JPH07116558B2

JPH07116558B2 - シャドウマスク用Ｆｅ―Ｎｉ合金薄板およびその製造方法

Info

Publication number: JPH07116558B2
Application number: JP2210242A
Authority: JP
Inventors: 正井上; 正行木下; 智良大北
Original assignee: 日本鋼管株式会社
Priority date: 1990-02-15
Filing date: 1990-08-10
Publication date: 1995-12-13
Anticipated expiration: 2010-12-13
Also published as: JPH03281756A

Description

【発明の詳細な説明】「発明の目的」（産業上の利用分野）本発明はシャドウマスク用Fe−Ni合金薄板およびその製
造方法に係り、カラーテレビブラウン管のシャドウマス
クを製造するためのFe−Ni系合金薄板においてエッチン
グ穿孔性が優れ、特に穿孔時のムラ発生を防止し、かつ
穿孔後のフラットマスクを焼鈍するときの密着焼付を防
止し適切な製品を得るための技術に関するものである（従来の技術）近年、カラーテレビの高品位化に伴い、色ずれの問題に
対応できる低熱膨脹のシャドウマスク材料としてFe−Ni
系のインバータ合金が注目されているが、この合金は従
来の低炭素鋼によるシャドウマスク材に比し、エッチン
グ穿孔時におけるフラットマスクのムラ発生および穿孔
後のフラットマスクを焼鈍するときに密着焼付性が著し
い。

これらのうち、前者の問題を解決すべく、特開昭61−
39344号公報，特開昭62−243780号公報，同243781
号公報および同243782号公報が提案されている。

即ちはシャドウマスク用素材の表面粗さ（中心線平均
粗さRa）を0.1〜0.4μｍとすることにより開孔形状の規
則性および開孔のシャドウマスク全体における均一性を
得ている。又はシャドウマスク用素材の表面粗度（R
a）を0.2〜0.7μm,Sm（基準長さ内における表面粗度を
示す断面曲線の凹凸間隔平均値）を100μmn以下、結晶
粒度を粒度番号で8.0以上とすることによりエッチング
穿孔後のムラ品位の高いマスクを提供している。更に
は前記の規定に加えてRe（透過孔径α₁/エッチング孔
径α_２）を0.9以上とすることによりエッチング穿孔後
のムラ品位の高いマスクを提供している。なおはエッ
チング素材の集合組織を強冷延−再結晶焼鈍によって集
積させ、且つ結晶粒度を粒度番号で8.0以上とし、その
後に前記に記載の表面粗度への調整をダルロールによ
る冷間加工度を３〜15％としてエッチング穿孔後のムラ
品位の高いマスクを製造しようとするものである。

一方上記した後者の問題を解決するに好ましい提案はな
されていない。

即ち特開昭62−238003号公報の如き従来の低炭素鋼フ
ラットマスクの焼鈍時密着焼付を表面粗度の適正化、即
ちRaを0.2〜2.0μｍで、Rsk（粗さ曲線の高さ方向にお
ける偏りの指標）を０以上とするような提案はみられる
としてもFe−Ni系インバー合金の強度は低炭素鋼に比し
て高く、その曲面プレス前の焼鈍温度は低炭素鋼の場合
よりも高く採らざるを得ず、また数十枚〜数百枚重ね合
わせて800〜1100℃のように相当の高温で焼鈍を行って
いるものであるからこの低炭素鋼フラットマスクの技術
ではFe−Ni系インバー合金のフラットマスクにおける焼
鈍時密着焼付防止をなし得ないことになり、その焼付防
止に関する好ましい技術は見当らない。

更に特開昭64−52022号においてはSiなどの合金成分
と冷間圧延率、更に結晶粒度を規定し、また特開平１
−252725号においてはスラブの均一化熱処理を行い、Ni
の偏析を低減することによりスジムラを抑制することが
開示されている。

（発明が解決しようとする課題）上記したエッチング穿孔時におけるフラットマスクのム
ラ品位向上を図った前記〜の技術では何れも曲面プ
レス前の焼鈍における密着焼付防止が達成されていな
い。又では上述のように従来における低炭素鋼フラッ
トマスクの焼鈍時密着焼付を防止しているのみで、実際
のインバー合金強度は低炭素鋼に比して高く、その曲面
プレス前の焼鈍温度は低炭素鋼の場合に比し高く採らざ
るを得ず、ブラウン管メーカーではFe−Niインバー合金
のフラットマスク焼鈍を数十枚〜数百枚重ね合わせて81
0〜1100℃という低炭素鋼フラットマスクの焼鈍温度よ
りも相当の高温で行っているのが現状である。このよう
な焼鈍温度においては前記の技術ではインバー合金フ
ラットマスク焼鈍時の焼付防止をなし得ない。

前記のものは表面性状や密着焼付防止について考慮さ
れていないのでむらの発生や焼付発生が不可避であり、
のものもせいぜいNiの偏析を低減する程度であって、
密着焼付防止、表面性状との関係における焼付防止など
を適切に得ることができない。

従って従来のFe−Ni系インバー合金のシャドウマスク用
素材においてエッチング穿孔時のムラ発生を防止し、又
穿孔後の焼鈍時密着焼付を適切に防止する技術が確立さ
れていない。

「発明の構成」（課題を解決するための手段）本発明は上記したような実情に鑑み、エッチング穿孔性
が優れ、特に穿孔時のムラ発生を防止し、かつ穿孔後の
フラットマスクを焼鈍するときの密着焼付を防止したFe
−Ni系インバー合金のシャドウマスク用素材を得べく、
検討を重ねて創案されたものであって、以下の如くであ
る。

（１） Si:0.01〜0.15wt％、Ni:34〜38wt％を含有し、
残部がFeおよび不可避的不純物から成り、かつその合金
鋼帯の板厚はフラットマスクの多数枚を積み重ねて焼鈍
処理する工程を含むシャドウマスクの製造に供する該フ
ラットマスクと実質上同等であり、その表面粗度（Ra）
が0.3〜0.7μｍで、しかも粗さ曲線の高さ方向における
片寄り指標であるスキューネス（Rsk）が0.3〜1.0で、
且つ、の条件を満足し、またエッチング直前での合金板の表面
におけるSiの成分編析率が10％以下であることを特徴とするシャドウマスク用Fe
−Ni合金薄板；（２）前記（１）の成分および表面粗度を有し、しか
も該表面粗度の異方性が、下記式、 |Ra（Ｌ）−Ra（ｃ）｜≦0.1μｍ |Rsk（Ｌ）−Rsk（ｃ）｜≦0.2 但し、Ra（Ｌ）,Rsk（Ｌ）は圧延方向における測定値
で、Ra（ｃ）,Rsk（ｃ）は圧延方向と垂直な方向におけ
る測定値である。

の関係を満足することを特徴とするシャドウマスク用Fe
−Ni合金薄板；（３）前記（１）の成分を有する薄板を製造するに当
り、その最終冷延または調質圧延時にダルロールを用
い、前記（１）の表面粗度を該薄板の表面に付与するこ
とを特徴とするシャドウマスク用Fe−Ni合金薄板の製造
方法；（４）前記（１）の成分を有する薄板を製造するに当
り、その最終冷延または調質圧延時にダルロールを用
い、前記（２）の表面粗度を該薄板の表面に付与するこ
とを特徴とするシャドウマスク用Fe−Ni合金薄板の製造
方法。

（作用）上記したような本発明について説明すると、本発明はシ
ャドウマスク用のインバー合金を対象としているが、事
実上問題のない熱膨脹特性として平均熱膨脹係数（30〜
100℃）の上限を2.0×10^-6/℃とし、この熱膨脹特性はN
i量に依存するもので、上述した平均熱膨脹係数の条件
を満たす成分範囲はwt（以下単に％という）で、Ni量が
34〜38％の場合であるから本発明合金のNi量としてはこ
の34〜38％とする。なおこのNi量は必要とされる熱膨脹
係数に応じ上記範囲内において適当に選択される。

次に本発明が目標とするエッチング性およびフラットマ
スク焼鈍時の密着焼付防止は表面粗度の適正化と合金中
Si量およびその分布適正化が同時に満たされて始めて達
成される。即ちSiはFe−Ni系インバー合金において焼鈍
時の密着焼付防止に有効な元素であって、このSiが0.01
％以上となるとこの焼付防止に有効な酸化膜が形成され
る。一方このSiが0.15％を越えるとエッチング穿孔時の
ムラ発生が著しくなるのでこれを上限とし、これらから
して焼付が防止でき、しかもエッチング穿孔時にムラ発
生のないSi量として0.01〜0.15％と定めた。なおSi量が
この範囲内の場合でも合金板表面でのSiの成分変動が大
きいと、局部的にエッチング穿孔状態の差に起因するム
ラ発生や焼鈍時に形成される酸化膜の性状に差が生じ、
結果として局部的に焼付くなどの問題が発生するため斯
様な成分変動は制御されねばならない。従って本発明で
は上記Si量の規定に加え、エッチング直前での合金板表
面におけるSiの成分編析率、を10％以下とすることにより上記の成分変動によるエッ
チング穿孔性の局部的劣化、焼鈍時の局部的焼付を解決
する。なお、このSiの成分編析率が10％以下であっても
最小濃度部で0.01％未満となったり、最大濃度部で0.15
％を超えるような場合には焼鈍時の焼付、エッチング穿
孔時のムラがそれぞれ発生するので、このようなことに
ならないように制御する。

本発明で意図する焼鈍時の焼付防止効果およびエッチン
グ穿孔時のムラ発生の抑制は上述したような成分規定に
加えて、表面粗度の適正化が必要である。即ち第１図
は、Ｓ≧0.0025％で、Si:0.01〜0.15％（板面内の何れ
の場所でもSiは0.01〜0.15％）、siの成分偏析率≦10％
の合金板についてエッチング穿孔性、焼鈍時の密着焼付
きについて調査し、それら両者を共に満足する領域を表
面粗度のパラメータRaおよびRskで示したものである。R
skが何れの値の場合でもRaが0.7μｍを超える場合には
エッチング穿孔時のムラ発生が著しくなり、一方Raが0.
3μｍ未満の場合にはフラットマスク焼鈍時の密着焼付
が全面に発生し、且つフラットマスクの均一密着性不良
が発生するので本発明におけるRaの範囲は0.3〜0.7μｍ
とする。

又このようなRaの適正化に加え、焼鈍時の焼付き防止の
ためにはRskの適正化も必要である。即ちRaが0.3〜0.7
μｍの範囲でも、Rskが＋0.3未満では、フラットマスク
焼鈍時の密着が全面にわたって発生し、一方Rskが＋1.0
を越える場合ではフラットマスク焼鈍時の局部的焼付き
が発生する。また、Ra＜−1/3Rsk＋0.5の条件ではフラ
ットマスク焼鈍時の密着が全面にわたり発生する。

以上より本発明で意図する効果を得るための表面粗度の
条件として、Ra:0.3〜0.7μｍ、Rsk:0.3〜1.0かつ（R
a）−1/3（Rsk）＋0.5と定めた。

以上のような、Si量及びその分布の適正化と表面粗度の
適正化により、Fe−Niインバー合金をシャドウマスク用
薄板に適用する際でのエッチング穿孔性及び焼鈍時の密
着焼付を防止できるが、フラットマスクの１回の焼鈍で
の積層枚数を従来よりもさらに多くして焼鈍時のコスト
の低減を図ろうとする場合には、上記の表面粗度の規定
に加え、表面粗さの面内での異方性を特定値以下にしな
ければならない。即ち表面粗度の異方性を |Ra（Ｌ）−Ra（ｃ）｜≦0.1μｍ |Rsk（Ｌ）−Rsk（ｃ）｜≦0.2 とすることにより、従来よりフラットマスクの積層枚数
を多くした際でも、部分的な焼付きは回避できる。

なお、フラットマスクの焼鈍時の密着焼付の発生しない
臨界温度を高くするためには、上記の成分、表面粗度の
規定に加え、Ｓの低減が有効である。第２図は、Ra,Rs
k,Si及びSiの編析率が本発明範囲内でかつＳ量が変化し
た材料を用いて焼鈍温度を変えて、密着焼付の状態を調
べたものである。Ｓ量の低減により、焼付の生じない臨
界の焼鈍温度を高くすることができる。

このようなＳの低減による効果の明確な機構は必ずしも
判然としないが、本発明範囲内Si量のインバー合金にお
けるプレス全焼鈍時に表面に形成される密着防止に有効
なSiの酸化膜形成と、Ｓの表面偏析が、表面に競合して
起るためではないかと推察される。

又、Siの偏析低減の手段としては、たとえば、鋼塊又は
連続鋳造（CC）スラブを1200℃×20hrの加熱をなし、１
次分塊での断面減少率20〜60％にて分塊圧延を行ないそ
の軽分塊スラブを1200℃×20hrで加熱し、２次分塊での
断面減少率30〜50％で分塊圧延し、徐冷する工程があげ
られる。この工程の中では１次の加熱・均熱によるSiの
鋼塊偏析低減、１次分塊での加工及び引き続く加熱・均
熱によるSiの鋼塊偏析及びミクロ偏析の低減促進および
２次分塊による加工並びに引き続く徐冷過程でのSiの鋼
塊偏析及びミクロ偏析の低減のさらなる促進という、大
きく分けて３つの工程における均質化の相乗効果により
はじめてSiの均質化が達成されているのである。なお、
分塊前の加熱は、雰囲気中のＳ含有量を80ppm以下と極
力低くして加熱中の粒界脆化を抑制し、分塊スラブにお
ける表面疵の発生抑制を配慮した。

更に本発明で特徴としているシャドウマスク用薄板は上
記のような製造履歴のものに限らず、溶鋼から直接に冷
延素材を鋳造するストリップキャスティングまたはスト
リップキャスティングにより鋳造された鋼帯を熱延軽圧
下することにより冷延素材を製造する工程を経たもので
も本発明の効果は充分に発揮される。又このような表面
をもつシャドウマスク用インバー合金素材の製造は最終
冷延または調質圧延時にダルロールを用いて圧延するこ
とにより達成し得る。

なお、アンバー合金のエッチング穿孔性、特にエッチン
グ穿孔後の孔界面の品質を向上させ、かつエッチング工
程におけるエッチング液の汚れを少なくし、エッチング
の作業性を向上させるためには、合金中の非金属介在物
の組成を第３図に示すAl₂O₃−CuO−MgO系三次元状態図
の点1,2,3,4,および５を結んだ５辺形で囲まれた領域外
の組成に制御することが必要である。すなわち、このよ
うな介在物の組成制御により、エッチング直前での非金
属介在物はサイズ３μｍ以下の球形の介在物が主体とな
り、展伸性を有する圧延方向に伸びた線型の介在物が極
めて少なくなる結果エッチング孔の界面における介在物
に起因したピットの形成が抑制され、かつ線状介在物が
エッチング液に混入してエッチング液の汚れることも極
めて少なくなる。

上記したようなダルロールを得るには放電加工、レーザ
ー加工なども採用し得るが、ショットブラスト法によっ
てダル目付けすることが好ましく、この場合においてロ
ール材質としてはSKH（硬度Hs85〜95）を採用し、又径1
00〜125mmφのものを用いることが適切である。ショッ
トブラスト法によるロール加工条件としては＃120〜＃2
40のスチールグリット（Hv400〜950）を用い、投射エネ
ルギーとしては＃120で低目、＃240では高目のものを採
用する。

適正ロール表面粗度を得るには、加工前においてRa0.1
μｍ以下（Rsk＜０）としたものに対し加工処理してRa:
0.4〜1.0μm,Rsk:＜−0.2、より好ましくは＜−0.5のも
のとし、このようなロール粗度として本発明範囲の表面
粗度を適切に得しめる。

圧延に関しては、最終冷延または調質圧延に当り前述し
たようなダルロールで１パス当り10％以上、しかも合計
２パス以上を採用し、１パス当り10％以上の圧下をなす
ことでロール粗度が充分に転写され、しかも２パス以上
とすることより所定のRskを有効に得しめる。

更に具体的な圧延に際して用いられる圧延油としては温
度10〜50℃で粘度７〜8cstのものを0.1〜0.5kg/cm²で吐
出して用い、圧延速度は30〜200mpm、圧延時の張力は前
方が15〜45kg/mm²、後方を10〜40kg/mm²程度となし、単
位幅当りの圧下力としては0.15〜0.25トン/mmとするこ
とが好ましい。前記した圧延油吐出圧力が0.1kg/cm²未
満であり、あるいは0.5kg/cm²超えではその他の条件が
適正でも本発明で目標とする合金薄板の表面粗度が得難
い傾向が認められ、又0.5kg/cm²超えでは表面粗度にム
ラが発生する。又上記したような圧延時の張力条件適正
化によって圧延材である合金薄板の平坦度を良好なレベ
ルとすることができる。

薄板圧延に当ってアイアニングロール、アンチクリンピ
ンクロールなどが採用され、又中間焼鈍、SR焼鈍として
軟鋼用連続焼鈍炉（H₂濃度５〜15％、DP−10〜−30℃の
雰囲気ガス）または光輝焼鈍炉（H₂濃度15〜100％、DP
−20〜−50℃）などが用いられる。

（実施例）上記したような本発明によるものの具体的実施例を示
し、その作用効果の仔細を説明すると以下の如くであ
る。

実施例１次の第１表に示すような成分組成を有する本発明例およ
び比較例の合金No.1〜５を電気炉にて出鋼し、その後に
取鍋精錬を行うことによって７トン鋼塊として得た。

なお、出鋼後の取鍋精錬は、CaO:40％以下のMgO−CaO系
耐火物よりなる取鍋を使用し、溶滓は成分がwt％で（Ca
O）／〔（CaO）＋（Al₂O₃）〕が0.45％以上、MgOが25％
以下、SiOが15％以下、Siより酸化力の弱い金属の酸化
物が30％以下であるCaO−Al₂O₃−MgO系のものであり、
これにより処理することで第１表中の化学成分および後
述する第２表のような合金を得た。

上記したようにして得られた各鋼塊を手入れの後、1200
℃で20時間加熱し、１次分塊にて断面減少率60％で分塊
圧延を行い、しかるのち1200℃で20時間加熱し、２次分
塊にて断面減少率45％で分塊圧延を行い、徐冷すること
により、合金No.1よりa,c〜ｆの供試材を得、合金No.2
は試供材ｇ、合金No.3は共試材ｈ、合金No.4は共試材
ｉ、合金No.5は共試材Ｐとして夫々用意した。なお共試
材ｂの材料は合金No.1の７トン鋼塊を手入れ後、1200℃
にて15時間加熱し、１次分塊にて断面減少率78％で分塊
圧延を行い徐冷することによりスラブを準備した。

これらのスラブを手入れし酸化防止剤を塗布後、加熱温
度1100℃で加熱してから熱間圧延を行った。なおこの
際、1000℃以上での合計圧下率は82％であり、850℃以
上での合計圧下率は98％であって、熱間圧延された熱延
コイルの巻取り温度は550〜750℃であった。

上記のようにして得られた熱延コイルのうち、合金No.1
〜No.4に対応するものは脱スケール後、冷延、焼鈍を繰
返し、最終冷延または調質圧延時にダルロールを用いて
圧延することにより後述する第３表に示す表面粗度を有
する板厚0.25mmの合金板を夫々得た。なお、エッチング
テスト材の介在物の形態、大きさ分類は、原板の圧延方
向における板厚断面で測定した。測定方法は800倍にて6
0mm²検鏡し、視野内すべての介在物の厚さ，長さを測定
し、（長さ／厚さ）≦３を球状介在物、（長さ／厚さ）
＞３を線状介在物として分類し、かつそれらの介在物の
サイズ別の個数（1mm²当り）で表記した。

用いたロールのダル目付けはショットブラスト法で材質
SKH（Hs90）の径120mmのロールに対し＃120のスチール
グリット（Hv400〜950）で加工し、加工後の表面粗度が
Ra:0.3〜0.85、Rsk:−0.2〜−1.1のロールを用い、この
実施例では最終調質圧延時に前記ダルロールにより１パ
ス目は18.6％、２パス目は12.3％（合計圧下率28.6％で
行った。またこの圧延に当って採用された圧延油の粘度
は7.5cstであり、圧延速度は100mpmであって、圧延時張
力については前方20kg/mm²、後方15kg/mm²で実施した。

なお、この圧延において用いられた単位幅当りの圧下力
は0.20トン/mm、圧延油の吐出圧力は0.4kg/cm²であっ
て、円滑に圧延処理することができ、得られた合金板の
平坦度その他は良好なレベルのものとして得ることがで
きた。

上記のような各合金板の板面におけるSiの偏析率はEPMA
によるマッピングアナライザーにより調査した。又これ
らの合金薄板コイルにエッチング穿孔し、フラットマス
クを作製し、ムラ発生の状況を調査した。さらにエッチ
ング孔の界面を走査型電子顕微鏡により観察し、ピット
の有無を調べ、またエッチング液の汚れは、エッチング
穿孔後の残滓の量を調べることにより行った。更に焼鈍
時の密着焼付については上記したようなフラットマスク
を30枚積層し、900℃の温度で焼鈍した後に密着の状況
を調査した。合金No.1〜５の各材は、次の第２表に示す
ような介在物の組成を有し、この介在物は液相線温度16
00℃以上の融点を有するもので、エッチング直前の合金
薄板での介在物は形状からして球状、大きさも厚さでみ
て、３μｍ以下のものが主体となっており、エチング穿
孔性でみても、孔界面のピットは見られず、エッチング
液の汚れも極めて少なく、エッチング性に優れている。
即ち本発明で意図する合金素材としては、このようにエ
ッチング穿孔性に優れているものを基本としている。

上記したような各調査の結果は何れも次の第３表に示す
如くであり、又各合金No.1〜５については前述第４図の
Al₂O₃−CaO−MgO系三元状態図に〜として示した。

即ち供試材ａおよびｇの材料は、Si量、Si偏析率、Ra
（Ｌ）,Ra（ｃ）,Rsk（Ｌ）,Rsk（ｃ），（Ra）＋1/3
（Rsk）の値が何れも本発明範囲内にあり、エッチング
穿孔時のムラ発生および焼鈍時の密着焼付はともに認め
られない。

これに対し、供試材h,i,bのものは、何れも表面粗度の
パラメータが本発明範囲内にあるものの、Si量について
は本発明規定範囲下限を下まわるもの、その上限値を越
えるもの、あるいは偏析率が上限を越えるものであり、
エッチング穿孔時のムラ発生、焼鈍時の密着焼付のう
ち、１つまたは２つに問題が認められる。

なお供試材c,d,e,fの各材は何れもSi量およびSiの偏析
率が本発明の規定範囲内にあるが、それぞれ本発明にお
けるRaの上限，（Ra）＋1/3（Rsk）−0.5の値,Rskの下
限,Rskの上限から外れるものであって、エッチング穿孔
時のムラ発生、焼鈍時の密着焼付性のうち１つ以上の性
能が好ましくない。

即ち本発明で目的とする効果は、Si量、Siの偏析率とい
う成分的配慮に加え、表面粗度の適正化が図られて始め
て達成されることが理解される。

実施例２前記した実施例１の供試材ａの作製のために用いた熱延
コイル、供試材ｐの作製に用いた熱延コイルおよび供試
材ｇの作製に用いた熱延コイルを脱スケール後、冷延と
焼鈍を繰返し最終冷延または調質圧延時にダルロールを
用いて圧延し、次の第４表に示すような表面粗度を有す
る板厚0.25mmの合金板（供試材j,k,l,m,n,pおよびｏ）
を得た。

これらの供試材における板面でのSi偏析率は実施例１と
同じ方法で調べたが何れも２〜７％の範囲であった。又
これらの合金薄板コイルをエッチング穿孔してフラット
マスクを作製し、ムラ発生状況を調査した。更に焼鈍時
の密着焼付は上記したフラットマスクを50枚積層し第４
表に示す温度で焼鈍してその後の密着状況を調べた。こ
れらの結果は何れも次の第４表に示す如くである。

なお、この実施例において用いられたダルロール、圧延
条件などについては前記した実施例１に述べたところと
同様であるが、ロールの表面粗度は加工後においてRa:
0.45〜0.70μm,Rsk:−0.4〜−0.9のものであった。

即ち供試材ｊは、Si量、Si偏析率および表面粗度が何れ
も本発明規定範囲内で、Ｓ量は0.0005％のものであり、
エッチング穿孔時のムラ発生はなく、しかもこの実施例
の焼鈍条件においても密着焼付は発生していない。

これに対し供試材ｏは、Si量、Siの偏析率および表面粗
度が本発明の規定範囲内のもので、Ｓ量が0.0025％のも
のであり、エッチング穿孔時のムラ発生はないが、焼鈍
時の密着焼付が一部で発生している。このように本発明
の構成要件を満たす場合であっても焼鈍温度が実施例１
より高温となるような場合にはＳ量を低くすることによ
り密着焼付の発生を防止し得ることが理解される。

更には、供試材ｐは、Si量、Si偏析率および表面粗度が
本発明の規定範囲内で、Ｓ量が0.0002％のものであり、
エッチング穿孔時のムラ発生はなく、しかも焼鈍温度は
供試材ｊの場合よりもい高温であるが、密着焼付は発生
していない。このようにＳ量を低減することにより1100
℃の高温でも密着焼付の発生防止が達成されていること
が明らかである。

また供試材ｎはRaの面内異方性およびRskの面内異方性
以外は本発明の規定範囲内のものであって、この材料は
エッチング穿孔時のムラ発生はなく、850℃の焼鈍では
密着焼付が発生していない。これに対し供試材ｍは供試
材ｎのフラッドマスクを950℃で焼鈍した場合であっ
て、この場合は焼鈍時の密着焼付が全面にわたって発生
している。

なお供試材k,lの各材も夫々Raの面内異方性、Rskの面内
異方性以外は本発明の規定範囲内のものであるが、これ
らの材料でも950℃の焼鈍で密着焼付きが一部に発生し
ている。これらの供試材k,l,mに対し、供試材ｊのもの
ではRaの面内異方性およびRskの面内異方性も含め、す
べてが本発明規定範囲内であって、この場合には焼鈍温
度が950℃でも密着焼付は発生していない。

このように850℃で焼鈍密着が発生しない材料であって
も、焼鈍温度をより高温とする際にはRaおよびRskの面
内異方性について適正化が必要である。

「発明の効果」以上説明したような本発明によるときは、エッチング穿
孔性に優れ、又穿孔時のムラ発生を的確に防止し、且つ
穿孔後のフラットマスクを焼鈍するに当っての密着焼付
をも適切に防止したFe−Ni系インバー合金のシャドウマ
スク用薄板を提供し、又その好ましい製造法を得しめて
高品位のフラットマスクを歩留り高く製造せしめ、それ
によってコスト低減を可能ならしめるなどの効果を有
し、工業的にその効果の大きい発明である。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の技術的内容を示すものであって、第１図
はフラットマスクにおけるエッチング穿孔時のムラ発生
および焼鈍時の密着焼付性とRa,Rskの関係を示した図
表、第２図はフラットマスクの焼鈍密着性とＳ量の関係
を焼鈍時フラットマスク積層数30枚の場合について示し
た図表、第３図はCaO−Al₂O₃−MgO系非金属介在物の三
元状態図の一部であって、第４図はその全般的関係を示
した三元状態図であり、第４図において本発明の実施例
において用いた各合金No.1〜５を〜として示したも
のである。

フロントページの続き (56)参考文献特開昭62−238003（ＪＰ，Ａ) 特開昭61−39344（ＪＰ，Ａ) 特開昭62−243782（ＪＰ，Ａ)

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】Si:0.01〜0.15wt％、Ni:34〜38wt％および
Mn:0.40wt％以下を含有し、残部がFeおよび不可避的不
純物から成り、かつその合金鋼帯の板厚はフラットマス
クの多数枚を積み重ねて焼鈍処理する工程を含むシャド
ウマスクの製造に供する該フラットマスクと実質上同等
であり、その表面粗度（Ra）が0.3〜0.7μｍで、しかも
粗さ曲線の高さ方向における片寄り指標であるスキュー
ネス（Rsk）が0.3〜1.0で、且つ、の条件を満足し、またエッチング直前での合金板の表面
におけるSiの成分偏析率が10％以下であることを特徴とするシャドウマスク用Fe
−Ni合金薄板。
【請求項２】請求項１の成分および表面粗度を有し、し
かも該表面粗度の異方性が、下記式、 |Ra（Ｌ）−Ra（ｃ）｜≦0.1μｍ |Rsk（Ｌ）−Rsk（ｃ）｜≦0.2 但し、Ra（Ｌ）、Rsk（Ｌ）は圧延方向における測定値
で、Ra（ｃ）、Rsk（ｃ）は圧延方向と垂直な方向にお
ける測定値である。の関係を満足することを特徴とするシャドウマスク用Fe
−Ni合金薄板。
【請求項３】請求項１の成分を有する薄板を製造するに
当り、その最終冷延または調質圧延時にダルロールを用
い、請求項１の表面粗度を該薄板の表面に付与すること
を特徴とするシャドウマスク用Fe−Ni合金薄板の製造方
法。
【請求項４】請求項１の成分を有する薄板を製造するに
当り、その最終冷延または調質圧延時にダルロールを用
い、請求項２の表面粗度を該薄板の表面に付与すること
を特徴とするシャドウマスク用Fe−Ni合金薄板の製造方
法。