける。
接合部を複数個所に設ける。
【００１７】前記ダイアフラム外周部に設けた接合部の
外周側に、受圧室のダイアフラム取付部によって形成さ
れる平面に対し掘り下げた空間部を設ける。
外周側に、受圧室のダイアフラム取付部によって形成さ
れる平面に対し掘り下げた空間部を設ける。
【００１８】前記ダイアフラム外周部を接合後、接合部
の外周側に高エネルギービームを照射し、ダイアフラム
のはみ出し部を除去する。
の外周側に高エネルギービームを照射し、ダイアフラム
のはみ出し部を除去する。
【００１９】
【作用】受圧室のダイアフラム取付け部の外周側に空間
部または溝を設け、この空間部または溝の幅を受圧室又
は隔離室を形成する材料におけるすきま腐食発生の限界
すきま幅より大きくすることにより、ダイアフラムの取
付け部の近傍に流体が流れようになり、すきま腐食の原
因となる溶液中の溶存成分の濃淡電池作用を防ぐことが
できる。
部または溝を設け、この空間部または溝の幅を受圧室又
は隔離室を形成する材料におけるすきま腐食発生の限界
すきま幅より大きくすることにより、ダイアフラムの取
付け部の近傍に流体が流れようになり、すきま腐食の原
因となる溶液中の溶存成分の濃淡電池作用を防ぐことが
できる。
【００２０】また、受圧室の内壁面及びダイアフラムの
取付け部に高耐食性の材料をめっき、スパッタ又は蒸着
等により被覆することにより、各部材の耐食性を向上で
きるため、すきま腐食が生じても進行速度を著しく遅く
することができる。
取付け部に高耐食性の材料をめっき、スパッタ又は蒸着
等により被覆することにより、各部材の耐食性を向上で
きるため、すきま腐食が生じても進行速度を著しく遅く
することができる。
【００２１】ダイアフラムの取付け部を２重の溶接部で
形成することにより、または取付け部の少し外周側に再
びレーザビームを溶射することにより、受圧室と隔離室
との気密性が向上する。
形成することにより、または取付け部の少し外周側に再
びレーザビームを溶射することにより、受圧室と隔離室
との気密性が向上する。
【００２２】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１〜図８を用いて
詳細に説明する。
詳細に説明する。
【００２３】〔実施例１〕図１は本実施例の圧力伝送器
の断面図を示す。同図の圧力伝送器は、受圧カバー８、
ステンレス鋼からなる受圧部１に設けたダイアフラム６
により覆われた凹状部をからなる２つの隔離室２と一方
の隔離室に設置した圧力センサ４へ他方の隔離室の圧力
を導く導圧路３を形成し、２ケの受圧室５の差圧をセン
サ４で検出し、その検出値を外部に伝える伝達回路部７
から構成されている。受圧カバー８はＯリング９で密閉
されており、ダイアフラム６は外周が受圧部１に取付け
部１０により取付けられている。取付け部１０の近傍に
はすきま腐食を防止するための溝１１を設けている。こ
のような構成からなる本実施例の圧力伝送器は、ダイア
フラム６と受圧カバー８で構成される受圧室５に、それ
ぞれ大気圧及び測定流体の圧力を印加し、測定流体の圧
力に応じたセンサ４の抵抗値を検出して圧力を測定する
ものである。
の断面図を示す。同図の圧力伝送器は、受圧カバー８、
ステンレス鋼からなる受圧部１に設けたダイアフラム６
により覆われた凹状部をからなる２つの隔離室２と一方
の隔離室に設置した圧力センサ４へ他方の隔離室の圧力
を導く導圧路３を形成し、２ケの受圧室５の差圧をセン
サ４で検出し、その検出値を外部に伝える伝達回路部７
から構成されている。受圧カバー８はＯリング９で密閉
されており、ダイアフラム６は外周が受圧部１に取付け
部１０により取付けられている。取付け部１０の近傍に
はすきま腐食を防止するための溝１１を設けている。こ
のような構成からなる本実施例の圧力伝送器は、ダイア
フラム６と受圧カバー８で構成される受圧室５に、それ
ぞれ大気圧及び測定流体の圧力を印加し、測定流体の圧
力に応じたセンサ４の抵抗値を検出して圧力を測定する
ものである。
【００２４】図２に従来構造のダイアフラムと受圧部の
取付け部断面を示す。従来、ダイアフラム６は受圧部１
に高エネルギービーム等で溶接されており、取付け部
（以下、溶接部１０と記述）は変形の多いダイアフラム
外周部をさけ、溶接の信頼性を高めるためにダイアフラ
ム６最外周部より幾分内側（ダイアフラム中心側）の場
合がある。特に、ダイアフラム６の厚さが薄い場合、ダ
イアフラム６の固定治具や溶接部の信頼性を向上させる
ために、溶接部はダイアフラム６最外周部より内側の場
合が多い。この構造においては、図２のＡ部においてす
きま腐食が生じた。このような、すきま腐食を防止する
構造として、本実施例では図３のダイアフラムと受圧部
の取付け部断面に示すように、受圧部１のダイアフラム
溶接部の外側に溝１１を設けている。また、ダイヤフラ
ムの取付け部１０とは、ダイヤフラムの外周部に設けた
が、この取付け部はダイヤフラムの最外周部からその内
側に取り付け部の幅を含む範囲を言う。以下、溝１１の
効果につき検討した結果について説明する。
取付け部断面を示す。従来、ダイアフラム６は受圧部１
に高エネルギービーム等で溶接されており、取付け部
（以下、溶接部１０と記述）は変形の多いダイアフラム
外周部をさけ、溶接の信頼性を高めるためにダイアフラ
ム６最外周部より幾分内側（ダイアフラム中心側）の場
合がある。特に、ダイアフラム６の厚さが薄い場合、ダ
イアフラム６の固定治具や溶接部の信頼性を向上させる
ために、溶接部はダイアフラム６最外周部より内側の場
合が多い。この構造においては、図２のＡ部においてす
きま腐食が生じた。このような、すきま腐食を防止する
構造として、本実施例では図３のダイアフラムと受圧部
の取付け部断面に示すように、受圧部１のダイアフラム
溶接部の外側に溝１１を設けている。また、ダイヤフラ
ムの取付け部１０とは、ダイヤフラムの外周部に設けた
が、この取付け部はダイヤフラムの最外周部からその内
側に取り付け部の幅を含む範囲を言う。以下、溝１１の
効果につき検討した結果について説明する。
【００２５】溝の効果を検討するため図４に示す形状の
試験片１２を製作した。試験片１２は、オーステナイト
ステンレス鋼（ＳＵＳ３１６）からなる外径４０ｍｍ、
厚さ５ｍｍの円板の中央部に径２５ｍｍ、深さ２．５ｍ
ｍの凹状部を有し、直径２４ｍｍ、厚さ２０μｍのオー
ステナイト鋼製ダイアフラムを溶接した構造である。溝
は深さ、幅とも同寸法とし０〜１ｍｍの間を４段階に変
化させた。また、比較用として溝１１のない試験片も用
意した。これらの試験片を、塩化第２鉄水溶液中に３０
日浸漬した結果、従来構造、すなわち溝１１の無い試験
片のダイアフラム６の溶接部１０には図５に示すａ，
ｂ，ｃのようにコーナ部にすきま腐食を生じた。すきま
腐食領域は、浸漬時間が長くなるにともなって、同図ａ
ｂｃの順で増加した。しかし、図４に示す溝１１の有る
形状の試験片１２の場合、すきま腐食は全く発生しなか
った。本実施例の構造の試験片では、溝幅が０．５ｍｍ
以上の場合はすきま腐食を顕著に抑制することができ
た。すなわち、溝幅が０．５ｍｍ以上の場合はすきま腐
食の原因となる溶液中の溶存成分の濃淡作用を防ぐこと
ができ、すきま腐食の発生を抑制することが明らかとな
った。
試験片１２を製作した。試験片１２は、オーステナイト
ステンレス鋼（ＳＵＳ３１６）からなる外径４０ｍｍ、
厚さ５ｍｍの円板の中央部に径２５ｍｍ、深さ２．５ｍ
ｍの凹状部を有し、直径２４ｍｍ、厚さ２０μｍのオー
ステナイト鋼製ダイアフラムを溶接した構造である。溝
は深さ、幅とも同寸法とし０〜１ｍｍの間を４段階に変
化させた。また、比較用として溝１１のない試験片も用
意した。これらの試験片を、塩化第２鉄水溶液中に３０
日浸漬した結果、従来構造、すなわち溝１１の無い試験
片のダイアフラム６の溶接部１０には図５に示すａ，
ｂ，ｃのようにコーナ部にすきま腐食を生じた。すきま
腐食領域は、浸漬時間が長くなるにともなって、同図ａ
ｂｃの順で増加した。しかし、図４に示す溝１１の有る
形状の試験片１２の場合、すきま腐食は全く発生しなか
った。本実施例の構造の試験片では、溝幅が０．５ｍｍ
以上の場合はすきま腐食を顕著に抑制することができ
た。すなわち、溝幅が０．５ｍｍ以上の場合はすきま腐
食の原因となる溶液中の溶存成分の濃淡作用を防ぐこと
ができ、すきま腐食の発生を抑制することが明らかとな
った。
【００２６】この理由は、溝１１を設けることによりす
きま腐食の原因となる溶液中の溶存成分の濃淡作用を防
ぎすきま腐食の発生を抑制するためである。なお、すき
ま腐食の観点から、ダイアフラム６の溶接部１０は、す
きまを形成しないダイアフラム最外周部が好ましいとい
えるが、溶接部１０をダイアフラム６の最外周部より若
干内側にした場合でもすきま腐食の防止効果があること
を確認している。
きま腐食の原因となる溶液中の溶存成分の濃淡作用を防
ぎすきま腐食の発生を抑制するためである。なお、すき
ま腐食の観点から、ダイアフラム６の溶接部１０は、す
きまを形成しないダイアフラム最外周部が好ましいとい
えるが、溶接部１０をダイアフラム６の最外周部より若
干内側にした場合でもすきま腐食の防止効果があること
を確認している。
【００２７】さらに、材質を変化させた場合の溝１１の
大きさとすきま腐食の発生状況について検討した。材質
がＳＵＳ３０４ステンレス鋼のものを製作しＳＵＳ３１
６ステンレス鋼の試験片と同様の実験を行なった。その
結果、ＳＵＳ３０４ステンレス鋼はＳＵＳ３１６ステン
レス鋼に比べ、すきま腐食を防止するためには溝の大き
さは約２倍以上必要であるという結果が得られた。した
がって、溝１１の幅は受圧室及び隔離室を形成する材料
におけるすきま腐食発生の限界すきま幅より大きくする
ことにより、すきま腐食の発生を顕著に抑制できる。
大きさとすきま腐食の発生状況について検討した。材質
がＳＵＳ３０４ステンレス鋼のものを製作しＳＵＳ３１
６ステンレス鋼の試験片と同様の実験を行なった。その
結果、ＳＵＳ３０４ステンレス鋼はＳＵＳ３１６ステン
レス鋼に比べ、すきま腐食を防止するためには溝の大き
さは約２倍以上必要であるという結果が得られた。した
がって、溝１１の幅は受圧室及び隔離室を形成する材料
におけるすきま腐食発生の限界すきま幅より大きくする
ことにより、すきま腐食の発生を顕著に抑制できる。
【００２８】〔実施例２〕前記第１の実施例に示す試験
片（溝形状0.3,0.5,1.0mm）を用い受圧室の内壁面の全
域に高耐食性の材料であるＡｌ2Ｏ3をスパッタ法により
５μｍ被覆した試験片を製作した。この試験片を塩化第
２鉄水溶液中に浸漬して評価した。その結果、溝形状
０．３ｍｍの試験片においてもすきま腐食は認められず
良好な結果が得られた。
片（溝形状0.3,0.5,1.0mm）を用い受圧室の内壁面の全
域に高耐食性の材料であるＡｌ2Ｏ3をスパッタ法により
５μｍ被覆した試験片を製作した。この試験片を塩化第
２鉄水溶液中に浸漬して評価した。その結果、溝形状
０．３ｍｍの試験片においてもすきま腐食は認められず
良好な結果が得られた。
【００２９】以上、本実施例によれば、受圧部とダイア
フラムの溶接部の耐食性を著しく向上することができ、
圧力伝送器の信頼性向上、寿命延長、等に効果があっ
た。
フラムの溶接部の耐食性を著しく向上することができ、
圧力伝送器の信頼性向上、寿命延長、等に効果があっ
た。
【００３０】なお、本実施例では受圧室の内壁面の全域
に高耐食性の材料を被覆したが、ダイヤフラム面もしく
はダイヤフラムの取付け部付近のみに被覆しても同様の
効果が得られる。
に高耐食性の材料を被覆したが、ダイヤフラム面もしく
はダイヤフラムの取付け部付近のみに被覆しても同様の
効果が得られる。
【００３１】〔実施例３〕第３の実施例として、すきま
部を形成しない溶接部の構造について説明する。
部を形成しない溶接部の構造について説明する。
【００３２】本実施例では、ダイアフラム６の溶接部１
０の外周側にダイアフラムと接合部材（ＳＵＳ３１６）
との間にすきまを形成しないように、ダイアフラム６の
溶接部１０をダイアフラム６の最外周部含む２箇所に設
けた。図６乃至図８にダイアフラム６を接合部材に２箇
所で溶接する場合の溶接手順を示す。レーザ溶接法で溶
接する場合の例を説明する。溶接部材同志はできる限
り、密着していることが必要である。圧力伝送器に用い
るダイアフラムは薄いため受圧部１と密着させるため
に、図中に示すような押し付け治具１３を用い、まず、
図６のようにダイアフラム最外周部の若干内側部分を押
えた後、図７に示すように治具１３の内側近傍にレーザ
を溶射し、溶接部１０を形成する。次に図８に示すよう
に治具１３を除去しダイアフラムの最外周部分を溶接
し、接合部１０’を形成する。このように、２ヶ所の溶
接部１０、１０’を形成することにより、ダイアフラム
の最外周部にすきまの生じない接合が可能となる。この
ような構造について腐食評価を行った所、前記実施例１
と同様にダイアフラムの最外周部分には腐食は認められ
なかった。
０の外周側にダイアフラムと接合部材（ＳＵＳ３１６）
との間にすきまを形成しないように、ダイアフラム６の
溶接部１０をダイアフラム６の最外周部含む２箇所に設
けた。図６乃至図８にダイアフラム６を接合部材に２箇
所で溶接する場合の溶接手順を示す。レーザ溶接法で溶
接する場合の例を説明する。溶接部材同志はできる限
り、密着していることが必要である。圧力伝送器に用い
るダイアフラムは薄いため受圧部１と密着させるため
に、図中に示すような押し付け治具１３を用い、まず、
図６のようにダイアフラム最外周部の若干内側部分を押
えた後、図７に示すように治具１３の内側近傍にレーザ
を溶射し、溶接部１０を形成する。次に図８に示すよう
に治具１３を除去しダイアフラムの最外周部分を溶接
し、接合部１０’を形成する。このように、２ヶ所の溶
接部１０、１０’を形成することにより、ダイアフラム
の最外周部にすきまの生じない接合が可能となる。この
ような構造について腐食評価を行った所、前記実施例１
と同様にダイアフラムの最外周部分には腐食は認められ
なかった。
【００３３】
【発明の効果】本発明によれば、受圧室のダイアフラム
取付け部に設けた空間部及び溝によって測定流体が流動
しやすくなり、すきま腐食発生を防止できる。
取付け部に設けた空間部及び溝によって測定流体が流動
しやすくなり、すきま腐食発生を防止できる。
【００３４】また、すきま形成部に高耐食性の材料をめ
っき、スパッタ又は蒸着等によって被覆することにより
構成材料の耐食性が向上し、さらにすきま腐食発生を防
止できる。
っき、スパッタ又は蒸着等によって被覆することにより
構成材料の耐食性が向上し、さらにすきま腐食発生を防
止できる。
【００３５】その結果、圧力伝送器の信頼性向上、寿命
延長、低級材料の使用によるコストダウン等の効果があ
る。
延長、低級材料の使用によるコストダウン等の効果があ
る。
【図１】本発明による圧力伝送器の一実施例を示す断面
図である。
図である。
【図２】従来構造のダイアフラムと受圧部の取付け部の
断面図である。
断面図である。
【図３】本発明によるダイアフラムと受圧部の取付け部
の一実施例の断面である。
の一実施例の断面である。
【図４】すきま腐食試験片の断面図である。
【図５】すきま腐食状況を示す断面図である。
【図６】ダイアフラムの溶接部を２箇所とした場合の溶
接手順説明図である。
接手順説明図である。
【図７】ダイアフラムの溶接部を２箇所とした場合の溶
接手順説明図である。
接手順説明図である。
【図８】ダイアフラムの溶接部を２箇所とした場合の溶
接手順説明図である。
接手順説明図である。
１…受圧部，２…隔離室，３…導圧路，４…センサ，５
…受圧室，６…ダイアフラム，７…伝達回路，８…受圧
カバ，９…Ｏリング，１０…溶接部，１１…溝 １２…試験片，１３…治具。
…受圧室，６…ダイアフラム，７…伝達回路，８…受圧
カバ，９…Ｏリング，１０…溶接部，１１…溝 １２…試験片，１３…治具。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 長須 章 茨城県勝田市市毛882番地 株式会社日立 製作所計測機事業部内 (72)発明者 小野瀬 俊宏 茨城県勝田市市毛882番地 株式会社日立 製作所計測機事業部内
Claims (12)
- 【請求項１】一壁がダイアフラムからなる受圧室一対
と、受圧室のダイアフラムを介して圧力が伝達される隔
離室一対と、隔離室の圧力を伝達する導圧路と導圧路に
設け前記一対の受圧室の夫々に伝達された圧力の差を電
気信号として取りだすためのセンサと、センサの信号を
伝える伝達回路を備え、前記ダイアフラムに印加された
圧力の差を検出する差圧伝送器において、前記受圧室の
ダイアフラム取付部の外周側に、受圧室のダイアフラム
取付部によって形成される平面に対し掘り下げた空間部
を設けたことを特徴とする差圧伝送器。 - 【請求項２】請求項１において、前記空間部は前記平面
方向の幅が受圧室及び隔離室を形成する材料のすきま腐
食発生の限界すきま幅より大きくしたことを特徴とする
差圧伝送器。 - 【請求項３】一壁がダイアフラムからなる受圧室一対
と、受圧室のダイアフラムを介して圧力が伝達される隔
離室一対と、隔離室の圧力を伝達する導圧路と導圧路に
設け前記一対の受圧室の夫々に伝達された圧力の差を電
気信号として取りだすためのセンサと、センサの信号を
伝える伝達回路を備え、前記ダイアフラムに印加された
圧力の差を検出する差圧伝送器において、前記受圧室の
ダイアフラム取付部近傍に溝を設けたことを特徴とする
差圧伝送器。 - 【請求項４】請求項３において、前記溝は、前記ダイア
フラム取付け部の外周側に設けたことを特徴とする差圧
伝送器。 - 【請求項５】請求項３において、溝の幅は受圧室及び隔
離室を形成する材料のすきま腐食発生の限界すきま幅よ
り大きくしたことを特徴とする差圧伝送器。 - 【請求項６】請求項１乃至５のいずれかにおいて、受圧
室の内壁面又はダイアフラム外周部に高耐食性の材料を
被覆したことを特徴とする差圧伝送器。 - 【請求項７】請求項６において、前記高耐食性の材料は
めっき、スパッタ又は蒸着のいずれかにより被覆したこ
とを特徴とする差圧伝送器。 - 【請求項８】一壁がダイアフラムからなる受圧室一対
と、受圧室のダイアフラムを介して圧力が伝達される隔
離室一対と、隔離室の圧力を伝達する導圧路と導圧路に
設け前記一対の受圧室の夫々に伝達された圧力の差を電
気信号として取りだすためのセンサと、センサの信号を
伝える伝達回路を備え、前記ダイアフラムに印加された
圧力の差を検出する差圧伝送器において、前記受圧室を
構成するダイアフラムはダイアフラムの外周部を接合
し、前記受圧室のダイアフラム接合部の外周側に、受圧
室のダイアフラム取付部によって形成される平面に対し
掘り下げた空間部を設けたことを特徴とする差圧伝送
器。 - 【請求項９】一壁がダイアフラムからなる受圧室一対
と、受圧室のダイアフラムを介して圧力が伝達される隔
離室一対と、隔離室の圧力を伝達する導圧路と導圧路に
設け前記一対の受圧室の夫々に伝達された圧力の差を電
気信号として取りだすためのセンサと、センサの信号を
伝える伝達回路を備え、前記ダイアフラムに印加された
圧力の差を検出する差圧伝送器において、前記受圧室を
構成するダイアフラムはダイアフラムの外周部と外周部
の内周側を接合したことを特徴とする差圧伝送器。 - 【請求項１０】請求項９において、前記ダイアフラム外
周部の内周側に設けた接合部を複数個所に設けたことを
特徴とする差圧伝送器。 - 【請求項１１】請求項９または１０において、前記ダイ
アフラム外周部に設けた接合部の外周側に、受圧室のダ
イアフラム取付部によって形成される平面に対し掘り下
げた空間部を設けたことを特徴とする差圧伝送器。 - 【請求項１２】請求項９または１０において、前記ダイ
アフラム外周部を接合後、接合部の外周側に高エネルギ
ービームを照射し、ダイアフラムのはみ出し部を除去し
たことを特徴とする差圧伝送器。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05253206A JP3120640B2 (ja) | 1993-10-08 | 1993-10-08 | 圧力伝送器 |
| DE19944435909 DE4435909C2 (de) | 1993-10-08 | 1994-10-07 | Druckmeßvorrichtung mit einer Membran |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05253206A JP3120640B2 (ja) | 1993-10-08 | 1993-10-08 | 圧力伝送器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07110278A true JPH07110278A (ja) | 1995-04-25 |
| JP3120640B2 JP3120640B2 (ja) | 2000-12-25 |
Family
ID=17248034
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05253206A Expired - Fee Related JP3120640B2 (ja) | 1993-10-08 | 1993-10-08 | 圧力伝送器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3120640B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006112812A (ja) * | 2004-10-12 | 2006-04-27 | Tohoku Univ | 真空度測定構造，真空断熱パネル及び真空度測定方法，並びに真空度測定構造を備えた真空構造体及びその製造方法 |
| JP2013174449A (ja) * | 2012-02-23 | 2013-09-05 | Yokogawa Electric Corp | 差圧測定装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0539140U (ja) * | 1991-10-18 | 1993-05-25 | キヤノン株式会社 | 電気機器 |
| EP2449355B1 (en) * | 2009-07-01 | 2018-01-24 | ABB Schweiz AG | Pressure transmitter |
-
1993
- 1993-10-08 JP JP05253206A patent/JP3120640B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2006112812A (ja) * | 2004-10-12 | 2006-04-27 | Tohoku Univ | 真空度測定構造，真空断熱パネル及び真空度測定方法，並びに真空度測定構造を備えた真空構造体及びその製造方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3120640B2 (ja) | 2000-12-25 |
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