JPH0711239A - 研磨用組成物 - Google Patents
研磨用組成物Info
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
優れた研磨用組成物を提供する。 【構成】 水と、酸化アルミニウムの研磨剤、及び研磨
促進剤からなる。研磨促進剤は、硝酸アルミニウムとグ
リコ−ル類及びアルミナゾルのうち2種以上を混合して
用い、硝酸アルミニウム5〜100g/l,グリコ−ル
類50〜400g/l及びアルミナゾルが5〜50g/
lの割合で添加されている。またシリコ−ン消泡剤1〜
10g/lが添加されている。
Description
属材料等を迅速に研磨する従来品より改良された研磨用
組成物に関する。
属材料の研磨用組成物は、研磨材、例えば酸化セリウ
ム、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化スズ、
二酸化ケイ素、二酸化チタン、二酸化クロムを水でスラ
リー状にしたものである。この研磨用剤をプラスチック
製品や金属材料に適用して研磨パッドなどで研磨するこ
とが行われている。しかし、これら従来の研磨用剤は研
磨に手間がかかり、研磨表面を滑らかにし、かつ光沢を
良くするためには相当の研磨時間を要する。また、研磨
能率を良くするために研磨剤の粒子径を大きくすると深
いスクラッチ及びオレンジピール等の表面欠陥を生成す
る傾向があり、滑らかでそれらの欠点のない高品質な表
面を得ることは一層困難であった。
めに、本出願人は、特公昭53−3518号公報にて次
のような合成樹脂成形品の研磨用組成物を開示した。即
ち「 水と、酸化アルミニウム、酸化セリウム等の研磨
用剤及びポリ塩化アルミニウム、硝酸セリウム、硝酸ア
ルミニウム、臭化アルミニウム等の酸性化合物からなる
合成樹脂成形品の研磨用組成物。」である。更に、本出
願人は特公平2−23589号公報にて、メモリーハー
ドディスク等の金属材料を研磨する際も硝酸アルミニウ
ム等が研磨促進効果を奏することを開示した。これらの
研磨用組成物は合成樹脂成形品やメモリーハードディス
クの研磨用として優れたものであるが、更にこれらの研
磨用組成物より優れたものの開発が要望されていた。
ク製品や金属材料の研磨用として優れた研磨用組成物を
提供することを目的とする。
述の研磨用組成物を改良すべく鋭意研究した結果、開発
されたものであり、本発明は、水と、酸化アルミニウム
の研磨剤、及び研磨促進剤からなり、前記研磨促進剤
が、硝酸アルミニウムとグリコール類及びアルミナゾル
のうち、2種以上を混合して用いることを特徴とする研
磨用組成物であり、前記研磨促進剤が硝酸アルミニウム
5〜100g/l,グリコール類50〜400g/l及
びアルミナゾルが5〜50g/lの割合で添加されてい
るものであり、さらに上述の研磨用組成物に、シリコー
ン消泡剤1〜10g/lが添加されていることを特徴と
する研磨用組成物である。
ムの研磨剤、及び研磨促進剤からなるので、研磨速度は
著しく増加し、さらに良好な研磨表面を生成し、スクラ
ッチ及びオレンジピール等が生じない。
た理由について、次に述べる。 (1)酸化アルミニウムの研磨剤 研磨剤としての酸化アルミニウムは通常水性スラリーと
して使用するので通常微粒子であることが好ましくその
粒子の大きさは平均粒子径で0.1〜10μm,好まし
くは0.1〜3μmである。そのスラリー濃度は通常1
〜50重量%好ましくは5〜30重量%の研磨剤を含有
することが望ましい。 (2)研磨促進剤 a. 硝酸アルミニウム:5〜100g/l 硝酸アルミニウムは上述の研磨剤の研磨速度を増進する
のに効果があり、5g/l未満では多少効果はあるが実
用的でなく、100g/lを越えて含有させてもその効
果は横ばいであり、経済的でないからその量を5〜10
0g/lとした。
エチレングリコール重合物が挙げられ、具体的には、プ
ロピレングリコール、エチレングリコール、ジプロピレ
ングリコール、ポリプロピレングリコール、ジエチレン
グリコール、ポリエチレングリコール等が挙げられ、特
にプロピレングリコール、エチレングリコールが好まし
い。グリコール類は研磨能率の向上と研磨面の良質化の
ために有効な作用をなすものであり、50g/l未満で
はその効果が少なく、400g/lを越えた場合、粘度
が高すぎて、研磨中に被研磨物に滑りを生じ、効果が少
なくなるのでその量を50〜400g/lとした。 c. アルミナゾル:5〜50g/l アルミナゾルは化学式Al2 O3 ・nH2 O(n=1〜
2)にて一般的に表はされるが、これはスラリーの粘度
をあげて、研磨剤を浮遊させる役目や研磨能率の向上を
果たすものであり、そのための添加量は5〜50g/l
が望ましい結果を得ている。
ナゾルを使用するために泡が生ずるのでシリコーン消泡
剤を添加し消泡することが望ましく、その量は1〜10
g/lが有効であることが判った。本発明の研磨用組成
物が適用できるプラスチック製品としてはプラスチック
レンズ、プラスチック製ディスク基板、風防ガラス、医
療用品、食器、ラジオ部品、機械部品(小型歯車、ベア
リング)、ボタン、キャップ、キャビネット、化粧板、
眼鏡枠、プラスチック製安全ガラスなどの各種がある。
また、金属材料として代表的なものとして、メモリーハ
ードディスクに使用されるアルミニウム,ニッケル・リ
ンメッキ基板,半導体部品,機械部品等の各種があり、
これらの精密研磨加工に適用できる。
粒子径1.3μmの酸化アルミニウムを190g/lの
割合に水と配合し、硝酸アルミニウム,プロピレングリ
コール及びアルミナゾルを添加し表1に示すような組成
の研磨用組成物,試料N0.1〜9を調製した。なお、
本発明である試料N0.5〜N0.9にはシリコーン消
泡剤を夫々5g/lを添加した。
有効度を次のような研磨テストにより評価した。アリル
ジグリルコールカーボネート樹脂(CR−39)70mm
φのレンズ試料をコバーン505型非球面レンズ研磨機
を用いて、研磨パッドとして、プラスチックレンズ用植
毛布にて、研磨圧力240g/cm2 ,研磨時間5分,研
磨温度13±1℃,スラリー供給量2リットル/分の割
合で循環する研磨条件にて研磨した。その結果の研磨能
率(g/5分)並びに表面粗度Ra(nm)を組成と共
に表1に示す。
ルミニウム単独の場合や試料N0.2〜4の硝酸アルミ
ニウム,プロピレングリコール,アルミナゾルを夫々単
独で添加した場合に比して、試料N0.5〜9の組合わ
せの研磨組成物は研磨能率及び表面粗度共に良好であ
る。特に試料N0.8と試料N0.9は従来品と比し
て、研磨能率が非常に高く、なおかつ表面粗度等の研磨
面品質に優れている。本発明は、その要旨を超えない限
り以上の実施例に限定されるものではない。
成績を示し研磨加工面に表面欠陥を発生させることなく
著しく研磨能率を向上せしめことができる。
Claims (3)
- 【請求項1】 水と、酸化アルミニウムの研磨剤、及び
研磨促進剤からなり、前記研磨促進剤が、硝酸アルミニ
ウムとグリコール類及びアルミナゾルのうち、2種以上
を混合して用いることを特徴とする研磨用組成物。 - 【請求項2】 前記研磨促進剤が硝酸アルミニウム5〜
100g/l,グリコール類50〜400g/l及びア
ルミナゾルが5〜50g/lの割合で添加されているこ
とを特徴とする請求項1記載の研磨用組成物。 - 【請求項3】 シリコーン消泡剤1〜10g/lが添加
されていることを特徴とする請求項1又は2記載の研磨
用組成物。
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ID=15594286
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-
1993
- 1993-06-25 JP JP15489493A patent/JP3582017B2/ja not_active Expired - Lifetime
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