JPH07110970A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPH07110970A JPH07110970A JP25826693A JP25826693A JPH07110970A JP H07110970 A JPH07110970 A JP H07110970A JP 25826693 A JP25826693 A JP 25826693A JP 25826693 A JP25826693 A JP 25826693A JP H07110970 A JPH07110970 A JP H07110970A
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- layer
- magneto
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Abstract
(57)【要約】
【目的】光パルスのパワーレベルおよび/またはパルス
幅の変調により、磁壁移動型のダイレクトオーバーライ
トが可能な光磁気記録媒体において、ダイレクトオーバ
ーライト時の消去動作を改善し、C/Nを向上させる。 【構成】透明基板1上に、第1磁性層3と第2磁性層4
とからなる記録層をこの順に設け、さらに金属反射層6
を記録層の光入射側とは反対の側に設ける。第1磁性層
3は希土類遷移金属非晶質合金であり、かつ磁化容易軸
は膜面に対して垂直であり、さらに膜厚は10〜50nmで
あり、その上さらに補償温度は室温以上。第2磁性層4
はCoおよび/またはFeからなる成分と希土類金属および
/または貴金属からなる成分との合金、あるいはTi、
V、Cr、Mn、Cu、Zn、Ga、Geから選ばれた少なくとも一
つ以上とCoとからなる合金であり、かつ磁化容易軸は膜
面に対して平行であり、さらに膜厚は3 nm以下。
幅の変調により、磁壁移動型のダイレクトオーバーライ
トが可能な光磁気記録媒体において、ダイレクトオーバ
ーライト時の消去動作を改善し、C/Nを向上させる。 【構成】透明基板1上に、第1磁性層3と第2磁性層4
とからなる記録層をこの順に設け、さらに金属反射層6
を記録層の光入射側とは反対の側に設ける。第1磁性層
3は希土類遷移金属非晶質合金であり、かつ磁化容易軸
は膜面に対して垂直であり、さらに膜厚は10〜50nmで
あり、その上さらに補償温度は室温以上。第2磁性層4
はCoおよび/またはFeからなる成分と希土類金属および
/または貴金属からなる成分との合金、あるいはTi、
V、Cr、Mn、Cu、Zn、Ga、Geから選ばれた少なくとも一
つ以上とCoとからなる合金であり、かつ磁化容易軸は膜
面に対して平行であり、さらに膜厚は3 nm以下。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザー等の光により
情報の記録、再生、消去等を行なう光磁気記録媒体に関
する。さらに詳細には、バイアス磁界の方向および大き
さを変えることなく、光パルスのパワーレベルおよび/
またはパルス幅の変調のみにより情報のダイレクトオー
バーライトを行なう光磁気記録媒体に関する。
情報の記録、再生、消去等を行なう光磁気記録媒体に関
する。さらに詳細には、バイアス磁界の方向および大き
さを変えることなく、光パルスのパワーレベルおよび/
またはパルス幅の変調のみにより情報のダイレクトオー
バーライトを行なう光磁気記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】光記録媒体は、高密度、大容量の情報記
録媒体として種々の研究開発が行なわれている。特に、
情報の消去可能な光磁気記録媒体は応用分野が広く、種
々の材料、システムが発表されており、すでに実用化が
始まっている。
録媒体として種々の研究開発が行なわれている。特に、
情報の消去可能な光磁気記録媒体は応用分野が広く、種
々の材料、システムが発表されており、すでに実用化が
始まっている。
【0003】ところでフロッピーディスク、ハードディ
スク等の記録媒体と光磁気記録媒体とを特性面で比較し
たとき、光磁気記録媒体の大きな欠点は、記録済の古い
情報を消去しつつ新しい情報の書き込み記録を行うダイ
レクトオーバーライト(直接重ね書き)が難しいという
点である。
スク等の記録媒体と光磁気記録媒体とを特性面で比較し
たとき、光磁気記録媒体の大きな欠点は、記録済の古い
情報を消去しつつ新しい情報の書き込み記録を行うダイ
レクトオーバーライト(直接重ね書き)が難しいという
点である。
【0004】光磁気記録媒体のダイレクトオーバーライ
ト技術としては、これまでにも種々の方式が提案されて
いる。それらの中でも、特開平1-251357号公報、J. App
l. Phys. Vol.63 No.8 (1988) 3844、IEEE Trans. Mag
n. Vol.23 No.1(1987) 171 、Appl. Phys. Lett. Vol.4
9 No.8 (1986) 473、IEEE Trans. Magn. Vol.25 No.5(1
989) 3530 、J. Appl. Phys. Vol.69 No.8 (1991) 4967
等に記載のごとく、レーザ光照射により昇温された磁壁
境界領域の一部において、正味残留磁化の方向を自己反
転できる自己反転可能な光磁気記録層を用い、バイアス
磁界の方向および大きさを変えることなく、光パルスの
パワーレベルおよび/またはパルス幅を消去レベルと書
き込みレベルとに変調させることにより、ダイレクトオ
ーバーライトを行なう方式は、現在市販が開始されてい
る光磁気記録装置に比べ、光学系、磁石等の大幅な変更
がなく、将来技術として最も注目される方式である。
ト技術としては、これまでにも種々の方式が提案されて
いる。それらの中でも、特開平1-251357号公報、J. App
l. Phys. Vol.63 No.8 (1988) 3844、IEEE Trans. Mag
n. Vol.23 No.1(1987) 171 、Appl. Phys. Lett. Vol.4
9 No.8 (1986) 473、IEEE Trans. Magn. Vol.25 No.5(1
989) 3530 、J. Appl. Phys. Vol.69 No.8 (1991) 4967
等に記載のごとく、レーザ光照射により昇温された磁壁
境界領域の一部において、正味残留磁化の方向を自己反
転できる自己反転可能な光磁気記録層を用い、バイアス
磁界の方向および大きさを変えることなく、光パルスの
パワーレベルおよび/またはパルス幅を消去レベルと書
き込みレベルとに変調させることにより、ダイレクトオ
ーバーライトを行なう方式は、現在市販が開始されてい
る光磁気記録装置に比べ、光学系、磁石等の大幅な変更
がなく、将来技術として最も注目される方式である。
【0005】記録膜を垂直磁化膜と面内磁化膜の2 層で
構成する技術は、これまでにも提案されている。その目
的の一つは記録磁場感度の向上であった(特開平2-2478
46号公報、日本応用磁気学会第73回研究会資料53. 、特
開平4-370550号公報)。
構成する技術は、これまでにも提案されている。その目
的の一つは記録磁場感度の向上であった(特開平2-2478
46号公報、日本応用磁気学会第73回研究会資料53. 、特
開平4-370550号公報)。
【0006】そして磁壁移動型のダイレクトオーバーラ
イト媒体に面内磁化膜が用いられた場合の目的は、最適
な膜厚が5 〜20nmで面内磁化膜としてパーマロイ合
金、イオン注入層、表面酸化層および表面結晶化層を用
い、ブロッホラインの発生を抑止すること(特開昭63-2
41739 号公報)であった。この目的の構成のためには該
面内磁化膜の最適膜厚は前述の通り5 〜20nmと厚く、
また2 nm以下ではブロッホライン抑制の効果が無いと
記載されている。
イト媒体に面内磁化膜が用いられた場合の目的は、最適
な膜厚が5 〜20nmで面内磁化膜としてパーマロイ合
金、イオン注入層、表面酸化層および表面結晶化層を用
い、ブロッホラインの発生を抑止すること(特開昭63-2
41739 号公報)であった。この目的の構成のためには該
面内磁化膜の最適膜厚は前述の通り5 〜20nmと厚く、
また2 nm以下ではブロッホライン抑制の効果が無いと
記載されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、実際に
前述の従来方式によるダイレクトオーバーライトの確認
試験を行なった。その際用いた媒体は、直径130 mm、
厚さ1.2 mmで、1.6 μmピッチのスパイラル状のグル
ーブを有するポリカーボネイト樹脂(PC)基板上に、
まず透明誘電体であるAlSiN膜(膜厚120 nm)を形成
し、その後逆スパッタを10nm行う。
前述の従来方式によるダイレクトオーバーライトの確認
試験を行なった。その際用いた媒体は、直径130 mm、
厚さ1.2 mmで、1.6 μmピッチのスパイラル状のグル
ーブを有するポリカーボネイト樹脂(PC)基板上に、
まず透明誘電体であるAlSiN膜(膜厚120 nm)を形成
し、その後逆スパッタを10nm行う。
【0008】そして、前述の自己反転可能な光磁気記録
層として、(Gd25Tb75)24(Fe90Co10) 76(添字は原子%に
よる組成を示す)の希土類遷移金属非晶質合金磁性薄膜
(膜厚25nm)を形成し、その上に透明誘電体であるAl
SiN膜(膜厚40nm)を設け、反射膜としてAlAuTi膜
(膜厚60nm)用いた構成のものである。
層として、(Gd25Tb75)24(Fe90Co10) 76(添字は原子%に
よる組成を示す)の希土類遷移金属非晶質合金磁性薄膜
(膜厚25nm)を形成し、その上に透明誘電体であるAl
SiN膜(膜厚40nm)を設け、反射膜としてAlAuTi膜
(膜厚60nm)用いた構成のものである。
【0009】つづいて、上述の媒体のダイレクトオーバ
ーライト動作の試験を行なった。評価用ドライブに設置
した媒体の回転速度は、半径30mmの位置にて線速度1
1.3m/秒とした。記録と消去は、ビットの記録方向に3
50Oe の大きさの外部バイアス磁界を印加した状態で、
図2に示す7.4 MHzのパルス信号によって行なった。そ
の際、波長830 nmのレーザーを用いてのレーザーパワ
ーは、記録時には8.0 mW、消去時には4.0 mWとし
た。その後1.0 mWのDC光すなわち連続光を照射し
て、再生信号の測定を行なった。この時再生信号のC/
Nは約34.0dBであった。
ーライト動作の試験を行なった。評価用ドライブに設置
した媒体の回転速度は、半径30mmの位置にて線速度1
1.3m/秒とした。記録と消去は、ビットの記録方向に3
50Oe の大きさの外部バイアス磁界を印加した状態で、
図2に示す7.4 MHzのパルス信号によって行なった。そ
の際、波長830 nmのレーザーを用いてのレーザーパワ
ーは、記録時には8.0 mW、消去時には4.0 mWとし
た。その後1.0 mWのDC光すなわち連続光を照射し
て、再生信号の測定を行なった。この時再生信号のC/
Nは約34.0dBであった。
【0010】つづいてこの測定を行なった同じトラック
上にて、ビットの記録方向に350Oeの大きさの外部バイ
アス磁界を印加した状態で図3に示す5.5 MHzのパルス
信号により記録と消去を行った。すなわち、図2による
元の信号を、図3の信号にてダイレクトオーバーライト
した。その後、1.0 mWのDC光すなわち連続光を照射
して、再生信号の測定を行った。すると初めに記録され
ていた7.4 MHzの信号は消去され、5.5 MHzの信号のみ
が記録されていた。この時の再生信号のC/Nは約34.0
dBであった。
上にて、ビットの記録方向に350Oeの大きさの外部バイ
アス磁界を印加した状態で図3に示す5.5 MHzのパルス
信号により記録と消去を行った。すなわち、図2による
元の信号を、図3の信号にてダイレクトオーバーライト
した。その後、1.0 mWのDC光すなわち連続光を照射
して、再生信号の測定を行った。すると初めに記録され
ていた7.4 MHzの信号は消去され、5.5 MHzの信号のみ
が記録されていた。この時の再生信号のC/Nは約34.0
dBであった。
【0011】以上のとおり、前述の光変調方式を用いる
ことによる基本的なダイレクトオーバーライト動作の確
認はできた。しかし、記録・再生特性に関しては、C/
N=34.0dBと低く、実用化レベルに到達させるために
は、大幅なC/Nの改善が課題とされた。
ことによる基本的なダイレクトオーバーライト動作の確
認はできた。しかし、記録・再生特性に関しては、C/
N=34.0dBと低く、実用化レベルに到達させるために
は、大幅なC/Nの改善が課題とされた。
【0012】そこで、該GdTbFeCo膜の上に5 nmの厚さ
のパーマロイ膜を付け、媒体を作製した。そして前述と
同様にしてオーパーライト特性を調べたところ、記録感
度が大幅に低下するとともにC/Nも著しく低下する結
果となり、C/Nを改善することはできなかった。
のパーマロイ膜を付け、媒体を作製した。そして前述と
同様にしてオーパーライト特性を調べたところ、記録感
度が大幅に低下するとともにC/Nも著しく低下する結
果となり、C/Nを改善することはできなかった。
【0013】本発明はかかるこれらの課題を解決するこ
とにより、バイアス磁界の方向および大きさを変えるこ
となく、光パルスのパワーレベルの変調により、磁壁移
動型のダイレクトオーバーライトが可能な光磁気記録媒
体において、ダイレクトオーバーライト時の消去動作を
改善し、C/Nを向上することができる光磁気記録媒体
を得ることを目的とする。
とにより、バイアス磁界の方向および大きさを変えるこ
となく、光パルスのパワーレベルの変調により、磁壁移
動型のダイレクトオーバーライトが可能な光磁気記録媒
体において、ダイレクトオーバーライト時の消去動作を
改善し、C/Nを向上することができる光磁気記録媒体
を得ることを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明にかかる光磁気記
録媒体は、光パルスのパワーレベルおよび/またはパル
ス幅の変調による、磁壁移動型のダイレクトオーバーラ
イトが可能な光磁気記録媒体において、透明基板上に、
第1磁性層と第2磁性層とからなる記録層をこの順に設
け、さらに金属反射層を記録層の光入射側とは反対の側
に設けたものであって、第1磁性層は希土類遷移金属非
晶質合金であり、かつ第1磁性層の磁化容易軸は膜面に
対して垂直であり、さらに第1磁性層の膜厚は10〜50n
mであり、その上さらに第1磁性層の補償温度は室温以
上であって、第2磁性層はCoおよび/またはFeからなる
成分と希土類金属および/または貴金属からなる成分と
の合金、あるいは第2磁性層はTi、V、Cr、Mn、Cu、Z
n、Ga、Geから選ばれた少なくとも一つ以上とCoとから
なる合金であり、かつ第2磁性層の磁化容易軸は膜面に
対して平行であり、さらに第2磁性層の膜厚は3 nm以
下であることを特徴としている。
録媒体は、光パルスのパワーレベルおよび/またはパル
ス幅の変調による、磁壁移動型のダイレクトオーバーラ
イトが可能な光磁気記録媒体において、透明基板上に、
第1磁性層と第2磁性層とからなる記録層をこの順に設
け、さらに金属反射層を記録層の光入射側とは反対の側
に設けたものであって、第1磁性層は希土類遷移金属非
晶質合金であり、かつ第1磁性層の磁化容易軸は膜面に
対して垂直であり、さらに第1磁性層の膜厚は10〜50n
mであり、その上さらに第1磁性層の補償温度は室温以
上であって、第2磁性層はCoおよび/またはFeからなる
成分と希土類金属および/または貴金属からなる成分と
の合金、あるいは第2磁性層はTi、V、Cr、Mn、Cu、Z
n、Ga、Geから選ばれた少なくとも一つ以上とCoとから
なる合金であり、かつ第2磁性層の磁化容易軸は膜面に
対して平行であり、さらに第2磁性層の膜厚は3 nm以
下であることを特徴としている。
【0015】ここで本発明で用いる第1磁性層として
は、レーザ光照射により加熱された磁壁境界領域におい
て少なくとも一部において、バイアス磁界の方向及び大
きさを変えることなく、正味残留磁化の方向を自己反転
できることが必要である。そのために第1磁性層として
は、磁化容易軸が膜面に対して垂直な希土類遷移金属非
晶質合金膜を用いる必要がある。
は、レーザ光照射により加熱された磁壁境界領域におい
て少なくとも一部において、バイアス磁界の方向及び大
きさを変えることなく、正味残留磁化の方向を自己反転
できることが必要である。そのために第1磁性層として
は、磁化容易軸が膜面に対して垂直な希土類遷移金属非
晶質合金膜を用いる必要がある。
【0016】そしてそうした希土類遷移金属非晶質合金
としては、TbFe、GdFe、DyFe、GdFeCo、TbFeCo、DyFeC
o、GdTbFeCo、GdDyFeCo、TbDyFeCo、GdTbDyFeCo、NdDyF
eCo、NdTbDyFeCo、NdFe、PrFe、CeFe等の希土類と遷移
金属を主成分とする非晶質合金膜を用いることができ
る。中でも特に、GdTbFeCoよりなる膜はオーパーライト
動作が良好でより好ましい。
としては、TbFe、GdFe、DyFe、GdFeCo、TbFeCo、DyFeC
o、GdTbFeCo、GdDyFeCo、TbDyFeCo、GdTbDyFeCo、NdDyF
eCo、NdTbDyFeCo、NdFe、PrFe、CeFe等の希土類と遷移
金属を主成分とする非晶質合金膜を用いることができ
る。中でも特に、GdTbFeCoよりなる膜はオーパーライト
動作が良好でより好ましい。
【0017】さらにこの第1磁性層中には、その垂直磁
気異方性が失われない限り、他の元素が最大10原子%ま
で添加されても問題はない。例えばTi、Zr、Hf、V、N
b、Ta、Cr、Mo、W、Tc、Re、Ru、Os、Ir、Si、Ge、B
i、Pd、Au、Ag、Cu、Pt等の、希土類、Fe、Co以外の元
素が1 種類もしくはそれ以上含まれていても良い。特に
記録層自身の酸化による腐食を防止するためには、Ti、
Zr、Hf、Ta、Cr、Reを添加することが好ましい。
気異方性が失われない限り、他の元素が最大10原子%ま
で添加されても問題はない。例えばTi、Zr、Hf、V、N
b、Ta、Cr、Mo、W、Tc、Re、Ru、Os、Ir、Si、Ge、B
i、Pd、Au、Ag、Cu、Pt等の、希土類、Fe、Co以外の元
素が1 種類もしくはそれ以上含まれていても良い。特に
記録層自身の酸化による腐食を防止するためには、Ti、
Zr、Hf、Ta、Cr、Reを添加することが好ましい。
【0018】またこの第1磁性層は、膜厚が10nmより
薄くなると、膜の不連続性、不均一性等の膜構造の点で
問題が多い。さらに、レーザ照射時の媒体中の温度分布
および記録・消去時のレーザパワーマージン、再生・記
録・消去耐久性を考慮すると、媒体は金属反射層を備え
た構成であって、第1磁性層の膜厚としては50nm以下
とする必要がある。すなわち第1磁性層の膜厚は、10〜
50nmにする必要がある。
薄くなると、膜の不連続性、不均一性等の膜構造の点で
問題が多い。さらに、レーザ照射時の媒体中の温度分布
および記録・消去時のレーザパワーマージン、再生・記
録・消去耐久性を考慮すると、媒体は金属反射層を備え
た構成であって、第1磁性層の膜厚としては50nm以下
とする必要がある。すなわち第1磁性層の膜厚は、10〜
50nmにする必要がある。
【0019】そしてこの第1磁性層の膜厚は、磁壁移動
による消去動作をより改善し、よりC/Nの向上を図る
ために、上限を30nm以下にすることがより好ましい。
による消去動作をより改善し、よりC/Nの向上を図る
ために、上限を30nm以下にすることがより好ましい。
【0020】第2磁性層としては、特開昭63-241739 号
公報に記載されている従来の方法による面内磁化膜で
は、前述のように特性向上に効果が無く、オーバーライ
ト特性も著しく減少してしまう。そこで本発明の第2磁
性層としては、Coおよび/またはFeからなる成分と希土
類金属および/または貴金属からなる成分との合金、あ
るいはTi、V、Cr、Mn、Cu、Zn、Ga、Geから選ばれた少
なくとも一つ以上とCoとからなる合金であり、かつ第2
磁性層の磁化容易軸は膜面に対して平行であり、さらに
第2磁性層の膜厚は3 nm以下であることが必要とな
る。
公報に記載されている従来の方法による面内磁化膜で
は、前述のように特性向上に効果が無く、オーバーライ
ト特性も著しく減少してしまう。そこで本発明の第2磁
性層としては、Coおよび/またはFeからなる成分と希土
類金属および/または貴金属からなる成分との合金、あ
るいはTi、V、Cr、Mn、Cu、Zn、Ga、Geから選ばれた少
なくとも一つ以上とCoとからなる合金であり、かつ第2
磁性層の磁化容易軸は膜面に対して平行であり、さらに
第2磁性層の膜厚は3 nm以下であることが必要とな
る。
【0021】ここで本発明のCoおよび/またはFeとの合
金を作る元素は種々の検討により選択した元素群であ
る。このような第2磁性層を備えることにより記録・消
去時のレーザ照射により上昇した温度での第1磁性層の
垂直磁気異方性の低下を抑制し、記録・消去動作の向上
が得られ、金属反射層を備えた磁壁移動型ダイレクトオ
ーバーライト媒体の特性を向上させることができる。
金を作る元素は種々の検討により選択した元素群であ
る。このような第2磁性層を備えることにより記録・消
去時のレーザ照射により上昇した温度での第1磁性層の
垂直磁気異方性の低下を抑制し、記録・消去動作の向上
が得られ、金属反射層を備えた磁壁移動型ダイレクトオ
ーバーライト媒体の特性を向上させることができる。
【0022】さらに、面内磁化膜である第2磁性層から
垂直磁化膜である第1磁性層への磁気光学的な影響を抑
えるために、第2磁性層としては飽和磁化が400emu/cc
以下であることが好ましく、さらには300emu/cc以下に
であることがより好ましい。また同様な理由により、第
2磁性層の膜厚は2 nm以下であることがより好まし
い。
垂直磁化膜である第1磁性層への磁気光学的な影響を抑
えるために、第2磁性層としては飽和磁化が400emu/cc
以下であることが好ましく、さらには300emu/cc以下に
であることがより好ましい。また同様な理由により、第
2磁性層の膜厚は2 nm以下であることがより好まし
い。
【0023】また金属反射層としては、C/Nの評価に
用いるドライブヘッドのレーザ光に対し、記録層よりも
反射率の高い材料であることがC/N向上のために好ま
しい。具体的には、使用レーザ光波長における光学定数
である屈折率nと消衰係数kが、n≦3.5 、かつk≧3.5
であるような材料を選択することが好ましい。さらに
好ましくはn≦2.5 かつ4.5 ≦k≦8.5 であり、この条
件で作製した媒体では、金属反射層の反射率向上により
カー効果エンハンスメントが向上し、C/Nのより一層
の向上が実現できる。
用いるドライブヘッドのレーザ光に対し、記録層よりも
反射率の高い材料であることがC/N向上のために好ま
しい。具体的には、使用レーザ光波長における光学定数
である屈折率nと消衰係数kが、n≦3.5 、かつk≧3.5
であるような材料を選択することが好ましい。さらに
好ましくはn≦2.5 かつ4.5 ≦k≦8.5 であり、この条
件で作製した媒体では、金属反射層の反射率向上により
カー効果エンハンスメントが向上し、C/Nのより一層
の向上が実現できる。
【0024】一方レーザ光による加熱で信号を記録する
際、金属反射層の熱伝導率が高すぎると、熱拡散が大き
く、強いレーザパワーを必要とする。このため現在多用
されているパワーが10mW以下の半導体レーザで信号の
記録を可能とするためには、金属反射層に用いる材料の
熱伝導率は100 W/( m・K) 以下であることが好まし
く、さらには80W/( m・K) 以下であることがより好
ましい。
際、金属反射層の熱伝導率が高すぎると、熱拡散が大き
く、強いレーザパワーを必要とする。このため現在多用
されているパワーが10mW以下の半導体レーザで信号の
記録を可能とするためには、金属反射層に用いる材料の
熱伝導率は100 W/( m・K) 以下であることが好まし
く、さらには80W/( m・K) 以下であることがより好
ましい。
【0025】このような条件を満足する材料として、Al
もしくはAgにAuを添加した合金、すなわちAlAu合金もし
くはAgAu合金が挙げられる。なお、これら合金において
Auの添加量が、0.5 原子%より少ないと前述の熱伝導低
下の効果は小さく、逆に20原子%より多いと前述の光反
射率の低下が大きくC/Nの面で不利である。従ってAu
の含有量は0.5 〜20原子%の範囲におさめることが好ま
しい。
もしくはAgにAuを添加した合金、すなわちAlAu合金もし
くはAgAu合金が挙げられる。なお、これら合金において
Auの添加量が、0.5 原子%より少ないと前述の熱伝導低
下の効果は小さく、逆に20原子%より多いと前述の光反
射率の低下が大きくC/Nの面で不利である。従ってAu
の含有量は0.5 〜20原子%の範囲におさめることが好ま
しい。
【0026】さらに、反射率の低下をAlもしくはAg単独
膜に比べ2 %以内に抑えC/N低下を防ぐためには、Au
含有量は0.5 〜15原子%、さらには0.5 〜10原子%であ
ることが好ましい。
膜に比べ2 %以内に抑えC/N低下を防ぐためには、Au
含有量は0.5 〜15原子%、さらには0.5 〜10原子%であ
ることが好ましい。
【0027】このようにAu含有量を少なくすることは、
ターゲットや媒体のコストを低減する意味からも重要で
ある。
ターゲットや媒体のコストを低減する意味からも重要で
ある。
【0028】さらにAu含有量を最小限にとどめるという
点からは、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Tc、
Re、Ru、Os、Ir等の1種類以上の特定元素を補助的に添
加することが好ましい。特定元素の添加量は、5.0 原子
%以内にとどめるべきであり、これより多いと金属反射
膜の反射率が低下し、C/Nも低下してしまう。5.0原
子%以内では、光磁気記録再生装置で使用される半導体
レーザの波長である830 nmでの反射率の低下は、2 %
以内の低下幅にとどまる。一方0.3 原子%より少ない
と、Auを節約したことによる熱伝導率の上昇分を補うこ
とはできない。従って、特定元素の添加により、Auの添
加量は0.5 〜10原子%の範囲であれば、反射膜の反射率
はAlもしくはAg単独膜に比べ、2 %以内の低下に抑える
ことができ、Auのコスト低下も低減できると同時に、熱
伝導率も20〜100 W/( m・K) の範囲に設定すること
ができる。
点からは、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Tc、
Re、Ru、Os、Ir等の1種類以上の特定元素を補助的に添
加することが好ましい。特定元素の添加量は、5.0 原子
%以内にとどめるべきであり、これより多いと金属反射
膜の反射率が低下し、C/Nも低下してしまう。5.0原
子%以内では、光磁気記録再生装置で使用される半導体
レーザの波長である830 nmでの反射率の低下は、2 %
以内の低下幅にとどまる。一方0.3 原子%より少ない
と、Auを節約したことによる熱伝導率の上昇分を補うこ
とはできない。従って、特定元素の添加により、Auの添
加量は0.5 〜10原子%の範囲であれば、反射膜の反射率
はAlもしくはAg単独膜に比べ、2 %以内の低下に抑える
ことができ、Auのコスト低下も低減できると同時に、熱
伝導率も20〜100 W/( m・K) の範囲に設定すること
ができる。
【0029】なお、特に金属反射膜自身の耐久性を高め
るという点で、上記特定元素郡の中ではTi、Zr、Hf、T
a、Cr、Reが好ましい。これらの金属反射層の膜厚範囲
は10〜500 nmであるが、反射率の低下によるC/N低
下を抑え、かつレーザパワーが10mWで記録可能とする
ためには、好ましくは30〜200 nm、特に好ましくは40
〜100 nmである。
るという点で、上記特定元素郡の中ではTi、Zr、Hf、T
a、Cr、Reが好ましい。これらの金属反射層の膜厚範囲
は10〜500 nmであるが、反射率の低下によるC/N低
下を抑え、かつレーザパワーが10mWで記録可能とする
ためには、好ましくは30〜200 nm、特に好ましくは40
〜100 nmである。
【0030】また、Au組成および/または特定元素組成
を上述の組成範囲に設定することにより、前述のとおり
その熱伝導率を100 W/( m・K) 以下にすることがで
き、レーザパワーが10mW以下の信号を記録することも
可能となる。
を上述の組成範囲に設定することにより、前述のとおり
その熱伝導率を100 W/( m・K) 以下にすることがで
き、レーザパワーが10mW以下の信号を記録することも
可能となる。
【0031】金属反射層を設ける位置としては、記録層
の光入射面側とは反対側であれば、特に限定されない。
すなわち、金属反射層を第2磁性層上に直接設けたも
の、または透明誘電体層を介したものを設けたもの、さ
らには金属反射層上に透明誘電体層等の無機保護層およ
び/または有機保護層を設けたもの等あらゆる構成に適
用できる。
の光入射面側とは反対側であれば、特に限定されない。
すなわち、金属反射層を第2磁性層上に直接設けたも
の、または透明誘電体層を介したものを設けたもの、さ
らには金属反射層上に透明誘電体層等の無機保護層およ
び/または有機保護層を設けたもの等あらゆる構成に適
用できる。
【0032】また本発明においては、記録層を設ける下
地として誘電体材料を用いることが好ましい。これによ
り、カー効果エンハンスメントを高めることができる。
さらにこの場合には、誘電体材料は屈折率nが高い材
料、すなわちn≧1.6 である材料、さらに好ましくはn
≧1.8 である材料であることが好ましい。
地として誘電体材料を用いることが好ましい。これによ
り、カー効果エンハンスメントを高めることができる。
さらにこの場合には、誘電体材料は屈折率nが高い材
料、すなわちn≧1.6 である材料、さらに好ましくはn
≧1.8 である材料であることが好ましい。
【0033】このような誘電体材料としては、AlN、Zn
S、Si3 N4 、AlSiN、SiO、Zr2O3 、In2 O3 、Sn
O2 、Ta2 O5 、AlON、SiON、ZrON、InON、Sn
ON、TaONまたはこれらの混合体などが適用できる。
特に屈折率が1.8 以上という点では、Si3 N4 、AlSi
N、Zr2 O3 、Ta2 O5 、ZrON、TaONが好ましく、
特に耐候性の点ではAlSiNが好ましい。
S、Si3 N4 、AlSiN、SiO、Zr2O3 、In2 O3 、Sn
O2 、Ta2 O5 、AlON、SiON、ZrON、InON、Sn
ON、TaONまたはこれらの混合体などが適用できる。
特に屈折率が1.8 以上という点では、Si3 N4 、AlSi
N、Zr2 O3 、Ta2 O5 、ZrON、TaONが好ましく、
特に耐候性の点ではAlSiNが好ましい。
【0034】本発明に用いる基板材料としては、有機物
樹脂を用いることが生産性から好ましい。この時、全体
を有機物樹脂で形成した基板、あるいは2P法によりガ
ラス基板上にグルーブを形成する部分だけ硬化性樹脂の
層を形成した基板にすることもできる。
樹脂を用いることが生産性から好ましい。この時、全体
を有機物樹脂で形成した基板、あるいは2P法によりガ
ラス基板上にグルーブを形成する部分だけ硬化性樹脂の
層を形成した基板にすることもできる。
【0035】そしてこの基板材料に用いる有機物樹脂と
しては、ポリカーボネイト樹脂、アクリル樹脂、エポキ
シ樹脂、2−メチルペンテン樹脂、ポリオレフィン樹
脂、あるいはそれらの共重合体等を用いることができ
る。中でも機械強度、耐候性、耐熱性、透湿性、ならび
に低価格である点でポリカーボネイト樹脂が好ましい。
そしてこのポリカーボネイト樹脂を用いて基板材料全体
を形成することが、生産性からは好ましい。
しては、ポリカーボネイト樹脂、アクリル樹脂、エポキ
シ樹脂、2−メチルペンテン樹脂、ポリオレフィン樹
脂、あるいはそれらの共重合体等を用いることができ
る。中でも機械強度、耐候性、耐熱性、透湿性、ならび
に低価格である点でポリカーボネイト樹脂が好ましい。
そしてこのポリカーボネイト樹脂を用いて基板材料全体
を形成することが、生産性からは好ましい。
【0036】上記の透明誘電体層、記録層、金属反射層
の無機薄膜の製造法としては、公知の真空蒸着法、スパ
ッタリング法等のPVD法、あるいはCVD法等、種々
の薄膜形成法が適用できる。しかし、光磁気記録媒体と
しては、高温高湿の耐環境試験で生じる剥離を生じさせ
ないために、特に高分子基板との密着性が大きい条件で
作製することが好ましい。このためにはスパッタリング
法が好ましい。
の無機薄膜の製造法としては、公知の真空蒸着法、スパ
ッタリング法等のPVD法、あるいはCVD法等、種々
の薄膜形成法が適用できる。しかし、光磁気記録媒体と
しては、高温高湿の耐環境試験で生じる剥離を生じさせ
ないために、特に高分子基板との密着性が大きい条件で
作製することが好ましい。このためにはスパッタリング
法が好ましい。
【0037】有機保護層としては、光および/または熱
硬化型樹脂、あるいは熱可塑性樹脂等が適用でき、コー
ティング法等により形成できる。なお、これら記録層の
基板と反対側に設ける裏面保護層は、少なくとも記録層
の側面まで被覆するように設けるのが好ましい。
硬化型樹脂、あるいは熱可塑性樹脂等が適用でき、コー
ティング法等により形成できる。なお、これら記録層の
基板と反対側に設ける裏面保護層は、少なくとも記録層
の側面まで被覆するように設けるのが好ましい。
【0038】なお本方式において、記録・消去すなわち
重ね書きの際に照射するレーザパルスの波形は、図2と
図3のような形には限定されない。すなわち前述の特開
平1-251357号公報開示のように、図2と図3における記
録・消去パルスをさらにパルス幅が狭い至近間隔で連な
る至近間隔パルス列からなる光パルスと先に述べた連続
照射パルスとを組み合わせた波形でもよい。
重ね書きの際に照射するレーザパルスの波形は、図2と
図3のような形には限定されない。すなわち前述の特開
平1-251357号公報開示のように、図2と図3における記
録・消去パルスをさらにパルス幅が狭い至近間隔で連な
る至近間隔パルス列からなる光パルスと先に述べた連続
照射パルスとを組み合わせた波形でもよい。
【0039】但し、以上述べたところの光パルスのパワ
ーは、媒体の記録感度、すなわち記録層のキュリー温
度、および膜構成に応じて適宜設定する必要がある。
ーは、媒体の記録感度、すなわち記録層のキュリー温
度、および膜構成に応じて適宜設定する必要がある。
【0040】なお、本発明の光磁気記録媒体の構成に関
しては、記録層を透明誘電体層でサンドイッチした構
成、記録層のレーザ光入射側と反対側の面に金属反射層
を設けた構成、更には保護層として無機および/または
有機保護層を設けた構成等、あらゆる構成が適用可能で
ある。
しては、記録層を透明誘電体層でサンドイッチした構
成、記録層のレーザ光入射側と反対側の面に金属反射層
を設けた構成、更には保護層として無機および/または
有機保護層を設けた構成等、あらゆる構成が適用可能で
ある。
【0041】記録層を形成する下地の表面および/また
は記録層表面の凹凸の平滑化を行って、C/Nの改善を
はかるためには、記録層を形成する下地の材料、もしく
は記録層の材料に応じてその加工条件を選択することが
できる。簡便な方法としては、下地の表面および/また
は記録層の表面に逆スパッタ処理を行なうことが望まし
い。
は記録層表面の凹凸の平滑化を行って、C/Nの改善を
はかるためには、記録層を形成する下地の材料、もしく
は記録層の材料に応じてその加工条件を選択することが
できる。簡便な方法としては、下地の表面および/また
は記録層の表面に逆スパッタ処理を行なうことが望まし
い。
【0042】そしてC/Nの改善のため、中心線平均粗
さRa≦1.0 nmを実現するためには、逆スパッタの際の
スパッタパワー、スパッタガス圧、スパッタ時間を調節
すれば良く、特にスパッタ時間を長くするとRaを一層低
減させることができる。そしてより良好な消去動作を実
現し、C/Nの改善をはかるためにはRa≦0.5 nmであ
ることが好ましく、さらにはRa≦0.3 nmであることが
より好ましい。
さRa≦1.0 nmを実現するためには、逆スパッタの際の
スパッタパワー、スパッタガス圧、スパッタ時間を調節
すれば良く、特にスパッタ時間を長くするとRaを一層低
減させることができる。そしてより良好な消去動作を実
現し、C/Nの改善をはかるためにはRa≦0.5 nmであ
ることが好ましく、さらにはRa≦0.3 nmであることが
より好ましい。
【0043】
【実施例、比較例】以下のようにして図1に示す構成の
光磁気記録媒体を作製し評価した。図において、1はガ
イドを表面に形成した基板、2は下地の誘電体層、3は
第1磁性層、4は第2磁性層、5は記録層上の誘電体
層、6は金属反射層、7は有機保護層である。
光磁気記録媒体を作製し評価した。図において、1はガ
イドを表面に形成した基板、2は下地の誘電体層、3は
第1磁性層、4は第2磁性層、5は記録層上の誘電体
層、6は金属反射層、7は有機保護層である。
【0044】まず、直径130 mm、厚さ1.2 mmの円盤
で1.6 μmピッチのスパイラル状のグルーブを有するポ
リカーボネイト樹脂(PC)の基板1を、3ターゲット
の高周波マグネトロンスパッタ装置(アネルバ製SPF-43
0H型)の真空槽内に固定し、53μPaになるまで排気す
る。なお、膜形成において基板1は15rpm で回転させ
た。
で1.6 μmピッチのスパイラル状のグルーブを有するポ
リカーボネイト樹脂(PC)の基板1を、3ターゲット
の高周波マグネトロンスパッタ装置(アネルバ製SPF-43
0H型)の真空槽内に固定し、53μPaになるまで排気す
る。なお、膜形成において基板1は15rpm で回転させ
た。
【0045】まず記録層の下地誘電体層2としてAlSiN
膜を形成した。すなわち、ターゲットとしては直径100
mm、厚さ5 mmの円盤状のAlSi(50:50) の燒結体を用
い、真空槽内にAr/N2混合ガス( N2 30vol%) を導
入し、圧力0.4Pa になるようにガス流量を調節した。放
電電力400W、放電周波数13.56 MHzで高周波スパッタリ
ングを行ない、誘電体層2としてAlSiN膜を110 nm堆
積した。
膜を形成した。すなわち、ターゲットとしては直径100
mm、厚さ5 mmの円盤状のAlSi(50:50) の燒結体を用
い、真空槽内にAr/N2混合ガス( N2 30vol%) を導
入し、圧力0.4Pa になるようにガス流量を調節した。放
電電力400W、放電周波数13.56 MHzで高周波スパッタリ
ングを行ない、誘電体層2としてAlSiN膜を110 nm堆
積した。
【0046】次に第1記録層を形成した。ターゲットを
GdTbFeCo合金の円盤に変えスパッタリングガスを純Ar
(純度99.999%)とし、ガス圧0.67Pa、放電電力200Wで
希土類・遷移金属合金である(Gd25Tb75)24(Fe90Co10)76
膜からなる第1磁性層3をDCスパッタリングによって
25nm堆積した。
GdTbFeCo合金の円盤に変えスパッタリングガスを純Ar
(純度99.999%)とし、ガス圧0.67Pa、放電電力200Wで
希土類・遷移金属合金である(Gd25Tb75)24(Fe90Co10)76
膜からなる第1磁性層3をDCスパッタリングによって
25nm堆積した。
【0047】次に第2磁性層を形成した。ターゲットを
CoまたはFeの円盤に変え希土類金属等のチップを配した
複合ターゲットを用い、スパッタリングガスを純Ar(純
度99.999%)とし、ガス圧0.67Pa、放電電力200 WでCo
合金からなる第2磁性層4をDCスパッタリングによっ
て堆積した。
CoまたはFeの円盤に変え希土類金属等のチップを配した
複合ターゲットを用い、スパッタリングガスを純Ar(純
度99.999%)とし、ガス圧0.67Pa、放電電力200 WでCo
合金からなる第2磁性層4をDCスパッタリングによっ
て堆積した。
【0048】続いて、記録層上に誘電体層としてターゲ
ットを前述のAlSiの燒結体ターゲットに戻し、スパッタ
リングガスもAr/N2 混合ガス( N2 30vol%) に戻
し、記録層の下地誘電体層2と同様の放電条件で、AlSi
N膜を400 nm堆積した。
ットを前述のAlSiの燒結体ターゲットに戻し、スパッタ
リングガスもAr/N2 混合ガス( N2 30vol%) に戻
し、記録層の下地誘電体層2と同様の放電条件で、AlSi
N膜を400 nm堆積した。
【0049】最後に、金属反射層としてターゲットをAl
AuTiの合金ターゲットに変え、スパッタリングガスも純
Ar(純度99.999%)に戻し、圧力0.67Pa、放電電力100
WでAl92Au5Ti3(添字は原子%)合金膜を60nm堆積し
た。
AuTiの合金ターゲットに変え、スパッタリングガスも純
Ar(純度99.999%)に戻し、圧力0.67Pa、放電電力100
WでAl92Au5Ti3(添字は原子%)合金膜を60nm堆積し
た。
【0050】こうして得られた試料をスパッタリング装
置から取り出し、スピンコーターに取付けた。そしてデ
ィスクを3000rpm で回転させながら、紫外線硬化性のフ
ェノールノボラックエポキシアクリレート樹脂を塗布し
た後、紫外線照射装置を通過させて樹脂を硬化させ、約
20μmの有機保護層7を設けた。この際には、約20μm
と厚い膜厚で設定するため、ブチルアルコールで希釈を
行ない、粘性率500 cP前後の状態で塗布した。
置から取り出し、スピンコーターに取付けた。そしてデ
ィスクを3000rpm で回転させながら、紫外線硬化性のフ
ェノールノボラックエポキシアクリレート樹脂を塗布し
た後、紫外線照射装置を通過させて樹脂を硬化させ、約
20μmの有機保護層7を設けた。この際には、約20μm
と厚い膜厚で設定するため、ブチルアルコールで希釈を
行ない、粘性率500 cP前後の状態で塗布した。
【0051】以上の手順で、図1に示す構成の光磁気記
録媒体を得た。これにより得られた各試料における、第
1、第2磁性層の組成等を表1に示す。
録媒体を得た。これにより得られた各試料における、第
1、第2磁性層の組成等を表1に示す。
【0052】さらにこれらの試料のダイレクトオーバー
ライト時のC/Nを測定した。半径30mm位置のトラッ
クにおいて、ディスク回転速度3600rpm 、 線速度11.3
m/秒で、ビットの記録方向にバイアス磁界350Oe を印
加し、図2と3に示すような変調をかけた光パルスを順
に照射することにより、ダイレクトオーバーライトを行
い、その後1.0 mWのDC光すなわち連続光を照射して
再生信号の測定を行い、その時のC/Nを求めた。すな
わち、図2に示す信号によって記録した記録ビットを、
図3に示す信号によってダイレクトオーバーライトし
た。これによるC/Nの測定結果を表1に示す。
ライト時のC/Nを測定した。半径30mm位置のトラッ
クにおいて、ディスク回転速度3600rpm 、 線速度11.3
m/秒で、ビットの記録方向にバイアス磁界350Oe を印
加し、図2と3に示すような変調をかけた光パルスを順
に照射することにより、ダイレクトオーバーライトを行
い、その後1.0 mWのDC光すなわち連続光を照射して
再生信号の測定を行い、その時のC/Nを求めた。すな
わち、図2に示す信号によって記録した記録ビットを、
図3に示す信号によってダイレクトオーバーライトし
た。これによるC/Nの測定結果を表1に示す。
【0053】
【表1】
【0054】
【発明の効果】本発明は以上詳述したごとく、バイアス
磁界の方向および大きさを変えることなく、光パルスの
パワーレベルおよび/またはパルス幅の変調により磁壁
移動型のダイレクトオーバーライトが可能な光磁気記録
媒体において、ダイレクトオーバーライト時の消去動作
を改善し、C/Nを向上させた光磁気記録媒体を得るこ
とができる。
磁界の方向および大きさを変えることなく、光パルスの
パワーレベルおよび/またはパルス幅の変調により磁壁
移動型のダイレクトオーバーライトが可能な光磁気記録
媒体において、ダイレクトオーバーライト時の消去動作
を改善し、C/Nを向上させた光磁気記録媒体を得るこ
とができる。
【0055】すなわち本発明の光磁気記録媒体を用いる
ことで、現在多用されているところのレーザパワー10m
W以下の半導体レーザで、信号を記録しかつ消去する動
作が良好で、C/Nの高いダイレクトオーバーライトを
実現できる。
ことで、現在多用されているところのレーザパワー10m
W以下の半導体レーザで、信号を記録しかつ消去する動
作が良好で、C/Nの高いダイレクトオーバーライトを
実現できる。
【図1】実施例1〜10および比較例1〜4の積層構成
【図2】7.4 MHzのダイレクトオーバーライト信号
【図3】5.5 MHzのダイレクトオーバーライト信号
1 ガイドを表面に形成した基板 2 記録層の下地誘電体層 3 第1磁性層 4 第2磁性層 5 記録層上の誘電体層 6 金属反射層 7 有機保護層
Claims (5)
- 【請求項1】 光パルスのパワーレベルおよび/または
パルス幅の変調による、磁壁移動型のダイレクトオーバ
ーライトが可能な光磁気記録媒体において、透明基板上
に、第1磁性層と第2磁性層とからなる記録層をこの順
に設け、さらに金属反射層を記録層の光入射側とは反対
の側に設けたものであって、第1磁性層は希土類遷移金
属非晶質合金であり、かつ第1磁性層の磁化容易軸は膜
面に対して垂直であり、さらに第1磁性層の膜厚は10〜
50nmであり、その上さらに第1磁性層の補償温度は室
温以上であって、第2磁性層はCoおよび/またはFeから
なる成分と希土類金属および/または貴金属からなる成
分との合金、あるいは第2磁性層はTi、V、Cr、Mn、C
u、Zn、Ga、Geから選ばれた少なくとも一つ以上とCoと
からなる合金であり、かつ第2磁性層の磁化容易軸は膜
面に対して平行であり、さらに第2磁性層の膜厚は3 n
m以下であることを特徴とする光磁気記録媒体。 - 【請求項2】 第2磁性層の室温での飽和磁化が、400e
mu/cc以下であることを特徴とする請求項1記載の光磁
気記録媒体。 - 【請求項3】 第2磁性層の室温での飽和磁化が、300e
mu/cc以下であることを特徴とする請求項2記載の光磁
気記録媒体。。 - 【請求項4】 第1磁性層の膜厚が、30nm以下である
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の光磁
気記録媒体。 - 【請求項5】 第1磁性層が、GdTbFeCo合金膜であるこ
とを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の光磁気
記録媒体。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25826693A JPH07110970A (ja) | 1993-10-15 | 1993-10-15 | 光磁気記録媒体 |
| CA002127059A CA2127059A1 (en) | 1993-07-02 | 1994-06-29 | Magneto-optical recording medium |
| EP94304817A EP0632437B1 (en) | 1993-07-02 | 1994-06-30 | Magneto-optical recording medium |
| DE69417806T DE69417806T2 (de) | 1993-07-02 | 1994-06-30 | Magnetooptischer Aufzeichnungsträger |
| US08/269,680 US5665468A (en) | 1993-07-02 | 1994-07-01 | Magneto-optical recording medium |
| KR1019940015780A KR950004150A (ko) | 1993-07-02 | 1994-07-01 | 광-자기 기록 매체 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25826693A JPH07110970A (ja) | 1993-10-15 | 1993-10-15 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07110970A true JPH07110970A (ja) | 1995-04-25 |
Family
ID=17317855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25826693A Pending JPH07110970A (ja) | 1993-07-02 | 1993-10-15 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07110970A (ja) |
-
1993
- 1993-10-15 JP JP25826693A patent/JPH07110970A/ja active Pending
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