JPH07115342A - 弾性表面波変換器 - Google Patents
弾性表面波変換器Info
- Publication number
- JPH07115342A JPH07115342A JP29591193A JP29591193A JPH07115342A JP H07115342 A JPH07115342 A JP H07115342A JP 29591193 A JP29591193 A JP 29591193A JP 29591193 A JP29591193 A JP 29591193A JP H07115342 A JPH07115342 A JP H07115342A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- positive
- different
- electrodes
- surface acoustic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 37
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 34
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 7
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims abstract description 4
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 6
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 2
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 abstract 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 7
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 4
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は電極間で膜厚差をもつ或いは電極材料
の異なる電極を用いた分散型の弾性表面波変換器を得る
方法とその方法を用いた電子装置を得ることを目的とし
ている。 【構成】圧電体基板上に作製された分散型のすだれ状電
極において、スプリット型の電極及び正負の電極の間に
浮き電極を挿入した変換器の電極間に膜厚差をもたせる
方法或いは電極間で一部が異なる材料を用いる方法によ
り、一方向性をもつ分散型の弾性表面波一方向性変換器
が本特許の構成である。また、この変換器の作製法とし
て、電源に接続された電極の一部を陽極酸化によりレジ
スト膜にする方法、或いは電気分解法、或いは電気メッ
キ法などを用いて、電極との間に膜厚差をもたせる作製
法或いは電極間で一部が異なる材料を得る方法により得
られる弾性表面波一方向性変換器が本特許の構成であ
る。
の異なる電極を用いた分散型の弾性表面波変換器を得る
方法とその方法を用いた電子装置を得ることを目的とし
ている。 【構成】圧電体基板上に作製された分散型のすだれ状電
極において、スプリット型の電極及び正負の電極の間に
浮き電極を挿入した変換器の電極間に膜厚差をもたせる
方法或いは電極間で一部が異なる材料を用いる方法によ
り、一方向性をもつ分散型の弾性表面波一方向性変換器
が本特許の構成である。また、この変換器の作製法とし
て、電源に接続された電極の一部を陽極酸化によりレジ
スト膜にする方法、或いは電気分解法、或いは電気メッ
キ法などを用いて、電極との間に膜厚差をもたせる作製
法或いは電極間で一部が異なる材料を得る方法により得
られる弾性表面波一方向性変換器が本特許の構成であ
る。
Description
【産業上の利用分野】本発明は電極間で膜厚差をもつ電
極或いは材料の異なる電極を用いた弾性表面波変換器と
この変換器を用いた電子装置に関する。
極或いは材料の異なる電極を用いた弾性表面波変換器と
この変換器を用いた電子装置に関する。
【従来技術】伝搬方向に周期の異なる分散型の弾性表面
波変換器として、伝搬方向にその周期が短くなるダウン
型の分散型変換器が電極幅がほぼλ／４の正負からなる
場合、ダウン方向に一方向性変換器となることが山之内
らにより、電子情報通信学会誌論文誌（Ｖｏ１．Ｊ７６
−Ａ ＮＯ．２、１９９３年２月、ｐｐ．２５３−２５
９）で発表されているが、伝搬方向にその周期が長くな
るアップ型の分散型変換器では、アップ方向に一方向性
特性をもつ弾性表面波変換器は得られていない。このた
め、周波数に対して、遅延時間が一定のデバイスである
コンボルバなどでは、分散型の変換器を用いる場合、ダ
ウン方向のみにしか一方向性変換器は用いられず、良好
な特性が得られなかった。
波変換器として、伝搬方向にその周期が短くなるダウン
型の分散型変換器が電極幅がほぼλ／４の正負からなる
場合、ダウン方向に一方向性変換器となることが山之内
らにより、電子情報通信学会誌論文誌（Ｖｏ１．Ｊ７６
−Ａ ＮＯ．２、１９９３年２月、ｐｐ．２５３−２５
９）で発表されているが、伝搬方向にその周期が長くな
るアップ型の分散型変換器では、アップ方向に一方向性
特性をもつ弾性表面波変換器は得られていない。このた
め、周波数に対して、遅延時間が一定のデバイスである
コンボルバなどでは、分散型の変換器を用いる場合、ダ
ウン方向のみにしか一方向性変換器は用いられず、良好
な特性が得られなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本方法は分散型弾性表
面波変換器において、アップ方向にも一方向性特性を示
す弾性表面波変換器に関するものである。
面波変換器において、アップ方向にも一方向性特性を示
す弾性表面波変換器に関するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は上述したごとき
従来の欠陥を除去すべくなされたものであって、膜厚差
をもつ電極或いは異なる材料からなる電極構成にするこ
とにより、アップ方向にも一方向性特性をもつ弾性表面
波変換器が得られることを示している。また、この電極
の作製法として、電源に接続された電極の表面のみを陽
極酸化レジスト膜化する方法、電気分解による方法、或
いは電気メッキによる方法により目的の膜厚差をもつ電
極を作製する方法及びこの作製法を用いた弾性表面波一
方向性変換器に関するものである。
従来の欠陥を除去すべくなされたものであって、膜厚差
をもつ電極或いは異なる材料からなる電極構成にするこ
とにより、アップ方向にも一方向性特性をもつ弾性表面
波変換器が得られることを示している。また、この電極
の作製法として、電源に接続された電極の表面のみを陽
極酸化レジスト膜化する方法、電気分解による方法、或
いは電気メッキによる方法により目的の膜厚差をもつ電
極を作製する方法及びこの作製法を用いた弾性表面波一
方向性変換器に関するものである。
【０００５】
【実施例１】 図１のように、圧電性基板１或いは圧電
性薄膜をもつ基板１上に作製されたすだれ状電極２（イ
ンタデジタル電極）において、基本波の動作周波数に対
応する弾性表面波の波長をλとして、正電極３、４及び
負電極５、６がスプリット電極からなり、正負電極間
３、５の距離がλ／２、正負電極間４、６の距離がλ／
２で、しかもその周期長λが伝搬方向に短くなるダウン
型の分散型すだれ状電極或いはその周期長λが伝搬方向
に長くなるアップ型の分散型すだれ状電極において、ス
プリット電極の一方の正負電極３、５と他方の正負電極
４、６の電極膜厚が異なる構造或いは電極の材料が一部
異なる構造からなる弾性表面波変換器及びそれを用いた
電子装置が、実施例の１である。
性薄膜をもつ基板１上に作製されたすだれ状電極２（イ
ンタデジタル電極）において、基本波の動作周波数に対
応する弾性表面波の波長をλとして、正電極３、４及び
負電極５、６がスプリット電極からなり、正負電極間
３、５の距離がλ／２、正負電極間４、６の距離がλ／
２で、しかもその周期長λが伝搬方向に短くなるダウン
型の分散型すだれ状電極或いはその周期長λが伝搬方向
に長くなるアップ型の分散型すだれ状電極において、ス
プリット電極の一方の正負電極３、５と他方の正負電極
４、６の電極膜厚が異なる構造或いは電極の材料が一部
異なる構造からなる弾性表面波変換器及びそれを用いた
電子装置が、実施例の１である。
【実施例２】 図２のように、圧電性基板１或いは圧電
性薄膜をもつ基板１上に作製されたすだれ状電極（イン
タデジタル電極）において、基本波の動作周波数に対応
する弾性表面波の波長をλとして、正電極８と負電極９
の距離がλ／２であり、その正負電極間に短絡型の浮き
電極１０、１１が挿入されたすだれ状電極において、そ
の周期長が伝搬方向に短くなるダウン型の分散型すだれ
状電極或いはその周期長が伝搬方向に長くなるアップ型
の分散型すだれ状電極において、正負電極と短絡型の浮
き電極の電極膜厚が異なる構造或いは電極の材料が一部
異なる構造からなる弾性表面波変換器或いは正電極のみ
或いは負電極のみと短絡型の浮き電極の電極膜厚が異な
る構造或いは電極の一部が異なる構造からなる弾性表面
波変換器及びそれを用いた電子装置が、実施例の２であ
る。
性薄膜をもつ基板１上に作製されたすだれ状電極（イン
タデジタル電極）において、基本波の動作周波数に対応
する弾性表面波の波長をλとして、正電極８と負電極９
の距離がλ／２であり、その正負電極間に短絡型の浮き
電極１０、１１が挿入されたすだれ状電極において、そ
の周期長が伝搬方向に短くなるダウン型の分散型すだれ
状電極或いはその周期長が伝搬方向に長くなるアップ型
の分散型すだれ状電極において、正負電極と短絡型の浮
き電極の電極膜厚が異なる構造或いは電極の材料が一部
異なる構造からなる弾性表面波変換器或いは正電極のみ
或いは負電極のみと短絡型の浮き電極の電極膜厚が異な
る構造或いは電極の一部が異なる構造からなる弾性表面
波変換器及びそれを用いた電子装置が、実施例の２であ
る。
【実施例３】図３のように、圧電性基板１或いは圧電性
薄膜をもつ基板１上に作製されたすだれ状電極（インタ
デジタル電極）１２において、基本波の動作周波数に対
応する弾性表面波の波長をλとして、正電極１３と負電
極１４の距離がλ／２であり、その正負電極間に開放型
の浮き電極１５、１６が挿入されたすだれ状電極におい
て、その周期長が伝搬方向に短くなるダウン型の分散型
すだれ状電極或いはその周期長が伝搬方向に長くなるア
ップ型の分散型すだれ状電極において、正負電極と開放
型の浮き電極の電極膜厚が異なる構造或いは電極の材料
が一部異なる構造からなる弾性表面波変換器或いは正電
極のみ或いは負電極のみと開放型の浮き電極の電極膜厚
が異なる構造或いは電極の一部が異なる構造からなる弾
性表面波変換器及びそれを用いた電子装置が、実施例の
３である。電極膜厚が異なる構造或いは電極の材料が一
部異なる構造からなる弾性表面波変換器の作製法とし
て、電源に接続された電極の一部が電気化学作用などに
より、 陽極酸化レジスト膜にする方法、或いはエッチ
ングする方法、或いは物質を堆積する方法などにより、
電極の膜厚が異なる構造及び電極の材料の一部が異なる
構造からなる一方向性弾性表面波及びこの作製法により
得られる電子装置も本特許に含まれる。また、正負電極
の電極幅及び浮き電極の電極幅がλ／８を中心にその幅
をλ／１６からλ／４の値であり、かつ各電極間の距離
がλ／４を中心にλ／２からλ／８の値であり、かつ正
負電極の膜厚或いは材料の異なる電極からなる弾性表面
波変換器及びこれを用いた電子装置も本特許に含まれ
る。さらに、基本周波数動作の他、高調波動作も本特許
に含まれる。従来のダウン方向の分散型一方向性弾性表
面波変換器と本方法のスプリット型アップ型の分散型一
方向性変換器のフィルタ特性の計算結果を図４に示す。
両変換器の一方向性を向かい合わせた場合、約５ｄＢの
挿入損失が得られている。図５は、従来のダウン方向の
分散型一方向性弾性表面波変換器と本方法の正負電極間
に短絡型の浮き電極を用いたアップ型の分散型一方向性
変換器の計算結果である。両変換器の一方向性を向かい
合わせた場合、約５ｄＢの挿入損失が得られている。
薄膜をもつ基板１上に作製されたすだれ状電極（インタ
デジタル電極）１２において、基本波の動作周波数に対
応する弾性表面波の波長をλとして、正電極１３と負電
極１４の距離がλ／２であり、その正負電極間に開放型
の浮き電極１５、１６が挿入されたすだれ状電極におい
て、その周期長が伝搬方向に短くなるダウン型の分散型
すだれ状電極或いはその周期長が伝搬方向に長くなるア
ップ型の分散型すだれ状電極において、正負電極と開放
型の浮き電極の電極膜厚が異なる構造或いは電極の材料
が一部異なる構造からなる弾性表面波変換器或いは正電
極のみ或いは負電極のみと開放型の浮き電極の電極膜厚
が異なる構造或いは電極の一部が異なる構造からなる弾
性表面波変換器及びそれを用いた電子装置が、実施例の
３である。電極膜厚が異なる構造或いは電極の材料が一
部異なる構造からなる弾性表面波変換器の作製法とし
て、電源に接続された電極の一部が電気化学作用などに
より、 陽極酸化レジスト膜にする方法、或いはエッチ
ングする方法、或いは物質を堆積する方法などにより、
電極の膜厚が異なる構造及び電極の材料の一部が異なる
構造からなる一方向性弾性表面波及びこの作製法により
得られる電子装置も本特許に含まれる。また、正負電極
の電極幅及び浮き電極の電極幅がλ／８を中心にその幅
をλ／１６からλ／４の値であり、かつ各電極間の距離
がλ／４を中心にλ／２からλ／８の値であり、かつ正
負電極の膜厚或いは材料の異なる電極からなる弾性表面
波変換器及びこれを用いた電子装置も本特許に含まれ
る。さらに、基本周波数動作の他、高調波動作も本特許
に含まれる。従来のダウン方向の分散型一方向性弾性表
面波変換器と本方法のスプリット型アップ型の分散型一
方向性変換器のフィルタ特性の計算結果を図４に示す。
両変換器の一方向性を向かい合わせた場合、約５ｄＢの
挿入損失が得られている。図５は、従来のダウン方向の
分散型一方向性弾性表面波変換器と本方法の正負電極間
に短絡型の浮き電極を用いたアップ型の分散型一方向性
変換器の計算結果である。両変換器の一方向性を向かい
合わせた場合、約５ｄＢの挿入損失が得られている。
【０００７】
【発明の効果】本発明の方法の変換器を用いることによ
り、広い帯域幅をもつ分散特性の無いフィルタ、及び高
効率の弾性表面波コンボルバを得ることができる。
り、広い帯域幅をもつ分散特性の無いフィルタ、及び高
効率の弾性表面波コンボルバを得ることができる。
【０００８】
【図１】スプリット電極構造の電極間に膜厚差をもつ分
散型弾性表面波変換器の構造を示す図である。
散型弾性表面波変換器の構造を示す図である。
【図２】正負電極間に短絡型の浮き電極を挿入した電極
間に膜厚差をもつ分散型弾性表面波変換器の構造を示す
図である。
間に膜厚差をもつ分散型弾性表面波変換器の構造を示す
図である。
【図３】正負電極間に開放型の浮き電極を挿入した電極
間に膜厚差をもつ分散型弾性表面波変換器の構造を示す
図である。
間に膜厚差をもつ分散型弾性表面波変換器の構造を示す
図である。
【図４】従来のダウン方向の分散型一方向性弾性表面波
変換器と本方法のスプリット構造アップ型の分散型一方
向性変換器のフィルタ特性の計算結果を示す。
変換器と本方法のスプリット構造アップ型の分散型一方
向性変換器のフィルタ特性の計算結果を示す。
【図５】従来のダウン方向の分散型一方向性弾性表面波
変換器と本方法の正負電極間に短絡型の浮き電極を用い
たアップ型の分散型一方向性変換器の計算結果を示す図
である。
変換器と本方法の正負電極間に短絡型の浮き電極を用い
たアップ型の分散型一方向性変換器の計算結果を示す図
である。
１…基板、２…スプリット型変換器、３…金属膜、４…
３と異なる金属膜、５…金属膜、６…５と異なる金属
膜、７…短絡型浮き電極変換器、８…金属膜、９…金属
膜、１０…短絡型浮き電極、１１…短絡型浮き電極、１
２…開放型浮き変換器、１３…金属膜、１４…金属膜、
１５…開放型浮き電極、１６…開放型浮き電極、１７…
一方向性を向かい合わせた挿入損失、１８…一方向性を
背中合わせにした特性、１９…一方向性を向かい合わせ
た挿入損失、２０…一方向性を背中合わせにした特性、
３と異なる金属膜、５…金属膜、６…５と異なる金属
膜、７…短絡型浮き電極変換器、８…金属膜、９…金属
膜、１０…短絡型浮き電極、１１…短絡型浮き電極、１
２…開放型浮き変換器、１３…金属膜、１４…金属膜、
１５…開放型浮き電極、１６…開放型浮き電極、１７…
一方向性を向かい合わせた挿入損失、１８…一方向性を
背中合わせにした特性、１９…一方向性を向かい合わせ
た挿入損失、２０…一方向性を背中合わせにした特性、
Claims (5)
- 【請求項１】圧電性基板１或いは圧電性薄膜をもつ基板
１上に作製されたすだれ状電極２（インタデジタル電
極）において、基本波の動作周波数に対応する弾性表面
波の波長をλとして、正電極３、４及び負電極５、６が
スプリット電極からなり、正負電極間３、５の距離がλ
／２、正負電極間４、６の距離がλ／２で、しかもその
周期長λが伝搬方向に短くなるダウン型の分散型すだれ
状電極或いはその周期長λが伝搬方向に長くなるアップ
型の分散型すだれ状電極において、スプリット電極の一
方の正負電極３、５と他方の正負電極４、６の電極膜厚
が異なる構造或いは電極の材料が一部異なる構造からな
る弾性表面波変換器及びそれを用いた電子装置。 - 【請求項２】圧電性基板１或いは圧電性薄膜をもつ基板
１上に作製されたすだれ状電極（インタデジタル電極）
において、基本波の動作周波数に対応する弾性表面波の
波長をλとして、正電極８と負電極９の距離がλ／２で
あり、その正負電極間に短絡型の浮き電極１０、１１が
挿入されたすだれ状電極において、その周期長が伝搬方
向に短くなるダウン型の分散型すだれ状電極或いはその
周期長が伝搬方向に長くなるアップ型の分散型すだれ状
電極において、正負電極と短絡型の浮き電極の電極膜厚
が異なる構造或いは電極の材料が一部異なる構造からな
る弾性表面波変換器或いは正電極のみ或いは負電極のみ
と短絡型の浮き電極の電極膜厚が異なる構造或いは電極
の一部が異なる構造からなる弾性表面波変換器及びそれ
を用いた電子装置。 - 【請求項３】圧電性基板１或いは圧電性薄膜をもつ基板
１上に作製されたすだれ状電極（インタデジタル電極）
１２において、基本波の動作周波数に対応する弾性表面
波の波長をλとして、正電極１３と負電極１４の距離が
λ／２でありその正負電極間に開放型の浮き電極１５、
１６が挿入されたすだれ状電極において、その周期長が
伝搬方向に短くなるダウン型の分散型すだれ状電極或い
はその周期長が伝搬方向に長くなるアップ型の分散型す
だれ状電極において、正負電極と開放型の浮き電極の電
極膜厚が異なる構造或いは電極の材料が一部異なる構造
からなる弾性表面波変換器或いは正電極のみ或いは負電
極のみと開放型の浮き電極の電極膜厚が異なる構造或い
は電極の一部が異なる構造からなる弾性表面波変換器及
びそれを用いた電子装置。 - 【請求項４】特許請求の範囲第１から第３項において、
電極膜厚が異なる構造或いは電極の材料が一部異なる構
造からなる弾性表面波変換器の作製法として、電源に接
続された電極の一部が電気化学作用などにより、陽極酸
化レジスト膜にする方法、或いはエッチングする方法、
或いは物質を堆積する方法などにより、電極の膜厚が異
なる構造及び電極の材料の一部が異なる構造からなる一
方向性弾性表面波及びこの作製法により得られる電子装
置。 - 【請求項５】特許請求の範囲第１項から第４項におい
て、正負電極の電極幅及び浮き電極の電極幅がλ／８を
中心にその幅をえλ／１６からλ／４の値であり、かつ
各電極間の距離がλ／４を中心にλ／２からλ／８の値
であり、かつ正負電極の膜厚或いは材料の異なる電極か
らなる弾性表面波変換器及びこれを用いた電子装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29591193A JPH07115342A (ja) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | 弾性表面波変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29591193A JPH07115342A (ja) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | 弾性表面波変換器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07115342A true JPH07115342A (ja) | 1995-05-02 |
Family
ID=17826742
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29591193A Pending JPH07115342A (ja) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | 弾性表面波変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07115342A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8426747B2 (en) | 2009-10-26 | 2013-04-23 | Denso Corporation | Printed wiring board |
| US9667226B2 (en) | 2013-12-19 | 2017-05-30 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Surface acoustic wave device and filter with additional covering films |
| CN111010126A (zh) * | 2019-12-12 | 2020-04-14 | 无锡市好达电子有限公司 | 一种分层式电极的声表面波滤波器结构及其制备方法 |
-
1993
- 1993-10-19 JP JP29591193A patent/JPH07115342A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8426747B2 (en) | 2009-10-26 | 2013-04-23 | Denso Corporation | Printed wiring board |
| US9667226B2 (en) | 2013-12-19 | 2017-05-30 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Surface acoustic wave device and filter with additional covering films |
| CN111010126A (zh) * | 2019-12-12 | 2020-04-14 | 无锡市好达电子有限公司 | 一种分层式电极的声表面波滤波器结构及其制备方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2847438B2 (ja) | 弾性表面波素子 | |
| JPH06260881A (ja) | 弾性表面波コンボルバ | |
| JPH07115342A (ja) | 弾性表面波変換器 | |
| JP2005012736A (ja) | 弾性表面波変換器とこれを用いた電子装置 | |
| JPS616917A (ja) | 電極幅の変化を用いた内部反射型一方向性弾性表面波変換器 | |
| JPH07231238A (ja) | 弾性表面波変換器 | |
| JP3832214B2 (ja) | Ｓａｗ素子及びその製造方法 | |
| JPH09167935A (ja) | 弾性表面波変換器 | |
| JPH03204212A (ja) | 弾性表面波デバイス及び弾性表面波フィルタ | |
| JPS616916A (ja) | 浮き電極をもつ内部反射型一方向性弾性表面波変換器 | |
| JPS60236312A (ja) | 浮き電極内部反射型一方向性弾性表面波変換器 | |
| JPS6087513A (ja) | 弾性表面波フイルタ | |
| JPH10145170A (ja) | 弾性表面波変換器 | |
| JPS6142447B2 (ja) | ||
| JPH02244811A (ja) | 一方向性変換器を用いた弾性表面波フィルタ | |
| US5344745A (en) | Method for the manufacture of surface acoustic wave transducer | |
| JPH088680A (ja) | 弾性表面波一方向性変換器及び電子装置 | |
| JPH05226961A (ja) | 浮き電極をもつ内部反射型一方向性弾性表面波変換 器及び弾性表面波機能素子 | |
| JPH0666130U (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| JPH0730363A (ja) | Ｓａｗ共振子フィルタ | |
| JP2002076820A (ja) | Ｓａｗ共振片及びその製造方法 | |
| EP0394480A1 (en) | Structure of surface acoustic wave transducer having small electrode gaps and method of producing the same | |
| JPH03119815A (ja) | 浮き電極をもつ内部反射型一方向性弾性表面波変換器 | |
| JPH08204499A (ja) | 表面波装置 | |
| JPS60153631A (ja) | 弾性表面波素子 |