JPH0711462B2 - 圧力センサー - Google Patents
圧力センサーInfo
- Publication number
- JPH0711462B2 JPH0711462B2 JP61266358A JP26635886A JPH0711462B2 JP H0711462 B2 JPH0711462 B2 JP H0711462B2 JP 61266358 A JP61266358 A JP 61266358A JP 26635886 A JP26635886 A JP 26635886A JP H0711462 B2 JPH0711462 B2 JP H0711462B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- pressure sensor
- composite
- present
- electric resistance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0001—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
- G01L9/0002—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using variations in ohmic resistance
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S73/00—Measuring and testing
- Y10S73/04—Piezoelectric
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
- Y10T428/12542—More than one such component
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
- Y10T428/12576—Boride, carbide or nitride component
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
- Y10T428/12611—Oxide-containing component
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/31504—Composite [nonstructural laminate]
- Y10T428/31678—Of metal
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、印加圧力に対して電気抵抗変化を生じる特性
を有し、高い液圧領域における圧力検出用として好適な
新規圧力センサーに関するものである。
を有し、高い液圧領域における圧力検出用として好適な
新規圧力センサーに関するものである。
従来の技術 これまで、高液圧測定用圧力計としては、一般に一次圧
力計の重錘型圧力計、二次圧力計のブルドン管圧力計や
マンガニン圧力計などが知られているが、この中でブル
ドン管圧力計は、その測定値が配管系の過大圧力によっ
て不正確になったり、場合によっては破壊の危険を伴
う。これに対し、マンガニン圧力計はこのような欠点が
少ないので、比較的に広はんに用いられている。
力計の重錘型圧力計、二次圧力計のブルドン管圧力計や
マンガニン圧力計などが知られているが、この中でブル
ドン管圧力計は、その測定値が配管系の過大圧力によっ
て不正確になったり、場合によっては破壊の危険を伴
う。これに対し、マンガニン圧力計はこのような欠点が
少ないので、比較的に広はんに用いられている。
しかしながら、このマンガニン圧力計は、これを製作す
る場合ゲージ構成後に熱処理や圧力シーズニングを必要
とするため、使用可能な状態になるまで長時間を要し、
すぐに利用し得ないという欠点がある。
る場合ゲージ構成後に熱処理や圧力シーズニングを必要
とするため、使用可能な状態になるまで長時間を要し、
すぐに利用し得ないという欠点がある。
発明が解決しようとする問題点 本発明の目的は、堅ろうで長期間にわたって安全に使用
することができ、しかも簡単に製作可能な圧力センサー
を提供することである。
することができ、しかも簡単に製作可能な圧力センサー
を提供することである。
問題点を解決するための手段 本発明者らは、高圧力を非接触的に計測する方法につい
て種々研究を重ね、先にレーザ光の偏光性を利用した圧
力自動計測システムを開発した。このシステムは、圧力
値を検出する系、圧力量を光学量に変換する系、圧力量
に比例した光学量を処理するコンピュータから構成され
ているが、この圧力値を検出する系の圧力検出素子とし
て、絶縁性セラミックスと銀との複合体を用いうること
を見出し、この知見に基いて本発明をなすに至った。
て種々研究を重ね、先にレーザ光の偏光性を利用した圧
力自動計測システムを開発した。このシステムは、圧力
値を検出する系、圧力量を光学量に変換する系、圧力量
に比例した光学量を処理するコンピュータから構成され
ているが、この圧力値を検出する系の圧力検出素子とし
て、絶縁性セラミックスと銀との複合体を用いうること
を見出し、この知見に基いて本発明をなすに至った。
すなわち、本発明は、高強度電気絶縁性セラミックス基
体の表面に銀皮膜を密着させてなる複合体の両端部各銀
皮膜上に２本のリード線を取り付け、このリード線を介
して該複合体を電気抵抗検出手段に連結したことを特徴
とする圧力センサーを提供するものである。
体の表面に銀皮膜を密着させてなる複合体の両端部各銀
皮膜上に２本のリード線を取り付け、このリード線を介
して該複合体を電気抵抗検出手段に連結したことを特徴
とする圧力センサーを提供するものである。
本発明の圧力センサーに用いる複合体において基体とし
て用いる絶縁性セラミックスには、焼結アルミナ、焼結
ベリリア、焼結マグネシア、焼結ジルコニア、焼結トリ
ア、焼結窒化ケイ素、焼結炭化ケイ素、焼結スピネル類
MO・R2O3（ただしＭ＝Mg,Zn,Co,Ni,Fe,R＝Fe,Al,Ga）な
どがあるが、圧縮強度50kg/mm2以上のものが好ましい。
これらの基体は、棒状、板状、管状、角柱状等任意の形
状に成形して用いられる。
て用いる絶縁性セラミックスには、焼結アルミナ、焼結
ベリリア、焼結マグネシア、焼結ジルコニア、焼結トリ
ア、焼結窒化ケイ素、焼結炭化ケイ素、焼結スピネル類
MO・R2O3（ただしＭ＝Mg,Zn,Co,Ni,Fe,R＝Fe,Al,Ga）な
どがあるが、圧縮強度50kg/mm2以上のものが好ましい。
これらの基体は、棒状、板状、管状、角柱状等任意の形
状に成形して用いられる。
本発明の圧力センサーに用いる複合体は、上記の基体の
表面に、膜厚２〜５μｍ、好ましくは３〜４μｍで銀皮
膜を形成させることにより得られる。この銀皮膜の形成
は、例えばめっき法、真空蒸着法、化学蒸着法等、通常
金属膜の形成の際に慣用されている方法によって行うこ
とができる。
表面に、膜厚２〜５μｍ、好ましくは３〜４μｍで銀皮
膜を形成させることにより得られる。この銀皮膜の形成
は、例えばめっき法、真空蒸着法、化学蒸着法等、通常
金属膜の形成の際に慣用されている方法によって行うこ
とができる。
次に、添付図面に従って、本発明を詳細に説明する。第
１図は、本発明の圧力センサーの１例を示す断面図であ
って、セラミックス棒１の表面に銀皮膜２が密着してな
る複合体の両端部各銀皮膜に金属キャップ3,3を介して
リード線4,4が接続され、その各リード線は電気抵抗検
出手段（図示せず）に連結されている。
１図は、本発明の圧力センサーの１例を示す断面図であ
って、セラミックス棒１の表面に銀皮膜２が密着してな
る複合体の両端部各銀皮膜に金属キャップ3,3を介して
リード線4,4が接続され、その各リード線は電気抵抗検
出手段（図示せず）に連結されている。
作用 上記のような構造をもつ圧力センサーを液体圧力容器中
に配置し、液圧を上昇させると、電気抵抗が比例して変
化し、かつ光パワーも変化するので、これを前記したレ
ザー光の偏光性を利用した圧力自動計測システムに適用
することにより、高圧力例えば5000kgf/cm2又はそれ以
上の液圧を測定することができる。
に配置し、液圧を上昇させると、電気抵抗が比例して変
化し、かつ光パワーも変化するので、これを前記したレ
ザー光の偏光性を利用した圧力自動計測システムに適用
することにより、高圧力例えば5000kgf/cm2又はそれ以
上の液圧を測定することができる。
発明の効果 本発明の圧力センサーは、電気抵抗値が大きく、機械的
強度が高く、定格電力が大きく、かつ温度の影響が小さ
いため、これを用いれば高圧力の液圧を長期にわたって
安全かつ正確に測定しうる圧力自動計測システムを構成
することができる。
強度が高く、定格電力が大きく、かつ温度の影響が小さ
いため、これを用いれば高圧力の液圧を長期にわたって
安全かつ正確に測定しうる圧力自動計測システムを構成
することができる。
実施例 次に実施例により本発明をさらに詳細に説明する。
実施例１ 焼結アルミナをもって、直径3mm、長さ10mmの棒状体を
成形し、この側面に化学蒸着法により厚さ３μｍの銀皮
膜を付着させ、圧力センサー用素子を製造した。
成形し、この側面に化学蒸着法により厚さ３μｍの銀皮
膜を付着させ、圧力センサー用素子を製造した。
この素子を5000kgf/cm2圧力容器内に配置し、液圧を変
化させながら、その電気抵抗を測定した。この結果を第
２図に実線で示す。
化させながら、その電気抵抗を測定した。この結果を第
２図に実線で示す。
実施例２ 実施例１における銀皮膜の厚さを４μｍにすること以外
は、全く実施例１と同様にして圧力センサー用素子を製
造した。
は、全く実施例１と同様にして圧力センサー用素子を製
造した。
この素子について、実施例１と同様にして液圧と電気抵
抗との関係を求めた。この結果を第２図に破線で示す。
抗との関係を求めた。この結果を第２図に破線で示す。
実施例３ 焼結窒化ケイ素をもって、一辺3mm、長さ10mmの角柱状
体を成形し、この側面にめっき法により厚さ6mmの銀皮
膜を付着させ、圧力センサーを製造した。この素子につ
いて、実施例１と同様にして液圧と電気抵抗との関係を
求めた。この結果を第２図に一点鎖線で示す。
体を成形し、この側面にめっき法により厚さ6mmの銀皮
膜を付着させ、圧力センサーを製造した。この素子につ
いて、実施例１と同様にして液圧と電気抵抗との関係を
求めた。この結果を第２図に一点鎖線で示す。
以上の結果から明らかなように、本発明の圧力センサー
は、印加液圧と電気抵抗の間に直線的な関係を有し圧力
測定用として好適である。
は、印加液圧と電気抵抗の間に直線的な関係を有し圧力
測定用として好適である。
第１図は、本発明の圧力センサーの１例を示す断面図、
第２図は、本発明の圧力センサー用素子の印加圧力と電
気抵抗との関係を示すグラフである。 図中符号１はセラミックス基体、２は銀皮膜である。
第２図は、本発明の圧力センサー用素子の印加圧力と電
気抵抗との関係を示すグラフである。 図中符号１はセラミックス基体、２は銀皮膜である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 久保 勝司 愛知県名古屋市千種区北千種３−２−４ 千種東住宅17−302 (56)参考文献 特開 昭61−93799（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】高強度電気絶縁性セラミックス基体の表面
に銀皮膜を密着させてなる複合体の両端部各銀皮膜上に
２本のリード線を取り付け、このリード線を介して該複
合体を電気抵抗検出手段に連結したことを特徴とする圧
力センサー。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61266358A JPH0711462B2 (ja) | 1986-11-08 | 1986-11-08 | 圧力センサー |
| US07/113,917 US4842957A (en) | 1986-11-08 | 1987-10-29 | Pressure sensor element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61266358A JPH0711462B2 (ja) | 1986-11-08 | 1986-11-08 | 圧力センサー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63120235A JPS63120235A (ja) | 1988-05-24 |
| JPH0711462B2 true JPH0711462B2 (ja) | 1995-02-08 |
Family
ID=17429832
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61266358A Expired - Lifetime JPH0711462B2 (ja) | 1986-11-08 | 1986-11-08 | 圧力センサー |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4842957A (ja) |
| JP (1) | JPH0711462B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2638366A1 (fr) * | 1988-10-28 | 1990-05-04 | Thomson Csf | Systeme de prevention des noyades accidentelles |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3463663A (en) * | 1965-05-07 | 1969-08-26 | Kennecott Copper Corp | Deposition of thin films |
| US4050956A (en) * | 1970-02-20 | 1977-09-27 | Commonwealth Scientific And Industrial Research Organization | Chemical bonding of metals to ceramic materials |
| US4414281A (en) * | 1982-02-16 | 1983-11-08 | Corning Glass Works | Glass-ceramic articles having metallic surfaces |
| US4667518A (en) * | 1986-03-18 | 1987-05-26 | Iden Industries, Inc. | Sensor circuit |
-
1986
- 1986-11-08 JP JP61266358A patent/JPH0711462B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1987
- 1987-10-29 US US07/113,917 patent/US4842957A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4842957A (en) | 1989-06-27 |
| JPS63120235A (ja) | 1988-05-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4712082A (en) | Pressure sensor | |
| US3697917A (en) | Semiconductor strain gage pressure transducer | |
| US4840067A (en) | Semiconductor pressure sensor with method diaphragm | |
| JP2002531822A (ja) | 圧力センサ | |
| US7140256B2 (en) | Relative pressure sensor | |
| KR20090081195A (ko) | 금속 압력다이어프램이 구비된 압력측정센서 및 상기압력측정센서의 제조방법 | |
| JPH0772029A (ja) | 圧力センサ | |
| JPH0711462B2 (ja) | 圧力センサー | |
| US4479026A (en) | Measuring resistor for a noise thermometer | |
| US20250085176A1 (en) | Thin film sensor exhibiting enhanced sensitivity | |
| KR20010051369A (ko) | 고정밀 압력 센서 | |
| RU2092801C1 (ru) | Тонкопленочный датчик давления | |
| US6309695B1 (en) | Process for the preparation of a thick film resistor useful for making strain gauge | |
| CN118687731B (zh) | 金属薄膜压力芯体及制备方法 | |
| Bethe et al. | Thin-film strain-gage transducers | |
| JPH0320682B2 (ja) | ||
| JPS62291533A (ja) | 圧力検出器 | |
| JPS62150131A (ja) | 圧力検出器 | |
| RU2041452C1 (ru) | Тонкопленочный датчик давления | |
| WO2009108872A1 (en) | A low pressure transducer using beam and diaphragm | |
| Wiśniewski et al. | Application of foil strain gauges in high pressure research | |
| JPS59169183A (ja) | ストレインゲ−ジ型半導体圧力センサ− | |
| RU2293955C1 (ru) | Тензопреобразователь давления | |
| RU2200300C2 (ru) | Полупроводниковый преобразователь деформации и способ его изготовления | |
| RU2745007C2 (ru) | Мембранный датчик давления |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |