JPH0711499B2 - オゾンセンサ - Google Patents
オゾンセンサInfo
- Publication number
- JPH0711499B2 JPH0711499B2 JP3586691A JP3586691A JPH0711499B2 JP H0711499 B2 JPH0711499 B2 JP H0711499B2 JP 3586691 A JP3586691 A JP 3586691A JP 3586691 A JP3586691 A JP 3586691A JP H0711499 B2 JPH0711499 B2 JP H0711499B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- ozone
- gas
- coating layer
- ozone sensor
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はオゾンセンサに関し、特
にオゾン発生機やオゾン利用機器におけるオゾン濃度制
御、あるいはオゾン検知用に用いるオゾンセンサに関す
る。
にオゾン発生機やオゾン利用機器におけるオゾン濃度制
御、あるいはオゾン検知用に用いるオゾンセンサに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】オゾンは強力な酸化作用を示すため、脱
臭、殺菌等の目的で上下水道水処理、医療、食品工業な
ど多くの分野で利用されている。しかしそのような有用
な利用価値がある反面、オゾンはごく微量でも人体に対
して有害な作用を及ぼすため、発生量の制御や漏洩オゾ
ンの検知を確実に行なう必要がある。
臭、殺菌等の目的で上下水道水処理、医療、食品工業な
ど多くの分野で利用されている。しかしそのような有用
な利用価値がある反面、オゾンはごく微量でも人体に対
して有害な作用を及ぼすため、発生量の制御や漏洩オゾ
ンの検知を確実に行なう必要がある。
【０００３】このような状況において、オゾン検知やオ
ゾン濃度の測定を目的として、従来よりもっぱら酸化還
元滴定法や吸光光度法、紫外線吸収スペクトル法等が用
いられている。これに対して最近、より簡便なオゾン濃
度測定法が望まれ、その一方法としてＩｎ2Ｏ3等の金属
酸化物を用いた小形の抵抗変化型のオゾンセンサが提案
されている。
ゾン濃度の測定を目的として、従来よりもっぱら酸化還
元滴定法や吸光光度法、紫外線吸収スペクトル法等が用
いられている。これに対して最近、より簡便なオゾン濃
度測定法が望まれ、その一方法としてＩｎ2Ｏ3等の金属
酸化物を用いた小形の抵抗変化型のオゾンセンサが提案
されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来よ
り利用されている方法は一般に大がかりな装置、煩雑な
操作を必要とし、しかも高価であるため簡単には利用で
きないという欠点を有している。
り利用されている方法は一般に大がかりな装置、煩雑な
操作を必要とし、しかも高価であるため簡単には利用で
きないという欠点を有している。
【０００５】一方、簡便なオゾン濃度測定法として提案
されている金属酸化物を用いたオゾンセンサの場合、測
定雰囲気中にＣＯ、アルコール等の還元性ガスやＮ
ＯX、ＳＯX等の酸化性ガスが存在すると、センサの電気
抵抗が当該ガスの存在量に応じて変化する。そのためセ
ンサ出力が変化し、オゾン検知システムあるいはそれに
付帯する制御システムの誤動作を引き起こす原因となる
ことがしばしばある。また、熱的な安定性にもやや問題
がある。本発明はこのような問題を解決するもので、還
元性妨害ガスあるいは酸化性妨害ガスの影響を無視でき
る程度にまで低減するとともに、併せて熱的な安定性を
有するオゾンセンサを提供することを目的とする。
されている金属酸化物を用いたオゾンセンサの場合、測
定雰囲気中にＣＯ、アルコール等の還元性ガスやＮ
ＯX、ＳＯX等の酸化性ガスが存在すると、センサの電気
抵抗が当該ガスの存在量に応じて変化する。そのためセ
ンサ出力が変化し、オゾン検知システムあるいはそれに
付帯する制御システムの誤動作を引き起こす原因となる
ことがしばしばある。また、熱的な安定性にもやや問題
がある。本発明はこのような問題を解決するもので、還
元性妨害ガスあるいは酸化性妨害ガスの影響を無視でき
る程度にまで低減するとともに、併せて熱的な安定性を
有するオゾンセンサを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のオゾンセンサは
上記の課題を解決するもので、基板上に形成された１対
の電極、及びその１対の電極間に形成された主として金
属酸化物から構成されるガス感応体およびそのガス感応
体を覆うようにＭｎＯ2、Ｆｅ2Ｏ3、Ｃｏ3Ｏ4、ＮｉＯ
から選択する少なくとも一種の酸化物とＭｇＯとを主体
とする材料から構成される被覆層を設けたものである。
上記の課題を解決するもので、基板上に形成された１対
の電極、及びその１対の電極間に形成された主として金
属酸化物から構成されるガス感応体およびそのガス感応
体を覆うようにＭｎＯ2、Ｆｅ2Ｏ3、Ｃｏ3Ｏ4、ＮｉＯ
から選択する少なくとも一種の酸化物とＭｇＯとを主体
とする材料から構成される被覆層を設けたものである。
【０００７】
【作用】この構成により本発明のオゾンセンサは、妨害
ガス種が還元性ガスの場合には、ＭｎＯ2等の酸化物の
酸化触媒作用により酸化されて不活性化されるため、感
応体に対する影響はほとんど無視できるようになる。一
方妨害ガス種が酸化性ガス、例えばＮＯXの場合には、
被覆層に含まれるＭｇＯと反応して硝酸塩あるいは塩基
性硝酸塩を生成する。その結果、感応体に対するＮＯX
の影響は大きく低減され、センサの特性変化はほとんど
生じなくなる。硝酸塩化されたＭｇＯは容易に熱分解さ
れて再びＭｇＯとなり機能が再生する。また、被覆層の
構成材料であるＭｇＯが被覆層自体及び感応体の焼結を
防止する効果を発揮するため、センサの熱的な安定性が
向上する。被覆層はある程度薄くても効果を発揮するた
め、センサ素子の小形軽量化を損なうことはない。
ガス種が還元性ガスの場合には、ＭｎＯ2等の酸化物の
酸化触媒作用により酸化されて不活性化されるため、感
応体に対する影響はほとんど無視できるようになる。一
方妨害ガス種が酸化性ガス、例えばＮＯXの場合には、
被覆層に含まれるＭｇＯと反応して硝酸塩あるいは塩基
性硝酸塩を生成する。その結果、感応体に対するＮＯX
の影響は大きく低減され、センサの特性変化はほとんど
生じなくなる。硝酸塩化されたＭｇＯは容易に熱分解さ
れて再びＭｇＯとなり機能が再生する。また、被覆層の
構成材料であるＭｇＯが被覆層自体及び感応体の焼結を
防止する効果を発揮するため、センサの熱的な安定性が
向上する。被覆層はある程度薄くても効果を発揮するた
め、センサ素子の小形軽量化を損なうことはない。
【０００８】
【実施例】以下本発明の一実施例のオゾンセンサについ
て図面を基にして説明する。図１において１はアルミナ
を用いた基板、２はＩｎとＳｎの有機金属化合物を主体
として調製したインクを用いてスクリーン印刷により形
成し、５００℃で焼成して作製したＩｎ2Ｏ3（９５ｗｔ
％）とＳｎＯ2（５ｗｔ％）から構成されるガス感応体
（厚さ約１０００Å）、３はＣｏ3Ｏ4約４０ｗｔ％、Ｍ
ｇＯ約４０ｗｔ％、Ａｌ2Ｏ3約２０ｗｔ％から構成され
る被覆層（厚さ約１０μｍ）、４はあらかじめ基板１に
形成した白金電極である。比較例として、実施例と同じ
組成から構成された感応体を有し、かつＣｏ3Ｏ4のみを
含む被覆層を形成したオゾンセンサ（比較例１）、Ｍｇ
Ｏのみを含む被覆層を形成したオゾンセンサ（比較例
２）、Ｃｏ3Ｏ4、ＭｇＯともに含まない被覆層を形成し
たオゾンセンサ（比較例３）、及び被覆層を形成しない
オゾンセンサ（比較例４）をそれぞれ作製した。基板そ
の他の形状寸法、および熱処理条件は全て同じとした。
て図面を基にして説明する。図１において１はアルミナ
を用いた基板、２はＩｎとＳｎの有機金属化合物を主体
として調製したインクを用いてスクリーン印刷により形
成し、５００℃で焼成して作製したＩｎ2Ｏ3（９５ｗｔ
％）とＳｎＯ2（５ｗｔ％）から構成されるガス感応体
（厚さ約１０００Å）、３はＣｏ3Ｏ4約４０ｗｔ％、Ｍ
ｇＯ約４０ｗｔ％、Ａｌ2Ｏ3約２０ｗｔ％から構成され
る被覆層（厚さ約１０μｍ）、４はあらかじめ基板１に
形成した白金電極である。比較例として、実施例と同じ
組成から構成された感応体を有し、かつＣｏ3Ｏ4のみを
含む被覆層を形成したオゾンセンサ（比較例１）、Ｍｇ
Ｏのみを含む被覆層を形成したオゾンセンサ（比較例
２）、Ｃｏ3Ｏ4、ＭｇＯともに含まない被覆層を形成し
たオゾンセンサ（比較例３）、及び被覆層を形成しない
オゾンセンサ（比較例４）をそれぞれ作製した。基板そ
の他の形状寸法、および熱処理条件は全て同じとした。
【０００９】これらのオゾンセンサを用い、以下の方法
でオゾン応答特性に及ぼすＣＯとＮＯ2の影響について
評価した。まずセンサ素子加熱用ヒーターにオゾンセン
サを固定して測定箱にセットし、ヒーターに通電してセ
ンサ素子温度を３５０℃に加熱保持した。次いで、１ｐ
ｐｍのオゾン、２ｐｐｍのＣＯ、１ｐｐｍのＮＯ2をそ
れぞれ単独あるいは同時に測定箱に注入してオゾンセン
サに接触させ、各々の場合のオゾンセンサの電気抵抗を
測定した。その結果を図２（ａ），（ｂ），（ｃ），
（ｄ）にそれぞれ示した。なお、電気抵抗は各図共通の
任意目盛りで示してある。図２（ａ）はオゾン単独注入
の場合を示している。実施例、比較例（１〜４）ともに
ほぼ等しく一定の電気抵抗変化を示す。図２（ｂ）はＣ
Ｏ単独注入の場合を示している。実施例及び比較例１の
センサの電気抵抗は基準レベル（空気レベル）に近い
が、比較例２、３、４のセンサの電気抵抗は基準レベル
を大きく下回った。比較例２、３、４のセンサがＣＯに
感応していることを示している。また、図２（ｃ）はＮ
Ｏ2単独注入の場合を示している。実施例及び比較例２
のセンサの電気抵抗変化は小さく、基準レベルにほぼ等
しいが、比較例１、３、４のセンサはＮＯ2に感応して
大きな電気抵抗変化が認められた。さらに図２（ｄ）に
示すように、オゾンとＣＯ及びＮＯ2から構成される混
合ガスを注入した場合には、実施例のセンサはオゾンレ
ベルにほぼ等しい電気抵抗変化を示したのに対して、比
較例（１〜４）のセンサの電気抵抗はそれぞれ図に示す
ようなレベルの変化を示した。
でオゾン応答特性に及ぼすＣＯとＮＯ2の影響について
評価した。まずセンサ素子加熱用ヒーターにオゾンセン
サを固定して測定箱にセットし、ヒーターに通電してセ
ンサ素子温度を３５０℃に加熱保持した。次いで、１ｐ
ｐｍのオゾン、２ｐｐｍのＣＯ、１ｐｐｍのＮＯ2をそ
れぞれ単独あるいは同時に測定箱に注入してオゾンセン
サに接触させ、各々の場合のオゾンセンサの電気抵抗を
測定した。その結果を図２（ａ），（ｂ），（ｃ），
（ｄ）にそれぞれ示した。なお、電気抵抗は各図共通の
任意目盛りで示してある。図２（ａ）はオゾン単独注入
の場合を示している。実施例、比較例（１〜４）ともに
ほぼ等しく一定の電気抵抗変化を示す。図２（ｂ）はＣ
Ｏ単独注入の場合を示している。実施例及び比較例１の
センサの電気抵抗は基準レベル（空気レベル）に近い
が、比較例２、３、４のセンサの電気抵抗は基準レベル
を大きく下回った。比較例２、３、４のセンサがＣＯに
感応していることを示している。また、図２（ｃ）はＮ
Ｏ2単独注入の場合を示している。実施例及び比較例２
のセンサの電気抵抗変化は小さく、基準レベルにほぼ等
しいが、比較例１、３、４のセンサはＮＯ2に感応して
大きな電気抵抗変化が認められた。さらに図２（ｄ）に
示すように、オゾンとＣＯ及びＮＯ2から構成される混
合ガスを注入した場合には、実施例のセンサはオゾンレ
ベルにほぼ等しい電気抵抗変化を示したのに対して、比
較例（１〜４）のセンサの電気抵抗はそれぞれ図に示す
ようなレベルの変化を示した。
【００１０】一般的に半導体ガスセンサはガス選択性に
乏しいという欠点を有している。実施例のセンサの場
合、感応体がｎ型半導体であるため、還元性ガスが接触
すると、オゾン接触の場合とは逆に電気抵抗は減少す
る。従って、オゾンと還元性ガスが共存する場合には、
センサの電気抵抗変化は小さくなる。一方酸化性ガスが
接触する場合は、オゾンの場合と同様にセンサの電気抵
抗は増加する。従って、オゾンと酸化性ガスが共存する
場合には電気抵抗変化はより大きくなる。感応体がｐ型
半導体の場合にはガス種によるセンサの電気抵抗変化方
向は逆になるが、上記の議論は同様に成立する。このよ
うな動作をする結果、本来検知すべきオゾンが存在しな
い場合にも出力信号が得られたり、あるいは濃度検知の
場合に誤って異なる濃度と判定されたりする場合が生じ
る。このような事態を避けるために、本来検知すべきガ
スによるセンサ出力信号に対して妨害信号源となるガス
の影響を極力抑えることが必要となる。このために、セ
ンサ感応体上に妨害ガス阻止のための被覆層を形成する
ことが極めて有力な手段となり得る。本実施例のセンサ
の場合には、Ｃｏ3Ｏ4とＭｇＯを含む被覆層を設けるこ
とが効果的であり、これによりＣＯとＮＯ2の影響をき
わめて低く抑えることが可能であることを明らかにし
た。
乏しいという欠点を有している。実施例のセンサの場
合、感応体がｎ型半導体であるため、還元性ガスが接触
すると、オゾン接触の場合とは逆に電気抵抗は減少す
る。従って、オゾンと還元性ガスが共存する場合には、
センサの電気抵抗変化は小さくなる。一方酸化性ガスが
接触する場合は、オゾンの場合と同様にセンサの電気抵
抗は増加する。従って、オゾンと酸化性ガスが共存する
場合には電気抵抗変化はより大きくなる。感応体がｐ型
半導体の場合にはガス種によるセンサの電気抵抗変化方
向は逆になるが、上記の議論は同様に成立する。このよ
うな動作をする結果、本来検知すべきオゾンが存在しな
い場合にも出力信号が得られたり、あるいは濃度検知の
場合に誤って異なる濃度と判定されたりする場合が生じ
る。このような事態を避けるために、本来検知すべきガ
スによるセンサ出力信号に対して妨害信号源となるガス
の影響を極力抑えることが必要となる。このために、セ
ンサ感応体上に妨害ガス阻止のための被覆層を形成する
ことが極めて有力な手段となり得る。本実施例のセンサ
の場合には、Ｃｏ3Ｏ4とＭｇＯを含む被覆層を設けるこ
とが効果的であり、これによりＣＯとＮＯ2の影響をき
わめて低く抑えることが可能であることを明らかにし
た。
【００１１】次に、本センサの熱的な安定性について確
認した。前記実施例のオゾンセンサ及び比較例（１〜
４）のオゾンセンサをそれぞれ４５０℃の空気雰囲気中
に連続放置し、２００時間毎に取り出して前記同様に測
定箱にセットし、濃度１ｐｐｍのオゾンを注入したとき
のオゾンセンサの電気抵抗を測定してセンサ感度を求め
た。センサの感度としてはオゾン注入時のセンサの電気
抵抗（ＲG）と空気中における電気抵抗（ＲA）の比（Ｒ
G／ＲA）を用いた。この結果を図３に示した。実施例の
センサ及び比較例２のセンサ（被覆層にＭｇＯ含有）の
感度の経時変化はほとんどないが、比較例１，３，４の
各センサはいずれも感度低下の傾向が認められた。本セ
ンサは主として金属酸化物から構成されているため、熱
的な安定性は基本的にはある程度確保できているが、特
に被覆層の構成材料として用いたＭｇＯの効果が大き
く、感応体及び被覆層自体の焼結防止等に寄与してい
る。そのため、ガス拡散速度と反応速度がほとんど変化
せず、センサ感度の経時安定性が得られるものと考えら
れる。
認した。前記実施例のオゾンセンサ及び比較例（１〜
４）のオゾンセンサをそれぞれ４５０℃の空気雰囲気中
に連続放置し、２００時間毎に取り出して前記同様に測
定箱にセットし、濃度１ｐｐｍのオゾンを注入したとき
のオゾンセンサの電気抵抗を測定してセンサ感度を求め
た。センサの感度としてはオゾン注入時のセンサの電気
抵抗（ＲG）と空気中における電気抵抗（ＲA）の比（Ｒ
G／ＲA）を用いた。この結果を図３に示した。実施例の
センサ及び比較例２のセンサ（被覆層にＭｇＯ含有）の
感度の経時変化はほとんどないが、比較例１，３，４の
各センサはいずれも感度低下の傾向が認められた。本セ
ンサは主として金属酸化物から構成されているため、熱
的な安定性は基本的にはある程度確保できているが、特
に被覆層の構成材料として用いたＭｇＯの効果が大き
く、感応体及び被覆層自体の焼結防止等に寄与してい
る。そのため、ガス拡散速度と反応速度がほとんど変化
せず、センサ感度の経時安定性が得られるものと考えら
れる。
【００１２】以上のように、本実施例のオゾンセンサは
きわめて安定で優れた特性を有している。実施例では被
覆層にＣｏ3Ｏ4とＭｇＯを含む場合について説明した
が、Ｃｏ3Ｏ4に替えてＭｎＯ2あるいはＦｅ2Ｏ3あるい
はＮｉＯを用いてもほぼ同等の効果が得られ、さらには
それらを複数混合してもよい。被覆層はＣｏ3Ｏ4とＭｇ
Ｏの混合物の単一層としたが、Ｃｏ3Ｏ4を含む層とＭｇ
Ｏを含む層との二層構造としてもよい。その他の酸化物
を用いる場合も同様である。被覆層の形成方法としては
塗布、印刷、蒸着、溶射等、センサ素子の形状等に応じ
た様々の手法を用いることができる。妨害ガスとしては
ＣＯ及びＮＯ2の場合について説明したが、この他Ｎ
Ｏ、ＳＯX、炭化水素などの場合にも同様の効果を発揮
する。感応体としては実施例ではＩｎ2Ｏ3（９５ｗｔ
％）＋ＳｎＯ2（５ｗｔ％）で構成される場合について
説明したが、この他の組成比をとる場合、あるいは他の
材料を用いた場合にも同様に適用できるものである。ま
た、センサの形態として薄膜型センサの場合についての
み説明したが、厚膜型センサや焼結型センサについても
同様に適用可能であり、その効果も同様に得られるもの
である。センサ素子各部の構造や形状あるいは基板材料
や電極材料も発明の主旨に反しない限りにおいて自由に
設計あるいは使用することができるものである。
きわめて安定で優れた特性を有している。実施例では被
覆層にＣｏ3Ｏ4とＭｇＯを含む場合について説明した
が、Ｃｏ3Ｏ4に替えてＭｎＯ2あるいはＦｅ2Ｏ3あるい
はＮｉＯを用いてもほぼ同等の効果が得られ、さらには
それらを複数混合してもよい。被覆層はＣｏ3Ｏ4とＭｇ
Ｏの混合物の単一層としたが、Ｃｏ3Ｏ4を含む層とＭｇ
Ｏを含む層との二層構造としてもよい。その他の酸化物
を用いる場合も同様である。被覆層の形成方法としては
塗布、印刷、蒸着、溶射等、センサ素子の形状等に応じ
た様々の手法を用いることができる。妨害ガスとしては
ＣＯ及びＮＯ2の場合について説明したが、この他Ｎ
Ｏ、ＳＯX、炭化水素などの場合にも同様の効果を発揮
する。感応体としては実施例ではＩｎ2Ｏ3（９５ｗｔ
％）＋ＳｎＯ2（５ｗｔ％）で構成される場合について
説明したが、この他の組成比をとる場合、あるいは他の
材料を用いた場合にも同様に適用できるものである。ま
た、センサの形態として薄膜型センサの場合についての
み説明したが、厚膜型センサや焼結型センサについても
同様に適用可能であり、その効果も同様に得られるもの
である。センサ素子各部の構造や形状あるいは基板材料
や電極材料も発明の主旨に反しない限りにおいて自由に
設計あるいは使用することができるものである。
【００１３】
【発明の効果】以上の実施例の説明で明らかなように本
発明のオゾンセンサによればガス検知特性に優れるとと
もに熱的な安定性にも優れ、小形軽量かつ安価であるた
め、オゾン発生機やオゾン利用機器におけるオゾン濃度
制御、あるいはオゾン検知等の用途に適するものであ
る。
発明のオゾンセンサによればガス検知特性に優れるとと
もに熱的な安定性にも優れ、小形軽量かつ安価であるた
め、オゾン発生機やオゾン利用機器におけるオゾン濃度
制御、あるいはオゾン検知等の用途に適するものであ
る。
【図１】本発明の一実施例のオゾンセンサの概略の構成
を示す断面図
を示す断面図
【図２】（ａ）は同オゾンセンサのオゾン単独注入した
場合の電気抵抗変化を示すグラフ （ｂ）は同オゾンセンサのＣＯ単独注入した場合の電気
抵抗変化を示すグラフ （ｃ）は同オゾンセンサのＮＯ2単独注入した場合の電
気抵抗変化を示すグラフ （ｄ）は同オゾンセンサのオゾン、ＣＯ、ＮＯ2の混合
ガスを注入した場合の電気抵抗変化を示すグラフ
場合の電気抵抗変化を示すグラフ （ｂ）は同オゾンセンサのＣＯ単独注入した場合の電気
抵抗変化を示すグラフ （ｃ）は同オゾンセンサのＮＯ2単独注入した場合の電
気抵抗変化を示すグラフ （ｄ）は同オゾンセンサのオゾン、ＣＯ、ＮＯ2の混合
ガスを注入した場合の電気抵抗変化を示すグラフ
【図３】同オゾンセンサの熱的安定性を示すグラフ
１ 基板 ２ ガス感応体 ３ 被覆層 ４ 電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木村 邦夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−298149（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−152258（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−152259（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−1563（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】基板上に形成された１対の電極、及びその
１対の電極間に形成された主として金属酸化物から構成
されたガス感応体、及びそのガス感応体を覆うように形
成されたＭｎＯ2、Ｆｅ2Ｏ3、Ｃｏ3Ｏ4、ＮｉＯから選
択する少なくとも一種の酸化物とＭｇＯとを主体とする
材料から構成する被覆層とを有するオゾンセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3586691A JPH0711499B2 (ja) | 1991-03-01 | 1991-03-01 | オゾンセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3586691A JPH0711499B2 (ja) | 1991-03-01 | 1991-03-01 | オゾンセンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04274749A JPH04274749A (ja) | 1992-09-30 |
| JPH0711499B2 true JPH0711499B2 (ja) | 1995-02-08 |
Family
ID=12453913
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3586691A Expired - Lifetime JPH0711499B2 (ja) | 1991-03-01 | 1991-03-01 | オゾンセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0711499B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101457374B1 (ko) * | 2012-09-21 | 2014-11-04 | 고려대학교 산학협력단 | 철이 도핑된 산화 니켈 나노 구조체를 이용한 에탄올 가스 센서 및 그 제조 방법 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0526833A (ja) * | 1991-07-22 | 1993-02-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | オゾンセンサ |
-
1991
- 1991-03-01 JP JP3586691A patent/JPH0711499B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101457374B1 (ko) * | 2012-09-21 | 2014-11-04 | 고려대학교 산학협력단 | 철이 도핑된 산화 니켈 나노 구조체를 이용한 에탄올 가스 센서 및 그 제조 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04274749A (ja) | 1992-09-30 |
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| Date | Code | Title | Description |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090208 Year of fee payment: 14 |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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