JPH0711028A - フッ素系樹脂被膜の形成方法 - Google Patents
フッ素系樹脂被膜の形成方法Info
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- JPH0711028A JPH0711028A JP15939693A JP15939693A JPH0711028A JP H0711028 A JPH0711028 A JP H0711028A JP 15939693 A JP15939693 A JP 15939693A JP 15939693 A JP15939693 A JP 15939693A JP H0711028 A JPH0711028 A JP H0711028A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 耐熱性高分子の表面をＯ2 、Ａｒ、Ｎ2 及び
ＣＦ4 ガスから選ばれる少なくとも１種類のガスで低温
プラズマ処理し、次いでフッ素系樹脂を塗布し、しかる
後熱処理することにより、耐熱性高分子の表面とフッ素
系樹脂被膜との間の接着力が高く、生産効率や製品の歩
留まりに優れた方法を提供する。 【構成】 耐熱性高分子としては例えばポリイミド等を
用いる。低温プラズマ処理は、室温〜１００℃の温度範
囲で、例えばＯ2 ガスを５０モル％以上またはＣＦ4 ガ
スを５０モル％以上含むガスを用い、装置内の圧力を
０．０１〜１０Torrとし、１３．５６ＭＨｚの高周波電
流を用い、５〜１０００Ｗの電力で処理する。次に、ポ
リテトラフルオロエチレン等のフッ素系樹脂を水分散液
または有機溶剤に溶解した形で塗布し、乾燥した後、好
ましくは２００〜４００℃の高温中で３０分から１時間
程度熱処理する。
ＣＦ4 ガスから選ばれる少なくとも１種類のガスで低温
プラズマ処理し、次いでフッ素系樹脂を塗布し、しかる
後熱処理することにより、耐熱性高分子の表面とフッ素
系樹脂被膜との間の接着力が高く、生産効率や製品の歩
留まりに優れた方法を提供する。 【構成】 耐熱性高分子としては例えばポリイミド等を
用いる。低温プラズマ処理は、室温〜１００℃の温度範
囲で、例えばＯ2 ガスを５０モル％以上またはＣＦ4 ガ
スを５０モル％以上含むガスを用い、装置内の圧力を
０．０１〜１０Torrとし、１３．５６ＭＨｚの高周波電
流を用い、５〜１０００Ｗの電力で処理する。次に、ポ
リテトラフルオロエチレン等のフッ素系樹脂を水分散液
または有機溶剤に溶解した形で塗布し、乾燥した後、好
ましくは２００〜４００℃の高温中で３０分から１時間
程度熱処理する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ポリイミド等の耐熱性
高分子の表面にフッ素系樹脂被膜を形成する方法に関す
る。さらに詳しくは、高分子の表面にフッ素系樹脂被膜
を形成する方法において、接着力が高く、生産効率や歩
留りにも優れた方法に関するものである。
高分子の表面にフッ素系樹脂被膜を形成する方法に関す
る。さらに詳しくは、高分子の表面にフッ素系樹脂被膜
を形成する方法において、接着力が高く、生産効率や歩
留りにも優れた方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から耐熱性高分子としては、ポリイ
ミドなどがよく知られている。ポリイミドは、電線被覆
材料、ケーブル結束材料、磁気記録媒体用ベースフィル
ム、または電気絶縁材料等として幅広く用いられてい
る。これらに用いられる理由として、耐熱性、電気特
性、機械的強度及び、寸法安定性などに優れており、ま
た低温から高温までの広い範囲にわたり、物理的及び化
学的に安定していることが挙げられる。しかし、耐摩耗
性、滑り性及び、離型性などの点においては不十分であ
り、例えば、摺動部で使用するためには、改良が必要で
ある。これらの点を改良する方法として、ポリイミドと
フッ素系樹脂との複合化が考えられ、現在ポリイミド成
形体表面にフッ素系樹脂を塗布し、乾燥、熱処理する方
法が知られている。一般に、フッ素系樹脂は表面エネル
ギーが小さいため、基体との接着性が極めて低く、両者
を直接強固に複合化するのは非常に困難であった。この
ため、接着力をあげる方法として、基体をプライマー等
で前処理した後、フッ素系樹脂を塗布する方法が一般的
に行われており、基体がポリイミドであっても同様であ
る。
ミドなどがよく知られている。ポリイミドは、電線被覆
材料、ケーブル結束材料、磁気記録媒体用ベースフィル
ム、または電気絶縁材料等として幅広く用いられてい
る。これらに用いられる理由として、耐熱性、電気特
性、機械的強度及び、寸法安定性などに優れており、ま
た低温から高温までの広い範囲にわたり、物理的及び化
学的に安定していることが挙げられる。しかし、耐摩耗
性、滑り性及び、離型性などの点においては不十分であ
り、例えば、摺動部で使用するためには、改良が必要で
ある。これらの点を改良する方法として、ポリイミドと
フッ素系樹脂との複合化が考えられ、現在ポリイミド成
形体表面にフッ素系樹脂を塗布し、乾燥、熱処理する方
法が知られている。一般に、フッ素系樹脂は表面エネル
ギーが小さいため、基体との接着性が極めて低く、両者
を直接強固に複合化するのは非常に困難であった。この
ため、接着力をあげる方法として、基体をプライマー等
で前処理した後、フッ素系樹脂を塗布する方法が一般的
に行われており、基体がポリイミドであっても同様であ
る。
【０００３】具体的には、まずポリイミド等の表面を必
要に応じて有機溶剤あるいは洗浄剤で洗浄した後乾燥さ
せる。次にプライマー液を表面にスプレー、ディッピン
グ、ロールコート、スピンコートあるいはバーコート等
の方法により所望の厚さになるように塗布する。その
後、塗布層中の水分あるいは有機溶剤を十分乾燥させた
後、１００〜１５０℃の雰囲気中で、３０分から１時間
程度熱処理し、プライマー層を形成させる。第二段階と
して、フッ素系樹脂を水分散液または有機溶剤に溶解し
た形でプライマー層の上に塗布し、スプレー、ディッピ
ング、ロールコート、スピンコートあるいはバーコート
等の方法により所望の厚さになるように塗布し、２００
〜４００℃の高温中で、３０分から１時間程度熱処理
し、フッ素系樹脂層を形成させる。
要に応じて有機溶剤あるいは洗浄剤で洗浄した後乾燥さ
せる。次にプライマー液を表面にスプレー、ディッピン
グ、ロールコート、スピンコートあるいはバーコート等
の方法により所望の厚さになるように塗布する。その
後、塗布層中の水分あるいは有機溶剤を十分乾燥させた
後、１００〜１５０℃の雰囲気中で、３０分から１時間
程度熱処理し、プライマー層を形成させる。第二段階と
して、フッ素系樹脂を水分散液または有機溶剤に溶解し
た形でプライマー層の上に塗布し、スプレー、ディッピ
ング、ロールコート、スピンコートあるいはバーコート
等の方法により所望の厚さになるように塗布し、２００
〜４００℃の高温中で、３０分から１時間程度熱処理
し、フッ素系樹脂層を形成させる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記の通り、従来技術
においては、高分子材料表面にある程度の接着力を持っ
たフッ素樹脂の被膜を形成するには、長い工程が必要に
なり、生産効率が低下し、接着力が不均一になるという
問題があった。更に、工程数に比例して、異物や汚れに
よるピンホールなどの欠陥も多く発生するようになり、
歩留まりの低下をきたしていた。
においては、高分子材料表面にある程度の接着力を持っ
たフッ素樹脂の被膜を形成するには、長い工程が必要に
なり、生産効率が低下し、接着力が不均一になるという
問題があった。更に、工程数に比例して、異物や汚れに
よるピンホールなどの欠陥も多く発生するようになり、
歩留まりの低下をきたしていた。
【０００５】本発明は前記従来の問題を解決するため、
ポリイミドなどに代表される耐熱性高分子の表面にフッ
素系樹脂被膜を形成する方法において、接着力が高く、
かつ生産効率や製品の歩留まりにも優れた新規な形成方
法を提供することを目的とする。
ポリイミドなどに代表される耐熱性高分子の表面にフッ
素系樹脂被膜を形成する方法において、接着力が高く、
かつ生産効率や製品の歩留まりにも優れた新規な形成方
法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の耐熱性高分子の表面にフッ素系樹脂被膜を
形成する方法は、耐熱性高分子の表面をＯ2 、Ａｒ、Ｎ
2 及びＣＦ4 ガスから選ばれる少なくとも１種類のガス
で低温プラズマ処理し、次いでフッ素系樹脂を塗布し、
しかる後、熱処理することを特徴とする。
め、本発明の耐熱性高分子の表面にフッ素系樹脂被膜を
形成する方法は、耐熱性高分子の表面をＯ2 、Ａｒ、Ｎ
2 及びＣＦ4 ガスから選ばれる少なくとも１種類のガス
で低温プラズマ処理し、次いでフッ素系樹脂を塗布し、
しかる後、熱処理することを特徴とする。
【０００７】前記本発明の構成においては、耐熱性高分
子がポリイミドであることが好ましい。また前記構成に
おいては、低温プラズマ処理時の雰囲気ガスが、Ｏ2 ガ
スを５０モル％以上、もしくはＣＦ4 ガスを５０モル％
以上を含むガスであることが好ましい。
子がポリイミドであることが好ましい。また前記構成に
おいては、低温プラズマ処理時の雰囲気ガスが、Ｏ2 ガ
スを５０モル％以上、もしくはＣＦ4 ガスを５０モル％
以上を含むガスであることが好ましい。
【０００８】また前記構成においては、フッ素系樹脂
が、ポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチ
レン−パーフルオロビニルエーテル共重合体、テトラフ
ルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体か
ら選ばれる少なくとも一つであることが好ましい。
が、ポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチ
レン−パーフルオロビニルエーテル共重合体、テトラフ
ルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体か
ら選ばれる少なくとも一つであることが好ましい。
【０００９】
【作用】前記した本発明の構成によれば、耐熱性高分子
の表面をＯ2 、Ａｒ、Ｎ2 及びＣＦ4 ガスから選ばれる
少なくとも１種類のガスで低温プラズマ処理し、次いで
フッ素系樹脂を塗布し、しかる後熱処理することによ
り、耐熱性高分子の表面とフッ素系樹脂被膜との間の接
着力が高く、生産効率や製品の歩留まりに優れた方法を
実現できる。すなわち、耐熱性高分子の表面を前記の低
温プラズマ処理するので、耐熱性高分子の表面が活性化
され、フッ素系樹脂被膜との間の接着力が大幅に改善さ
れる。また低温プラズマ処理は、従来のプライマー塗布
処理に比べて、操作が容易であり、処理効率の高いもの
となる。
の表面をＯ2 、Ａｒ、Ｎ2 及びＣＦ4 ガスから選ばれる
少なくとも１種類のガスで低温プラズマ処理し、次いで
フッ素系樹脂を塗布し、しかる後熱処理することによ
り、耐熱性高分子の表面とフッ素系樹脂被膜との間の接
着力が高く、生産効率や製品の歩留まりに優れた方法を
実現できる。すなわち、耐熱性高分子の表面を前記の低
温プラズマ処理するので、耐熱性高分子の表面が活性化
され、フッ素系樹脂被膜との間の接着力が大幅に改善さ
れる。また低温プラズマ処理は、従来のプライマー塗布
処理に比べて、操作が容易であり、処理効率の高いもの
となる。
【００１０】
【実施例】以下実施例を用いて本発明をさらに具体的に
説明する。本発明において、耐熱性高分子としては、２
００℃以上での熱処理に耐えうるだけの耐熱性を有して
いれば、特に限定されない。例えば、ポリイミド、ポリ
エーテルイミド、ポリエステルイミド、芳香族ポリアミ
ド、ポリアミドイミド、ポリパラバン酸、ポリフェニレ
ンスルフィルド、ポリスルホン、ポリエーテルスルホ
ン、ポリエーテルエーテルケトン等のものが用いられ
る。その形状としては、フィルム、シート及び、成型体
等特に限定されない。
説明する。本発明において、耐熱性高分子としては、２
００℃以上での熱処理に耐えうるだけの耐熱性を有して
いれば、特に限定されない。例えば、ポリイミド、ポリ
エーテルイミド、ポリエステルイミド、芳香族ポリアミ
ド、ポリアミドイミド、ポリパラバン酸、ポリフェニレ
ンスルフィルド、ポリスルホン、ポリエーテルスルホ
ン、ポリエーテルエーテルケトン等のものが用いられ
る。その形状としては、フィルム、シート及び、成型体
等特に限定されない。
【００１１】プラズマ処理は減圧とガス導入が可能で、
放電用の電極と電力供給源を有した低温プラズマ装置内
で行われる。無機ガスの種類としては、Ｏ2 、Ａｒ、Ｎ
2 、Ｈｅ、空気、ＣＯ、ＣＯ2 もしくはＣＦ4 等の単
体、またはそれらの混合したガスを用いることが出来
る。そのうちでもＯ2 ガスを５０モル％以上またはＣＦ
4ガスを５０モル％以上含むガスが好ましい。装置内の
圧力は、ガス種によっても異なるが、０．０１から１０
Torr、好ましくは０．１〜５Torrの範囲で処理が行われ
る。一般に、０．５〜２Torrの範囲において一定圧力に
保って処理することにより、より一層良好な結果が得ら
れる。
放電用の電極と電力供給源を有した低温プラズマ装置内
で行われる。無機ガスの種類としては、Ｏ2 、Ａｒ、Ｎ
2 、Ｈｅ、空気、ＣＯ、ＣＯ2 もしくはＣＦ4 等の単
体、またはそれらの混合したガスを用いることが出来
る。そのうちでもＯ2 ガスを５０モル％以上またはＣＦ
4ガスを５０モル％以上含むガスが好ましい。装置内の
圧力は、ガス種によっても異なるが、０．０１から１０
Torr、好ましくは０．１〜５Torrの範囲で処理が行われ
る。一般に、０．５〜２Torrの範囲において一定圧力に
保って処理することにより、より一層良好な結果が得ら
れる。
【００１２】本発明の放電方式は、容量結合型、誘導結
合型のいずれであってもよく、また、内部電極、外部電
極のいずれであってもよい。電極形式としても特に制限
はなく、平行平板型、コイル型、シリンダー型、または
リング型等のいずれであってもよい。なお、放電周波数
帯としては、高周波、ラジオ波、マイクロ波または直流
電流等を用いることが出来る。好ましくは、１０ｋＨｚ
から１００ＭＨｚの周波数を有する電流を用いるとよ
い。一般には、１３．５６ＭＨｚの高周波電流が用いら
れる。放電電力においても、特に制限はないが、ガス
種、圧力、装置、放電方式等によって適切に選ぶ必要が
ある。一例としては、５〜１０００Ｗが挙げられるが、
１０から５００Ｗが好ましく、そのうち、５０〜２００
Ｗが好適である。一般に、電力が弱すぎると、表面改質
に必要なエネルギーが供給されず、かつプラズマの状態
も悪いため、十分な表面処理が行われない。逆に強い電
力のもとでは、高分子表面が分解し、接着力が低下する
ことがあるので注意が必要である。処理時間についても
条件によって、適切に選ぶ必要がある。一般的には、処
理時間が長いほど接着力も高くなるが、ある一定時間以
上になるとほぼ飽和状態となる場合が多い。処理時の高
分子の温度についても、特に制限はないが、一般には、
室温（約２５℃）〜１００℃位が用いられる。これらの
条件は、お互いに関連しており、耐熱性高分子やガスの
組成によって、それぞれ最適な条件を組み合わせる必要
がある。
合型のいずれであってもよく、また、内部電極、外部電
極のいずれであってもよい。電極形式としても特に制限
はなく、平行平板型、コイル型、シリンダー型、または
リング型等のいずれであってもよい。なお、放電周波数
帯としては、高周波、ラジオ波、マイクロ波または直流
電流等を用いることが出来る。好ましくは、１０ｋＨｚ
から１００ＭＨｚの周波数を有する電流を用いるとよ
い。一般には、１３．５６ＭＨｚの高周波電流が用いら
れる。放電電力においても、特に制限はないが、ガス
種、圧力、装置、放電方式等によって適切に選ぶ必要が
ある。一例としては、５〜１０００Ｗが挙げられるが、
１０から５００Ｗが好ましく、そのうち、５０〜２００
Ｗが好適である。一般に、電力が弱すぎると、表面改質
に必要なエネルギーが供給されず、かつプラズマの状態
も悪いため、十分な表面処理が行われない。逆に強い電
力のもとでは、高分子表面が分解し、接着力が低下する
ことがあるので注意が必要である。処理時間についても
条件によって、適切に選ぶ必要がある。一般的には、処
理時間が長いほど接着力も高くなるが、ある一定時間以
上になるとほぼ飽和状態となる場合が多い。処理時の高
分子の温度についても、特に制限はないが、一般には、
室温（約２５℃）〜１００℃位が用いられる。これらの
条件は、お互いに関連しており、耐熱性高分子やガスの
組成によって、それぞれ最適な条件を組み合わせる必要
がある。
【００１３】次に、プラズマ処理を行った耐熱性高分子
の表面にフッ素系樹脂の塗布が行われる。ここで、フッ
素系樹脂としては特に限定しないが、ポリテトラフルオ
ロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリフ
ッ化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、テトラフルオロエ
チレン−パーフルオロプロピレン共重合体、あるいは、
クロロトリフルオロエチレン−フッ化ビニリデン共重合
体を用いることが出来る。これらのフッ素系樹脂は、水
分散液または有機溶剤に溶解した形で用いられる。これ
らの塗布方法としては、スプレー、ディッピング、ロー
ルコート、スピンコートまたはバーコート等が挙げられ
る。上記のいずれかの方法により、所望の厚さになるよ
うに塗布し、塗布中の水分または有機溶剤を乾燥した
後、高温中で熱処理し、フッ素樹脂層を形成させる。熱
処理条件としては、フッ素系樹脂の熱処理が十分であ
り、かつ、耐熱性高分子および、フッ素系樹脂層の変形
や分解が起こらない範囲なら特に限定しないが、２００
℃以上の高温中で、３０分以上、好ましくは２００〜４
００℃の高温中で、３０分から１時間程度熱処理するの
がよい。
の表面にフッ素系樹脂の塗布が行われる。ここで、フッ
素系樹脂としては特に限定しないが、ポリテトラフルオ
ロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリフ
ッ化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、テトラフルオロエ
チレン−パーフルオロプロピレン共重合体、あるいは、
クロロトリフルオロエチレン−フッ化ビニリデン共重合
体を用いることが出来る。これらのフッ素系樹脂は、水
分散液または有機溶剤に溶解した形で用いられる。これ
らの塗布方法としては、スプレー、ディッピング、ロー
ルコート、スピンコートまたはバーコート等が挙げられ
る。上記のいずれかの方法により、所望の厚さになるよ
うに塗布し、塗布中の水分または有機溶剤を乾燥した
後、高温中で熱処理し、フッ素樹脂層を形成させる。熱
処理条件としては、フッ素系樹脂の熱処理が十分であ
り、かつ、耐熱性高分子および、フッ素系樹脂層の変形
や分解が起こらない範囲なら特に限定しないが、２００
℃以上の高温中で、３０分以上、好ましくは２００〜４
００℃の高温中で、３０分から１時間程度熱処理するの
がよい。
【００１４】以上の方法により得られる高分子材料で
は、プライマーを用いた従来の方法と比較して、より高
い接着力が達成されると共に、塗布、乾燥工程が半減さ
れることにより、生産効率の向上、及び、歩留まりの向
上も図ることができる。次に、具体的な実施例を挙げ
る。
は、プライマーを用いた従来の方法と比較して、より高
い接着力が達成されると共に、塗布、乾燥工程が半減さ
れることにより、生産効率の向上、及び、歩留まりの向
上も図ることができる。次に、具体的な実施例を挙げ
る。
【００１５】（実施例１〜１４）表１に示す各々の耐熱
性高分子を、平行平板電極を有する内部電極型の真空装
置の反応層内のアノード側にセットし、装置内を５×１
０-5Torrまで排気した後、それぞれ（表１）に示す条件
で低温プラズマ処理を行った。
性高分子を、平行平板電極を有する内部電極型の真空装
置の反応層内のアノード側にセットし、装置内を５×１
０-5Torrまで排気した後、それぞれ（表１）に示す条件
で低温プラズマ処理を行った。
【００１６】
【表１】
【００１７】（比較例１）プラズマ処理を施さない以外
は、実施例３と同様の実験を行った。 （比較例２）プラズマ処理の代わりに以下のようなプラ
イマー処理を行う以外は、実施例３と同様の実験を行っ
た。 （１）プライマー処理 ポリフロンＥＫ−１９０８ＧＹ（ダイキン社製）を表面
にバーコート法により厚さ約３μｍになるように塗布し
た。その後、塗布層中の水分及び／または有機溶剤を十
分乾燥させた後、１３０℃の雰囲気中で、１時間熱処理
し、プライマー層を形成させた。
は、実施例３と同様の実験を行った。 （比較例２）プラズマ処理の代わりに以下のようなプラ
イマー処理を行う以外は、実施例３と同様の実験を行っ
た。 （１）プライマー処理 ポリフロンＥＫ−１９０８ＧＹ（ダイキン社製）を表面
にバーコート法により厚さ約３μｍになるように塗布し
た。その後、塗布層中の水分及び／または有機溶剤を十
分乾燥させた後、１３０℃の雰囲気中で、１時間熱処理
し、プライマー層を形成させた。
【００１８】（比較例３）プラズマ処理を施さない以外
は、実施例１２と同様の実験を行った。 （比較例４）プラズマ処理の代わりに比較例２と同様な
プライマー処理を行う以外は、実施例１２と同様の実験
を行った。
は、実施例１２と同様の実験を行った。 （比較例４）プラズマ処理の代わりに比較例２と同様な
プライマー処理を行う以外は、実施例１２と同様の実験
を行った。
【００１９】実施例１〜１４及び、比較例１〜４のよう
に処理した後、耐熱性高分子の表面に表１に示すフッ素
系樹脂の水または有機溶剤の分散液をバーコート法によ
り厚さ約１０μｍになるように塗布した。その後、塗布
層中の水分または有機溶剤を十分乾燥させた後、３３０
℃の雰囲気中で、１時間熱処理し、フッ素系樹脂被膜を
形成させた。
に処理した後、耐熱性高分子の表面に表１に示すフッ素
系樹脂の水または有機溶剤の分散液をバーコート法によ
り厚さ約１０μｍになるように塗布した。その後、塗布
層中の水分または有機溶剤を十分乾燥させた後、３３０
℃の雰囲気中で、１時間熱処理し、フッ素系樹脂被膜を
形成させた。
【００２０】作成したサンプルの接着力を評価する方法
として、耐熱性高分子とフッ素系樹脂被膜との界面にお
ける剥離強度と鉛筆硬度を以下のように測定した。 （１）剥離強度の測定 フッ素系樹脂被膜の上に表面をきれいに洗浄したＰＦＡ
フィルム１００μｍ（東レ社製）を重ね、４００℃に加
熱した熱プレスロールを用いて、５００ｍｍ／ｍｉｎの
スピードで約１０ｋｇｆの線圧をかけ、高分子材料とＰ
ＦＡフィルムとを加熱圧着した。このシートから巾１０
ｍｍ、長さ１５０ｍｍの試験片を切りだし、高分子材料
がフィルムの場合は、Ｔ型剥離試験を行った。各々につ
き５点平均し剥離強度を求めた。 （２）鉛筆硬度の測定 鉛筆硬度試験機５５３（安田精機社製）を用い、角度６
０゜、荷重５００ｇｆに設定し、フッ素系樹脂被膜の上
を一定速度で約５ｍｍ位移動させ、評価は５回のうち４
回以上剥がれない場合について平均的硬度として求め
た。剥がれたかどうかを判断するため、光学顕微鏡を用
いた。
として、耐熱性高分子とフッ素系樹脂被膜との界面にお
ける剥離強度と鉛筆硬度を以下のように測定した。 （１）剥離強度の測定 フッ素系樹脂被膜の上に表面をきれいに洗浄したＰＦＡ
フィルム１００μｍ（東レ社製）を重ね、４００℃に加
熱した熱プレスロールを用いて、５００ｍｍ／ｍｉｎの
スピードで約１０ｋｇｆの線圧をかけ、高分子材料とＰ
ＦＡフィルムとを加熱圧着した。このシートから巾１０
ｍｍ、長さ１５０ｍｍの試験片を切りだし、高分子材料
がフィルムの場合は、Ｔ型剥離試験を行った。各々につ
き５点平均し剥離強度を求めた。 （２）鉛筆硬度の測定 鉛筆硬度試験機５５３（安田精機社製）を用い、角度６
０゜、荷重５００ｇｆに設定し、フッ素系樹脂被膜の上
を一定速度で約５ｍｍ位移動させ、評価は５回のうち４
回以上剥がれない場合について平均的硬度として求め
た。剥がれたかどうかを判断するため、光学顕微鏡を用
いた。
【００２１】実施例１〜１０及び、比較例１〜４のよう
にして作成したサンプルの評価結果を（表２〜３）に示
した。
にして作成したサンプルの評価結果を（表２〜３）に示
した。
【００２２】
【表２】
【００２３】
【表３】
【００２４】前記（表２〜３）から明らかな通り、本発
明の実施例品は剥離強度が高く、かつ鉛筆硬度も高く、
接着力に優れていることが確認できた。
明の実施例品は剥離強度が高く、かつ鉛筆硬度も高く、
接着力に優れていることが確認できた。
【００２５】
【発明の効果】以上説明した通り本発明によれば、耐熱
性高分子の表面をプラズマ処理することにより、フッ素
樹脂との接着力に優れた高分子材料が得られた。また、
従来法と比較して、接着力が大幅に向上しており、かつ
生産効率及び、製品の歩留まりも改善された。本発明の
高分子材料は、耐熱性及び離型性が要求される電器、電
子および情報機器用部品等の材料などとして有用なもの
である。
性高分子の表面をプラズマ処理することにより、フッ素
樹脂との接着力に優れた高分子材料が得られた。また、
従来法と比較して、接着力が大幅に向上しており、かつ
生産効率及び、製品の歩留まりも改善された。本発明の
高分子材料は、耐熱性及び離型性が要求される電器、電
子および情報機器用部品等の材料などとして有用なもの
である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 谷 庸治 滋賀県大津市一里山５丁目13番13号 株式 会社アイ・エス・テイ内
Claims (4)
- 【請求項１】 耐熱性高分子の表面にフッ素系樹脂被膜
を形成する方法において、耐熱性高分子の表面をＯ2 、
Ａｒ、Ｎ2 及びＣＦ4 ガスから選ばれる少なくとも１種
類のガスで低温プラズマ処理し、次いでフッ素系樹脂を
塗布し、しかる後、熱処理することを特徴とするフッ素
系樹脂被膜の形成方法。 - 【請求項２】 耐熱性高分子がポリイミドである請求項
１に記載のフッ素系樹脂被膜の形成方法。 - 【請求項３】 低温プラズマ処理時の雰囲気ガスが、Ｏ
2 ガスを５０モル％以上、もしくはＣＦ4 ガスを５０モ
ル％以上を含むガスである請求項１に記載のフッ素系樹
脂被膜の形成方法。 - 【請求項４】 フッ素系樹脂が、ポリテトラフルオロエ
チレン、テトラフルオロエチレン−パーフルオロビニル
エーテル共重合体、テトラフルオロエチレン−ヘキサフ
ルオロプロピレン共重合体から選ばれる少なくとも一つ
である請求項１に記載のフッ素系樹脂被膜の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15939693A JPH0711028A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | フッ素系樹脂被膜の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15939693A JPH0711028A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | フッ素系樹脂被膜の形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0711028A true JPH0711028A (ja) | 1995-01-13 |
Family
ID=15692869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15939693A Pending JPH0711028A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | フッ素系樹脂被膜の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0711028A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013023590A (ja) * | 2011-07-21 | 2013-02-04 | Teijin Ltd | 高絶縁性フィルム |
| WO2013125468A1 (ja) * | 2012-02-22 | 2013-08-29 | 旭硝子株式会社 | 含フッ素共重合体組成物、成型品および電線 |
| JPWO2014083662A1 (ja) * | 2012-11-29 | 2017-01-05 | 国立大学法人岐阜大学 | 成形用治具の製造方法 |
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-
1993
- 1993-06-29 JP JP15939693A patent/JPH0711028A/ja active Pending
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| CN119601581A (zh) * | 2024-11-20 | 2025-03-11 | 湖北亿纬动力有限公司 | 正极极片及其制备方法和电池 |
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