JPH0711563B2 - 階調メータ - Google Patents
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- JPH0711563B2 JPH0711563B2 JP28196091A JP28196091A JPH0711563B2 JP H0711563 B2 JPH0711563 B2 JP H0711563B2 JP 28196091 A JP28196091 A JP 28196091A JP 28196091 A JP28196091 A JP 28196091A JP H0711563 B2 JPH0711563 B2 JP H0711563B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/022—Measuring gradient
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S505/00—Superconductor technology: apparatus, material, process
- Y10S505/825—Apparatus per se, device per se, or process of making or operating same
- Y10S505/842—Measuring and testing
- Y10S505/843—Electrical
- Y10S505/845—Magnetometer
- Y10S505/846—Magnetometer using superconductive quantum interference device, i.e. squid
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、少なくとも3個のベク
トル磁力計を採用して磁界の階調を測定する階調メータ
・センサに関する。さらに詳しくは本発明は、3SQU
ID(すなわち、超伝導量子干渉装置)階調メータに関
する。
トル磁力計を採用して磁界の階調を測定する階調メータ
・センサに関する。さらに詳しくは本発明は、3SQU
ID(すなわち、超伝導量子干渉装置)階調メータに関
する。
【0002】
【従来の技術】センス磁界に使用されるSQUID装置
は、図1に示すSQUID装置に基づいて後述する。S
QUID1は、ジョセフソン電流を示すことのできる弱
いリンク(例えば、ジョセフソン装置J)を少なくとも
1つの超伝導ループ2を含む。SQUID1は、ピック
アップ・コイル4に電気的に接続されたSQUID入力
コイル3の近くに置かれている。
は、図1に示すSQUID装置に基づいて後述する。S
QUID1は、ジョセフソン電流を示すことのできる弱
いリンク(例えば、ジョセフソン装置J)を少なくとも
1つの超伝導ループ2を含む。SQUID1は、ピック
アップ・コイル4に電気的に接続されたSQUID入力
コイル3の近くに置かれている。
【0003】検出しようとする磁界の変化がピックアッ
プ・コイル4を通じて発生すると、循環電流ΔiがSQ
UID入力コイル3の中に誘起される。循環電流Δi
は、SQUIDループ2に結合され検出される磁界を生
成する。ピックアップ・コイル4は、入力コイル3のイ
ンダクタンスLiとほぼ等しいインダクタンスLuを有す
る。入力コイル3とピックアップ・コイル4との間の接
続線のインダクタンスLp(すなわち、寄生インダクタ
ンス)は、非常に小さいものでなければならない(すな
わち、LpはLiより小さい)。これは、例えばIBMテ
クニカル・ディスクロージャ・ブルテン第27巻第5号
(1984年10月)pp.2822-2823に記述されているよ
うに、達成することができる。
プ・コイル4を通じて発生すると、循環電流ΔiがSQ
UID入力コイル3の中に誘起される。循環電流Δi
は、SQUIDループ2に結合され検出される磁界を生
成する。ピックアップ・コイル4は、入力コイル3のイ
ンダクタンスLiとほぼ等しいインダクタンスLuを有す
る。入力コイル3とピックアップ・コイル4との間の接
続線のインダクタンスLp(すなわち、寄生インダクタ
ンス)は、非常に小さいものでなければならない(すな
わち、LpはLiより小さい)。これは、例えばIBMテ
クニカル・ディスクロージャ・ブルテン第27巻第5号
(1984年10月)pp.2822-2823に記述されているよ
うに、達成することができる。
【0004】図2は電圧対変調電流のグラフであり、図
1に示すような(T=14°K、及び約13Hzの磁界
掃引周波数での)単一SQUID装置に存在するヒステ
リシスを図示する。
1に示すような(T=14°K、及び約13Hzの磁界
掃引周波数での)単一SQUID装置に存在するヒステ
リシスを図示する。
【0005】図1に示すSQUID装置は、バックグラ
ウンド磁界を相殺するためのフィードバックがないの
で、アンロックドSQUIDと称される。図3は、T=
77°Kにおける、ヒステリシス(φO)対アンロック
ドSQUIDの磁界掃引振幅(φOp−p)のグラフで
ある。図3は、適用磁界の掃引が増加するにつれてアン
ロックド単一SQUID装置のヒステリシスも増加する
ことを示す。
ウンド磁界を相殺するためのフィードバックがないの
で、アンロックドSQUIDと称される。図3は、T=
77°Kにおける、ヒステリシス(φO)対アンロック
ドSQUIDの磁界掃引振幅(φOp−p)のグラフで
ある。図3は、適用磁界の掃引が増加するにつれてアン
ロックド単一SQUID装置のヒステリシスも増加する
ことを示す。
【0006】したがって、SQUIDはヒステリシスを
防ぐために、フィードバックを供給することによって
「ロックアップ」されている。これはフィードバックを
供給することによって達成されるので、SQUIDが見
る磁界の値は一定に維持される(すなわち、SQUID
は磁界の変化を見ない)。磁界の変化は、同じ値で対抗
する磁界を生成する修正電流を生成する。このような
「ロックアップ」SQUIDの配置を図4に示す。
防ぐために、フィードバックを供給することによって
「ロックアップ」されている。これはフィードバックを
供給することによって達成されるので、SQUIDが見
る磁界の値は一定に維持される(すなわち、SQUID
は磁界の変化を見ない)。磁界の変化は、同じ値で対抗
する磁界を生成する修正電流を生成する。このような
「ロックアップ」SQUIDの配置を図4に示す。
【0007】磁界の階調は、たがいに距離dだけ離間さ
れた2つの磁力計の出力を使用して測定することもでき
る。図4に示すものは、このような磁界の階調を測定す
る装置(すなわち階調メータ)である。図4に示す階調
メータは、(当技術分野では裸SQUID階調メータと
して知られている)2SQUID階調メータである。各
SQUID6a、6bは、そのそれぞれの位置で磁界を
測定する。増幅器9a、9b、フィードバック・コイル
7a、7b、及び抵抗器8a、8b(各々同じ抵抗値R
Fを有する)を使用して、磁界と同じ値で対抗する磁界
を生成する修正電流を供給する。電子電圧BL、BRは、
SQUID6a、6bそれぞれの磁界に対応する出力と
して供給される。SQUID6a、6bの出力の間の差
を電子的にとらえて、階調を形成する。したがって階調
は次式の通りである。
れた2つの磁力計の出力を使用して測定することもでき
る。図4に示すものは、このような磁界の階調を測定す
る装置(すなわち階調メータ)である。図4に示す階調
メータは、(当技術分野では裸SQUID階調メータと
して知られている)2SQUID階調メータである。各
SQUID6a、6bは、そのそれぞれの位置で磁界を
測定する。増幅器9a、9b、フィードバック・コイル
7a、7b、及び抵抗器8a、8b(各々同じ抵抗値R
Fを有する)を使用して、磁界と同じ値で対抗する磁界
を生成する修正電流を供給する。電子電圧BL、BRは、
SQUID6a、6bそれぞれの磁界に対応する出力と
して供給される。SQUID6a、6bの出力の間の差
を電子的にとらえて、階調を形成する。したがって階調
は次式の通りである。
【0008】
【数1】
【0009】このような2SQUID階調メータは、製
造が簡単で、優れたバランスと低いヒステリシスを持っ
ている。しかし、この形式の階調メータはほとんど使用
されない。それは、(磁界中の非階調項からの)2つの
磁力計の大きな共通モード信号には、2つのSQUID
間の出力差をとらえる増幅器の、ほとんど不可能な度合
いの共通モードの排除(109分の1)を必要とするか
らである。つまり、図4の階調メータは、地磁気に起因
する非常に大きなバックグラウンド磁界の存在下で小さ
な階調を電子的に検出することが困難であるために、事
実上操作することは不可能である。図4の階調メータ
は、2つの非常に大きな数を減算して、相対的に非常に
小さな数を階調として、たとえば、約1:109の階調
のバックグラウンド磁界に対する比として、提供するこ
とを試みる。
造が簡単で、優れたバランスと低いヒステリシスを持っ
ている。しかし、この形式の階調メータはほとんど使用
されない。それは、(磁界中の非階調項からの)2つの
磁力計の大きな共通モード信号には、2つのSQUID
間の出力差をとらえる増幅器の、ほとんど不可能な度合
いの共通モードの排除(109分の1)を必要とするか
らである。つまり、図4の階調メータは、地磁気に起因
する非常に大きなバックグラウンド磁界の存在下で小さ
な階調を電子的に検出することが困難であるために、事
実上操作することは不可能である。図4の階調メータ
は、2つの非常に大きな数を減算して、相対的に非常に
小さな数を階調として、たとえば、約1:109の階調
のバックグラウンド磁界に対する比として、提供するこ
とを試みる。
【0010】このような階調メータに関連するエレクト
ロニクスは、平均バックグラウンド域が非常に大きな2
つの磁界の差を検出しなければならない。このことは、
非常に大きな信号の存在下で極端に小さな信号差を検出
することをエレクトロニクスに要求し、これは非常に困
難で、かつ非常に費用がかかる。
ロニクスは、平均バックグラウンド域が非常に大きな2
つの磁界の差を検出しなければならない。このことは、
非常に大きな信号の存在下で極端に小さな信号差を検出
することをエレクトロニクスに要求し、これは非常に困
難で、かつ非常に費用がかかる。
【0011】図5に、単一SQUID薄膜階調メータを
図示する。参照番号111と112は各々、薄膜ピック
アップ・コイルを表す。参照番号113は入力コイル
を、参照番号114はワッシャ型SQUIDを表す。薄
膜ピックアップ・コイル111、112は各々それぞれ
の位置で磁界を遮断して、階調ΔH/ΔXを決定する。
図示する。参照番号111と112は各々、薄膜ピック
アップ・コイルを表す。参照番号113は入力コイル
を、参照番号114はワッシャ型SQUIDを表す。薄
膜ピックアップ・コイル111、112は各々それぞれ
の位置で磁界を遮断して、階調ΔH/ΔXを決定する。
【0012】薄膜ピックアップ・コイル111、112
の各々に生成される電流は、たがいに対抗している。し
たがって、SQUID114はゼロ検出器として動作す
る。すなわち、SQUID114の出力がゼロのときは
階調はない。したがって、SQUID114の出力は階
調ΔH/ΔXに比例する。
の各々に生成される電流は、たがいに対抗している。し
たがって、SQUID114はゼロ検出器として動作す
る。すなわち、SQUID114の出力がゼロのときは
階調はない。したがって、SQUID114の出力は階
調ΔH/ΔXに比例する。
【0013】図5に示したような薄膜階調メータは製造
が容易で、低TC超伝導材料から作られるときには非常
に知られた設計になっている。しかし高TC超伝導材料
で作られるときには、図5の薄膜階調メータは過度のヒ
ステリシスを示し、高TC薄膜クロスオーバーと平面入
力コイル113に関連する困難性のために製造が非常に
困難である。したがって、高TC超伝導材料を使用して
製造するときには、図5の薄膜階調メータをを採用する
ことは得策ではない。
が容易で、低TC超伝導材料から作られるときには非常
に知られた設計になっている。しかし高TC超伝導材料
で作られるときには、図5の薄膜階調メータは過度のヒ
ステリシスを示し、高TC薄膜クロスオーバーと平面入
力コイル113に関連する困難性のために製造が非常に
困難である。したがって、高TC超伝導材料を使用して
製造するときには、図5の薄膜階調メータをを採用する
ことは得策ではない。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】従来技術における問題
に関して、本発明の目的は、ヒステリシスを示さず、高
TC及び低TC両方の超伝導材料で容易かつ安価に製造で
き、かつ高感度を提供する、階調メータを提供すること
である。
に関して、本発明の目的は、ヒステリシスを示さず、高
TC及び低TC両方の超伝導材料で容易かつ安価に製造で
き、かつ高感度を提供する、階調メータを提供すること
である。
【0015】
【課題を解決するための手段】「平均的な」磁力計が、
色々な磁力計に堅固に取り付けられている。平均的磁力
計は、フィードバック・コイルを通じて信号を供給し、
色々な磁力計の出力部からのバックグラウンド磁界をキ
ャンセルする。したがって、小さな階調を供給するため
に大きな電圧を減算する必要はない。大きなバックグラ
ウンド磁界を含まない2つの階調磁界信号が互いに減算
される。したがって、非常に安価なシステムによって高
感度が得られる。階調メータは、高TC超伝導材料を使
用して製造するときには特に有利である。1つの平均磁
力計立方体と複数の色々な磁力計立方体を使用して、よ
り高いオーダーの階調メータを作ることができる。
色々な磁力計に堅固に取り付けられている。平均的磁力
計は、フィードバック・コイルを通じて信号を供給し、
色々な磁力計の出力部からのバックグラウンド磁界をキ
ャンセルする。したがって、小さな階調を供給するため
に大きな電圧を減算する必要はない。大きなバックグラ
ウンド磁界を含まない2つの階調磁界信号が互いに減算
される。したがって、非常に安価なシステムによって高
感度が得られる。階調メータは、高TC超伝導材料を使
用して製造するときには特に有利である。1つの平均磁
力計立方体と複数の色々な磁力計立方体を使用して、よ
り高いオーダーの階調メータを作ることができる。
【0016】
【実施例】図6は、本発明の1局面にしたがった1軸内
の3SQUID階調メータを示す。この階調メータは、
3つのSQUID11、12、13、3つのフィードバ
ック・コイル21、22、23、2つの階調コイル3
1、32、3つの増幅器41、42、43、及び1つの
抵抗器50を含む。SQUID11と12は異なった位
置で磁界を測定するための異なったSQUIDであり、
SQUID13は、異なったSQUID11と12にお
ける(例えば、地磁気からの)バックグラウンド磁界を
キャンセルするために使用される平均SQUIDであ
る。バックグラウンド磁界は、異なったSQUID11
と12の測定値の減算を実施する前に、キャンセルされ
る。
の3SQUID階調メータを示す。この階調メータは、
3つのSQUID11、12、13、3つのフィードバ
ック・コイル21、22、23、2つの階調コイル3
1、32、3つの増幅器41、42、43、及び1つの
抵抗器50を含む。SQUID11と12は異なった位
置で磁界を測定するための異なったSQUIDであり、
SQUID13は、異なったSQUID11と12にお
ける(例えば、地磁気からの)バックグラウンド磁界を
キャンセルするために使用される平均SQUIDであ
る。バックグラウンド磁界は、異なったSQUID11
と12の測定値の減算を実施する前に、キャンセルされ
る。
【0017】平均SQUID磁力計13は、2つの差S
QUID11と12に固く取り付けられている。SQU
ID11と12の各々は、それに関連する2つのコイル
を有する。SQUID11は、付属のフィードバック・
コイル21と階調コイル31を有し、SQUID12
は、付属のフィードバック・コイル22と階調コイル3
2を有する。
QUID11と12に固く取り付けられている。SQU
ID11と12の各々は、それに関連する2つのコイル
を有する。SQUID11は、付属のフィードバック・
コイル21と階調コイル31を有し、SQUID12
は、付属のフィードバック・コイル22と階調コイル3
2を有する。
【0018】平均SQUID磁力計13は、磁力計(S
QUID)11、12と同様に操作される。しかし、S
QUID13の変調域のDC部分は、3つのSQUID
11、12、13のすべてに、フィードバック・コイル
21、22、23を通じて供給される。増幅器43が使
用されて、SQUID13によって測定されるバックグ
ラウンド磁界と反対の磁界を適用する。したがって、コ
イル21、22、23を使用して、SQUID11、1
2、13からそれぞれバックグラウンド磁界を減算す
る。
QUID)11、12と同様に操作される。しかし、S
QUID13の変調域のDC部分は、3つのSQUID
11、12、13のすべてに、フィードバック・コイル
21、22、23を通じて供給される。増幅器43が使
用されて、SQUID13によって測定されるバックグ
ラウンド磁界と反対の磁界を適用する。したがって、コ
イル21、22、23を使用して、SQUID11、1
2、13からそれぞれバックグラウンド磁界を減算す
る。
【0019】差SQUID11、12は、通常のフィー
ドバック・ループ配置の中でも操作される。しかし、そ
れらの出力の各々は、差SQUID11または12にお
ける磁界と平均SQUID13における磁界との間の差
異と同じである。これは、差SQUID11と12の各
々が、平均SQUID13からフィードバック・コイル
21、22、23を通じて供給されるフィードバック信
号によって経験する、均一磁界変化のキャンセルによる
ものである。
ドバック・ループ配置の中でも操作される。しかし、そ
れらの出力の各々は、差SQUID11または12にお
ける磁界と平均SQUID13における磁界との間の差
異と同じである。これは、差SQUID11と12の各
々が、平均SQUID13からフィードバック・コイル
21、22、23を通じて供給されるフィードバック信
号によって経験する、均一磁界変化のキャンセルによる
ものである。
【0020】図6の階調メータによって測定された磁界
階調は、2つの差SQUID11及び12の出力を単純
に減算することによって得られる。これらの減算された
出力は、図4の階調メータを使用するときに減算される
単純磁力計出力信号BR及びBLより、はるかに小さいこ
とになり、また一般に、より低い高周波成分を有する。
このため、この階調メータの共通モード信号(すなわち
不均衡度)は、システムを作る基板と超伝導線における
機械的不規則性のみによって決定されることになる。
階調は、2つの差SQUID11及び12の出力を単純
に減算することによって得られる。これらの減算された
出力は、図4の階調メータを使用するときに減算される
単純磁力計出力信号BR及びBLより、はるかに小さいこ
とになり、また一般に、より低い高周波成分を有する。
このため、この階調メータの共通モード信号(すなわち
不均衡度)は、システムを作る基板と超伝導線における
機械的不規則性のみによって決定されることになる。
【0021】薄膜階調メータに通常の不均衡度は、この
システムによって得ることができた(たとえば、10,
000分の1)。さらに、適応つりあわせの通常技術
が、10億分の1の均衡を達成するために使用すること
ができた。ジョセフソン素子のための弱いリンクを利用
する単一レベルSQUIDレベルを用いる場合には、す
べての方向における固有均衡は、このシステムにはクロ
スオーバーが不必要であるので優れている。このシステ
ムは、高TC超伝導素子を使用して非常に有利である。
それは、ジョセフソン素子のための弱いリンクを利用す
る単一レベルSQUIDが、高TC超伝導材料によるの
が非常に一般的であるためである。
システムによって得ることができた(たとえば、10,
000分の1)。さらに、適応つりあわせの通常技術
が、10億分の1の均衡を達成するために使用すること
ができた。ジョセフソン素子のための弱いリンクを利用
する単一レベルSQUIDレベルを用いる場合には、す
べての方向における固有均衡は、このシステムにはクロ
スオーバーが不必要であるので優れている。このシステ
ムは、高TC超伝導素子を使用して非常に有利である。
それは、ジョセフソン素子のための弱いリンクを利用す
る単一レベルSQUIDが、高TC超伝導材料によるの
が非常に一般的であるためである。
【0022】図6に示す配置は、フィードバック・コイ
ル、階調コイル、及びSQUIDを固定するので、シス
テム内にヒステリシスは示されない。また、低TCまた
は高TCの超伝導体のいずれかを使用して、安価な階調
メータを製造することもできる。
ル、階調コイル、及びSQUIDを固定するので、シス
テム内にヒステリシスは示されない。また、低TCまた
は高TCの超伝導体のいずれかを使用して、安価な階調
メータを製造することもできる。
【0023】図6の階調メータにおいて追加の平均磁力
計13とフィードバック・ループを使用して、(図4の
階調メータとは反対に)SQUID出力を結合すると、
SQUIDセンサ内に差信号を発生させる前に磁界が減
算される、という結果が生じる。(図4の階調メータに
おけるように)平均SQUID13を使用しなければ、
関連エレクトロニクスは、平均バックグラウンド磁界が
極端に大きな2つの磁界の間の差を検出すべきである。
エレクトロニクスは、2つの非常に大きな信号が存在す
る中で、極端に小さな信号差を検出することを要求され
る。これは非常に困難であり、非常に費用がかかる。こ
のため、(図4で行われるように電圧の減算とは逆に)
バックグラウンド磁界を除く磁界部分のみを減算するこ
とによって、関連エレクトロニクスの負担が減り、階調
メータの感度はかなり大きくなる。減算(または均衡)
の精度は、使用される特定の形状にのみ依存し、これは
106分の1またはそれより良くなる。差信号を検出す
るためのエレクトロニクスにのみ依存するときには、感
度はかなり低くなる(たとえば、105分の1)。
計13とフィードバック・ループを使用して、(図4の
階調メータとは反対に)SQUID出力を結合すると、
SQUIDセンサ内に差信号を発生させる前に磁界が減
算される、という結果が生じる。(図4の階調メータに
おけるように)平均SQUID13を使用しなければ、
関連エレクトロニクスは、平均バックグラウンド磁界が
極端に大きな2つの磁界の間の差を検出すべきである。
エレクトロニクスは、2つの非常に大きな信号が存在す
る中で、極端に小さな信号差を検出することを要求され
る。これは非常に困難であり、非常に費用がかかる。こ
のため、(図4で行われるように電圧の減算とは逆に)
バックグラウンド磁界を除く磁界部分のみを減算するこ
とによって、関連エレクトロニクスの負担が減り、階調
メータの感度はかなり大きくなる。減算(または均衡)
の精度は、使用される特定の形状にのみ依存し、これは
106分の1またはそれより良くなる。差信号を検出す
るためのエレクトロニクスにのみ依存するときには、感
度はかなり低くなる(たとえば、105分の1)。
【0024】図6の設計の主な利点は、SQUIDとコ
イルの使用からのヒステリシス誘導エラーなしに、優れ
た階調感度が達成されることである。
イルの使用からのヒステリシス誘導エラーなしに、優れ
た階調感度が達成されることである。
【0025】図6に示す階調メータのような3つのSQ
UID階調メータは、石油の位置を判定するために用い
られる操業のような地質操業でのみ有用であるが、SQ
UIDの相対位置に関する唯一の物理的制約は、それら
がたがいに固く取り付けられていること、及び各SQU
IDループの平面が平行であることである。このため、
ほとんどどんな階調も、コンパクトなセンサ設計で測定
することができる。さらに、SQUIDの配列を、本発
明による平均磁力計によって供給することもできる。
UID階調メータは、石油の位置を判定するために用い
られる操業のような地質操業でのみ有用であるが、SQ
UIDの相対位置に関する唯一の物理的制約は、それら
がたがいに固く取り付けられていること、及び各SQU
IDループの平面が平行であることである。このため、
ほとんどどんな階調も、コンパクトなセンサ設計で測定
することができる。さらに、SQUIDの配列を、本発
明による平均磁力計によって供給することもできる。
【0026】平均SQUID磁力計13はSQUIDで
もよいが、そうである必要はない。本発明は、平均SQ
UID磁力計13の代わりに任意の種類のベクトル磁力
計を使用して、実施することもできる。
もよいが、そうである必要はない。本発明は、平均SQ
UID磁力計13の代わりに任意の種類のベクトル磁力
計を使用して、実施することもできる。
【0027】実際には、SQUID11,12,及び1
3のいずれもSQUIDである必要はない。任意のベク
トル磁力計を使用して、本発明の好ましい実施例の説明
に使用されるSQUIDのいずれかを交換してもよい。
差SQUID11と12はSQUIDでもよく、一方、
平均SQUID13はどんな種類のベクトル磁力計でも
よい(たとえば、磁束磁力計)。さらに、図6に示すコ
イルは超伝導である必要はない。
3のいずれもSQUIDである必要はない。任意のベク
トル磁力計を使用して、本発明の好ましい実施例の説明
に使用されるSQUIDのいずれかを交換してもよい。
差SQUID11と12はSQUIDでもよく、一方、
平均SQUID13はどんな種類のベクトル磁力計でも
よい(たとえば、磁束磁力計)。さらに、図6に示すコ
イルは超伝導である必要はない。
【0028】図6の実施例で、差SQUID11及び1
2の各々は2つのフィードバック・コイルを有し、平均
SQUID13は1つのコイルを有する。しかし実用面
では、SQUID11、12、13の各々は同じもので
よいので、平均SQUID13も2つのコイルを有し、
コイルの1つは使用されないことになる。使用されるコ
イルの各々は、直列に配線された2つのループから成る
か、または単一ワイヤ・ループのヘルムホルツ対でもよ
い。
2の各々は2つのフィードバック・コイルを有し、平均
SQUID13は1つのコイルを有する。しかし実用面
では、SQUID11、12、13の各々は同じもので
よいので、平均SQUID13も2つのコイルを有し、
コイルの1つは使用されないことになる。使用されるコ
イルの各々は、直列に配線された2つのループから成る
か、または単一ワイヤ・ループのヘルムホルツ対でもよ
い。
【0029】図7は、本発明を実施するために使用でき
る磁力計立方体を示す。3個の磁力計Mx i、My i、Mz i
はそれぞれSx i、Sy i、Sz iを含む。3個のヘルムホル
ツ対Px、Py、Pzが示され、これらはそれぞれFxとG
x、FyとGy、FzとGzを含む。SQUID出力Ox i、
Oy i、Oz iはそれぞれ、Fx iとGx i、Fy iとGy i、Fz i
とGz iに基づいて計算される。
る磁力計立方体を示す。3個の磁力計Mx i、My i、Mz i
はそれぞれSx i、Sy i、Sz iを含む。3個のヘルムホル
ツ対Px、Py、Pzが示され、これらはそれぞれFxとG
x、FyとGy、FzとGzを含む。SQUID出力Ox i、
Oy i、Oz iはそれぞれ、Fx iとGx i、Fy iとGy i、Fz i
とGz iに基づいて計算される。
【0030】図8は、図7に示したものと同様な磁力計
立方体を使用する単軸階調メータを図示する。図8の単
軸階調メータは、3個の磁力計立方体K、L、Mを含
む。磁力計立方体K、L、Mの各々は、共通の線に配置
されている。磁力計立方体Kは3個の磁力計を含み、そ
の各々は付属のフィードバック・コイルを含む。磁力計
立方体Kの磁力計は平均磁力計であるから、前記3個の
磁力計のいずれも階調コイルを付属していない。
立方体を使用する単軸階調メータを図示する。図8の単
軸階調メータは、3個の磁力計立方体K、L、Mを含
む。磁力計立方体K、L、Mの各々は、共通の線に配置
されている。磁力計立方体Kは3個の磁力計を含み、そ
の各々は付属のフィードバック・コイルを含む。磁力計
立方体Kの磁力計は平均磁力計であるから、前記3個の
磁力計のいずれも階調コイルを付属していない。
【0031】磁力計立方体L及びMは、3個の磁力計を
含み、磁力計の各々が付属のフィードバック・コイルを
有する。しかし、立方体L及びMの各々のx磁力計だけ
が、付属の階調コイルを持つ。これは、図8が単軸階調
メータのみを図示しているからである。したがって、階
調Gxy(すなわちδHx/δy)は次のように計算され
る。
含み、磁力計の各々が付属のフィードバック・コイルを
有する。しかし、立方体L及びMの各々のx磁力計だけ
が、付属の階調コイルを持つ。これは、図8が単軸階調
メータのみを図示しているからである。したがって、階
調Gxy(すなわちδHx/δy)は次のように計算され
る。
【0032】
【数2】 ただし、OX LとOX Mは、それぞれ磁力計LとMのX S
QUIDの出力であり、dは磁力計LとMの間の距離で
ある。
QUIDの出力であり、dは磁力計LとMの間の距離で
ある。
【0033】しかし、少なくとも5軸階調メータである
階調メータを提供することは有利である。5軸階調メー
タとは、下記のようにx軸、y軸、z軸に関する磁界の
9階調の少なくとも5つを測定するものである。この理
論は次の通りである。
階調メータを提供することは有利である。5軸階調メー
タとは、下記のようにx軸、y軸、z軸に関する磁界の
9階調の少なくとも5つを測定するものである。この理
論は次の通りである。
【0034】x軸、y軸、z軸に関する(すなわち3次
元の)磁界の階調を決定する場合には、9階調がこれに
関わる。この9階調は下記の通りである。
元の)磁界の階調を決定する場合には、9階調がこれに
関わる。この9階調は下記の通りである。
【0035】
【数3】 これらはそれぞれ下記と同等である。
【0036】
【数4】
【0037】しかし、この9階調のすべてを階調メータ
で特に測定する必要はない。第1に、▽・H = 0で
あることがわかっている。
で特に測定する必要はない。第1に、▽・H = 0で
あることがわかっている。
【0038】したがって下記のようになる。
【0039】
【数5】
【0040】したがって、δHx/δx、δHy/δ
y、及びδHz/δzのうちの2つだけが実際に決定さ
れる。それは、他の1つは他の2つがわかれば計算でき
るからである。
y、及びδHz/δzのうちの2つだけが実際に決定さ
れる。それは、他の1つは他の2つがわかれば計算でき
るからである。
【0041】第2に、▽ x H ≒ 0であることが
わかっている。しかし本発明の目的のために、▽ x
H= 0と想定できる。したがって、
わかっている。しかし本発明の目的のために、▽ x
H= 0と想定できる。したがって、
【0042】
【数6】
【0043】したがって、これらの式の各々からの2つ
の項の1つだけを測定すべきである。それは、同じ式に
おける項はたがいに等しいからである。
の項の1つだけを測定すべきである。それは、同じ式に
おける項はたがいに等しいからである。
【0044】第1式の2つの項と、最後の3つの各式の
1項がいったんわかると、9項のすべてを計算すること
ができる。したがって、9項のすべてが決定されるよう
な5軸階調メータを少なくとも有することは有利であ
る。
1項がいったんわかると、9項のすべてを計算すること
ができる。したがって、9項のすべてが決定されるよう
な5軸階調メータを少なくとも有することは有利であ
る。
【0045】図9に、本発明の5軸階調メータを図示す
る。この5軸階調メータは、共通平面に配置された4つ
の磁力計立方体A、B、C、Dを含む。図9の実施例
は、より高いオーダーの階調メータを使用して、複数の
差SQUID間の差異を捕らえて本発明を実施するもの
である。
る。この5軸階調メータは、共通平面に配置された4つ
の磁力計立方体A、B、C、Dを含む。図9の実施例
は、より高いオーダーの階調メータを使用して、複数の
差SQUID間の差異を捕らえて本発明を実施するもの
である。
【0046】磁力計立方体Aは、3つの平均磁力計を有
する平均磁力計立方体であり、磁力計立方体B、C、D
は、図7に示す磁力計立方体iと同じものである。磁力
計立方体AのSQUID出力Ox A、Oy A、Oz Aは、立方
体Aの磁力計には階調コイルは接続されていないので、
付属のフィードバック・コイルに供給される。SQUI
D出力Ox i、Oy i、Oz i(i=B、C、D)は、付属の
階調コイルGx i、Gy i、Gz iに供給される。
する平均磁力計立方体であり、磁力計立方体B、C、D
は、図7に示す磁力計立方体iと同じものである。磁力
計立方体AのSQUID出力Ox A、Oy A、Oz Aは、立方
体Aの磁力計には階調コイルは接続されていないので、
付属のフィードバック・コイルに供給される。SQUI
D出力Ox i、Oy i、Oz i(i=B、C、D)は、付属の
階調コイルGx i、Gy i、Gz iに供給される。
【0047】次の6つの階調項を、図9の5軸階調メー
タによって測定することができるが、ここでdは磁力計
立方体BとDの間の距離であり、(d/2)は、磁力計
立方体BとDを磁力計立方体Cに接続する線の中点から
の垂直(すなわち、Z方向の)距離である。
タによって測定することができるが、ここでdは磁力計
立方体BとDの間の距離であり、(d/2)は、磁力計
立方体BとDを磁力計立方体Cに接続する線の中点から
の垂直(すなわち、Z方向の)距離である。
【0048】
【数7】
【0049】したがって、図9の階調メータは、9項の
階調のうち6つを提供する。他の3項は容易に計算可能
である。
階調のうち6つを提供する。他の3項は容易に計算可能
である。
【0050】本発明を、磁束磁力計、SQUIDなどの
ベクトル磁力計を使用して説明した。SQUIDは非常
に感度が高いので、本発明の実施のためにSQUIDを
使用することが好ましい。しかし本発明を実施するため
には、どのようなベクトル磁力計を使用してもよい。本
発明の本質的な範囲から逸脱することなく、本発明の変
更を実施してもよいことは、当業者には容易に理解でき
よう。
ベクトル磁力計を使用して説明した。SQUIDは非常
に感度が高いので、本発明の実施のためにSQUIDを
使用することが好ましい。しかし本発明を実施するため
には、どのようなベクトル磁力計を使用してもよい。本
発明の本質的な範囲から逸脱することなく、本発明の変
更を実施してもよいことは、当業者には容易に理解でき
よう。
【0051】
【発明の効果】本発明により、ヒステリシスを示さず、
高Tc及び低Tc両方の超伝導材料で容易かつ安価に製造
でき、かつ高感度を提供する階調メータが得られる。
高Tc及び低Tc両方の超伝導材料で容易かつ安価に製造
でき、かつ高感度を提供する階調メータが得られる。
【図1】単一非固定SQUID装置の図である。
【図2】図1に示したような単一非固定SQUID装置
に存在するヒステリシスを示すために使用された、電圧
対変調電流のグラフである。
に存在するヒステリシスを示すために使用された、電圧
対変調電流のグラフである。
【図3】非固定SQUID装置のヒステリシス対磁界掃
引振幅のグラフである。
引振幅のグラフである。
【図4】磁界階調を測定するために使用される2SQU
ID階調メータ(すなわちベアSQUID階調メータ)
の図である。
ID階調メータ(すなわちベアSQUID階調メータ)
の図である。
【図5】単一SQUID薄膜階調メータの図である。
【図6】本発明による1軸の3SQUID階調メータの
図である。
図である。
【図7】本発明を実施するために使用できる磁力計立方
体の図である。
体の図である。
【図8】図7に示したものと同じ磁力計立方体を用い
た、本発明による1軸階調メータの図である。
た、本発明による1軸階調メータの図である。
【図9】図7に示したものと同じ磁力計立方体を用い
た、本発明による5軸階調メータの図である。
た、本発明による5軸階調メータの図である。
1 SQUID 2 超伝導ループ 3 SQUID入力コイル 4 ピックアップ・コイル 6 SQUID 7 フィードバック・コイル 8 抵抗器 9 増幅器 11 差SQUID 12 差SQUID 13 平均SQUID 21 フィードバック・コイル 22 フィードバック・コイル 23 フィードバック・コイル 31 階調コイル 32 階調コイル 41 増幅器 42 増幅器 43 増幅器 50 抵抗器 111 薄膜ピックアップ・コイル 112 薄膜ピックアップ・コイル 113 平面入力コイル 114 SQUID
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−218979(JP,A) 特開 昭56−137265(JP,A) 特開 昭56−66779(JP,A) 特開 昭62−118273(JP,A) 特開 昭54−127371(JP,A) 特公 昭45−32309(JP,B2)
Claims (16)
- 【請求項1】磁界階調を測定するための階調メータであ
って、各々が出力を生成する複数の差磁力計と、前記の
複数の差磁力計に固く取り付けられており、前記の複数
の差磁力計のそれぞれの出力からバックグラウンド磁界
をキャンセルして、複数のキャンセルされた差磁力計出
力を生成する、平均磁力計と、前記の複数のキャンセル
された差磁力計出力について磁気減算を実施することに
よって、前記の磁界階調を提供する手段を含む、前記の
階調メータ。 - 【請求項2】前記の差磁力計が超伝導量子干渉装置(S
QUID)である、請求項1に記載の階調メータ。 - 【請求項3】前記の平均磁力計が超伝導量子干渉装置
(SQUID)である、請求項1に記載の階調メータ。 - 【請求項4】前記の平均磁力計がフィードバック信号を
供給して、前記のバックグラウンド磁界をキャンセルす
る、請求項1に記載の階調メータ。 - 【請求項5】前記の差磁力計の各々と前記の平均磁力計
が超伝導量子干渉装置(SQUID)である、請求項1
に記載の階調メータ。 - 【請求項6】前記のSQUIDが弱いリンクを有するジ
ョセフソン素子を含む、請求項5に記載の階調メータ。 - 【請求項7】前記のSQUIDを製造するために高TC
超伝導材料が使用される、請求項5に記載の階調メー
タ。 - 【請求項8】前記の差磁力計の個数が2である、請求項
1に記載の階調メータ。 - 【請求項9】前記の磁力計の各々の超伝導ループが互い
に平行である、請求項1に記載の階調メータ。 - 【請求項10】差磁力計と前記磁力計の各々に付属した
フィードバック・コイルを含み、前記のフィードバック
・コイルは前記のバックグラウンド磁界をキャンセルす
るために使用される、請求項1に記載の階調メータ。 - 【請求項11】前記の差磁力計と平均磁力計の各々が磁
力計立方体であり、この磁力計立方体は、第1磁力計、
第2磁力計、及び前記の磁力計立方体の各非平行側の上
の第3磁力計が備わった、請求項1に記載の階調メー
タ。 - 【請求項12】前記の差磁力計立方体の個数が3であ
る、請求項11に記載の階調メータ。 - 【請求項13】前記の3個の差磁力計立方体と前記の平
均磁力計立方体が、すべて1つの共通平面に位置する、
請求項12に記載の階調メータ。 - 【請求項14】前記の差磁力計立方体の個数が2であ
る、請求項11に記載の階調メータ。 - 【請求項15】前記の2個の差磁力計立方体と前記の平
均磁力計立方体が、すべて1つの共通線に位置する、請
求項14に記載の階調メータ。 - 【請求項16】少なくとも、前記の磁界階調の5軸測定
を行う、請求項1に記載の階調メータ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US594810 | 1990-10-09 | ||
| US07/594,810 US5122744A (en) | 1990-10-09 | 1990-10-09 | Gradiometer having a magnetometer which cancels background magnetic field from other magnetometers |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04264281A JPH04264281A (ja) | 1992-09-21 |
| JPH0711563B2 true JPH0711563B2 (ja) | 1995-02-08 |
Family
ID=24380502
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28196091A Expired - Fee Related JPH0711563B2 (ja) | 1990-10-09 | 1991-10-03 | 階調メータ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5122744A (ja) |
| EP (1) | EP0481211A3 (ja) |
| JP (1) | JPH0711563B2 (ja) |
Families Citing this family (54)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5187436A (en) * | 1992-03-13 | 1993-02-16 | General Electric Company | Noise cancellation method in a biomagnetic measurement system using an extrapolated reference measurement |
| DE4227876A1 (de) * | 1992-08-22 | 1994-02-24 | Philips Patentverwaltung | Schaltungsanordnung zum Betrieb eines SQUID's, insbesondere eines DC-SQUID's |
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| US5469057A (en) * | 1994-03-08 | 1995-11-21 | University Of New Mexico | Method and apparatus for extending the dynamic range of DC-squid measurements using a flux tracking loop |
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